JPH04214174A - ハイブリッド型アルゴン塔による極低温精留方法及び装置 - Google Patents

ハイブリッド型アルゴン塔による極低温精留方法及び装置

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JPH04214174A
JPH04214174A JP3020387A JP2038791A JPH04214174A JP H04214174 A JPH04214174 A JP H04214174A JP 3020387 A JP3020387 A JP 3020387A JP 2038791 A JP2038791 A JP 2038791A JP H04214174 A JPH04214174 A JP H04214174A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、酸素、窒素及びアルゴ
ンを含む供給物を酸素富化成分、窒素富化成分及びアル
ゴン富化成分に分離する極低温精留方法及び装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】例えば空気のような酸素、窒素及びアル
ゴンを含む混合物の分離に多く使用される工業システム
は極低温精留である。分離は、供給物圧力を高めること
により推進され、これは塔システムに導入される前に圧
縮機において供給物を圧縮することにより一般に達成さ
れる。分離は、単一或いは複数の塔において気−液接触
要素において向流接触状態で液体及び気体を通すことに
より実施され、それにより一層揮発性の、単数或いは複
数の成分が液体から蒸気に通入し、他方揮発性の低い単
数或いは複数の成分は蒸気から液体に通入する。蒸気が
塔を上昇するにつれ、蒸気は次第に揮発性成分で富化さ
れ、他方液体が塔を流下するにつれ液体は次第に低揮発
性成分で富化されるようになる。一般に、極低温分離は
、供給物を窒素富化成分と酸素富化成分に分離する少な
くとも一つの塔を含む主塔システムおいてそして主塔シ
ステムからの供給物をアルゴン富化成分と酸素富化成分
とに分離する補助アルゴン塔において実施される。
【0003】供給物圧縮機を運転しそしてそれにより分
離を推進するための動力コストが主たる分離のための運
転コストである。システム内での圧力降下が、供給物の
圧縮の負担を大きくし、増大せる供給物圧縮所要量をも
たらす。可能な限り低い圧力降下でもって極低温精留シ
ステムを運転し、それにより供給物圧縮負担を軽減する
ことが所望される。更に、使用される塔内の圧力水準が
低い程、成分間の相対揮発度は大きくなる。塔内での成
分間の揮発度が大きい程、分離は容易となり、これは結
局アルゴン、酸素及び窒素生成物回収量を増大する。従
来のアルゴン塔は、圧力降下の少ない充填物を全体に充
填して運転されていた。
【0004】アルゴン塔の運転において、比較的高いア
ルゴン濃度を有する蒸気流れが主塔システムから回収さ
れそしてアルゴン塔内に通入されそしてそこを昇高し、
その間にアルゴン濃度が次第に富化される。粗アルゴン
生成物がアルゴン塔の上部から回収される。アルゴン塔
への供給物と粗アルゴン生成物との間での圧力勾配によ
り蒸気はアルゴン塔を昇高する。アルゴン塔供給物の圧
力は蒸気抜出し点での主塔条件により決定される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】低減された圧力でのア
ルゴン塔の運転は、どれほど低い運転圧力が弊害なく実
現されうるかに関して2つの制約を受ける。一つの制約
は、アルゴン塔の上端での大気圧より低い圧力はシステ
ム内への空気の漏入を回避するために回避されるべきこ
とである。もう一つの制約は、アルゴン塔の上部凝縮器
に対する温度差と関与する。アルゴン塔上部での圧力の
低減はまた低温度をもたらし、従ってアルゴン凝縮器に
おいて凝縮しているアルゴンと沸騰しているケトル液体
との間の温度差が減少せしめられる。凝縮器の有効な運
転には約0.7°Kの最小温度差は必要である。アルゴ
ン塔への供給圧力が弁の使用を通して低減されるとき、
主塔に戻して返送しなければならないアルゴン塔底部に
おける液体が返送点における主塔内の圧力よりもはや低
い圧力となる点で重大な欠点が生じる。従って、例えば
ポンプ加圧により或いはアルゴン塔の高さを増大するこ
とにより液体の再加圧が必要である。この再加圧は高い
コストを必要としそしてシステムの非効率化を生む。
【0006】従って、本発明の課題は、アルゴン塔をそ
こから主塔へと戻して通される液体の再加圧の必要なく
アルゴン塔を低減された平均圧力で運転することの出来
る酸素、窒素及びアルゴンを含む供給物を分離する極低
温分離方法を提供することである。
【0007】本発明のまた別の課題は、主塔システムと
補助アルゴン塔を備える極低温空気分離装置においてア
ルゴン塔をそこから主塔へと通される液体の圧力の増大
の必要なくアルゴン塔を低減された平均圧力で運転する
ことの出来る極低温分離装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者は、アルゴン塔
の構成を変更し、下方のトレー区画と上方の充填物区画
を併用する構成がこうした課題を解決するに適切である
ことを見出した。
【0009】本発明は、方法の様相において、(A)少
なくとも一つの精留塔を備える主塔システムに酸素、窒
素及びアルゴンを含む供給物を供給する段階と、 (B)主塔システム内においての向流気−液接触により
前記供給物を窒素富化成分と酸素富化成分とに分離する
段階と、 (C)前記主塔システムからのアルゴン及び酸素を含む
流体をアルゴン塔に通す段階と、 (D)該流体をアルゴン塔内での向流気−液接触により
アルゴン富化成分と酸素富化成分とに分離する段階と、
を包含し、その場合(E)前記アルゴン塔内での向流気
−液接触をアルゴン塔の下方部分におけるトレーを備え
る気−液接触要素においてそしてアルゴン塔の残部にお
ける充填物を備える気−液接触要素において実施する極
低温精留方法を提供する。
【0010】本発明は、装置の様相において、(A)気
液接触要素を有する少なくとも一つの精留塔を備える主
塔システム、 (B)下方部分においてトレーを備える気−液接触要素
をそして残部において充填物を備える気−液接触要素を
有するアルゴン塔、及び (C)前記主塔システムから前記アルゴン塔の下方部分
内へと流体を提供する手段を備える極低温分離装置を提
供する。
【0011】(用語の定義) ここで使用するものとしての用語「塔」は、蒸留或いは
分留を実施するためのカラム或いは帯域、即ち液体及び
気体相を向流で接触して流体混合物の分離をもたらす接
触カラム或いは帯域を意味し、これは例えばカラム内に
取付けられた一連の垂直方向に隔置されたトレー或いは
プレートにおいて或いはカラムに充填した充填物要素に
おいて蒸気及び液体相を接触することにより実施される
。蒸留塔のこれ以上の詳細については、マックグローヒ
ル・ブック・カンパニーにより出版された、R.H.P
erry等編「ケミカル・エンジニアズ・ハンドブック
」13−3頁、連続蒸留プロセスを参照されたい。また
、ここで使用するものとしての「複塔」とは、高圧塔と
低圧塔とからなり、高圧塔の上端を低圧塔の下端と熱交
換関係で接触せしめた塔を云う。複塔についての詳しい
論議は、オックスフォード・ユニバーシティ・プレス出
版(1949年)のルヘマン著「ザ・セパレーション・
オブ・ガスズ」VII章の「工業的空気分離」に掲載さ
れている。
【0012】ここで使用するものとしての「アルゴン塔
」とは、上方に流れる蒸気を降下する液体に対して向流
接触することによりアルゴンで漸次富化し、そしてアル
ゴン生成物を塔から回収する塔を云う。
【0013】「間接熱交換」とは、2種の流体流れを流
体同志の物理的接触或いは相互混合なく熱交換関係に持
ちきたすことを云う。「気−液接触要素」とは、2相の
向流流れ中気−液界面において物質移動即ち成分分離を
促進するために塔内部で使用される装備を云う。「トレ
ー」とは、開口並びに液体入口及び出口を備える実質上
平坦な板であり、蒸気が開口を通して流れるに際して液
体が板を横断して流れて2相間の物質移動を可能ならし
める塔内に配備される板を云う。「充填物(パッキング
)」とは、2相の向流流れ中気−液界面において物質移
動を可能ならしめるよう液体に対して表面積を提供する
べく塔内部詰め物として使用される所定の形態、寸法及
び形状を有する、任意の中実或いは中空体を云う。 「無秩序充填物」とは、個々の部材が互いに或いは塔軸
線に対してある特定の配向を有しないような充填物を云
う。「組織化された充填物」とは、個々の部材が互いに
或いは塔軸線に対してある特定の配向を有する充填物を
云う。「理論段(ステージ)」とは、流出する流れが平
衡状態であるように一つの段(ステージ)への上方に流
れる蒸気と下方に流れる液体との間での理想的な接触を
意味する。
【0014】
【作用】アルゴン塔の下方部分内のトレーは、上昇蒸気
と降下液体との間での物質移動をもたらす気−液接触手
段として機能するのみならず、アルゴン塔が一層低い平
均圧力水準において運転しうるようにアルゴン塔の入口
での圧力低減を生み出すための手段として働く。従って
、分離度の改善といった低い圧力による運転からの利益
のほとんどが実現され同時にまたアルゴン塔から主塔シ
ステムへの流体の返送をその加圧の必要なく可能ならし
める。
【0015】
【実施例】本発明方法及び装置を図面を参照して詳細に
説明する。第1図を参照すると、空気のような、酸素、
窒素及びアルゴンを含む供給物1は、フィルター2を通
すことによりダストその他の粒状物質を除去される。ろ
過された供給物(空気)3は、圧縮機4を通すことによ
り一般に70〜190psia範囲内の圧力にまで圧縮
される。圧縮された供給物(空気)5は、浄化器6を通
すことにより水、二酸化炭素及び炭化水素のような高沸
点不純物を除去される。浄化された圧縮供給物(空気)
7は、熱交換器8において塔からの生成物及び廃棄物流
れとの間接熱交換により液化温度近くにまで冷却される
。浄化され、圧縮されそして冷却された供給物(空気)
9はその後、複塔式である主塔システムの高圧塔である
第1塔10に導入される。本発明と共に使用出来る他の
主塔システムとしては単塔、並びに直列に配置された2
つ以上の塔が含まれる。塔10は一般に、60〜180
psiaの範囲内の圧力で運転される。供給物(空気)
のうちの少部分40は、熱交換器8の中間から抜出され
、タービン41において膨張せしめられそして後低圧塔
13内に窒素抜出し点よりは下であるが、アルゴン塔供
給物抜出し点より上の地点で導入される。これら抜出し
点については以下に詳述する。塔13は、ここでは、複
塔式主塔システムの低圧塔である。
【0016】塔10内で、供給物(空気)は、精留作用
により窒素富化蒸気と酸素富化液体とに分離される。窒
素富化蒸気11は、塔10から導管手段を通して好まし
くは第2塔13内に配置される主凝縮器12に通される
。主凝縮器12はまた塔13の壁の外側に物理的に配置
されうる。主凝縮器12内では、窒素富化蒸気11が再
沸する塔13の底液との間接熱交換により凝縮せしめら
れる。生成する窒素富化液体14は、導管手段を通して
、塔10に還流として通される。生成する窒素富化液体
の、一般に20〜50%の範囲内である一部は、塔13
にその頂部或いはその近くで通入される。
【0017】酸素富化液体16が、第1塔10から取出
されそして後アルゴン塔頂部凝縮器17内に通入され、
ここでアルゴン塔の塔頂蒸気との間接熱交換により部分
蒸発せしめられる。生成する蒸気及び液体は、塔13内
にそれぞれ流れ18及び42として窒素抜出し点より下
で且つアルゴン塔供給物抜出し点より上の地点で通入さ
れる。
【0018】第2塔13は、第1塔10より低い圧力で
そして一般に12〜45psiaの範囲内の圧力で運転
される。第2塔13内で、そこに導入された流体は、精
留作用により窒素富化成分と酸素富化成分とに分離され
、これらはそれぞれ窒素生成物及び酸素生成物として回
収されうる。酸素生成物は一般に約99%を超える純度
を有する気体及び/或いは液体として回収されうる。 気体酸素生成物は第2塔13から主凝縮器12上方の地
点において取り出され、流れ19として熱交換器8を通
されそして流れ20として回収される。一般に約99.
9%を超える純度を有する窒素生成物は、第2塔13の
頂部から流れ22として取り出され、熱交換器8を通さ
れそして流れ24として回収される。分離システムの運
転を容易ならしめる廃棄窒素流れ25もまた、第2塔か
ら取り出され、熱交換器8を通されそして流れ23とし
て排出される。流れ25は、第2塔13からそこに窒素
富化流れを導入する点より上の点で抜出される。
【0019】第1図は、塔10内の気−液接触要素がす
べてトレー44でありそして塔13内の気−液接触要素
がすべて充填物43であるような一つの好ましい配列構
成を例示する。塔10内の気−液接触要素はまたすべて
充填物でありうるしまたトレーと充填物の組合せであり
うる。塔13内の気−液接触要素もまた、すべてトレー
としてもよいし或いはトレーと充填物との組合せであっ
てもよい。塔13に対するそうした組合せ配列は、流れ
40の導入点と流れ25の抜出し点との間の塔部分をト
レーから構成し、そして気−液接触要素の残部を充填物
であるようにされうる。充填物は、無秩序或いは組織化
された充填物いずれでもよい。しかし、組織化された充
填物が無秩序充填物より好ましい。組織化充填物の例と
しては、米国特許第2,047,444号に記載される
ステッドマン(Stedman)充填物、Trans.
Instn.Chem.Engrs.,41,1963
に記載されたグッドロー(Goodloe)充填物並び
に米国特許第4,186,159及び4,296,05
0号に記載されるようなもっと最近になって開発され一
層効率よく組織づけられた充填物がある。
【0020】本発明の分離システムは更に、粗アルゴン
の産出を含んでいる。第1図に戻って、流れ26が塔1
3の中間点から抜出される。この地点で、アルゴン濃度
は塔内で一般に10〜20%の最大水準にあるか乃至は
それに近い。流れ26は、一般にそして好ましくは第1
図に例示されるような蒸気流れである。流れ26の残部
の大半は酸素からなり、同時に窒素が1%未満の濃度で
流れ26中に存在しうる。
【0021】流れ26は主塔システムから導管手段を通
してアルゴン塔27の下方部分に通される。アルゴン塔
は一般に12〜45psiaの範囲内の圧力で運転され
る。蒸気は、アルゴン塔27を上って流れそして降下液
体との向流流れによりアルゴンで次第に富化されるよう
になる。
【0022】アルゴン富化蒸気はアルゴン塔27から頂
部凝縮器17に通され、ここで部分蒸発している酸素富
化液体16との間接熱交換により部分凝縮せしめられる
。生成する部分凝縮アルゴン富化流体29は分離器30
に通される。アルゴン富化蒸気31は一般に96%を超
えるアルゴン濃度を有する粗アルゴン生成物として分離
器30から回収され、他方液体32は分離器30からア
ルゴン塔27内に降下流体として通される。アルゴン塔
27の底部に溜りそして流れ26の酸素濃度を超える酸
素濃度を有する液体は、第2塔13内に流れ33として
通される。アルゴン塔27を通しての蒸気の流れは流れ
26の圧力と流れ28の圧力との間の圧力差によりもた
らされる。
【0023】アルゴン塔27の内部の気−液接触要素は
、アルゴン塔の下方部分において少なくとも一つのトレ
ーを含む。本発明の一番広い具体例において、アルゴン
塔の下方部分は、アルゴン塔の高さの下方50%を構成
し、ここでは運転中接触する蒸気及び液体中のアルゴン
濃度は一般に75%以下である。本発明の好ましい具体
例において、アルゴン塔の下方部分は、アルゴン塔の高
さの下方25%を構成し、ここでは運転中接触する蒸気
及び液体中のアルゴン濃度は一般に50%以下である。 本発明のより好ましい具体例において、アルゴン塔の下
方部分は、アルゴン塔の高さの下方10%を構成し、こ
こでは運転中接触する蒸気及び液体中のアルゴン濃度は
一般に25%以下である。第1図に例示されるように、
アルゴン塔のこの下方部分においては、気−液接触要素
はすべてトレー45である。アルゴン濃度が一般に上に
指定した濃度を超えるアルゴン塔の残部における気−液
接触要素は充填物46を含んでいる。好ましくは充填物
は組織化された充填物である。
【0024】アルゴン塔の下方部分におけるトレーの数
は、ほぼ1〜5トレーの最小限からほぼ20〜30トレ
ーの最大限までの範囲でありうる。トレーの数は、理論
段当たりのトレー圧力降下、理論段当たりの充填物圧力
降下、上方塔頂端アルゴン塔への給送のために蒸気を抜
出す点との間で指定される理論段数、更にはアルゴン塔
内で指定される理論段数に依存する。使用されるトレー
の数はアルゴン塔の頂部における圧力が大気圧より低下
する程に多くてはならない。これは空気漏入によるアル
ゴン生成物の汚染の危険が存在するからである。トレー
の数は、アルゴン塔の上端における凝縮するアルゴン蒸
気の圧力従って温度がアルゴン凝縮器の有効な熱伝達性
能に対して低過ぎる程に多くすべきではない。代表的に
、アルゴン塔内の理論段数の約半分までがこうした問題
を起こさないトレーを構成する。すべて充填物で運転さ
れる塔の圧力より低い平均圧力でアルゴン塔の運転を可
能ならしめ、同時に流体が主塔からアルゴン塔への通入
のために抜出される点での主塔の圧力とほぼ同じ圧力に
アルゴン塔の底部の圧力を維持することを可能ならしめ
るに充分数のトレーが使用される。
【0025】主塔システムからアルゴン塔内に通入され
る流体が、気−液接触要素がトレーから構成されるアル
ゴン塔の下方部に通される、好ましくは第1図に例示さ
れるようにアルゴン塔への供給流れがそこにその底部か
ら導入されることが重要である。こうして、アルゴン塔
内の上向きに流れる蒸気流れはトレー付き区画を通過す
る間圧力降下を受け、よって塔の下方部において著しい
圧力勾配を確立する。アルゴン塔の上部区画での充填物
の使用は、塔の残部にわたっての圧力勾配を低減する。 アルゴン塔の底部でのトレーの使用により、アルゴン塔
の底での圧力は主塔システムからの入来流れの圧力とは
異なっておらず、従って第1図における流れ33のよう
なアルゴン塔からの液体はポンプ加圧或いは液体ヘッド
の追加のような加圧の必要なく主塔システムに戻すこと
が出来る。
【0026】アルゴン塔におけるトレーと充填物との組
合せ使用は、アルゴン塔の運転をアルゴン塔内をすべて
充填物として達成される圧力に比べて低い平均圧力水準
で可能ならしめる。従って、より低圧での酸素に対する
アルゴンの改善された相対揮発度からの有利さが、アル
ゴン塔の頂部或いは底部での運転上での問題を導入する
ことなく改善されたアルゴン分離及び回収を可能とする
【0027】任意の適当な型式のトレーが本発明におい
て使用しうる。その例としては、シーブトレー、バブル
キャップトレー、バルブトレー等を挙げることが出来る
。トレー当たり一層高い圧力降下を生じるトレーがここ
で述べたように好ましいが、本発明の利点は、アルゴン
塔内でもっと少ないトレーの使用でも得られる。例えば
、適当なトレーとして、少ない有効穴面積を持つシーブ
トレーを含むことが出来る。
【0028】
【発明の効果】第2図は、従来型式のアルゴン塔、バル
ブによるような供給圧力減少手段を有するアルゴン塔及
び本発明のハイブリッド(混成)アルゴン塔の圧力プロ
フィルを例示する。第2図を参照すると、線A−Bは、
アルゴン塔の高さ全体にわたってすべて充填物を配した
従来型式のアルゴン塔の圧力プロフィルを例示する。線
C−D−Eは、供給物の圧力を塔内への導入前に低減し
た、すべて充填物を配した従来型式のアルゴン塔の圧力
プロフィルを例示する。線A−D−Eは、本発明のハイ
ブリッド(混成)アルゴン塔の圧力プロフィルを例示す
る。図からわかるように、ハイブリッドアルゴン塔の頂
部における圧力は供給圧を低減した塔のそれと同じであ
る。しかし、ハイブリッドアルゴン塔の底部の圧力は、
供給圧を低減した塔の圧力を超える。従って、低い圧力
による利益のほとんどがハイブリッドアルゴン塔の使用
により実現され同時にまたアルゴン塔から主塔システム
への流体の返送をその加圧に必要なく可能ならしめる。
【0029】今や、本発明の方法及び装置の使用により
、改善されたアルゴン回収でもって極低温空気分離を実
施することが出来る。複塔システムにおいて、低圧塔の
気−液接触要素は実質上充填物から構成することが出来
、従ってこの塔を通しての圧力降下を減少しそして供給
物圧力要件を軽減することが出来る。更に、充填物はア
ルゴン塔においても使用されてアルゴン回収を向上する
。しかも、アルゴン塔の下方部分をトレーから成る気−
液接触要素とすることによりアルゴン塔内に所要の圧力
勾配が提供されて、アルゴン塔の頂部に大気圧より低い
圧力状態を惹起するすることなく適当な蒸気上昇流れを
可能ならしめ、同時にアルゴン塔の底部において追加加
圧の必要なくアルゴン塔から主塔システムへ戻して液体
を返送するに充分の圧力を維持する。
【0030】本発明方法及び装置において、アルゴン塔
の下方部分内のトレーは2つの機能を達成する。これら
トレーは、アルゴン塔が一層低い平均圧力水準において
運転しうるようにアルゴン塔の入口での圧力低減を生み
出すための手段として働く。同時に、それらは、アルゴ
ン塔内での上昇蒸気と降下液体との間での物質移動をも
たらす気−液接触手段として機能する。
【0031】本発明の具体例について詳しく説明したが
、当業者は本発明の範囲内で多くの改変を為しうること
が理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【図1】複塔式の主塔システムを有する、本発明の一具
体例の概略流れ図である。
【図2】3種のアルゴン塔の高さと圧力の関係を説明す
るグラフ的表示図である。
【符合の説明】
1  供給物 2  フィルター 4  圧縮機 6  浄化器 8  熱交換器 9  浄化され、圧縮されそして冷却された供給物10
  第1塔(高圧塔) 11  窒素富化蒸気 12  主凝縮器 13  第2塔(低圧塔) 14  窒素富化液体 16  酸素富化液体 17  アルゴン塔頂部凝縮器 18、42  生成する蒸気及び液体 20  酸素生成物 24  窒素生成物 25  廃棄窒素 26  アルゴン及び酸素を含む流体(粗アルゴン抜出
し流れ) 27  アルゴン塔 29  部分凝縮アルゴン富化流体 30  分離器 31  アルゴン富化蒸気生成物 32  液体 33  第2塔への流れ 45  トレー 46  充填物

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  極低温精留方法であって、(A)少な
    くとも一つの精留塔を備える主塔システムに酸素、窒素
    及びアルゴンを含む供給物を供給する段階と、 (B)主塔システム内においての向流気−液接触により
    前記供給物を窒素富化成分と酸素富化成分とに分離する
    段階と、 (C)前記主塔システムからのアルゴン及び酸素を含む
    流体をアルゴン塔に通す段階と、 (D)該流体をアルゴン塔内での向流気−液接触により
    アルゴン富化成分と酸素富化成分とに分離する段階と、
    を包含し、その場合(E)前記アルゴン塔内での向流気
    −液接触をアルゴン塔の下方部分におけるトレーを備え
    る気−液接触要素においてそしてアルゴン塔の残部にお
    ける充填物を備える気−液接触要素において実施するこ
    とを特徴とする極低温精留方法。
  2. 【請求項2】  アルゴン塔下方部分が接触している蒸
    気及び液体のアルゴン濃度が75%以下である部分から
    成る特許請求の範囲第1項記載の方法。
  3. 【請求項3】  アルゴン塔下方部分が接触している蒸
    気及び液体のアルゴン濃度が50%以下である部分から
    成る特許請求の範囲第1項記載の方法。
  4. 【請求項4】  アルゴン塔下方部分が接触している蒸
    気及び液体のアルゴン濃度が25%以下である部分から
    成る特許請求の範囲第1項記載の方法。
  5. 【請求項5】  アルゴン塔の下方部分における気−液
    接触要素がすべてトレーである特許請求の範囲第1項記
    載の方法。
  6. 【請求項6】  アルゴン塔の残部における気−液接触
    要素がすべて充填物である特許請求の範囲第1項記載の
    方法。
  7. 【請求項7】  充填物が組織化された充填物を含む特
    許請求の範囲第1項記載の方法。
  8. 【請求項8】  酸素富化成分がアルゴン塔から主塔シ
    ステムに通される特許請求の範囲第1項記載の方法。
  9. 【請求項9】  少なくとも96%のアルゴン濃度を有
    するアルゴン富化成分が回収される特許請求の範囲第1
    項記載の方法。
  10. 【請求項10】  主塔システムが高圧塔とそれと熱交
    換関係にある低圧塔を有する複塔である特許請求の範囲
    第1項記載の方法。
  11. 【請求項11】  低圧塔がすべて充填物である気−液
    接触要素を有する特許請求の範囲第10項記載の方法。
  12. 【請求項12】  低圧塔における充填物が組織化され
    た充填物を含む特許請求の範囲第11項記載の方法。
  13. 【請求項13】  高圧塔がすべてトレーである気−液
    接触要素を有する特許請求の範囲第10項記載の方法。
  14. 【請求項14】  生成物窒素として窒素富化成分を回
    収する段階を更に含む特許請求の範囲第1項記載の方法
  15. 【請求項15】  生成物酸素として酸素富化成分を回
    収する段階を更に含む特許請求の範囲第1項記載の方法
  16. 【請求項16】  極低温精留装置であって、(A)気
    液接触要素を有する少なくとも一つの精留塔を備える主
    塔システム、 (B)下方部分においてトレーを備える気−液接触要素
    をそして残部において充填物を備える気−液接触要素を
    有するアルゴン塔、及び (C)前記主塔システムから前記アルゴン塔の下方部分
    内へと流体を提供する手段を備える極低温精留装置。
  17. 【請求項17】  アルゴン塔下方部分がアルゴン塔の
    高さの下方50%を構成する特許請求の範囲第16項記
    載の装置。
  18. 【請求項18】  アルゴン塔下方部分がアルゴン塔の
    高さの下方25%を構成する特許請求の範囲第16項記
    載の装置。
  19. 【請求項19】  アルゴン塔下方部分がアルゴン塔の
    高さの下方10%を構成する特許請求の範囲第16項記
    載の装置。
  20. 【請求項20】  アルゴン塔の下方部分内の気−液接
    触要素がすべてトレーである特許請求の範囲第16項記
    載の装置。
  21. 【請求項21】  アルゴン塔の残部内の気−液接触要
    素がすべて充填物である特許請求の範囲第16項記載の
    装置。
  22. 【請求項22】  充填物が組織化された充填物を含む
    特許請求の範囲第16項記載の装置。
  23. 【請求項23】  アルゴン塔から主塔システムに流体
    を提供する手段を更に含む特許請求の範囲第16項記載
    の装置。
  24. 【請求項24】  主塔システムが高圧塔とそれと熱交
    換関係にある低圧塔を有する複塔である特許請求の範囲
    第16項記載の装置。
  25. 【請求項25】  低圧塔がすべて充填物である気−液
    接触要素を有する特許請求の範囲第24項記載の装置。
  26. 【請求項26】  低圧塔における充填物が組織化され
    た充填物を含む特許請求の範囲第25項記載の装置。
  27. 【請求項27】  高圧塔がすべてトレーである気−液
    接触要素を有する特許請求の範囲第24項記載の装置。
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