JPH05301703A - 現地プラントからの窒素の供給方法 - Google Patents

現地プラントからの窒素の供給方法

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JPH05301703A
JPH05301703A JP4286217A JP28621792A JPH05301703A JP H05301703 A JPH05301703 A JP H05301703A JP 4286217 A JP4286217 A JP 4286217A JP 28621792 A JP28621792 A JP 28621792A JP H05301703 A JPH05301703 A JP H05301703A
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air
nitrogen
oxygen
supplying
plant
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JP4286217A
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Alain Combier
アラン・コムビエール
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Canadian Liquid Air Ltd
Original Assignee
Canadian Liquid Air Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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    • B01D53/229—Integrated processes (Diffusion and at least one other process, e.g. adsorption, absorption)
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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    • C01B21/04—Purification or separation of nitrogen
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 空気分離プラントにおいて必要ではない現地
プラントから窒素を供給する方法を提供することを目的
とする。 【構成】 器具空気手段に圧縮空気を供給する必要性に
対して過大なサイズの器具空気圧縮手段に空気流を供給
する工程、器具空気圧縮手段から窒素膜分離器に圧縮空
気流の少なくとも１部を供給し、それによって窒素生成
物流を提供する工程、及び膜から酸素に富む空気流をベ
ントする工程を具備することを特徴とする現地プラント
から窒素を供給する方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、現地プラントからの窒
素の供給方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】広範囲の産業プラントにおいて、現場で
窒素を製造することが有利である。例えば、不活性ガス
流によりガスシ−ルを行なうことが必要な化学プラント
及び鉄鋼プラント、又は化学駆動車又はタンクに窒素で
クッションを設けることが必要なパルプ及び製紙工場か
ら、現場で窒素流を製造することが有用である。大量の
窒素が必要なそれらのプラントでは、そのプラントから
遠く離れた窒素プラントにより供給される窒素パイプラ
インに、プラントを接続することが一般に安価である。
【０００３】要求がそれほど厳しくない場合には、顧客
は、通常、液体窒素またはバルク窒素で規則的に満たさ
れるタンクを持っている。この解決法は、僅かの量のガ
スが消費されるならば、しばしば安価である。例えば、
半導体産業のようなハイテクノロジ−の目的に対し、顧
客が必要とする純度がバルク製品の純度より低いか、又
はその逆にバルク製品の純度より高い場合もある。現在
のところ、そのゴ−ルに到達するための単純で安価な解
決法はない。
【０００４】これらに加え、ＰＳＡ酸素プラントのよう
な現場酸素プラントの場合、純度がある顧客と他の顧客
とで異なっているか、又は顧客の要求に応じてある場所
で純度が時間とともに変化する少量の窒素の要求があ
る。例えば、ある顧客は、制御可能な純度の窒素源又は
可変流量の窒素源、又はその両方を必要とする。
【０００５】顧客が、例えば１日につき約１５トン以上
のような大量の酸素を必要とするとき、酸素は通常、酸
素プラントにより現地で供給される。現在のところ、２
つの主要な工業的な酸素プラントが稼働している。第１
に、空気の液化及び蒸留に使用される冷凍プラントがあ
り、第２に、圧力スイング吸着（ＰＳＡ）、真空スイン
グ吸着（ＰＳＡ）、又はその組合せに基づく非冷凍プラ
ントがある。多くの古典的な酸素の用途に対しては、パ
−ジ、輸送、ガスシ−ル、処理、及び他の目的で、少量
の窒素もまた必要である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】新しい酸素冷凍プラン
トは、窒素流を製造するためにも設計されるが、余分の
窒素容量の追加は、特にそれが異なる純度の場合には、
有利な特徴である。しかし、現行の酸素冷凍プラント
は、しばしば窒素容量は極少ないか又は全くない。更
に、ＰＳＡ又はＶＳＡに基づく酸素プラントは、吸着プ
ロセスからの副窒素流の回収を許容しない。
【０００７】このように、一般に、それに対する要求を
有する産業プラントから窒素を供給する手段に対する要
求が存在し続ける。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、基本的に、そ
のような手段が提供されるならば、化学プラントや空気
分離プラントのような新しいプラントに設けられたコン
プレッサ−手段を大型化すること、及び追加の圧縮空気
を用いて窒素膜を供給し、現地での窒素生成物を提供し
てプラントの現地での窒素の必要（又は追加の現地での
必要）を満たすことにある。現行のコンプレッサ−手段
が設置され得る、又はコンプレッサ−手段が何らかの理
由で変更されることが必要である現行のプラントにおい
て、窒素膜を供給するために、追加の圧縮空気が使用さ
れる。本発明は、特に窒素の要求が異なる期間に異なる
流量及び／又は純度であるとき、プラントに少量の窒素
の必要性がある場合に、特に有用である。また、種々の
純度（例えばパイプラインにより提供された窒素に比較
して低純度）の窒素の追加の必要性があるとき、又は酸
素のパイプラインのみが存在し、少量の窒素が必要であ
り、純度が顧客ごとに異なっているか又は同じ顧客で異
なった期間ごとに異なっているとき、プラントが窒素及
び／又は酸素を提供するパイプラインに接続される場合
に、特に有用である。
【０００９】
【作用】本発明によると、現地プラント、例えばそれに
よって酸素が製造されるかどうかにかかわらず、酸素プ
ラントで経済的に窒素を精製する方法が提供される。
【００１０】
【実施例】本発明は、あるプラントが、ときどき少量の
窒素を規則的に必要とするという事実に基づいている。
その必要性は、達成されるのに安価であり、一方、同時
に装置を駆動するための圧縮空気を作るのに利用される
手段が既にある。その装置は、プラントのプロセスを実
施するために使用されるものである。例えば、プラント
は空気コンプレッサ−を具備する化学プラントである。
プラントはまた、空気コンプレッサ−を具備する空気分
離プラントであってもよい。しかし、たとえプラントが
空気コンプレッサ−を具備していても、使用される主要
なコンプレッサ−（又は器具コンプレッサ−）は、窒素
製造膜に供給するために過大なサイズとされている。
【００１１】プラント現場が既に窒素を製造している場
合（例えば冷凍空気分離プラント）、膜は、そのプラン
トにより製造された窒素とは異なる純度及び／又は圧力
の窒素を製造することが可能である。
【００１２】１つの態様によると、本発明は現地プラン
トから窒素を供給する方法を提供する。このプラント
は、コンプレッサ−手段と器具手段とを具備し、器具手
段の少なくとも幾つかは、コンプレッサ−手段からの圧
縮空気により供給され、前記プロセスは、以下の工程を
具備する。
【００１３】ａ）器具手段に圧縮空気を供給する必要性
に対して過大なサイズの前記コンプレッサ−手段に空気
流を供給する工程。
【００１４】ｂ）前記コンプレッサ−手段から窒素膜分
離器に圧縮空気流の少なくとも１部を供給し、それによ
って窒素生成物流を提供する工程。
【００１５】ｃ）膜から酸素に富む空気流をベントする
工程。
【００１６】上記プロセスにおいて付加的に、それをベ
ントする代わりに、酸素に富む空気を膜から回収しても
よい。
【００１７】更に、上記プロセスは、酸素に富む空気流
を窒素膜から他の膜に供給する工程を具備する。
【００１８】このプロセスによると、他の膜が窒素膜で
ある場合にも有利である。更に、コンプレッサ−手段が
器具空気コンプレッサ−であり、器具手段が現地プラン
トの制御に供された器具手段であることが好ましい。
【００１９】本発明の他の態様によると、少なくとも酸
素生成物を提供する現地空気分離プラントから窒素を供
給する方法が提供される。このプロセスは、以下の工程
を具備する。
【００２０】ａ）現地分離プラントに圧縮空気を供給す
る必要性に対して過大なサイズの前記コンプレッサ−手
段に空気流を供給する工程。
【００２１】ｂ）前記コンプレッサ−手段から窒素膜分
離器に圧縮空気流の少なくとも１部を供給し、それによ
って窒素生成物流を提供する工程。
【００２２】このプロセスによると、空気分離プラント
は窒素生成物をも提供し、膜からの窒素生成物流は空気
分離プラントにより提供されたものとは異なる純度及び
／又は圧力を有する。
【００２３】更に他の態様によると、本発明は、現地酸
素プラントから窒素を供給するプロセスを提供する。こ
の酸素プラントは、空気のような酸素を含むガス混合物
から酸素を分離するための分離プラント、器具空気コン
プレッサ−からの圧縮空気により作動されるバルブのよ
うな器具手段を具備する。このプロセスは、以下の工程
を具備する。
【００２４】ａ）前記器具手段を作動させる圧縮空気の
必要性に対して過大なサイズの器具コンプレッサ−手段
に空気流を供給する工程。
【００２５】ｂ）前記コンプレッサ−手段から窒素膜分
離器に圧縮空気流の少なくとも１部を供給し、それによ
って窒素生成物流を提供する工程。
【００２６】これらのプロセスのいずれかによると、酸
素に富む空気流は、それをベントする代わりに膜から回
収されてもよい。
【００２７】付加的に、本発明は更に、窒素膜からの空
気流を他の膜に供給する工程を具備する。
【００２８】更に、他の膜が窒素膜ならば有利であり、
コンプレッサ−手段が器具空気コンプレッサ−であり、
器具手段が現地プラント制御に供される器具手段ならば
好ましい。
【００２９】しかし、本発明のプロセスのいずれかにお
いて、窒素生成物が膜分離器から脱酸ユニット又はゲッ
タ−システムのような酸素除去手段を通し、高純度窒素
を放出する追加の工程を使用し得る。
【００３０】本プロセスのいずれかによると、現地プラ
ントが冷凍空気分離ユニット、圧力スイング吸着ユニッ
ト、真空スイング吸着ユニット、又はその任意の組合せ
であるのが好ましい。
【００３１】窒素ガスに富む排ガスを、そこから空気器
具コンプレッサ−の吸気口に更に注入ために、圧力スイ
ング吸着ユニット、真空スイング吸着ユニット、又はそ
の両方を使用するのが特に好ましい。更に、少なくとも
１つの膜分離器からの酸素に富む排ガス流を回収し、１
つ又はそれ以上のＶＳＡユニットの吸着器の入口に、そ
れを注入することが有利である。
【００３２】現地酸素プラントへの特定の適用のため、
本発明は、通常の冷凍ＰＳＡ、又はＶＳＡプロセスとの
組合せで実施されてもよい。
【００３３】例えば、典型的な冷凍プロセスでは、空気
はコンプレッサ−内で充分な圧力に圧縮される。主要な
交換器は、流出生成物流を予備冷却し、凝縮及び固化に
より二酸化炭素及び湿分を取り出す。膨脹器は、プロセ
ス冷凍を提供し、一方、高圧及び低圧カラムは酸素及び
窒素の主要な成分を分離し、アルゴンを濃縮する。
【００３４】空気が主交換器で冷却されるに従って、二
酸化炭素及び湿分は凝縮及び固化される。規則的な間隔
で、空気通路及び排窒素ベント通路は、空気が清浄な通
路を流れるようにスイッチされ、二酸化炭素及び湿分の
堆積物を付着し始める。同時に、戻ってくる排窒素は析
出した水及び二酸化炭素を再気化し、それによって次の
スイッチのため通路が清浄化される。或いは、再生吸着
プロセスにより、空気は二酸化炭素及び湿分から純化さ
れる。
【００３５】ダブル蒸留塔は、酸素と窒素を有効に分離
し、空気からの成分の高回収を与える。
【００３６】例えば、ＥＰ−Ａ−０８１１７８には、ガ
スタ−ビンにより駆動される空気コンプレッサ−により
空気が供給される単一の圧力蒸留塔が開示されている。
このガスタ−ビンには、排窒素を含む酸素の燃料ガスに
よる燃焼から生ずる加圧されたガスが供給される。
【００３７】それぞれＶＳＡ及び／又はＰＳＡプロセス
として知られている圧力スイング吸着及び／又は真空ス
イング吸着のような吸着に基づくプロセスは、吸着材に
対しより高い親和性を有する粗混合ガスのガス含有量
が、吸着工程における吸着材の表面に保持され、より弱
く吸着された成分が吸着材で満たされた吸着器で放出さ
れるという手順に基づいている。
【００３８】ＰＳＡでは、吸着された相の脱着は、吸着
工程後の圧力を減少させることによって、通常弱く吸着
されたガスで吸着材を清浄することにより、特に１バ−
ル以上の圧力下で達成される。しかし、脱着圧力は、真
空ポンプにより１バ−ル未満の圧力に減少され、吸着材
は弱く吸着されたガスで洗浄される。そのような真空脱
着を用いるプロセスは、ＶＳＡプロセスである。
【００３９】例えば、酸素からの窒素及び空気不純物の
ゼオライトへの示差吸着を利用した典型的な圧力スイン
グ吸着プロセスでは、多段床系の第１のユニットが加圧
され、そのそれぞれは２つの層を含み、その第１は水及
び二酸化炭素を除去し、第２は流れる空気から窒素を吸
着する。次いで、酸素生成物を必要に応じて生成物コン
プレッサ−を通す。操作サイクル及び条件に応じて、生
成物は９５体積％までの酸素であり、残りはアルゴン及
び窒素である。典型的なＰＳＡプロセスは、米国特許第
３，８６６，４２８号に開示されている。
【００４０】典型的なＶＳＡプロセスは米国特許第３，
４９３，２９６号、第４，６８４，３７７号、及び第
５，０１５，２７１号に開示されている。
【００４１】米国特許第５，０１５，２７１号は、３−
吸着器ＶＳＡシステムよりも少し高いエネルギ−消費を
必要とする２−吸着器ＶＳＡシステムを開示しているに
過ぎずないが、それは少数のバルブ及び吸着器のために
プラント投下資本の点でより好ましい。開示されたプロ
セスは、粗ガスの供給と被吸着物の脱着が分離プロセス
中のどの時にも停止しないように、そして粗ガスの分離
が、最大吸着圧に達したときの減圧下で部分的に生ずる
ように、２つの吸着器が交互に操作される。
【００４２】本発明によると、そして特に何らかの冷
凍、ＰＳＡ及び／又はＶＳＡプロセスを使用する場合、
プラントの要求に対し大型の器具空気コンプレッサ−が
使用される。しかし、コンプレッサ−は、様々な方法で
空気分離系の他の要素に接続され得る。
【００４３】例えば、膜分離器は、空気乾燥器前の器具
空気コンプレッサ−に接続されてもよい。そのような場
合、外の用途用窒素のみが膜分離器により供給され、Ｐ
ＳＡ又はＶＳＡの操作に必要な乾燥器具空気が、器具空
気乾燥器から供給されるであろう。
【００４４】他の例として、膜分離器は、そのような系
からの空気の精製から利益を得るために、器具空気乾燥
器の後に接続され得る。しかし、前に説明した配置にお
けるように、外の用途用窒素のみが膜分離器から供給さ
れるであろう。
【００４５】更に、器具空気乾燥器は、除かれ、膜分離
器と置換されてもよい。この分離器は、外の用途用窒素
及び器具ガス流の要求を供給するような大きさとされ
る。このガス流は、そのとき空気ではなく、膜分離器か
らの乾燥窒素流である。
【００４６】更に、本発明によると、膜分離器が幾つか
の束により作られているので、全システムのコストの最
大効率を確保するために、外の用途及び／又は器具ガス
要求のための様々の純度及び圧力で窒素を供給する２つ
又はそれ以上の束の列の形に配列され得る。例えば、外
の用途は、９９％の窒素純度であるが、器具ガスの純度
は９０％である。所定の透過面積の膜系からの窒素ガス
の純度が取り入れ空気の流量の関数なので、このこと
は、束からの少ないファイバ−が、９９％の純度の窒素
を作るよりも、同じ流量で９０％の純度の窒素を作るこ
とが必要であることを意味する。いずれの列も同じ透過
面積を有しているということは、９０％の窒素よりも９
９％の窒素が少なく製造されることを意味し、それらが
異なる透過面積を有しているということは、両方につい
て同一の流量を含む、それぞれの流量が適用され得るこ
とを意味する。
【００４７】１つの膜又は一緒に配置された幾つかの膜
を用いる様々な可能性に関しては、１９９１年６月３日
及び１９９１年７月２日に出願された米国出願番号第０
７／７０９，２２６号及び０７／７２５，７７３号が参
照される。
【００４８】しかし、本発明は、大型化されたコンプレ
ッサ−を具備する要素の配列を用いて、冷凍、ＰＳＡ、
又はＶＳＡプロセスとともに実施され得る。
【００４９】上記実施例に加え、様々の他の変形例も使
用可能である。
【００５０】例えば、高純度窒素流を製造するために、
脱酸又はゲッタ−ユニットのような精製ユニットを膜分
離器の下流に設置してもよい。脱酸ユニットは、通常、
窒素ガス中に存在する酸素との接触燃焼を有するように
水素が提供されるユニットである。ゲッタ−ユニット
は、周知の条件の下で酸素と反応する強い還元剤である
シランガスＳｉＨ4 を少量用いて、同じ脱酸機能を有す
る。
【００５１】加えて、膜ユニットは、天候からの保護及
び保守のために、冷凍、ＰＳＡ、及び／又はＶＳＡとし
て、同じ建物内に設置され得る。
【００５２】更に、膜ユニットは、冷凍、ＰＳＡ、及び
／又はＶＳＡの支持台として、同じコンピュ−タ−、プ
ログラマブルロジックコントロ−ラ−又はコントロ−ル
により操作され得る。
【００５３】更に、器具空気取り入口とＰＳＡ、及び／
又はＶＳＡの排ガスが接続され得る。このことは、スト
レ−トの空気の代わりに、既に窒素に富むガスを膜分離
器への供給を許容する。充分な凝縮物を有する中間バッ
ファ−タンクが必要である。
【００５４】また、膜分離器からの酸素に富む排ガス流
が回収され、ＰＳＡ空気コンプレッサ−又はＶＳＡ空気
ブロアの上流又は下流のいずれかにある、ＰＳＡ及び／
又はＶＳＡ吸着器の入り口に注入される。
【００５５】本発明を更に例示するために、図１ないし
４を参照して説明する。
【００５６】図１は、従来技術による酸素プラントの基
本的特徴を示す。酸素生成物を製造する分離プラント
は、既に説明した（ＰＳＡ、ＶＳＡ、冷凍、等の）任意
の型とすることが出来、バルブ、アクチュエ−タ−等で
ある器具手段により制御される。それらの器具は、それ
らを動作させるために圧縮空気（又はガス）を必要とす
る空気圧制御手段である。このようにプラントは、例え
ばプレフィルタ−、器具空気乾燥器、及びアフタ−フィ
ルタ−を通して器具手段に供給する器具空気コンプレッ
サ−を具備する。器具空気コンプレッサ−は、器具手段
の圧縮空気の必要に応じた大きさである。
【００５７】図２は、酸素プラントの場合の本発明の一
態様を示す。酸素プラントは、基本的に図１のそれと同
一（プレフィルタ−、乾燥器、アフタ−フィルタ−は示
されていないが）である。しかし、器具空気コンプレッ
サ−は、図１のそれに比較して大型であり、この大型の
コンプレッサ−は、通常、ポリアミド、ポリイミド、ポ
リスルファン等からなる中空ファイバ−の束からなる窒
素膜系に空気を供給可能である。この束は密封ケ−ス内
に位置しており、圧縮空気はファイバ−の外側に供給
し、酸素は中空ファイバ−のの壁を透過し（透過ガ
ス）、窒素は透過しない（非透過ガス）。優れた純度を
有する窒素であり得る非透過ガスは、ユ−ザ−に送られ
る生成物として回収され、一方（空気に比較して）酸素
に富むガスである透過ガスは、ベントされ（排ガス）る
か又は回収され、副生成物として使用される。
【００５８】図３は、膜に供給される圧縮空気が精製器
の出口で取られ、ある程度の湿分を含み得ること、又は
すなわち（湿った空気は膜に有害であるので）膜にとっ
て良好である乾燥空気が必要な場合には、、乾燥及び他
の濾過後であることを除いて、図２と同様である。
【００５９】図４は、器具手段が膜システムからの圧縮
窒素により動作する場合を示す。プレフィルタ−に通し
た後、圧縮空気は膜に送られ、窒素生成物はユ−ザ−に
使用され、濾過後に器具手段を作動させる。任意ではあ
るが、酸素に富むガスは回収され、空気分離プラント、
特にシステムの全収率を改善するＰＳＡ／ＶＳＡ酸素ユ
ニットの場合に、分離プラントに供給される。
【００６０】図２ないし４において、膜システムの温度
及び／又は圧力制御は、１９９１年６月３日に出願され
た米国特許出願第０７／７０９，２２６号に従って制御
される。この出願に係る技術は、ある場合には、エレク
トロニクスで必要とするような高純度窒素を許容し得る
流量で発生させる。
【００６１】更に、それぞれの図の装置において、膜分
離器は、１９９１年７月２日に出願された米国特許出願
第０７／７２５，７７３号に記載されたカスケ−ドシス
テムとしてもよい。しかし、器具手段のための低純度、
及びユ−ザ−のための高純度のような異なる窒素純度を
提供する任意の型の膜カスケ−ドを使用し得る。
【００６２】更に、窒素生成物を製造するために膜を使
用することが好ましいが、膜の代わりに窒素ＰＳＡを使
用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】 従来技術による酸素プラント及びそれに関連
する器具空気圧縮器及び制御手段を示す図。
【図２】 冷凍、ＰＳＡ及び／又はＶＳＡ酸素プラント
に使用される器具空気圧縮器を有する酸素プラントに基
づく本発明の基本的態様を示す図。
【図３】 圧縮空気との接続が破線で示す乾燥前又は後
である、酸素プラントに基づく本発明の他の態様を示す
図。
【図４】 外の窒素用途及び器具ガス流の必要を供給す
るするようなサイズである、乾燥器が除かれ、膜分離器
により置換された本発明の更に他の態様を示す図。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０１Ｂ 13/02 Ａ 7305−4Ｇ Ｆ２５Ｊ 3/04 Ｚ 8925−4Ｄ (72)発明者 アラン・コムビエール カナダ国、エイチ３ワイ・２アール３、ウ エストマウント（ピー・キュー）、ビクト リア・アベニュー 441

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも酸素を生成物として提供する
    現地空気分離プラントから窒素を供給する方法であっ
    て、この空気分離プラントは、窒素から酸素を分離し、
    少なくとも酸素を生成物として製造する空気分離手段に
    空気を供給する手段と、圧縮空気により作動し、空気の
    分離が生ずる間の少なくともある期間、プラントを操作
    及び／又は制御するように提供された器具空気手段と、
    空気を圧縮して圧縮空気を発生させ、これを前記器具空
    気手段に送り、プラントを操作及び／又は制御する器具
    空気圧縮手段とを具備し、 ａ）前記器具空気手段に圧縮空気を供給する必要性に対
    して過大なサイズの前記器具空気圧縮手段に空気流を供
    給する工程、 ｂ）前記器具空気圧縮手段から窒素膜分離器に圧縮空気
    流の少なくとも１部を供給し、それによって窒素生成物
    流を提供する工程、及び ｃ）膜から酸素に富む空気流をベントする工程 を具備する現地空気分離プラントから窒素を供給する方
    法。
  2. 【請求項２】 前記膜分離器に供給する前に、前記圧縮
    手段から乾燥器及び／又はフィルタ−に圧縮空気流を供
    給する工程を更に具備する請求項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】 前記窒素膜分離器は、様々の純度及び圧
    力で窒素を供給する２つ又はそれ以上の束の列に配列さ
    れている請求項１又は２に記載の方法。
  4. 【請求項４】 前記膜分離器からの窒素生成物流を酸素
    除去手段に通し、７純度窒素を回収する工程を更に具備
    する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記酸素除去手段は脱酸又はゲッタ−ユ
    ニットである請求項４に記載の方法。
  6. 【請求項６】 前記現地プラントは、冷凍空気分離ユニ
    ットである請求項１ないし５のいずれか１項に記載の方
    法。
  7. 【請求項７】 前記現地プラントは、圧力スイング吸着
    ユニット又は真空スイング吸着ユニット又はその両方で
    ある請求項１ないし６のいずれか１項に記載の方法。
  8. 【請求項８】 前記圧力スイング吸着ユニット又は真空
    スイング吸着ユニット又はその両方からの窒素に富む排
    ガスを空気器具圧縮器の取り入れ口に注入する工程を更
    に具備する請求項７に記載の方法。
  9. 【請求項９】 少なくとも１つの膜分離器から酸素に富
    む排ガス流を回収し、ＰＳＡ及び／又はＶＳＡユニット
    の１つ又はそれ以上の吸着器の入口に注入する工程を更
    に具備する請求項１又は８に記載の方法。
  10. 【請求項１０】 ベントする代わりに、膜から酸素に富
    む空気流を回収する工程を更に具備する請求項１ないし
    ９のいずれか１項に記載の方法。
  11. 【請求項１１】 ベントする代わりに、窒素膜から酸素
    に富む空気流を他の膜に供給する工程を更に具備する請
    求項１ないし１０のいずれか１項に記載の方法。
  12. 【請求項１２】 前記他の膜は、窒素膜である請求項１
    に記載の方法。
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