JPH04215817A - ガス分離装置 - Google Patents

ガス分離装置

Info

Publication number
JPH04215817A
JPH04215817A JP3004523A JP452391A JPH04215817A JP H04215817 A JPH04215817 A JP H04215817A JP 3004523 A JP3004523 A JP 3004523A JP 452391 A JP452391 A JP 452391A JP H04215817 A JPH04215817 A JP H04215817A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
port
valve
membrane
conduit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3004523A
Other languages
English (en)
Inventor
Piotr J Sadkowski
ピオトル・ジャン・サッドコウスキー
Michael Ernest Garrett
マイケル・アーネスト・ガレット
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOC Group Ltd
Original Assignee
BOC Group Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOC Group Ltd filed Critical BOC Group Ltd
Publication of JPH04215817A publication Critical patent/JPH04215817A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D61/00Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/22Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Preparation Of Compounds By Using Micro-Organisms (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明は、ガス分離装置に関するものであ
り、特に、混合物の各成分を異なる速さで拡散させる半
透膜によってガスを分離する装置に関するものである。
【0002】半透膜を用いてガスを分離する技術は、工
業用ガスの生産において公知の技術である。その様な膜
によってガス混合物を分離する公知のプラントは、分離
させるガスに対して大きな表面積を提供するように建設
する。例えば、その様なプラントにおいては、適当な半
透膜を形成し、お互い平行に伸長する多数の同様な伸長
中空繊維を用いることができる。繊維は、一般的に、圧
力容器中に適当に取り付ける。繊維の外側の一方の端ま
たは端近くにある口に、分離させるガス混合物を供給す
る。ガス混合物は、繊維に対して縦に流れる。繊維の内
側は、繊維の外側より低い圧力に維持する。ガスの成分
は、異なる速度で膜を通って拡散する。ガス混合物が膜
の外側を通る場合、より速く透過する化合物程よりいっ
そう低圧側へ通って行く。従って、ガス混合物が繊維の
外側を流れていく時、繊維の外側(高圧側)のガスは、
透過速度の遅い成分に富んで来るので、圧力を掛けるこ
とによって、圧力容器の供給ガスを導入する端面に対し
て反対側にある端面から、拡散の遅い成分に富む生成ガ
スを回収することができる。透過ガスは速い拡散成分に
富む。透過ガスは、一般的に、供給ガスを導入する容器
の端面と同じ容器の端面にある繊維の内側から回収する
ことができる。もし望むならば別の配置として、供給ガ
スを中空繊維の内側に供給し、透過ガスを外側から回収
することができる。
【0003】供給ガス混合物の中に汚染物があると、最
大25%まで膜の生産性が減少することがある、という
ことが米国特許第4,881,953号に記載されてい
る。例えば、空気から窒素ガスを製造する場合において
、オイル循環空気圧縮機(oil  flooded 
 air  compressor)からのオイル蒸気
の持越しや、周囲空気中に炭化水素または酸性ガスがあ
ると、膜に対して有害な作用を及ぼすことがある。従っ
て、入って来る空気の温度を周囲温度未満まで下げて、
凝縮可能な汚染物(例えば、水)を除去するのに有効な
冷却空気乾燥機を用いたり、圧縮機からの供給空気下流
を処理するのに活性炭フィルターを用いるような処置を
通常用いて、膜容器に入って来る空気中にある汚染物の
濃度を最小にする。しかしながら、たとえこれらの処置
を用いたとしても、尚いくらかの汚染物が膜容器に到達
する可能性がある。
【0004】膜容器の供給ガス端面における条件が、ガ
ス分離装置の全性能に対して悪影響を及ぼすことがある
。例えば供給ガス入口における供給ガス空気温度の変化
は、生成物ガス出口における生成物温度に任意の変化が
見られる前に、即ち膜が温度平衡に達する前に、生成物
の収量と純度に対して大きな影響を及ぼす。更に、例え
ばオイル蒸気による汚染は、膜繊維の供給ガス端面にお
いて濃縮される傾向がある。これらの効果が組み合わさ
ると、膜の大部分が汚染される前に、装置の性能が有意
に落ちることがある。従って本発明の目的は、その様な
問題を改善する装置を提供することにある。
【0005】本発明に従って、膜の1つの側面のそれぞ
れが、反対側の第1及び第2ガス口と連絡しており、そ
れによって1つの口からもう一方の口へ、膜のそれぞれ
の片側に沿って供給ガス混合物を流して、膜を通り抜け
るガス混合物成分の透過速度の違いによってガス混合物
を分離することができ、そしてもう一方のガス口によっ
て該供給ガス混合物から生じた異なる組成の生成物ガス
を受け取るようなガス分離半透膜の配列;分離させるガ
ス混合物を装置の中に導入する供給ガス導管、及び第2
ガス口の上流に第1ガス口を配したり、又はその逆に第
1ガス口の上流に第2ガス口を配したりすることができ
るバルブを含むガス分離装置を提供する。
【0006】従って、本発明装置は、ガス口間の流れの
方向を自由な間隔で逆にすることができる。その様に流
れを逆にすると、逆にする前には上流にあった膜表面が
、ガス汚染物の蒸気圧が比較的低い清浄なガス流に暴露
されて、膜からの汚染物の脱着が助長され、逆にする前
には上流にあった膜表面を清浄にするのに役立つ。その
様な脱着は、膜セル又はモジュールの端面を局部加熱す
ることによって、更に助長することができる。一般的に
、局部加熱には電気発熱体を用いることができる。もし
望むならば、膜の長さの約20%を局部加熱することが
できる。
【0007】もし望むならば、一般的に、膜配列それぞ
れが独自の容器に入っていて、他のものと平行な位置関
係にあって、その全ての膜配列が、共通の供給ガス導管
と共通の生成物ガス導管を有する多くの膜分離配列を置
くことができる。別法としては、あるいはそれに追加す
るものとしては、膜配列のそれぞれを一般的にそれ自体
の容器に入れ、お互いに系を成すようにして、2つ又は
それ以上の膜配列を配置することができる。その様な態
様においては、下流配列からのガスを上流配列に戻して
、装置の全性能を向上させることができる。例えば、下
流配列からの透過ガスを用いて、上流配列を含む容器か
らの透過ガスをパージすることができる。本発明装置の
任意の態様においては、生成物ガスのいくらかを供給ガ
スとして再循環させることもできる。その様な態様を用
いる場合は、装置の供給ガスと生成物ガス端面の逆転時
においても、再循環を続行させることを可能にする導管
とバルブの集成装置が存在する。
【0008】好ましくは該バルブ手段は、バルブの1つ
の口が供給ガス導管と連絡し、もう1つの口が生成物ガ
ス導管と連絡し、更にもう1つの口が該第1ガス口と連
絡し、そして残りの1つの口が該第2ガス口と連絡して
いる4つのガス口を有する1つの4方向バルブであり、
ある1つの位置に止まっている時には、供給ガス導管は
第1ガス口とのみ連絡して、生成物ガス導管は第2ガス
口とのみ連絡し、他の位置に止まっている時には、供給
ガス導管は第2ガス口とのみ連絡し、生成物ガス導管は
第1ガス口とのみ連絡するような位置間を可動するバル
ブ部材を含む。別の態様においては、2つの3方向バル
ブを用いることができる。その内の1つのバルブがある
1つの位置に止まっている時には、供給ガス導管は該第
1ガス口と連絡し、もう一方のバルブがある1つの位置
に止まっている時には、第2ガス口は生成物ガス導管と
連絡する。それらのバルブが他の位置に止まっている場
合は、これらの機能は逆になる。その様なバルブは、手
動または自動的に作動させることができるが、供給ガス
が膜の両端に決して供給されないように注意する必要が
ある。
【0009】バルブを作動させて、膜配列の供給ガス端
面と生成物ガス端面を逆にする頻度は、入って来る供給
ガス中の汚染物濃度に依存する。例えば空気を分離する
場合においては、膜配列の端面は、一般的にそれぞれ5
〜50日の規則的な間隔で逆転させることができる。バ
ルブを通っている通路の上流において、空気をろ過して
冷却しない場合には、更に規則的な逆転が必要である。
【0010】本発明装置を用いて空気またはその他のガ
ス混合物を分離することができる。本明細書における「
生成物ガス」という用語は、該ガスを後で工業的方法に
おいて用いるか、あるいはまた工業的方法において用い
る透過ガスを伴う単なる廃棄ガスかどうかに関係なく、
分離の結果として製造される非透過ガスを表すために用
いている。
【0011】本明細書における「半透膜」という用語は
、膜を通る時のガス混合物中の異なる成分の拡散速度の
違いを利用し、膜を用いてガス混合物を分離することが
できるということを表している。
【0012】これから、添付の図面に関する実例として
、本発明装置を記述する:図1は、本発明に従う膜分離
装置の第1番目の態様を説明する流れ図であり、図2は
、本発明に従う膜ガス分離装置の第2番目の態様を説明
する流れ図である。
【0013】図1参照。空気圧縮機2は、上流から下流
末端まで、即ち水、オイル、及び粒子を除去するための
目の粗いフィルター6、空気冷却機8、活性炭フィルタ
ー9、及び圧力調整器10に沿って連続的に配置してあ
る供給ガス導管4に任意の圧力で、一般的には2〜10
バールの圧力で空気を提供する。供給ガス導管4は、4
つの口を有し、2つの位置を採るバルブ12のところで
終わる。バルブ12の残りの3つの口は、空気を分離し
て窒素生成物を製造することができる一般的に中空繊維
の形状をした半透膜の配列を含む膜ガス分離セル(また
は容器)14の第1ガス口16;セル14の第2ガス口
20;及びその中に圧力調整器24を有する生成物ガス
(窒素)導管22とそれぞれ接続している。バルブを回
転させて採る位置の内の1つでは、バルブ12は、供給
ガス(空気)導管4と第1ガス口16を連絡させ、生成
物ガス導管22と第2ガス口を連絡させる。もう一方の
位置においては、供給ガス導管4をガス口20と連絡さ
せ、ガス口16を生成物ガス導管22と連絡させて、バ
ルブ12はその繋がりを逆転させる。セル14は又、透
過ガスをセル14から連続的に流出させることができる
ように、膜繊維の透過側(内側)と連絡する出口26を
有する。本図には示されていないが、供給ガスが繊維の
中を流れて、透過ガスが繊維の外側を流れて出口26と
連絡するように、繊維の内側がガス口16及び20と連
絡している逆の配置も又同様に好ましい。
【0014】運転時においては、バルブ12を第1の位
置に配することによって、圧縮機による任意の圧力で空
気を導管4に連続的に供給する。フィルター6を通過さ
せて空気をろ過してから、その空気を周囲温度未満まで
冷却する。得られた乾燥空気は、バルブ12によって、
セル14の第1ガス口16に供給する。空気はセル14
の中へと流れる。窒素以外の空気の成分は、膜の供給ガ
ス側よりも低圧(一般的に1バール)に維持されている
膜の透過側へ、窒素よりも速く膜を通って拡散する。窒
素に富む生成物ガスは、反対の端面にあるガス口20を
通ってセル14から出て行き、生成物ガス導管22へ連
続的に生成物ガスが流れる。次にその生成物ガスを集め
たり、そのガスを利用する装置に供給したりすることが
できる。図1に示す装置の運転が続くと、ガス口16に
最も近い末端にある膜配列18上に汚染物が蓄積する傾
向がある。従って、任意の期間の後、即ち10日後に、
供給ガス導管4からの空気をセル14のガス口20に供
給して、該空気が生成物ガス導管22と連絡するガス口
16へ向かって膜に沿って流れるように、バルブ12を
他の位置に切り変える。それによって、ガス口16に最
も近い膜の汚染部分は、比較的純粋な生成物ガスによっ
てフラッシュされ、その結果として不純物は、ガス口1
6に最も近い膜配列18の末端から脱着されパージされ
る傾向が生じる。それと同時に、ガス口16に最も近い
膜配列18の末端にある膜表面上に供給ガス流中にある
汚染物が堆積する傾向が生じる。任意の時間の後、これ
らの不純物をセル14から脱着してパージできるように
、バルブ12の位置を再び変えることができる。
【0015】図2参照。図1に示した装置の対応部分と
同じ装置部分を図1と同様な参照番号によって示し、こ
こでは再び記述しない。図2に示す装置において、供給
ガス導管4の末端は、1つの端が3つのガス口を有して
いて2つの位置を彩るバルブ32の1つのガス口で終わ
っていて、もう1つの端がもう1つの3方向2位置のバ
ルブ34の1つのガス口のところで終わっている更なる
導管30になる。バルブ32の他の2つのガス口は、そ
れぞれ膜セル14のガス口16と生成物ガス導管22と
連絡している。バルブ34の他の2つのガス口は、それ
ぞれ膜セル14のガス口20と生成物ガス導管22と連
絡している。好ましくは、供給ガス導管4も生成物ガス
導管22も決して同時にセル14のガス口16と20と
連絡することがないようにバルブ32と34をインター
ロックする。従ってある1つの位置においては、バルブ
32は、ガス口16と連絡するが、ガス口16と生成物
ガス導管22との連絡を妨げるように供給ガス導管4を
配する。一方、それと対応する位置におけるバルブ34
は、ガス口20と生成物ガス導管22とを連絡するが、
ガス口20と供給ガス導管4との連絡を妨げる;そして
、もう一方の位置においては、バルブ32は、ガス口1
6と生成物ガス導管22とを連絡するが、供給ガス導管
4とガス口16との連絡を妨げる。一方、それと対応す
る位置におけるバルブ34は、ガス口20と供給ガス導
管4とを連絡するが、ガス口20と生成物ガス導管22
との連絡を妨げる。
【0016】運転時、バルブ32と34を上記の始めに
述べた位置にして、膜セル14のガス口16へバルブ3
2を経由して冷却空気を供給し、図1参照時に記述した
ように分離して、ガス口20を通ってセル14を出て行
く窒素生成物ガスを製造して、バルブ34を通して生成
物ガス導管22に送る。長期の運転の後、即ち10日の
後には、ガス口16に最も近い配列18末端の膜表面上
に汚染物が蓄積することがある。この場合、2つのバル
ブの位置を逆にして、入って来る冷却空気をバルブ34
を経由してガス口20へ供給し、ガス口16を経てセル
14から出して、バルブ32を通して生成物ガス導管2
2へ流す。従って、ガス口16はセル14の生成物ガス
端面になり、生成物ガス(窒素)は、逆にする前にセル
14末端のガス口16近くの膜表面上に堆積した汚染物
を脱着して、パージするのに役立つ。そして又10日経
ったら、セル14を通過する逆のガス流によってガス口
20に最も近い膜表面上に堆積した汚染物を脱着してパ
ージできるように、再びバルブ32と34の位置を変え
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従う膜分離装置の第1番目の態様を説
明する流れ図である。
【図2】本発明に従う膜ガス分離装置の第2番目の態様
を説明する流れ図である。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  膜の1つの側面のそれぞれが、反対側
    の第1及び第2ガス口と連絡しており、それによって1
    つの口からもう一方の口へ、膜のそれぞれの片側に沿っ
    て流れる供給ガス混合物は、膜を通り抜けるガス混合物
    成分の透過速度の違いを利用して分離することができ、
    それによって他方のガス口は該供給ガス混合物からの異
    なる組成の生成物ガスを受け取るように半透過性のガス
    分離膜の配列;分離させるガス混合物を装置の中に導入
    する供給ガス導管、その装置から離れる生成物ガスを運
    ぶための生成物ガス導管及び第2ガス口の上流に第1ガ
    ス口を配したり、又はその逆に第1ガス口の上流に第2
    ガス口を配したりすることができるバルブを含むガス分
    離装置。
  2. 【請求項2】  膜配列末端を加熱して、該末端からの
    不純物の脱着を促進する手段を含む請求項1記載の装置
  3. 【請求項3】  バルブ手段が、バルブの1つの口が供
    給ガス導管と連絡し、もう1つの口が生成物ガス導管と
    連絡し、更にもう1つの口が該第1ガス口と連絡し、そ
    して残りの1つの口が該第2ガス口と連絡している4つ
    のガス口を有する1つの4方向バルブ並びに1つの位置
    においては、供給ガス導管は第1ガス口とのみ連絡して
    、生成物ガス導管は第2ガス口とのみ連絡し、他の位置
    において、供給ガス導管は第2ガス口とのみ連絡し、生
    成物ガス導管は第1ガス口とのみ連絡するような位置間
    を可動するバルブ部材を含む請求項1または2記載の装
    置。
  4. 【請求項4】  バルブを手動または自動で作動させる
    ことができる請求項3記載の装置。
  5. 【請求項5】  バルブ手段が、1つのバルブがある1
    つの位置に止まっている時には供給ガス導管は該第1ガ
    ス口と連絡し、もう一方のバルブがある1つの位置に止
    まっている時には第2ガス口は生成物ガス導管と連絡し
    、それらのバルブが他の位置に止まっている時にはこれ
    らの機能が逆になる2つの3方向バルブを含む請求項1
    または2記載の装置。
JP3004523A 1990-01-19 1991-01-18 ガス分離装置 Pending JPH04215817A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB9001226:1 1990-01-19
GB909001226A GB9001226D0 (en) 1990-01-19 1990-01-19 Gas seperation apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04215817A true JPH04215817A (ja) 1992-08-06

Family

ID=10669562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3004523A Pending JPH04215817A (ja) 1990-01-19 1991-01-18 ガス分離装置

Country Status (11)

Country Link
US (1) US5125937A (ja)
EP (1) EP0438214B1 (ja)
JP (1) JPH04215817A (ja)
KR (1) KR0159944B1 (ja)
AT (1) ATE112506T1 (ja)
AU (1) AU629721B2 (ja)
CA (1) CA2034598A1 (ja)
DE (1) DE69104384T2 (ja)
GB (1) GB9001226D0 (ja)
MY (1) MY107853A (ja)
ZA (1) ZA9124B (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5284506A (en) * 1992-08-26 1994-02-08 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Fast response high purity membrane nitrogen generator
US5302189A (en) * 1992-08-26 1994-04-12 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Membrane nitrogen gas generator with improved flexibility
GB2274253B (en) * 1993-01-14 1997-04-16 Boc Group Plc Gas separation apparatus
US5383956A (en) * 1993-10-12 1995-01-24 Praxair Technology, Inc. Start-up and shut down processes for membrane systems and membrane systems useful for the same
WO1996023541A1 (fr) * 1995-02-03 1996-08-08 Meditep Ag Procede de fabrication d'un melange gazeux pour entrainement hypoxyque a intervales reguliers, et appareil de mise en oeuvre de ce procede
US5611845A (en) * 1995-08-22 1997-03-18 Undersea Breathing Systems, Inc. Oxygen enriched air generation system
DE19645764C2 (de) * 1996-11-06 1998-12-03 Huf Hans Joachim Dr System zur Luftversorgung von Druckkabinen bei Fluggeräten
US5928409A (en) * 1997-11-12 1999-07-27 New Jersey Institute Of Technology Method and apparatus for gas removal by cyclic flow swing membrane permeation
US6881242B2 (en) * 2003-01-13 2005-04-19 Ati Properties, Inc. Hydrogen reclamation apparatus and method
US20070174993A1 (en) * 2006-02-02 2007-08-02 Dever Kerry L Filter cleaning system for floor cleaning apparatus
US9592171B2 (en) 2011-08-25 2017-03-14 Undersea Breathing Systems, Inc. Hyperbaric chamber system and related methods
US9044703B2 (en) * 2012-02-22 2015-06-02 Imtex Membranes Corp. Unsteady-state gas permeation process
CN115253708A (zh) * 2021-04-29 2022-11-01 天津膜天膜科技股份有限公司 集成反洗功能的一体化中空纤维膜组件

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB860752A (en) * 1943-01-20 1961-02-08 Atomic Energy Authority Uk Improvements in or relating to the separation of gaseous and vaporous media
US3252272A (en) * 1962-01-11 1966-05-24 Kerr Mc Gee Oil Ind Inc Apparatus for separating materials
DE1949059A1 (de) * 1969-09-29 1971-04-01 Mull Werner Dr Ing Verfahren und Vorrichtung zum Filtrieren von Fluessigkeiten und Gasen
US3818679A (en) * 1971-04-19 1974-06-25 Inst Gas Technology Separation of gaseous mixtures under non-steady state conditions
US3797200A (en) * 1973-02-12 1974-03-19 Northern Natural Gas Co Separation of methane and nitrogen mixtures under non-steadystate conditions
JPS5263178A (en) * 1975-11-17 1977-05-25 Toshiba Corp Gas separation unit
JPS5266879A (en) * 1975-12-02 1977-06-02 Toshiba Corp Equipment for separation of gas
US4681602A (en) * 1984-12-24 1987-07-21 The Boeing Company Integrated system for generating inert gas and breathing gas on aircraft
US4676808A (en) * 1985-12-18 1987-06-30 Albany International Corp. Module for multistage gas separation
JPS62163708A (ja) * 1986-01-13 1987-07-20 Ebara Corp 中空糸フイルタの逆洗方法
JPH084725B2 (ja) * 1987-06-29 1996-01-24 栗田工業株式会社 膜分離装置
JPH0824815B2 (ja) * 1987-08-21 1996-03-13 住友精化株式会社 ガスの分離方法
US4881953A (en) * 1988-09-15 1989-11-21 Union Carbide Corporation Prevention of membrane degradation
GB8830107D0 (en) * 1988-12-23 1989-02-22 Boc Group Plc Gas separation
US4944776A (en) * 1989-10-05 1990-07-31 Andrew Corporation Dehumidifier for waveguide system

Also Published As

Publication number Publication date
GB9001226D0 (en) 1990-03-21
CA2034598A1 (en) 1991-07-20
KR0159944B1 (ko) 1998-11-16
DE69104384D1 (de) 1994-11-10
ATE112506T1 (de) 1994-10-15
EP0438214B1 (en) 1994-10-05
EP0438214A3 (en) 1992-09-02
AU6845790A (en) 1991-07-25
KR910014143A (ko) 1991-08-31
MY107853A (en) 1996-06-29
EP0438214A2 (en) 1991-07-24
ZA9124B (en) 1991-10-30
US5125937A (en) 1992-06-30
DE69104384T2 (de) 1995-02-09
AU629721B2 (en) 1992-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0397192B1 (en) Dry, high purity nitrogen production process and apparatus
KR960004608B1 (ko) 저온 공기 분리 장치를 위한 혼성 전처리 정제기
EP0702995B1 (en) Membrane gas separation
US4857082A (en) Membrane unit turn-down control system
JPH04215817A (ja) ガス分離装置
US5205842A (en) Two stage membrane dryer
US6190436B1 (en) Ozone purification process
EP0430304B1 (en) Separation of gas mixtures
JP2000327309A (ja) オゾンの精製法
JPH05301703A (ja) 現地プラントからの窒素の供給方法
EP0695574B1 (en) Gas separation with fractional purge for pre- or post-purification
US5043067A (en) Cross-flow permeator
JP2002035530A (ja) ガス分離膜の運転方法
JPS61127609A (ja) He精製装置
JP2022113214A (ja) 気体分離システム及び気体の製造方法
RU2043124C1 (ru) Способ получения гипоксической и гипероксической смесей и установка для его осуществления
JPH09206541A (ja) 空気中の酸素とアルゴンとの分離方法及びそのための分離装置
KR200313178Y1 (ko) 산소발생장치
WO2022118849A1 (ja) 気体分離システム及び気体の製造方法
JPS6274433A (ja) ガスの分離方法
JPH04131118A (ja) 有機溶剤蒸気含有気体の連続処理方法
JPH0478414A (ja) 空気精製装置
JPH02135111A (ja) 高純度ガス精製方法および装置