JPH04226834A - 放電加工装置 - Google Patents

放電加工装置

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JPH04226834A
JPH04226834A JP3114216A JP11421691A JPH04226834A JP H04226834 A JPH04226834 A JP H04226834A JP 3114216 A JP3114216 A JP 3114216A JP 11421691 A JP11421691 A JP 11421691A JP H04226834 A JPH04226834 A JP H04226834A
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machining
electrode
fluid
processing
power supply
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JP3114216A
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English (en)
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Jr Darrel D Huff
ダレル ディーン ハフ ジュニア
George J Cole
ジョージ ジェイ コール
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Elox Corp
Original Assignee
Elox Corp
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02Wire-cutting
    • B23H7/04Apparatus for supplying current to working gap; Electric circuits specially adapted therefor

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は放電加工装置に関し、さ
らに詳しくは、加工パルスが発生するワイヤ電極と被加
工物の間隙、所謂加工間隙の近傍にあって、電気要素を
収納する電気要素収納体を備えた放電加工装置に関する
。本発明の集積ギャップボクッスは、その構成、取リ付
けは比較的簡単なものであるが、多くの効果を奏するも
のである。
【0002】
【従来の技術】放電加工に於いては、経験的発見、仮設
等に依存するところが多い。その理由は、加工間隙にお
ける放電現象については、決定的な物理的説明がこれま
でなされていないということにある。従って、線状ある
いは帯状の加工電極を使用す放電加工の場合、重力によ
る影響は別として、電磁的、静電的、あるいは機械的、
更には水力学的効果によって惹起される加工電極の振動
もまた問題となっている。
【0003】こうした騒乱要因に鑑み、ワイヤ電極及び
被加工物に対し望ましい加工パルスを供給する電力発生
器及びスイッチ回路によって構成される電力モジュウー
ルに対しては、特に高度な要求がなされている。放電の
時間制御は、所定の波形をもった放電電流パルスを生成
するために、ワイヤ電極に並列に設けた複数の電力スイ
ッチ回路を用いて、電力発生器のオンオフを制御するこ
とによって行なっている。例えば、クロック回路によっ
て所定周期でクロックパルスを生成し、これをスイッチ
回路に対するトリガーパルスの時間パターンとして使用
する。望ましいパルスのプロファイルも同様にして決め
られる。このようにして、放電加工の制御が行なわれる
。これらに関する例は米国特許第3928163号とか
、同第4655888号に開示されている。
【0004】放電加工に対する騒乱は、被加工物に対し
て放電信号を単一搬送媒体を介して送る際にも発生する
。そして、単一搬送媒体における騒乱は加工過程に望ま
しからぬ影響を与える。例えば、ワイヤ電極にパルスを
送る場合、電気誘導並びに分布容量の影響によって、放
電信号として望ましい波形が歪められたりする。更には
、複数のスイッチ回路の不規則なスイッチ動作によって
、不適切な加工パルスが発生し、これが、加工精度を悪
くしたり、ある場合にはスイッチ回路の損傷をも招く結
果にもなる。
【0005】出力の分離を目的として、電力モジュール
の出力側にダイオードを設けることはよく知られるとこ
ろである。この場合、スイッチ回路と分離ダイオードと
は加工領域、加工間隙から離れて位置する電力制御キャ
ビネットに収められ、その間をケーブルによって接続す
るようにしている。しかし、放電パルスのオンオフに伴
つて、分離ダイオードからワイヤ電極に至る送電線の長
さが問題となってくる。即ち、送電線に発生する磁界が
、その長さに応じて電圧スパイクを発生させるようにな
る。しかも、これらの瞬時電圧スパイクによって、分離
ダイオードのp−n接合ではエネルギーが放散され、加
工間隙に与えられるべきエネルギーを減少させる結果と
なる。従って、これまでの加工パルス回路を使用した場
合には、大きな熱発生を伴うことになる。更には、こう
したことから、電気要素が本来有する可能な動作特性も
得られず、しばしばその破壊に通ずる結果ともなる。
【0006】更にまた、分離ダイオードが加工領域から
離れて設けられ、その間をケーブルで結んでいる場合に
は、加工電極の抵抗損失を別としても、二次的な電気誘
導、分布容量による影響があらわれる。これらは加工パ
ルスの好ましい波形を歪めるように作用する。
【0007】こうした問題解決のために、これまでは、
電力供給回路の出力線に対して同調回路を設けてきた。 しかしながら、特定の加工においては、被加工物、ワイ
ヤ電極は常に変更されるため、それに応じて同調回路を
常に変更しなければならなくなる。しかも、こうした解
決方法では、磁界による影響への根治とはなリ得ない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、従来技術の欠点を克服する加工パルス供給回路の電
気要素収納体を備えた放電加工装置を提供すことにある
【0009】また、本発明の他の目的はワイヤ電極に加
工パルスを供給する二次側ケーブルによって生成される
誘導効果を最小にする電気要素収納体を備えた放電加工
装置を提供することにある。
【0010】さらに、本発明の他の目的は、電力供給装
置の熱放散要素を冷却できるようにした放電加工装置を
提供することにある。
【0011】また、さらに、本発明の他の目的は早い立
ち上がり、たち下がリ特性を有し、不所望の電圧レベル
まで電圧を駆動することの少ない加工パルスを発生でき
る放電加工装置を提供することにある。
【0012】さらにまた、本発明の他の目的は、取り付
け面積が小さく、従来のような配線、配管の除去を可能
にする電気要素収納体を備えた放電加工装置を提供する
ことにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的は、望ましい放
電電流パルス波形を発生することの出来る方法及び装置
を開発することによって達成することが出来る。即ち、
加工電極と被加工物の間の加工間隙の近傍に電気要素を
収納する電気要素収納体を設けることによって目的を達
成することが出来る。また、その中に通常の流体供給装
置によって加工間隙に供給される流体を利用した冷却機
構を設けることによって目的を達成することが可能とな
る。
【0014】
【作用】この電気要素収納体は電気要素に接する広い導
電面を有し、ワイヤ電極への電力供給路を形成している
。ねじ切りを施した長孔を流体供給手段の一部として電
気要素収納体内に設けてあるので、電気要素収納体に収
納される放熱性の回路要素を冷却することができる。
【0015】
【発明の効果】このようにして、電力供給回路と被加工
物との間の電気誘導、抵抗による影響を除去することが
でき、さらに、すぐれて一様な面の加工を可能にする加
工パルスが得られ、加工容量が大きくかつ、加工速度の
大きな放電加工装置を提供することが出来る。
【0016】
【実施例】以下の記載は、本発明をよリ良く理解するた
めの簡単な実施例であリ、本発明がこれだけに限定され
るものではなく、また、添付の図面は必ずしも現物の型
寸を示すものでもないことを断っておく。さらに、一部
細部については省略されているが、これらもまた本発明
の理解のためには、必ずしも必要のないものである。
【0017】本発明は全体として、電気要素を収納する
電気要素収納体(以下、ギャップボックスと称する)が
加工間隙ならびにワイヤ電極の近傍に設けられている放
電加工装置に関するものである。本発明のギャップボッ
クスは、ワイヤ電極に対し望ましい波形のパルスを供給
する電源回路の一部を構成する分離ダイオードを収納す
るものである。ギャップボックスはまた、ワイヤ電極に
至るパルス経路の抵抗を減少し、ケーブル配線に伴う送
電損および誘導損を減少させるために比較的大きくかつ
、長さの短い導電領域を有するものである。本発明の他
の特徴は、ギャップボックスが、その中に収納された電
気要素に対する冷却機構を備えている点にある。
【0018】図1は本発明になるギャップボックス10
を備えた放電加工装置8を示している。図の如く、放電
加工装置8は上部アーム14と下部アーム16を支持す
るコラム(図示せず)を含んで構成されている。この上
下アーム14、16は上下のワイヤガイド構体18、2
0をそれぞれ支持している。これらのワイヤガイド構体
はワイヤ電極22を支持し、被加工物25を加工するよ
うに操作されるものである。放電加工時においては、ワ
イヤ電極22は、それと被加工物25が概ね0.003
インチ(約0.0762ミリ)の加工間隙を置いて対峙
する加工領域24に位置し、上下プーリ26、28によ
って架張されつつ、加工領域24を通って常時、その軸
線方向に移動される。ワイヤガイド構体18、20に取
り付けられている上部ノズル27および下部ノズル29
は加工液、たとえば脱イオン水、オイル等をワイヤ電極
22に沿って加工領域24と加工間隙に流し込むように
する出力部を構成している。本発明の属する分野にある
当業者の良く知るように、加工間隙に加えられた電圧信
号が十分に高くなると、絶縁性加工液はイオン化して、
ワイヤ電極22と被加工物25との間に瞬時的に高い導
電性のチャンネルを形成するようになる。
【0019】被加工物の切りだし経路図はその図形上の
x,y,u,v及びzの各軸上の座標を制御することに
よって定められる。これ等の制御は、数値制御装置によ
るのがより望ましい。上部ガイド構体18、下部ガイド
構体20は、放電加工装置8全体の一部として図1にワ
イヤ電極22と共に図示されている。上部ガイドアーム
14はu−v軸構体15によってu−v軸方向に移動す
る。これによって上部ガイド18は水平なu,v各軸に
沿って移動することが可能となる。同様にして、水平な
x,y軸方向に下部ガイド20を移動可能とするように
、下部ガイドアームがもうけられている。ワイヤ電極は
上部ブラケット17に沿って、水平に、さらには垂直方
向に供給される。上部ブラケット17も下部ガイドアー
ムも、それぞれに要素をその中に備えているが、図中に
は示されていない。このようにして、被加工物の各座標
軸は、ワイヤ電極22に対して相関的に駆動される。
【0020】電源回路32はワイヤ電極22に対し被加
工物加工のためのパルスを供給する。電源回路の陽極(
+)は被加工物の一点に接続され、他方、その陰極はワ
イヤ電極22に接続される。この極性は、ある種の加工
の場合に逆にされることは良く知られるところである。
【0021】図2はワイヤ電極22に望まし波形のパル
スを供給する回路のブロック図である。電圧発生回路3
4には三相電力が線36を介して与えられ、直流電圧が
線38を介して出力される。線38における直流電圧は
通常80ボルト程度とされるが、他の電圧値を採用する
ことも可能である。
【0022】電圧発生回路34の出力線38からきれい
なパルス列を得るためには、n個のスイッチ回路40a
乃至40nを並列に接続するのが典型的仕方とされてい
る。好ましい実施例では、8個のスイッチ回路を使用し
て、接地に対して負のパルスを発生させるようにしてい
る。スイッチ回路40a乃至40nからの各出力は、線
43a乃至43nを介して回路保護のための分離ダイオ
ード42a乃至42nの各陽極に与えられる。これら分
離ダイオード42aないし42nの使用によって、変形
パルス列の発生や、時としてはシステムの損傷を招くス
イッチ回路の騒乱を防止することが出来ることがわかつ
た。
【0023】これまでのシステムにおいては、スイッチ
回路40a乃至40n並びに分離ダイオード42a乃至
42nは、外部の電気キヤビネットに収められ、分離ダ
イオード42a乃至42nの出力は、ケーブルを介して
ワイヤ電極22に与えられている。しかしながら、こう
した配線は二次的な誘導効果や、送電損を惹起する結果
になっている。さらに、スイッチ回路や二次側ケーブル
における信号反射が加工パルスの歪みや回路要素の破損
を招くことになる。さらに加えて、かなり高い加工電流
電圧による回路要素の熱発生を見ることになる。したが
って、外部キャビネツトは加熱し、システム自体の破損
、故障を招く結果となる。これに処するための方法とし
て、パルスの周期を減少させたリするが、加工速度にと
っては逆効果となる。
【0024】図3から図5に図示のものは、本発明によ
るギャップボクッスの実施例である。ギャップボクッス
10は加工間隙とワイヤ電極22の近傍に位置し、分離
ダイオード42a乃至42nを収納し、同時に分離ダイ
オード42a乃至42nからの出力のための導電面を構
成するものである。その詳細は図4に示すように、ギャ
ップボクッス10は端部48と中間部50を有する電気
伝導部材46からなっている。不導電性材料、例えばフ
ェノールG−10からなる絶縁板52は中間部50の近
傍に取リ付けられ、下部アーム16の端部板54連結し
ている。
【0025】スイッチ回路の出力信号パルスは、下部ア
ーム16内に設けられた同軸ケーブル56、58、60
を介して、ギャップボクッス10に送られる。ケーブル
56、58、60はケーブルの外側ジャケットをギャッ
プボクッス10の端部板54に接続するためのターミナ
ルアセンブリ62、64、66を有している。
【0026】一対のねじ63、65は電気伝導部材46
、絶縁板52、及び端部板54に形成された長孔を通り
、ギャップボクッス10を下部アーム16に固定する。 電気伝導部材46は、電気的に活性であるから、フェノ
ールG−10のような絶縁材で構成した絶縁性ブッシン
グ67、69によってねじ63、65を覆うようにする
ことが望ましい。下部ワイヤガイド構体20は同様にし
てギャップボクッスの電気伝導部材48に位置決めねじ
(図示せず)によって固定する。
【0027】導電要素57、59、61は同軸ケーブル
56、58、60に対応し、一対のダイオードサブアセ
ンブリ64、66と電気的に接続される。ダイオードサ
ブアセンブリ64は、同軸ケーブルの導電要素57、5
9を接続するための固定ねじ(図示せず)を受けるため
の溝72、74からなる2個の電気伝導端部68、70
からなっている。ダイオードサブアセンブリ64の中間
部76、78は、ケーブル62、64の導電要素57、
59とその陽極が接続されている分離ダイオード42a
、42b、42c、42dを含んでいる。分離ダイオー
ド42a乃至42dの陰極は銅製の電気導電性中央ブロ
ック80に接続している。このブロック80には、ブロ
ック80をギャップボクッスの伝導部材46の中間部5
0に接続させるためのねじを受け入れる孔82が形成さ
れている。ダイオードサブアセンブリ66もまた以上と
まったく同様に構成される。
【0028】ギャップボクッスの伝導部材46は、下部
ワイヤガイド構体20と接し、接面領域84を形成する
。伝導部材46、下部ワイヤガイド構体20はステイン
レススチールで構成することが望ましい。ステインレス
スチールは特に高導電性のものとは言いがたいが、表面
積を大きくとり、電路を短くすることによってその抵抗
を最小に押さえることが可能である。ワイヤガイド構体
20の電流路はワイヤ電極22と接する炭素給電子86
を含んで構成されている。この構成によれば、分離ダイ
オードの出力時に生ずるパルス信号が最短電路を通るの
で、伝送損及びスイッチ回路における反射パルスによる
損失を最小限に止めることが出来る。
【0029】放電加工時においては、同軸ケーブル56
、58、60を介してスイッチ回路40a乃至40nか
らダイオードサブアセンブリ64、66の導電端部68
、70に対し所定の波形をもった加工パルスが供給され
る。加工パルスの極性は負であるから、加工パルス信号
は分離ダイオード42a乃至42dを通リ、中央ブロッ
ク80に達し、さらに、ギャップボクッス10の伝導部
材46および下部ワイヤガイド構体20によって形成さ
れる電路を通って流れる。絶縁板52は高い電圧パルス
が下部アーム16を流れることを阻止する。このように
して、加工パルスは炭素給電子84及びワイヤ電極22
に、広面積最短距離の電路を通って供給されることにな
る。勿論加工パルスにおける抵抗損失も低減される。
【0030】さらに有利なことに、以上のようにしてリ
ードの長さを最小にすることによって、リードによる磁
場を減少させ送電線の影響を消すことが可能になる。か
くして、通常、加工パルスのオンオフに伴って発生し、
分離ダイオードの接合部においてエネルギーを消費させ
る電圧スパイクを、除去、または実質的に低減すること
が出来る。従って、より大きいエネルギーを加工間隙及
びワイヤ電極に供給することが出来る。さらに、そうし
たスパイクが消滅するまでの時間が短いことから、ワイ
ヤ電極に供給する加工パルス周波数を大幅に増加するこ
とが出来、加工速度を高めることが可能となる。例えば
、通常のパルス幅は4マイクロ秒であるが、これを、3
マイクロ秒に下げることが出来る。また、さらに重要な
ことには、加工パルスの振幅を増加することも可能とな
る。
【0031】図3及び図4には、ワイヤガイド並びに加
工液を加工間隙24(図1)に向かって噴射する加工液
噴射構体20に対して絶縁性加工液を送る流路を構成す
る噴流導管88が図示されている。この導管88は下部
アーム16の端部板54と導管を接続するためのターミ
ナルアセンブリ90を含んでいる。加工間隙及び被加工
物に対して加工液を噴射するために、長孔92が絶縁板
52、ギャップボクッスの中間部50及びその端部48
を貫通し、ワイヤガイド構体20に達するように形成さ
れる。この構成の利点は、分離ダイオード42a乃至4
2d及びギャップボクッス10内部の他の電気要素に対
して冷却機構を構成する点にある。長孔92にねじ切り
を施すことは熱交換表面を広げることになる点で好まし
い。
【0032】このような構成によって、機械稼働に伴う
熱発生によって電気要素の動作が損なわれることを最小
限に止めることが出来る。分離ダイオード42a乃至4
2dを冷却することによって、ダイオーどの接合部温度
を下げ、それによって接合電圧を許容接合電圧に保つこ
とが可能であることがわかった。従って、許容加工電流
を高く保ちながら、高信頼性と有効性を以て装置を稼働
することが出来る。
【0033】以上、ワイヤ電極並びに加工間隙近傍に分
離ダイオード含むギャップボクッスを設けることによっ
て、前述の目的を達成でき、さらに、絶縁性の液体を冷
却媒体として使用することを述べた。勿論、ここに述べ
た発明に関連する幾多の応用例があること、また幾多の
変形例、特に上記開示の教示する利点を有する応用、変
形例があることは明らかであるが、それらは本発明の根
本を逸脱するものでないことは明白である。
【0034】例えば、スイッチ回路に対する制御用の線
を設けるために機械に対して適宜変形を施したギャップ
ボクッスを設け、その中にスイッチ回路42a乃至42
n設置することも可能である。このようにしてスイッチ
回路の冷却機構を形成することも出来る。ギャップボク
ッス10ないのスイッチ回路には直流電圧が供給される
ため、交流波形を有意な距離にわたって消去できるとい
う利点がある。
【0035】さらにまた、変形例の一つとして、スイッ
チ回路の制御にギャップボクッス10に対しファイバ光
学的制御を施すことも可能である。こうした制御方式に
よれば、ワイヤ電極22に対するケーブルの容量的、誘
導的、電磁的影響を消去することが可能である。さらに
また、ギャップボクッス10の設置位置を上部ワイヤガ
イド構体18の近傍にすることも、当業者によれば考案
され得るものである。従って、ここに開示の発明は、本
発明実施のための最良例の一つについて述べたものであ
り、特許請求の範囲によってのみ限定されるものである
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のギャップボクッスを備えた放電加工機
の略式断面図。
【図2】図1に示す放電加工機に使用されるパルス発生
回路のブロック図。
【図3】図1に示す放電加工機のワイヤガイド及び加工
液噴射機構の近傍に設けられたギャップボクッスの実施
例の断面図。
【図4】図3のギャップボクッスの平面断面図。
【図5】図3のギャップボクッスの5−5線に沿ってと
った拡大図。
【符号の説明】
8  放電加工機 10  ギャップボクッス 14  上部アーム 16  下部アーム 18、20  ワイヤガイド構体 22  ワイヤ電極 27  上部ノズル 29  下部ノズル 22  ワイヤ電極 32  電源回路 34  電圧発生回路 42a、42b、42c、42d  分離ダイオード4
6  電気伝導部材 56、58、60  同軸ケーブル 80  電気伝導中央ブロック

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  スイッチ回路を保護するために、少な
    くとも一つの電流ゲイト手段を介して、加工電極と結合
    する少なくとも一つの電力供給回路手段を有し、導電性
    被加工物を加工する放電加工装置において、加工電極の
    近傍に前記少なくとも一つの電流ゲイト手段を収納する
    電気要素収納体が設け、この電気要素収納体は加工電極
    への電力供給路を形成するために前記少なくとも一つの
    電流ゲイト手段と接する導電部を有することを特徴とす
    る放電加工装置。
  2. 【請求項2】  請求項1に記載の装置は加工電極ガイ
    ド、流体供給手段を備え、流体供給手段と一体に形成さ
    れた前記電気要素収納体から熱を放出するために、少な
    くとも前記電気要素収納体の一部を介して延在する長孔
    を有すことを特徴とする装置。
  3. 【請求項3】  請求項2に記載の装置において、前記
    長孔には熱交換表面積を増加させるために、ねじ切リが
    施されていることを特徴とする装置。
  4. 【請求項4】  請求項2に記載の装置において、前記
    加工電極ガイドは導電性であって、前記電極ガイドに接
    する前記導電部に対し電力供給路を形成することを特徴
    とする装置。
  5. 【請求項5】  加工パルスを加工電極に供給するため
    に、加工電極と結合する複数の電力スイッチ手段を含み
    、これ等スイッチ手段の各々がスイッチ手段保護用の複
    数の分離ダイオードの一つの入力端に接続する出力端を
    備えている電力供給装置と、前記分離ダイオードの出力
    端に接する導電部を有し、前記分離ダイオードを収納す
    る電気要素収納体と、加工間隙および前記加工パルスの
    導電路を形成するために前記電気要素収納体の導電部と
    接する導電部に対して流体を放出する流体供給手段を含
    む電極ガイドとからなり、加工間隙を介して導電性被加
    工物と対峙する加工電極によって、前記被加工物を放電
    加工することを特徴とする放電加工装置。
  6. 【請求項6】  請求項5に記載の装置において、前記
    電気要素収納体は前記流体供給装置に流体を供給すると
    同時に、前記分離ダイオードを冷却するための長孔を備
    えていることを特徴とする装置。
  7. 【請求項7】  請求項6に記載の装置において、前記
    長孔にはねじ切リが施されていることを特徴とする装置
  8. 【請求項8】  一体に取リ付けられた電気要素収納体
    と、複数の保護用分離ダイオードの各々一つの入力端に
    接続された出力端を有する複数の電力スイッチ回路手段
    と、加工電極に沿う方向に流体を放出する第1の流体出
    力口を有し、かつ互いに離間して配置された第1、第2
    の電極ガイド及び第1、第2の流体供給手段と、電力供
    給手段から電力供給を受ける移動可能な加工電極とを備
    えた放電加工装置であって、前記電気要素収納体は前記
    分離ダイオードの出力端に接続された中間部と、前記第
    1電極ガイドに接し電力供給回路手段に対し電路を形成
    する表面を備えた端部を有するハウジング部材であって
    、このハウジング部材は前記流体供給手段に流体を供給
    すると共に、前記分離ダイオードからの発熱を前記流体
    に吸収させるための長孔を有することを特徴とする放電
    加工装置。
  9. 【請求項9】  請求項1に記載の装置において、前記
    少なくとも一つの電流ゲイト手段は、前記電力スイッチ
    手段と結合する第1のた−ミナルと、前記加工電極と結
    合する第2のた−ミナルとを備えたことを特徴とする装
    置。
  10. 【請求項10】  請求項9に記載の装置は、複数の電
    力スイッチ手段と、複数の分離ダイオードをさらに備え
    、この電力スイッチの各々は前記分離ダイオードの各々
    の第1のた−ミナルと結合し、前記分離ダイオードの第
    2のた−ミナルの各々は前記加工電極と結合することを
    特徴とする装置。
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