JPH04226410A - ズーム・ビーム・エキスパンダ - Google Patents
ズーム・ビーム・エキスパンダInfo
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- JPH04226410A JPH04226410A JP3077311A JP7731191A JPH04226410A JP H04226410 A JPH04226410 A JP H04226410A JP 3077311 A JP3077311 A JP 3077311A JP 7731191 A JP7731191 A JP 7731191A JP H04226410 A JPH04226410 A JP H04226410A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/22—Telecentric objectives or lens systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ズーム・ビーム・エキ
スパンダ（拡大器）に関し、より具体的にはレーザ化学
蒸着ツールにおいて特に有用な色消しズーム・ビーム・
エキスパンダに関する。 【０００２】 【従来の技術】米国特許第４３５３６１７号は、ビーム
・スポットの直径を連続的に変化させる無限焦点ズーム
・レンズを開示している。上記特許で開示された無限焦
点ズーム・レンズは、波長に対してしか有用でないよう
に思われる。 【０００３】米国特許第４４６１５４６号は、２対のガ
リレイ望遠鏡型の列に配置された４つの空気隔置全球面
レンズをもつレーザ・ビーム・エキスパンダを開示して
いる。上記特許で開示された望遠鏡は、ズーム・レンズ
ではなく、色補正されているようには思われず、波長を
変えるごとに調整を必要とする。 【０００４】米国特許第４６２１８９０号は、レーザ装
置からの光をスポット形状に結像させるための光学装置
を開示している。上記特許で開示された装置は、ズーム
・ビーム・エキスパンダを含まず、スポットにおける光
の量がレーザの発光角度を変えても変化しない装置を提
供することを目的としている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】本発明の主目的は、レ
ーザからの平行ビームを拡大するのに有用な色消しズー
ム・ビーム・エキスパンダを提供することである。 【０００６】本発明の別の目的は、３つの複レンズ構成
要素をもつズーム・ビーム・エキスパンダを提供するこ
とである。１つの複レンズ構成要素は固定され、他の２
つの複レンズ構成要素は、固定された複レンズ構成要素
に対して移動可能であり、かつ互いに移動可能である。 【０００７】本発明の別の目的は、各複レンズ構成要素
が個別に色補正される、ズーム・ビーム・エキスパンダ
を提供することである。 【０００８】本発明の別の目的は、各複レンズ構成要素
が空気で分離された複レンズである、ズーム・ビーム・
エキスパンダを提供することである。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明は、レーザからの
ビーム・サイズを拡大する色消しズーム・ビーム・エキ
スパンダに関する。このズーム・ビーム・エキスパンダ
は、３つの個別に色補正される複レンズ構成要素を含む
。１つの複レンズ構成要素は固定され、他の２つの複レ
ンズ構成要素は固定された複レンズ構成要素に対して移
動可能であり、かつ互いに移動可能である。開示された
ズーム・ビーム・エキスパンダは、平行レーザ・ビーム
をより大きな直径をもつ拡大された平行レーザ・ビーム
に拡大するガリレイ型のエキスパンダである。 【００１０】 【実施例】本発明のズーム・ビーム・エキスパンダは、
気状有機金属化合物を入れた真空チェンバ内の基板上に
対物レンズによって平行レーザ・ビームを合焦させるタ
イプのレーザ蒸着ツールとともに使用することができる
。レーザのエネルギーは、基板上に導体を形成するため
、金属の層を基板上に付着させるのに充分な大きさであ
る。形成される導体の幅は、対物レンズによって基板上
に合焦される平行レーザ・ビームの直径によって決まる
。上述のレーザ蒸着を行うのに必要なエネルギーをもつ
平行光線を発生するレーザは、知られている。このよう
な１つのレーザは、アルゴン・イオン・レーザである。 本発明のズーム・ビーム・エキスパンダは、レーザから
の平行ビームを拡大して、希望する様々な拡大された直
径をもつ平行ビームを与える、ガリレイ型のズーム・レ
ンズである。したがって、本ズーム・ビーム・エキスパ
ンダ及びレーザ蒸着技術を使用して、希望する様々な幅
の金属導体を基板上に付着することができる。 【００１１】図１及び図２は、本発明のズーム・ビーム
・エキスパンダの断面図である。図１及び図２で、平行
光線は、エキスパンダを通って左から右に進む。エキス
パンダは、空気で分離された３つの複レンズ１０、１２
、１４を含む。複レンズ１０は固定され、複レンズ１２
と１４は複レンズ１０に対して移動可能であり、かつ互
いに移動可能である。図２に示すように、複レンズ１０
はレンズ要素２０と２１を、複レンズ１２はレンズ要素
２２と２３を、複レンズ１４はレンズ要素２４と２５を
もつ。本明細書では複レンズ１２と１４の間隔をＴ４、
複レンズ１０と１２の間隔をＴ８で表す。図１に示した
Ｔ４及びＴ８の間隔は、エキスパンダの倍率が最小（４
．２５１倍）の場合のものであり、図２に示した間隔は
、倍率が最大（６．７９倍）の場合のものである。 【００１２】表１は、４．２５１倍から最大６．７９倍
まで変化する様々な倍率の場合のＴ４及びＴ８の間隔を
示す。図１に示した複レンズ１０、１２、１４の位置は
、表１の第１行に示し、図２に示した位置は最後の行に
示す。 【００１３】 【表１】 【００１４】 【表２】 【００１５】表２は、図１及び図２のレンズ要素２０−
２５の設計を示す図である。表２の「表面」の欄はレン
ズ要素の表面を特定し、「半径」の欄は表面の半径をｍ
ｍ単位で示し、「厚さ」の欄はその表面から次の表面ま
での中心厚さをｍｍ単位で示し、「有効口径」の欄は表
面の中心での有効口径の直径を示す。「ガラス」の欄は
、米国ペンシルヴァニア州ＤｕｒｙｅａのＳｃｈｏｔｔ
Ｇｌａｓｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，Ｉｎｃ
．社から市販されているガラスを特定する。次の３つの
欄は、ガラスを通過する光の３つの波長に対するガラス
の屈折率を示す。この３つの波長は、０．５１４ミクロ
ン、０．５４３５ミクロン、０．４８８ミクロンである
。表２の最後の欄は、ガラスについてのｄ光のアッベ数
（Ｖｄ）である。ｄ光に対する屈折率（ｎｄ）は、Ｖｄ
が６１．２７のガラスでは１．５８９１３、Ｖｄが２５
．４３のガラスでは１．８０５１８である。表面ａ、ｈ
及びｌの半径は負の数であるが、これはその表面の弧の
中心点がその表面の左側にあることを示す。図１及び図
２を見ると、レンズ要素２０は表面ａ及びｂをもち、レ
ンズ要素２１は表面ｃ及びｄをもち、レンズ要素２２は
表面ｅ及びｆをもち、レンズ要素２３は表面ｇ及びｈを
もち、レンズ要素２４は表面ｉ及びｊをもち、レンズ要
素２５は表面ｋ及びｌをもつ。表面ｂとｃ、ｆとｇ、ｊ
とｋの間には０．０２５ｍｍの空気の隙間があり、それ
ぞれ複レンズ構成要素１０、１２、１４を形成する。 表面ａ、ｂ、ｄ、ｆ、ｊは凹面であり、表面ｃ、ｅ、ｇ
、ｈ、ｉ、ｋ、ｌは凸面である。当業者なら表２に示し
た情報からレンズ要素２０−２５を設計できることを理
解されたい。 【００１６】表２に従って作成されたズーム・ビーム・
エキスパンダは、色消しズーム・ビーム・エキスパンダ
であり、各複レンズは個別に色補正される。第１及び第
２の複レンズ構成要素１０及び１２は発散レンズ群を形
成し、第３複レンズ構成要素１４はコリメータを形成す
る。複レンズ１０、１２、１４は、それぞれ個別に色補
正されるので、異なる波長をもつ各種の光は、拡大され
た後に対物レンズによって同時に合焦される。図３は、
アルゴン・イオン・レーザから放出されるスペクトルの
スペクトル図である。図１及び図２のズーム・ビーム・
エキスパンダは、約４８６．１ｎｍと６３２．８ｎｍの
限界波長の間で色補正される。これらの限界波長は、図
３に破線として示し、このズーム・ビーム・エキスパン
ダによって、アルゴン・イオン・レーザが、スペクトル
の主エネルギーにおけるエネルギーの有意な損失なく拡
大できることを示している。やはり図３からわかるよう
に、このズーム・ビーム・エキスパンダの範囲に、緑色
ヘリウム・ネオン・レーザからの緑色放射光である５４
３．５ｎｍ、及び赤色ヘリウム・ネオン・レーザからの
赤色放射光の波長である６３２．８ｎｍが含まれる。こ
のため、高価な高エネルギー出力アルゴン・イオン・レ
ーザを装置内に設置する前に、このズーム・ビーム・エ
キスパンダを使用する装置の較正及び位置合わせを、比
較的安価なヘリウム・ネオン・レーザを使用して行うこ
とができるという利点が得られる。 【００１７】図４は、ズーム・ビーム・エキスパンダの
倍率が４．２５倍の図１の構成の角度光線収差を示すグ
ラフである。波長６３２．８ｎｍの赤色光に対する収差
を、図４の線３０で示し、波長５１４．５ｎｍの緑色光
に対する収差を線３２で示し、波長４８８．０ｎｍの青
色光に対する収差を線３４で示す。図４からこの図での
最大収差は、赤色光ではアーク角約５秒、青色光及び緑
色光ではほとんど０であることがわかる。 【００１８】図５は、ズーム・ビーム・エキスパンダの
倍率が６．８倍の図２の構成の角度光線収差を示す同様
なグラフである。赤色光に対する収差を線３６で示し、
緑色光に対する収差を線３８で示し、青色光に対する収
差を線４０で示す。 【００１９】図６は、ズーム・ビーム・エキスパンダの
倍率が４．２５倍の図１の構成の光路差を示すグラフで
ある。赤色光に対する光路差を、線４２で示す。緑色光
及び青色光に対する光路差はきわめて小さいので図６で
は見ることができない。 【００２０】図７は、ズーム・ビーム・エキスパンダの
倍率が６．８倍の図２の構成の光路差を示す同様なグラ
フである。赤色光に対する光路差を線４４で示し、緑色
光に対する光路差を線４８で示し、青色光に対する光路
差を線４６で示す。 【００２１】 【発明の効果】本発明によれば、レーザからの平行ビー
ムを拡大するために有用な色消しズーム・ビーム・エキ
スパンダが提供される。
スパンダ（拡大器）に関し、より具体的にはレーザ化学
蒸着ツールにおいて特に有用な色消しズーム・ビーム・
エキスパンダに関する。 【０００２】 【従来の技術】米国特許第４３５３６１７号は、ビーム
・スポットの直径を連続的に変化させる無限焦点ズーム
・レンズを開示している。上記特許で開示された無限焦
点ズーム・レンズは、波長に対してしか有用でないよう
に思われる。 【０００３】米国特許第４４６１５４６号は、２対のガ
リレイ望遠鏡型の列に配置された４つの空気隔置全球面
レンズをもつレーザ・ビーム・エキスパンダを開示して
いる。上記特許で開示された望遠鏡は、ズーム・レンズ
ではなく、色補正されているようには思われず、波長を
変えるごとに調整を必要とする。 【０００４】米国特許第４６２１８９０号は、レーザ装
置からの光をスポット形状に結像させるための光学装置
を開示している。上記特許で開示された装置は、ズーム
・ビーム・エキスパンダを含まず、スポットにおける光
の量がレーザの発光角度を変えても変化しない装置を提
供することを目的としている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】本発明の主目的は、レ
ーザからの平行ビームを拡大するのに有用な色消しズー
ム・ビーム・エキスパンダを提供することである。 【０００６】本発明の別の目的は、３つの複レンズ構成
要素をもつズーム・ビーム・エキスパンダを提供するこ
とである。１つの複レンズ構成要素は固定され、他の２
つの複レンズ構成要素は、固定された複レンズ構成要素
に対して移動可能であり、かつ互いに移動可能である。 【０００７】本発明の別の目的は、各複レンズ構成要素
が個別に色補正される、ズーム・ビーム・エキスパンダ
を提供することである。 【０００８】本発明の別の目的は、各複レンズ構成要素
が空気で分離された複レンズである、ズーム・ビーム・
エキスパンダを提供することである。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明は、レーザからの
ビーム・サイズを拡大する色消しズーム・ビーム・エキ
スパンダに関する。このズーム・ビーム・エキスパンダ
は、３つの個別に色補正される複レンズ構成要素を含む
。１つの複レンズ構成要素は固定され、他の２つの複レ
ンズ構成要素は固定された複レンズ構成要素に対して移
動可能であり、かつ互いに移動可能である。開示された
ズーム・ビーム・エキスパンダは、平行レーザ・ビーム
をより大きな直径をもつ拡大された平行レーザ・ビーム
に拡大するガリレイ型のエキスパンダである。 【００１０】 【実施例】本発明のズーム・ビーム・エキスパンダは、
気状有機金属化合物を入れた真空チェンバ内の基板上に
対物レンズによって平行レーザ・ビームを合焦させるタ
イプのレーザ蒸着ツールとともに使用することができる
。レーザのエネルギーは、基板上に導体を形成するため
、金属の層を基板上に付着させるのに充分な大きさであ
る。形成される導体の幅は、対物レンズによって基板上
に合焦される平行レーザ・ビームの直径によって決まる
。上述のレーザ蒸着を行うのに必要なエネルギーをもつ
平行光線を発生するレーザは、知られている。このよう
な１つのレーザは、アルゴン・イオン・レーザである。 本発明のズーム・ビーム・エキスパンダは、レーザから
の平行ビームを拡大して、希望する様々な拡大された直
径をもつ平行ビームを与える、ガリレイ型のズーム・レ
ンズである。したがって、本ズーム・ビーム・エキスパ
ンダ及びレーザ蒸着技術を使用して、希望する様々な幅
の金属導体を基板上に付着することができる。 【００１１】図１及び図２は、本発明のズーム・ビーム
・エキスパンダの断面図である。図１及び図２で、平行
光線は、エキスパンダを通って左から右に進む。エキス
パンダは、空気で分離された３つの複レンズ１０、１２
、１４を含む。複レンズ１０は固定され、複レンズ１２
と１４は複レンズ１０に対して移動可能であり、かつ互
いに移動可能である。図２に示すように、複レンズ１０
はレンズ要素２０と２１を、複レンズ１２はレンズ要素
２２と２３を、複レンズ１４はレンズ要素２４と２５を
もつ。本明細書では複レンズ１２と１４の間隔をＴ４、
複レンズ１０と１２の間隔をＴ８で表す。図１に示した
Ｔ４及びＴ８の間隔は、エキスパンダの倍率が最小（４
．２５１倍）の場合のものであり、図２に示した間隔は
、倍率が最大（６．７９倍）の場合のものである。 【００１２】表１は、４．２５１倍から最大６．７９倍
まで変化する様々な倍率の場合のＴ４及びＴ８の間隔を
示す。図１に示した複レンズ１０、１２、１４の位置は
、表１の第１行に示し、図２に示した位置は最後の行に
示す。 【００１３】 【表１】 【００１４】 【表２】 【００１５】表２は、図１及び図２のレンズ要素２０−
２５の設計を示す図である。表２の「表面」の欄はレン
ズ要素の表面を特定し、「半径」の欄は表面の半径をｍ
ｍ単位で示し、「厚さ」の欄はその表面から次の表面ま
での中心厚さをｍｍ単位で示し、「有効口径」の欄は表
面の中心での有効口径の直径を示す。「ガラス」の欄は
、米国ペンシルヴァニア州ＤｕｒｙｅａのＳｃｈｏｔｔ
Ｇｌａｓｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，Ｉｎｃ
．社から市販されているガラスを特定する。次の３つの
欄は、ガラスを通過する光の３つの波長に対するガラス
の屈折率を示す。この３つの波長は、０．５１４ミクロ
ン、０．５４３５ミクロン、０．４８８ミクロンである
。表２の最後の欄は、ガラスについてのｄ光のアッベ数
（Ｖｄ）である。ｄ光に対する屈折率（ｎｄ）は、Ｖｄ
が６１．２７のガラスでは１．５８９１３、Ｖｄが２５
．４３のガラスでは１．８０５１８である。表面ａ、ｈ
及びｌの半径は負の数であるが、これはその表面の弧の
中心点がその表面の左側にあることを示す。図１及び図
２を見ると、レンズ要素２０は表面ａ及びｂをもち、レ
ンズ要素２１は表面ｃ及びｄをもち、レンズ要素２２は
表面ｅ及びｆをもち、レンズ要素２３は表面ｇ及びｈを
もち、レンズ要素２４は表面ｉ及びｊをもち、レンズ要
素２５は表面ｋ及びｌをもつ。表面ｂとｃ、ｆとｇ、ｊ
とｋの間には０．０２５ｍｍの空気の隙間があり、それ
ぞれ複レンズ構成要素１０、１２、１４を形成する。 表面ａ、ｂ、ｄ、ｆ、ｊは凹面であり、表面ｃ、ｅ、ｇ
、ｈ、ｉ、ｋ、ｌは凸面である。当業者なら表２に示し
た情報からレンズ要素２０−２５を設計できることを理
解されたい。 【００１６】表２に従って作成されたズーム・ビーム・
エキスパンダは、色消しズーム・ビーム・エキスパンダ
であり、各複レンズは個別に色補正される。第１及び第
２の複レンズ構成要素１０及び１２は発散レンズ群を形
成し、第３複レンズ構成要素１４はコリメータを形成す
る。複レンズ１０、１２、１４は、それぞれ個別に色補
正されるので、異なる波長をもつ各種の光は、拡大され
た後に対物レンズによって同時に合焦される。図３は、
アルゴン・イオン・レーザから放出されるスペクトルの
スペクトル図である。図１及び図２のズーム・ビーム・
エキスパンダは、約４８６．１ｎｍと６３２．８ｎｍの
限界波長の間で色補正される。これらの限界波長は、図
３に破線として示し、このズーム・ビーム・エキスパン
ダによって、アルゴン・イオン・レーザが、スペクトル
の主エネルギーにおけるエネルギーの有意な損失なく拡
大できることを示している。やはり図３からわかるよう
に、このズーム・ビーム・エキスパンダの範囲に、緑色
ヘリウム・ネオン・レーザからの緑色放射光である５４
３．５ｎｍ、及び赤色ヘリウム・ネオン・レーザからの
赤色放射光の波長である６３２．８ｎｍが含まれる。こ
のため、高価な高エネルギー出力アルゴン・イオン・レ
ーザを装置内に設置する前に、このズーム・ビーム・エ
キスパンダを使用する装置の較正及び位置合わせを、比
較的安価なヘリウム・ネオン・レーザを使用して行うこ
とができるという利点が得られる。 【００１７】図４は、ズーム・ビーム・エキスパンダの
倍率が４．２５倍の図１の構成の角度光線収差を示すグ
ラフである。波長６３２．８ｎｍの赤色光に対する収差
を、図４の線３０で示し、波長５１４．５ｎｍの緑色光
に対する収差を線３２で示し、波長４８８．０ｎｍの青
色光に対する収差を線３４で示す。図４からこの図での
最大収差は、赤色光ではアーク角約５秒、青色光及び緑
色光ではほとんど０であることがわかる。 【００１８】図５は、ズーム・ビーム・エキスパンダの
倍率が６．８倍の図２の構成の角度光線収差を示す同様
なグラフである。赤色光に対する収差を線３６で示し、
緑色光に対する収差を線３８で示し、青色光に対する収
差を線４０で示す。 【００１９】図６は、ズーム・ビーム・エキスパンダの
倍率が４．２５倍の図１の構成の光路差を示すグラフで
ある。赤色光に対する光路差を、線４２で示す。緑色光
及び青色光に対する光路差はきわめて小さいので図６で
は見ることができない。 【００２０】図７は、ズーム・ビーム・エキスパンダの
倍率が６．８倍の図２の構成の光路差を示す同様なグラ
フである。赤色光に対する光路差を線４４で示し、緑色
光に対する光路差を線４８で示し、青色光に対する光路
差を線４６で示す。 【００２１】 【発明の効果】本発明によれば、レーザからの平行ビー
ムを拡大するために有用な色消しズーム・ビーム・エキ
スパンダが提供される。
【図１】４．２５１倍の倍率をもつように配置された本
発明のズーム・ビーム・エキスパンダの断面図である。
発明のズーム・ビーム・エキスパンダの断面図である。
【図２】６．７９倍の倍率をもつように配置された本発
明のズーム・ビーム・エキスパンダの断面図である。
明のズーム・ビーム・エキスパンダの断面図である。
【図３】表２の図に従って設計されたレンズ要素をもつ
図１及び図２のズーム・ビーム・エキスパンダの色補正
限界を示す、アルゴン・イオン・レーザから放射された
スペクトルのスペクトル図である。
図１及び図２のズーム・ビーム・エキスパンダの色補正
限界を示す、アルゴン・イオン・レーザから放射された
スペクトルのスペクトル図である。
【図４】図１のズーム・ビーム・エキスパンダの角度光
線収差を示すグラフである。
線収差を示すグラフである。
【図５】図２のズーム・ビーム・エキスパンダの角度光
線収差を示すグラフである。
線収差を示すグラフである。
【図６】図１のズーム・ビーム・エキスパンダの光路差
を示すグラフである。
を示すグラフである。
【図７】図２のズーム・ビーム・エキスパンダの光路差
を示すグラフである。
を示すグラフである。
１０ 複レンズ
１２ 複レンズ
１４ 複レンズ
２０ レンズ要素
２１ レンズ要素
２２ レンズ要素
２３ レンズ要素
２４ レンズ要素
２５ レンズ要素
Claims (12)
- 【請求項１】第１の空気隔置複レンズ構成要素、第２の
空気隔置複レンズ構成要素、及び第３の空気隔置複レン
ズ構成要素を含む色消しズーム・ビーム・エキスパンダ
であって、前記の第１、第２、及び第３の複レンズ構成
要素がそれぞれ個別に色補正され、前記第１の複レンズ
構成要素は固定され、前記の第２と第３の複レンズ構成
要素は、ビーム倍率が連続的に変化できるように前記第
１の複レンズ構成要素に対して移動可能であり、かつ互
いに移動可能であり、前記の第１と第２の複レンズ構成
要素は発散レンズ群を形成し、前記第３の複レンズ構成
要素はコリメータを形成する、色消しズーム・ビーム・
エキスパンダ。 - 【請求項２】前記複レンズ構成要素が、約６３２．８ｎ
ｍから約４８６．１ｎｍまでの範囲の波長を含む光につ
いて補正される、請求項１に記載の色消しズーム・ビー
ム・エキスパンダ。 - 【請求項３】前記複レンズ構成要素が、アーク角±５秒
以内の収差によって引き起こされた発散について補正さ
れる、請求項２に記載の色消しズーム・ビーム・エキス
パンダ。 - 【請求項４】前記第２の複レンズ構成要素と第３の複レ
ンズ構成要素の間の距離が約５ｍｍから約１６９ｍｍま
で調節可能な、請求項１に記載の色消しズーム・ビーム
・エキスパンダ。 - 【請求項５】前記第１の複レンズ構成要素と第２の複レ
ンズ構成要素の間隔が前記第２の複レンズ構成要素と第
３の複レンズ構成要素の間隔に依存し、第１の複レンズ
構成要素と第２の複レンズ構成要素の間隔が、前記の第
２の複レンズ構成要素と第３の複レンズ構成要素の間隔
が５ｍｍのときの７２．４７５ｍｍの最小拡大設定値か
ら、前記第２の複レンズ構成要素と第３の複レンズ構成
要素の間隔が１６９ｍｍのときの５．８４ｍｍの最大拡
大設定値まで調節可能である、請求項４に記載の色消し
ズーム・ビーム・エキスパンダ。 - 【請求項６】前記の複レンズ構成要素間の間隔が前記最
小拡大設定値から前記最大拡大設定値まで変化するとき
、ビームの拡大率が約４．２５倍から約６．８倍まで変
化する、請求項５に記載の色消しズーム・ビーム・エキ
スパンダ。 - 【請求項７】前記第１複レンズ構成要素が、凹面曲率半
径が１５．２３ｍｍの第１表面と、凹面曲率半径が２６
．８５ｍｍの第２表面を有し、中心厚さが３．０ｍｍの
第１要素と、凸面曲率半径が２６．８５ｍｍの第１表面
と、凹面曲率半径が１３４．８ｍｍの第２表面を有し、
中心厚さが３．０ｍｍの第２要素と、前記の第１要素と
第２要素の間の、中心厚さが０．０２５ｍｍの空気隙間
とを含む、請求項１に記載の色消しズーム・ビーム・エ
キスパンダ。 - 【請求項８】前記第１複レンズの前記第１要素が、ｄ光
に対する屈折率（ｎｄ）が１．５８９１３、ｄ光のアッ
ベ数（Ｖｄ）が６１．２７のガラスでできており、前記
第１複レンズの前記第２要素が、ｎｄが１．８０５１８
、Ｖｄが２５．４３のガラスでできている、請求項７に
記載の色消しズーム・ビーム・エキスパンダ。 - 【請求項９】前記第２複レンズ構成要素が、凸面曲率半
径が６７８．８３ｍｍの第１表面と、凹面曲率半径が１
９２．５ｍｍの第２表面を有し、中心厚さが４．０ｍｍ
の第１要素と、凸面曲率半径が１９２．５ｍｍの第１表
面と、凸面曲率半径が１３２．１６ｍｍの第２表面を有
し、中心厚さが８．０ｍｍの第２要素と、前記の第１要
素と第２要素の間の、中心厚さが０．０２５ｍｍの空気
隙間とを含む、請求項８に記載の色消しズーム・ビーム
・エキスパンダ。 - 【請求項１０】前記第２複レンズの前記第１要素が、ｎ
ｄが１．８０５１８、Ｖｄが２５．４３のガラスででき
ており、前記第２複レンズの前記第２要素が、ｎｄが１
．５８９１３、Ｖｄが６１．２７のガラスでできている
、請求項９に記載の色消しズーム・ビーム・エキスパン
ダ。 - 【請求項１１】前記第３複レンズ構成要素が、凸面曲率
半径が７０９．６ｍｍの第１表面と、凹面曲率半径が２
０３．２ｍｍの第２表面を有し、中心厚さが４．０ｍｍ
の第１要素と、凸面曲率半径が２０３．２ｍｍの第１表
面と、凸面曲率半径が１３７．４８ｍｍの第２表面を有
し、中心厚さが８．０ｍｍの第２要素と、前記の第１要
素と第２要素の間の、中心厚さが０．０２５ｍｍの空気
隙間とを含む、請求項１０に記載の色消しズーム・ビー
ム・エキスパンダ。 - 【請求項１２】前記第３複レンズの前記第１要素が、ｎ
ｄが１．８０５１８、Ｖｄが２５．４３のガラスででき
ており、前記第３複レンズの前記第２要素が、ｎｄが１
．５８９１３、Ｖｄが６１．２７のガラスでできている
、請求項１１に記載の色消しズーム・ビーム・エキスパ
ンダ。
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