JPH04212710A - 磁気抵抗効果磁気ヘッド - Google Patents

磁気抵抗効果磁気ヘッド

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Publication number
JPH04212710A
JPH04212710A JP2556791A JP2556791A JPH04212710A JP H04212710 A JPH04212710 A JP H04212710A JP 2556791 A JP2556791 A JP 2556791A JP 2556791 A JP2556791 A JP 2556791A JP H04212710 A JPH04212710 A JP H04212710A
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JP
Japan
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magnetic
thin film
conductive layer
recording medium
electrode
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Application number
JP2556791A
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English (en)
Inventor
Takuji Shibata
柴田 拓二
Kenichiro Tsunewaki
常脇 謙一郎
Mamoru Sasaki
守 佐々木
Hideo Suyama
英夫 陶山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗効果磁気ヘッ
ドに関する。
【0002】
【従来の技術】各種の磁気ヘッド、例えばハードディス
ク・ドライブの磁気記録再生ヘッドの再生磁気ヘッドと
して、短波長感度に優れた磁気抵抗効果磁気ヘッド(以
下、MR磁気ヘッドと称する。)が用いられる方向にあ
る。
【0003】この磁気ヘッドにおいて浮上型構成をとる
場合、例えば図6に示すように、ハードディスク等の磁
気記録媒体51に対し、例えばこの磁気記録媒体51の
回転による相対的移行による空気流によって浮上するス
ライダ52が設けられ、これに磁気ヘッド53、例えば
インダクティブ型磁気ヘッドによる記録ヘッドと、MR
磁気ヘッドによる再生ヘッドとが一体に形成された複合
型の磁気ヘッドが配置される。なお、上記スライダ52
には、このスライダ52を支持する弾性部材よりなるジ
ンバル54が設けられる。
【0004】図7は、この複合型薄膜磁気ヘッド53の
一部を断面とした拡大斜視図である。この複合型薄膜磁
気ヘッド53においては、上述したスライダ52自体、
或いはこれに取付けられる基板等よりなる基体55上に
、磁気記録媒体51との対接ないしは対向面、すなわち
ABS(エア・ベアリング・サーフェス)面56に臨ん
でその前方端部間に磁気ギャップgを形成する第1及び
第2の薄膜磁気コア57,58が積層されてなる。そし
て、上記磁気ギャップg内に少なくとも磁気抵抗効果薄
膜(以下、MR薄膜と称する。)よりなる磁気抵抗効果
感磁部(以下、MR感磁部と称する。)59の一端或い
はその一電極60aが上記ABS面56に臨むようにし
て配置される。
【0005】また、上記ABS面56と反対側には、上
記MR感磁部59の他方の電極60bが上記一電極60
aと略平行に設けられる。なお、これら電極60a,6
0bは、いずれも導電薄膜によって形成される。また、
上記MR感磁部59の略中央部には、このMR感磁部5
9への通電によってこのMR感磁部59に所要の向きの
磁化状態を与え、磁気抵抗効果特性が優れた直線性と高
い感度を示す特性領域で動作するようになすバイアス導
体61が、絶縁層62を介して上記MR感磁部59を横
切る形で設けられる。そしてさらに、上記薄膜磁気コア
57,58の接続部である磁気的結合部を取り囲むよう
にヘッド巻線63が設けられる。なお、これらバイアス
導体61とヘッド巻線63は、共に導電性薄膜によって
形成される。
【0006】このように形成された複合型薄膜磁気ヘッ
ド53は、第1及び第2の薄膜磁気コア57,58間に
MR感磁部59を配置したいわゆるシールド型構成のM
R磁気ヘッドと、上記第1及び第2の薄膜磁気コア57
,58よる磁路上にヘッド巻線63が巻装されてなるイ
ンダクティブ型磁気ヘッドを有したいわゆる複合型の磁
気ヘッド構成とされる。なお、上記MR磁気ヘッドは、
図8にその回路図を示すように、MR感磁部59の一端
が接地電位Vssとされ、両端間すなわち電極60a,
60b間に定電流源64からセンス電流isを通じ、磁
気記録媒体51上の記録に基づく信号磁界による抵抗変
化を電圧変化として検出する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気記録媒
体51の表面には、上述した空気流等によって静電気(
電荷)が発生し蓄積されるようになっている。したがっ
て、上述の磁気ヘッド53が動作開始時または停止時に
近接ないしは接触すると、接地状態にあるMR感磁部5
9のABS面56に臨んでいるMR薄膜の端部或いはそ
の電極60aとの間に放電が生じ、この放電による大き
な電流がMR薄膜に流れる。つまり、磁気記録媒体51
上に蓄積された電荷がヘッドに飛び込んできて、MR薄
膜に流れることになる。ところが、MR薄膜はその感度
の問題からその厚みが数百Åという極めて薄い金属薄膜
よりなることから、この放電電流によって破壊してしま
うという事故、つまり静電破壊が生ずる。そこで本発明
は、上述の実情に鑑みて提案されたものであって、磁気
記録媒体からの電荷飛び込みによる静電破壊を回避する
ことが可能な信頼性の高い磁気抵抗効果磁気ヘッドを提
供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、第1の本発明は、本例のヘッドの一部を断面とし
た斜視図を図1に示し、その回路図を図2に示すように
、各前方端部間に、磁気記録媒体(図示は省略する。)
との対接ないしは対向面(ABS面4)、すなわちスラ
イダ型磁気ヘッドにおいてはそのABS面4に臨んで磁
気ギャップgを形成する第1及び第2の薄膜磁気コア1
,2が積層され、その磁気ギャップg内に、少なくとも
MR感磁部5の一端或いはその一電極7aが、磁気記録
媒体との対接ないしは対向面に臨んで配置され、第2の
薄膜磁気コア2に近接して設けられ且つ接地された良導
電性層11を磁気記録媒体との対接ないしは対向面に臨
んで形成した構成とする。
【0009】第2の発明は、良導電性層11が上記第2
の薄膜磁性コア2と電気的に接続する構成とする。
【0010】第3の発明は、良導電性層11が上記MR
感磁部5の一電極7aと電気的に接続する構成とする。
【0011】第4の発明は、図4および図5に本例のヘ
ッドの断面図を示すように、前方端部間に、磁気ギャッ
プgを形成する少なくとも一方が導電性を有する第1及
び第2の薄膜磁気コア1,2が積層され、磁気ギャップ
g内に、MR感磁部5が、その一端部或いはその一方の
電極7aが第1及び第2の薄膜磁性コア1,2の前方端
面より後退して配置した構成とし、さらに第1及び第2
の薄膜磁性コア1,2の少なくとも一方を接地する。
【0012】すなわち、具体的には、例えば浮上型磁気
ヘッドにおいては、図4に示すように、ABS面4と同
一面に第1及び第2の薄膜磁気コア1,2の前方端面を
配置し、これより後退してMR感磁部5の前方端、或い
は一方の電極7aを配置するか、或いは、図5に示すよ
うに、そのABS面4と同一面にMR感磁部5の前方端
、或いは一方の電極7aを臨ましめ、第1及び第2の薄
膜磁気コア1,2をこれより突出させる。
【0013】
【作用】上述の第1の発明によれば、磁気記録媒体との
対接ないしは対向面に臨んで第2の薄膜磁気コアの近傍
に、MR感磁部に比して抵抗が小さく接地された良導電
性層が存在していることによって、磁気記録媒体が帯電
状態にあってこれと磁気ヘッドとの間に放電が生じる場
合、その放電電流はMR感磁部に流れることなく、良導
電性層を通じて流れ、MR感磁部の焼損事故が回避され
る。つまり、静電破壊が回避される。
【0014】第2の発明によれば、良導電性層が第2の
薄膜磁気コアと電気的に接続されているので、良導電性
層と第2の薄膜磁気コア間の電位と磁気ギャップ部での
電位が略等しくなり、上記磁気ギャップ部への磁気記録
媒体からの電荷の飛び込みが抑制される。
【0015】そして、第3の発明によれば、良導電性層
が磁気記録媒体との対接ないしは対向面に臨むMR感磁
部の一電極と電気的に接続されているので、磁気記録媒
体から飛び込んできた電荷がMR感磁部を通ることなく
、速やかにこのMR感磁部の一電極を通じて良導電性層
へと流れる。
【0016】そしてさらに、第4の発明によれば、MR
感磁部は、接地された第1の薄膜磁気コア1または第2
の薄膜磁気コアより後退した位置に配置されるので、上
述したような放電が生じた場合において、その放電電流
は接地された第1の薄膜磁気コアまたは第2の薄膜磁気
コア側に流れ、MR感磁部へ流れることがない。したが
って、MR感磁部の焼損等の事故を効果的に回避でき、
静電破壊が防止される。
【0017】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて説明するが、本実施例では、本発明にかかる磁気抵
抗効果磁気ヘッドを、MR磁気ヘッドによる再生磁気ヘ
ッドと、インダクティブ型磁気ヘッドによる記録ヘッド
を一体に構成した複合型薄膜磁気ヘッドに適用した例と
して説明する。先ず、第1の発明ないし第3の発明を適
用した磁気抵抗効果磁気ヘッドの具体的な実施例につい
て説明する。
【0018】本実施例の磁気抵抗効果磁気ヘッドにおい
ては、図1に示すように、前方端部間に磁気ギャップg
を形成する一対の薄膜磁気コア1,2がスライダに取付
けられる基体3上に所定の間隔を持って積層形成されて
いる。これら薄膜磁気コア1,2のうち一方の薄膜磁気
コア1は、上記基体3上に直接設けられ、磁気記録媒体
(図示は省略する。)との対接ないしは対向面となるA
BS面4にその一端を臨ませるようにこのABS面4に
対して略直交する方向に延在して設けられている。一方
、他方の薄膜磁気コア2も同様に、上記ABS面4にそ
の一端を臨ませるようにこのABS面4に対して略直交
する方向に延在して設けられている。また、この薄膜磁
気コア2は、上記ABS面4に臨む前方端部が上記一方
の薄膜磁気コア1へ屈曲形成され、この前方端部間に上
記ABS面4に臨む磁気ギャップgを形成するようにな
っている。さらに、この薄膜磁気コア2は、後方端部で
上記一方の薄膜磁気コア1と磁気的に接触しバックギャ
ップを形成している。
【0019】上記第1の薄膜磁気コア1と第2の薄膜磁
気コア2の間には、磁気抵抗効果感磁部となるMR感磁
部5が設けられている。上記MR感磁部5は、ABS面
4にその一端を臨ませるようにこのABS面4に対して
略直交する方向に延在して設けられ、その後端部が上記
第1及び第2の薄膜磁気コア1,2の略中途部に至る位
置まで設けられている。なお、このMR感磁部5は、上
記基体3上に設けられる薄膜磁気コア1との絶縁をとる
ため、第1の絶縁層6aを介して上記薄膜磁気コア1上
に設けられている。
【0020】そして、上記MR感磁部5には、このMR
感磁部5に後述する定電流源(図示は省略する。)から
のセンス電流を通ずるための一対の電極7a,7bが設
けられている。これら電極7a,7bは、上記MR感磁
部5の長手方向における両端部にそれぞれその先端部を
積層する形で、このMR感磁部5の長手方向と略直交す
る方向に延在して設けられている。そしてこれら電極7
a,7bのうち、ABS面4側に設けられる電極7aは
、その幅方向の一側縁を上記ABS面4に呈するように
なっている。なお、上記ABS面4側に設けられる一電
極7aの後端部は、上記ABS面4に対して斜め後方に
屈曲されるようになっている。
【0021】そして、上記MR感磁部5の上には、第2
の絶縁層6bを介してMR感磁部5への通電によってこ
のMR感磁部5に所要の向きの磁化状態を与え、磁気抵
抗特性が優れた直線性と高い感度を示す特性領域で動作
するようになすバイアス導体8が設けられている。上記
バイアス導体8は、上記一対の電極7a,7b間に設け
られるとともに、その先端部を上記MR感磁部5の上に
積層する形で、これら電極7a,7bと略平行に設けら
れている。
【0022】また、上記第1の薄膜磁気コア1と第2の
薄膜磁気コア2の接続部である磁気的結合部9には、こ
の磁気的結合部9を取り囲むようにスパイラル状のヘッ
ド巻線10が設けられている。上記ヘッド巻線10は、
上記第1の薄膜磁気コア1と第2の薄膜磁気コア2に記
録情報に応じた電流を供給する役目をするものである。 このヘッド巻線10は、この上に設けられる第2の薄膜
磁気コア2との絶縁性を確保するために、第3の絶縁層
6cによって埋め込まれている。
【0023】そして特に、本例の磁気ヘッドでは、上記
第2の薄膜磁気コア2の上に第4の絶縁層6dを介して
磁気記録媒体から磁気ギャップ部に飛び込んでくる電荷
をアースに逃がすための接地した良導電性層11が設け
られている。上記良導電性層11は、導電性を有するA
uメッキ等によって上記ABS面4に臨むようにして上
記基体5の全面に亘って形成されるとともに、その一部
が上記第2の薄膜磁気コア2と電気的に接続されるよう
になっている。したがって、上記磁気ギャップ部での電
位と、良導電性層11と第2の薄膜磁気コア2間の電位
が略等しくなり、磁気記録媒体からの上記磁気ギャップ
部への電荷の飛び込みが抑制される。なお、上記良導電
性層11と第2の薄膜磁気コア2が電気的に接続される
コア接続部12は、上記第2の薄膜磁気コア2との接続
が確実なものとなれば特に位置は限定されないが、本例
では上記第2の薄膜磁気コア2の略中央部に設けた。
【0024】そしてさらに本例の磁気ヘッドでは、磁気
記録媒体からの電荷を上記MR感磁部5に流さないよう
にするため、上記良導電性層11とABS面4に臨むM
R感磁部5の一電極7aを接続している。すなわち、上
記MR感磁部5の一電極7aと良導電性層11は、上記
一電極7aの後端部の上に積層される絶縁層6b,6c
,6dを取り除いて形成された直方体状の孔に導電性を
有するCuメッキ等を埋め込んでなる連結導電層13に
よって電気的に連結される。したがって、磁気記録媒体
から電荷が磁気ギャップ部に飛び込んできた場合には、
電荷はMR感磁部5を通らずにこのMR感磁部5に接続
される電極7aに流れ、上記連結導電層13を介して接
地された良導電性層11へと流れる。この結果、MR感
磁部5への電荷の飛び込みが防止され、静電破壊が回避
される。
【0025】上述のように構成された磁気抵抗効果磁気
ヘッドは、図2にその回路図を示すように、MR感磁部
5の一端が接地電位Vssとされ、両端間すなわち電極
7a,7b間に定電流源14からセンス電流isを通じ
、磁気記録媒体上の記録に基づく信号磁界による抵抗変
化を電圧変化として検出するように構成されている。
【0026】なお、上述の磁気抵抗効果磁気ヘッドにお
いては、MR感磁部5を例えば図3に示すような構成と
してもよい。すなわち、SiO2 等よりなる非磁性絶
縁層15を介して静磁的に結合する一対のMR薄膜16
,17を積層するようにしてもよい。このようにすれば
、磁壁の発生を回避してバルクハウゼンノイズの縮小化
を図ることができる。
【0027】ところで、上述の磁気抵抗効果磁気ヘッド
を作製するには、次のようにして行う。先ず、スライダ
に取付けられる基体3上に、所要のパターンにFe−N
i等よりなる第1の薄膜磁気コア1を周知のいわゆるフ
レームメッキ法によって形成する。次に、上記第1の薄
膜磁気コア1を埋め込むようにSiO2 ,Al2 O
3 等の非磁性の第1の絶縁層6aをスパッタ等の手法
によって形成する。次いで、上記第1の絶縁層6aの表
面を平坦化し、この上にMR感磁部5となるNi−Fe
,Ni−Co,Ni−Fe−Co等よりなるMR薄膜を
形成する。上記MR感磁部5は、その一端部がABS面
4に臨むように、且つこのABS面4に対して直交する
方向に延在して設ける。
【0028】次に、上記MR感磁部5の長手方向の両端
部の上に、このMR感磁部5と略直交方向に端子ないし
は配線部をも構成する導電層を所定のパターンに形成し
、電極7a,7bを形成する。そしてこれらを覆って、
上記第1の薄膜磁気コア1の上に設けた絶縁層6aと同
じSiO2 ,Al2 O3 等よりなる第2の絶縁層
6bを形成する。次に、上記MR感磁部5の略中央部を
横切ってバイアス導体8を形成するとともに、これと同
時に磁気的結合部9を取り込むようにして薄膜導電層よ
りなるヘッド巻線10をスパイラル状に形成する。
【0029】そしてさらに、これらバイアス導体8およ
びヘッド巻線10を覆って第3の絶縁層6cを形成する
。次に、上記ヘッド巻線10の中心部において、上記第
1の絶縁層6a、第2の絶縁層6b、第3の絶縁層6c
を取り除き、上記第1の薄膜磁気コア1と第2の薄膜磁
気コア2を磁気的に接続させるための窓部を形成する。 次に、この窓部内を含め上記第3の絶縁層6cの上にN
i−Fe等よりなる磁性薄膜をスパッタリングし、第2
の薄膜磁気コア2を形成する。この結果、上記窓部内で
第2の薄膜磁気コア2と第1の薄膜磁気コア1が接続す
る。なお、上記第1の薄膜磁気コア1と第2の薄膜磁気
コア2の接続は、上記窓部に所要の厚みの磁性層を埋め
込むことによって磁気的に結合するようにしてもよい。
【0030】そして、上記第2の薄膜磁気コア2の上に
第4の絶縁層6dを形成し、この絶縁層6dの表面を平
坦化する。次いで、先の工程で形成したABS面4に臨
んで設けられた一電極7aの後端部の一部を露出させる
ための孔部を形成する。すなわち、上記電極7a上に順
次積層された第2の絶縁層6b、第3の絶縁層6c、第
4の絶縁層6dを直方体状に取り除く。そして、この孔
部に、Cuメッキをしてこの孔部を充填せしめ、後述の
良導電性層11と電気的に接続を図る連結導電層13を
形成する。本例では、上記連結導電層13は、高さ20
〜40μmとした。
【0031】そして、上記連結導電層13と接続させる
とともに、上記第2の薄膜磁気コア2の一部と接続する
ように、上記第4の絶縁層6d上にAuメッキを施して
良導電性層11を形成する。そして最後に、上記良導電
性層11に外部リード、フレキシブルプリント基板等を
ボンディングし、上記MR感磁部5の一電極7aを接地
電位Vssと接続する。
【0032】次に、第4の発明を適用した磁気抵抗効果
磁気ヘッドの具体的な実施例について説明する。本実施
例の磁気抵抗効果磁気ヘッドは、図4および図5に示す
ように、先の図1に示す磁気ヘッドと略同じ構成とされ
るが、基体3上に積層形成される一対の薄膜磁気コア1
,2のうち少なくとも一方を良導電性を有するNi−F
e等によって形成するとともに、その一方を接地Vss
する。本例では、第2の薄膜磁気コア2を接地した。 そしてさらに、この磁気ヘッドにおいては、MR感磁部
5の前方端面或いはその電極7aの前方端面が、上記第
1及び第2の薄膜磁気コア1,2のABS面4に臨む前
方端面よりバック側へ後退するようになされている。こ
のように構成することによって、磁気記録媒体から飛び
込んでくる電荷は、接地された第2の薄膜磁気コア2へ
流れ、MR感磁部5へ流れることがない。したがって、
静電破壊を回避することができ、MR感磁部5を保護す
ることができる。
【0033】なお、図4は第1及び第2の薄膜磁気コア
1,2の前方端面をABS面4と同一面とし、MR感磁
部5の前方端面或いはその電極7aの前方端面を上記第
1及び第2の薄膜磁気コア1,2の前方端面より後退さ
せた例である。一方、図5はMR感磁部5の前方端面と
その電極7aの前方端面をABS面4と同一面とし、第
1及び第2の薄膜磁気コア1,2の前方端面をABS面
4より突出させた例である。また、これら図4及び図5
においては、図1と対応する部分には同一の符号を付し
その説明は省略した。
【0034】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、第1
の発明によれば、磁気記録媒体との対接ないしは対向面
に臨んで接地された良導電性層がMR感磁部の近傍に配
置された構成をとるので、磁気記録媒体が帯電状態にあ
ってもこれと磁気ヘッドとの間の放電電流はMR感磁部
に流れ難くなり、上記良導電性層を通じて流れる。した
がって、本発明によれば、MR感磁部を焼損させる等の
事故を回避することができる。
【0035】また、第2の発明によれば、良導電性層と
第2の薄膜磁気コアを電気的に接続しているので、磁気
ギャップ部と、この良導電性層と第2の薄膜磁気コア間
の電位が略等しくなり、磁気記録媒体からの電荷の上記
磁気ギャップ部への飛び込みが抑制される。
【0036】そして第3の発明によれば、良導電性層と
MR感磁部のABS面に臨む電極を電気的に接続してい
るので、磁気記録媒体からの電荷が上記MR感磁部へ流
れることなく、上記電極を通じて接地された良導電性層
へと流れる。したがって、これら第1ないし第3の発明
によれば、MR感磁部を焼損させる等の事故を回避する
ことができ、静電破壊を効果的に回避できる。
【0037】そしてさらに第4の発明によれば、MR感
磁部の前方端部或いはその電極の前方端部を接地した第
1及び第2の薄膜磁気コアの前方端面より後退する位置
に配置しているので、上記放電電流はこの接地された第
1または第2の薄膜磁気コアへ流れ、MR感磁部を焼損
させる等の事故を効果的に回避することができる。した
がって、これら本発明においては、信頼性の高い磁気ヘ
ッドを得ることができ、実用上の利益は極めて大である
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した複合型磁気ヘッドを一部破断
して示す拡大斜視図である。
【図2】図1の複合型磁気ヘッドの概略的な回路図であ
る。
【図3】MR感磁部の一例を示す概略的な拡大断面図で
ある。
【図4】本発明を適用した複合型磁気ヘッドの他の例を
示す要部拡大断面図である。
【図5】本発明を適用した複合型磁気ヘッドのさらに他
の例を示す要部拡大断面図である。
【図6】磁気ヘッドスライダの一例を示す斜視図である
【図7】従来の複合型磁気ヘッドを一部破断して示す拡
大斜視図である。
【図8】図7の複合型磁気ヘッドの概略的な回路図であ
る。
【符号の説明】
1・・・第1の薄膜磁気コア 2・・・第2の薄膜磁気コア 4・・・ABS面 5・・・MR感磁部 7a,7b・・・電極 8・・・バイアス導体 10・・・ヘッド巻線

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  前方端部間に磁気記録媒体との対接な
    いしは対向面に臨んで磁気ギャップを形成する第1及び
    第2の薄膜磁気コアが積層され、上記磁気ギャップ内に
    少なくとも磁気抵抗効果感磁部の一端或いはその一電極
    が、上記磁気記録媒体との対接ないしは対向面に臨んで
    配置され、上記第2の薄膜磁気コアに近接して設けられ
    且つ接地された良導電性層が上記磁気記録媒体との対接
    ないしは対向面に臨んで形成されたことを特徴とする磁
    気抵抗効果磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】  上記良導電性層が上記第2の薄膜磁気
    コアと電気的に接続されてなる請求項1記載の磁気抵抗
    効果磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】  上記良導電性層が上記磁気抵抗効果感
    磁部の一電極と電気的に接続されてなる請求項2記載の
    磁気抵抗効果磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】  前方端部間に磁気ギャップを形成する
    少なくとも一方が導電性を有する第1及び第2の薄膜磁
    気コアが積層され、上記磁気ギャップ内に、磁気抵抗効
    果感磁部が、その一端部或いはその一電極が上記第1及
    び第2の薄膜磁気コアの上記前方端部の前方端面より後
    退して配置され、上記第1及び第2の薄膜磁気コアの少
    なくとも一方が接地されてなることを特徴とする磁気抵
    抗効果磁気ヘッド。
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