JPH04210787A - 超音波モータの駆動制御装置 - Google Patents
超音波モータの駆動制御装置Info
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- JPH04210787A JPH04210787A JP2407186A JP40718690A JPH04210787A JP H04210787 A JPH04210787 A JP H04210787A JP 2407186 A JP2407186 A JP 2407186A JP 40718690 A JP40718690 A JP 40718690A JP H04210787 A JPH04210787 A JP H04210787A
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[00011
【産業上の利用分野]本発明は、超音波モータの駆動制
御装置に関する。 [0002] 【従来の技術】近年、磁気発生がなく、小型でトルクが
大きいことから、超音波モータが各種の機器の駆動源と
して用いられている。 [0003]超音波モータは、図7に示すように、中心
に回転軸1を有する円板状の回転子2と、環状に配列さ
れた複数の圧電体3.〜3= 、4r〜40.5および
圧電センサ6の上面に弾性体7が接着された固定子8と
によって構成されている。 [0004]圧電体31〜3−.4t〜4.は、極性が
互い違いとなるように並んでおり、図8に示すように、
左側の圧電体31〜3.と右側の圧電体41〜4.に対
して、圧電体の共振周波数に近い周波数で90度位相が
異なる交流信号を電極9a、9b、10a、10bより
印加すると、圧電体31〜3= 、4+〜4.は、円周
方向に屈曲振動し、左右の波が中間の圧電体5を介して
干渉し、図9に示すように、弾性体7の表面には、円周
方向に沿って進行する弾性波が生じる。 [0005]このため、弾性体7に上方から接している
回転子2は、弾性波の進行する方向と反対の方向に回転
駆動される。 [0006]なお、回転子2の回転速度は、弾性波の振
幅が大きい程、弾性波の進行速度に対する遅れが少なく
なり、弾性波の振幅は、図10の特性Aに示すように交
流信号の周波数が圧電体3、〜3= 、41〜4.の共
振周波数Foに近い程大きくなる。 [0007]したがって、超音波モータの対する交流信
号周波数を例えばF、からFbの範囲で可変すれば、モ
ータ回転速度もこの周波の可変に追従して変化すること
になる。 [0008]この超音波モータを定速駆動するためには
、回転子2にロータリエンコーダ等の回転速度検出器を
連結し、この検出信号と所望速度に対応した値とを比較
して、その比較結果に応じて、駆動周波数を所定の変化
率で可変し、モータ回転速度を目標速度に近づけるよう
にフィードバック制御すればよい。 [0009]
御装置に関する。 [0002] 【従来の技術】近年、磁気発生がなく、小型でトルクが
大きいことから、超音波モータが各種の機器の駆動源と
して用いられている。 [0003]超音波モータは、図7に示すように、中心
に回転軸1を有する円板状の回転子2と、環状に配列さ
れた複数の圧電体3.〜3= 、4r〜40.5および
圧電センサ6の上面に弾性体7が接着された固定子8と
によって構成されている。 [0004]圧電体31〜3−.4t〜4.は、極性が
互い違いとなるように並んでおり、図8に示すように、
左側の圧電体31〜3.と右側の圧電体41〜4.に対
して、圧電体の共振周波数に近い周波数で90度位相が
異なる交流信号を電極9a、9b、10a、10bより
印加すると、圧電体31〜3= 、4+〜4.は、円周
方向に屈曲振動し、左右の波が中間の圧電体5を介して
干渉し、図9に示すように、弾性体7の表面には、円周
方向に沿って進行する弾性波が生じる。 [0005]このため、弾性体7に上方から接している
回転子2は、弾性波の進行する方向と反対の方向に回転
駆動される。 [0006]なお、回転子2の回転速度は、弾性波の振
幅が大きい程、弾性波の進行速度に対する遅れが少なく
なり、弾性波の振幅は、図10の特性Aに示すように交
流信号の周波数が圧電体3、〜3= 、41〜4.の共
振周波数Foに近い程大きくなる。 [0007]したがって、超音波モータの対する交流信
号周波数を例えばF、からFbの範囲で可変すれば、モ
ータ回転速度もこの周波の可変に追従して変化すること
になる。 [0008]この超音波モータを定速駆動するためには
、回転子2にロータリエンコーダ等の回転速度検出器を
連結し、この検出信号と所望速度に対応した値とを比較
して、その比較結果に応じて、駆動周波数を所定の変化
率で可変し、モータ回転速度を目標速度に近づけるよう
にフィードバック制御すればよい。 [0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、超音波
モータの共振特性は、周囲温度によって大きく変化し、
特に低温になると、図10の常温での特性Aは、Foよ
り高い共振周波数Fo’でカーブが急峻な特性Bのよう
に偏移してしまうため、周波数変化率を常温特性に合わ
せた場合、低温時におけるループ応答が著しく遅れてし
まう。 [00101また、逆に低温特性に合わせた場合は、常
温時におけるループの応答特性が振動性のある不安定な
ものになってしまう。 [00111本発明は、この課題を解決した超音波モー
タの駆動制御装置を提供することを目的としている。 [0012]
モータの共振特性は、周囲温度によって大きく変化し、
特に低温になると、図10の常温での特性Aは、Foよ
り高い共振周波数Fo’でカーブが急峻な特性Bのよう
に偏移してしまうため、周波数変化率を常温特性に合わ
せた場合、低温時におけるループ応答が著しく遅れてし
まう。 [00101また、逆に低温特性に合わせた場合は、常
温時におけるループの応答特性が振動性のある不安定な
ものになってしまう。 [00111本発明は、この課題を解決した超音波モー
タの駆動制御装置を提供することを目的としている。 [0012]
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
、本発明の超音波モータの駆動制御装置は、定速制御時
に交流信号の周波の変化率を、温度センサによって検出
される超音波モータの温度の高低に応じて切換制御する
ようにしている。 [0013]
、本発明の超音波モータの駆動制御装置は、定速制御時
に交流信号の周波の変化率を、温度センサによって検出
される超音波モータの温度の高低に応じて切換制御する
ようにしている。 [0013]
【作用】したがって、温度に応じた周波変化率で超音波
モータに対応する定速制御がなされる。 [0014]
モータに対応する定速制御がなされる。 [0014]
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。 [00151図2は、一実施例の超音波モータの駆動制
御装置(以下、駆動制御装置と記す)20の構成を示す
ブロック図である。 [00161図2において、21は、後述するCPU3
0からの出力データに対応した電圧を出力するDA変換
器、22は、DA変換器21の出力電圧の変化に対して
逆方向に周波数変化する信号を発振出力するVCO(電
圧制御発振器)である。 [0017]23は、VCO22からの出力信号を1/
4分周することにより、90度位相の異なる交流信号を
発生する移相回路である。24.25は、移相回路23
の出力を増幅して超音波モータMの圧電体31〜39.
4、〜4、にそれぞれ印加するドライバである。 [0018]超音波モータの回転子2には、回転子2の
回転速度に比例した周波数のパルス信号を出力するロー
タリエンコーダ26が連結されている。 [0019]27は、超音波モータMの温度に応じた信
号を出力する温度センサ、28は、温度センサ27の出
力を受け′、検出された温度の範囲に応じて図3に示す
2ビツトの温度データを出力するAD変換器である。 [0020129は、超音波モータMの定常速度(目標
速度)を設定するための速度設定器であり、超音波モー
タMが目標速度で回転するときの、ロータリエンコーダ
26のパルス周期Tが設定される。 [00213CPU30は、図4に示すように、AD変
換器28からの温度データに対応する係数値A+ −A
4(ただし、O<At <A2 <A3 <A4 )を
メモリ31に記憶しており、起動信号が″′H゛ルベル
になると、そのときの温度データに対する係数値に基づ
いて、■CO22の掃引を行なって超音波モータMを起
動させる。 [0022]図1は、CPU30の起動処理および定速
処理を示すフローチャートであり、以下、このフローチ
ャートに従って、駆動制御装置20の動作を説明する。 [0023] CPU30に対して起動信号が“H゛レ
ベルなると、AD変換器28からの温度データに対する
係数がAl−A4 のいずれかに決定される(ステップ
l、2)。 [00241次に、DA変換器21に対する電圧データ
Dが初期値Do に設定される(ステップ3)。 [0025]このため、電圧データDoに対応した周波
数(例えば図10のF。)の2相の交流信号が超音波モ
ータMに印加される。 [0026]この交流信号の印加により、超音波モータ
Mが徐々に回転し、ロータリエンコーダ26からは、周
期の長いパルス信号が出力され、その周期tが測定され
る(ステップ4)。 [0027]次に、測定された周期tから、予め速度設
定器29に設定された周期Tを減算した値に係数Aを乗
算した値だけ、電圧データDが増加され、新たな電圧デ
ータD+A (t−T)に対応したF。より低い周波数
の交流信号による駆動がなされる。 (ステップ5)。 [0028]次に2つの周期t、 Tの大小比較がなさ
れ、ロータリエンコーダ26の出力パルスの周期が、設
定された周期Tより長いときは、ステップ4に戻る(ス
テップ6)。以下、ロータリエンコーダ26の出力パル
スの周期tが設定周期より短かくなる、即ち、超音波モ
ータMの回転速度が目標速度に達するまでは、同様の処
理(ステップ4〜6)がなされる。 [0029]このとき、電圧データの毎回の変化幅、即
ち、交流信号の周波数の変化幅は、温度に対応した係数
Aが小さい程少なくなるため、低温時に起動された場合
の周波数掃引速度は高温時より遅くなり、モータ動作は
この駆動に遅れることなく、確実に起動がなされる。
明する。 [00151図2は、一実施例の超音波モータの駆動制
御装置(以下、駆動制御装置と記す)20の構成を示す
ブロック図である。 [00161図2において、21は、後述するCPU3
0からの出力データに対応した電圧を出力するDA変換
器、22は、DA変換器21の出力電圧の変化に対して
逆方向に周波数変化する信号を発振出力するVCO(電
圧制御発振器)である。 [0017]23は、VCO22からの出力信号を1/
4分周することにより、90度位相の異なる交流信号を
発生する移相回路である。24.25は、移相回路23
の出力を増幅して超音波モータMの圧電体31〜39.
4、〜4、にそれぞれ印加するドライバである。 [0018]超音波モータの回転子2には、回転子2の
回転速度に比例した周波数のパルス信号を出力するロー
タリエンコーダ26が連結されている。 [0019]27は、超音波モータMの温度に応じた信
号を出力する温度センサ、28は、温度センサ27の出
力を受け′、検出された温度の範囲に応じて図3に示す
2ビツトの温度データを出力するAD変換器である。 [0020129は、超音波モータMの定常速度(目標
速度)を設定するための速度設定器であり、超音波モー
タMが目標速度で回転するときの、ロータリエンコーダ
26のパルス周期Tが設定される。 [00213CPU30は、図4に示すように、AD変
換器28からの温度データに対応する係数値A+ −A
4(ただし、O<At <A2 <A3 <A4 )を
メモリ31に記憶しており、起動信号が″′H゛ルベル
になると、そのときの温度データに対する係数値に基づ
いて、■CO22の掃引を行なって超音波モータMを起
動させる。 [0022]図1は、CPU30の起動処理および定速
処理を示すフローチャートであり、以下、このフローチ
ャートに従って、駆動制御装置20の動作を説明する。 [0023] CPU30に対して起動信号が“H゛レ
ベルなると、AD変換器28からの温度データに対する
係数がAl−A4 のいずれかに決定される(ステップ
l、2)。 [00241次に、DA変換器21に対する電圧データ
Dが初期値Do に設定される(ステップ3)。 [0025]このため、電圧データDoに対応した周波
数(例えば図10のF。)の2相の交流信号が超音波モ
ータMに印加される。 [0026]この交流信号の印加により、超音波モータ
Mが徐々に回転し、ロータリエンコーダ26からは、周
期の長いパルス信号が出力され、その周期tが測定され
る(ステップ4)。 [0027]次に、測定された周期tから、予め速度設
定器29に設定された周期Tを減算した値に係数Aを乗
算した値だけ、電圧データDが増加され、新たな電圧デ
ータD+A (t−T)に対応したF。より低い周波数
の交流信号による駆動がなされる。 (ステップ5)。 [0028]次に2つの周期t、 Tの大小比較がなさ
れ、ロータリエンコーダ26の出力パルスの周期が、設
定された周期Tより長いときは、ステップ4に戻る(ス
テップ6)。以下、ロータリエンコーダ26の出力パル
スの周期tが設定周期より短かくなる、即ち、超音波モ
ータMの回転速度が目標速度に達するまでは、同様の処
理(ステップ4〜6)がなされる。 [0029]このとき、電圧データの毎回の変化幅、即
ち、交流信号の周波数の変化幅は、温度に対応した係数
Aが小さい程少なくなるため、低温時に起動された場合
の周波数掃引速度は高温時より遅くなり、モータ動作は
この駆動に遅れることなく、確実に起動がなされる。
【0030】このようにして、超音波モータMが目標速
度まで起動されると、CPU30は、定速制御処理に移
行する。 [00311起動処理後には、所定時間T、のタイマが
スタートし、起動信号のレベル判定が行なわれ、H”レ
ベルのままであれば、ロータリエンコーダ26の出力パ
ルスの周期tが測定され、測定された周期tと設定周期
との大小比較がなされる(ステップ7〜10)。 [0032]ここで、t<Tであれば、回転速度が目標
速度より速いと判断されて、電圧データがA−Pだけ減
算更新され(Pは定数)、交流信号の周波数が高くなる
(ステップ11)。また、t<Tであれば、回転速度が
目標速度より遅いと判断され、電圧データA−Pだけ加
算更新され、交流信号の周波数が低くなる(ステップ1
2)。 [0033]この周波数可変がなされた後、タイムアツ
プの判定がなされ、T1時間が経過していなければステ
ップ8へ戻り、タイムアツプしていれば、温度データが
変化したか否かの判定がなされる (ステップ13.1
4)。温度データが変化している場合は、その温度デー
タに対応した係数に切換えられ(周波数変化率切換手段
)、再びタイマが起動される(ステップ15)。 [0034]したがって、この定速制御中に、温度が上
昇して温度データが変化すると、超音波モータに対する
交流信号の周波数変化率も大きくなり、この超音波モー
タの回転速度は、温度によらずほぼ一定した変化率で安
定に定速制御されることになる。 [0035]
度まで起動されると、CPU30は、定速制御処理に移
行する。 [00311起動処理後には、所定時間T、のタイマが
スタートし、起動信号のレベル判定が行なわれ、H”レ
ベルのままであれば、ロータリエンコーダ26の出力パ
ルスの周期tが測定され、測定された周期tと設定周期
との大小比較がなされる(ステップ7〜10)。 [0032]ここで、t<Tであれば、回転速度が目標
速度より速いと判断されて、電圧データがA−Pだけ減
算更新され(Pは定数)、交流信号の周波数が高くなる
(ステップ11)。また、t<Tであれば、回転速度が
目標速度より遅いと判断され、電圧データA−Pだけ加
算更新され、交流信号の周波数が低くなる(ステップ1
2)。 [0033]この周波数可変がなされた後、タイムアツ
プの判定がなされ、T1時間が経過していなければステ
ップ8へ戻り、タイムアツプしていれば、温度データが
変化したか否かの判定がなされる (ステップ13.1
4)。温度データが変化している場合は、その温度デー
タに対応した係数に切換えられ(周波数変化率切換手段
)、再びタイマが起動される(ステップ15)。 [0034]したがって、この定速制御中に、温度が上
昇して温度データが変化すると、超音波モータに対する
交流信号の周波数変化率も大きくなり、この超音波モー
タの回転速度は、温度によらずほぼ一定した変化率で安
定に定速制御されることになる。 [0035]
【他の実施例】なお、前記実施例では、ロータリエンコ
ーダ26の出力パルスの周期を測定して、CPU30に
よる速度制御を行なっていたが、アナログ式の制御部を
有する駆動制御装置についても本発明を適用できる。 [00361図6は、本発明をアナログ式の制御回路3
5に適用した場合を示す回路図である。この制御回路3
5では、ロータリエンコーダ26の出力パルスに同期し
た所定幅のパルスをワンショットマルチ回路36から出
力させ、この出力を積分回路37で積分することにより
、周波数電圧変換を行ない、この変換出力V、と、可変
抵抗器38からの基準電圧Vrとをアナログ加算器39
で加算した電圧VoでVCO22の発振周波数を制御す
るように構成されており、超音波モータMの回転速度が
、目標速度(基準電圧V、に対応している)より速い場
合は、VCO22の発振周波数を高くし、逆に遅い場合
は、VCO22の発振周波数を低くして、常に目標速度
に近づける。 [0037]アナログ加算器39の入出力間に設けられ
たコンデンサC+ 、 C2、C3は、VCO22の入
力電圧Vo に対する出力の応答速度を決めるためのコ
ンデンサで、前記実施例の係数A1〜A、に相当する(
ただし、CI <c= <C3)。 [0038]コンデンサC2、C3の接続は、AD変換
器28からの温度データの°“0゛°でオンするスイッ
チ40.41によってなされ、図7に示すように、低温
になる程、並列容量が大きくなるように接続される。 [0039]したがって、例えば、−20度の低温時の
場合、基準電圧■1のみがアナログ加算器39に加えら
れ、その出力は、CI +C2+C3の容量による遅い
応答速度でゆっくりと変化するため、超音波モータMは
、周波数変化率の小さな交流信号で定速制御される。 [00401また、前記実施例では、温度変化を所定時
間毎に検出するようにしていたが、回転周期の測定毎に
温度変化があったか否かを検出するようにしてもよい。 [00411 【発明の効果]以上説明したように、本発明の超音波モ
ータの駆動制御装置は、超音波モータに印加する交流信
号の定速制御時における周波数の変化率を、温度センサ
で検出されたモータの温度の高低に応じて切換えできる
ようにしたので、超音波モータの回転速度を、温度に関
係なく常にほぼ一定した変化率で安定に定速制御できる
。
ーダ26の出力パルスの周期を測定して、CPU30に
よる速度制御を行なっていたが、アナログ式の制御部を
有する駆動制御装置についても本発明を適用できる。 [00361図6は、本発明をアナログ式の制御回路3
5に適用した場合を示す回路図である。この制御回路3
5では、ロータリエンコーダ26の出力パルスに同期し
た所定幅のパルスをワンショットマルチ回路36から出
力させ、この出力を積分回路37で積分することにより
、周波数電圧変換を行ない、この変換出力V、と、可変
抵抗器38からの基準電圧Vrとをアナログ加算器39
で加算した電圧VoでVCO22の発振周波数を制御す
るように構成されており、超音波モータMの回転速度が
、目標速度(基準電圧V、に対応している)より速い場
合は、VCO22の発振周波数を高くし、逆に遅い場合
は、VCO22の発振周波数を低くして、常に目標速度
に近づける。 [0037]アナログ加算器39の入出力間に設けられ
たコンデンサC+ 、 C2、C3は、VCO22の入
力電圧Vo に対する出力の応答速度を決めるためのコ
ンデンサで、前記実施例の係数A1〜A、に相当する(
ただし、CI <c= <C3)。 [0038]コンデンサC2、C3の接続は、AD変換
器28からの温度データの°“0゛°でオンするスイッ
チ40.41によってなされ、図7に示すように、低温
になる程、並列容量が大きくなるように接続される。 [0039]したがって、例えば、−20度の低温時の
場合、基準電圧■1のみがアナログ加算器39に加えら
れ、その出力は、CI +C2+C3の容量による遅い
応答速度でゆっくりと変化するため、超音波モータMは
、周波数変化率の小さな交流信号で定速制御される。 [00401また、前記実施例では、温度変化を所定時
間毎に検出するようにしていたが、回転周期の測定毎に
温度変化があったか否かを検出するようにしてもよい。 [00411 【発明の効果]以上説明したように、本発明の超音波モ
ータの駆動制御装置は、超音波モータに印加する交流信
号の定速制御時における周波数の変化率を、温度センサ
で検出されたモータの温度の高低に応じて切換えできる
ようにしたので、超音波モータの回転速度を、温度に関
係なく常にほぼ一定した変化率で安定に定速制御できる
。
【図1】本発明の一実施例の処理手順を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図2】一実施例の構成を示すブロック図である。
【図3】一実施例の要部の動作を説明するための対応図
である。
である。
【図4】一実施例の要部の動作を説明するための対応図
である。
である。
【図5】本発明の他の実施例の制御部を示す回路図であ
る。
る。
【図6】図5の実施例の要部の動作を説明するための対
応図である。
応図である。
【図7】超音波モータの構成を示す概略斜視図である。
【図8】超音波モータの要部の正面図である。
【図9】超音波モータの動作を説明するための概略図で
ある。
ある。
【図10】超音波モータの駆動周波数に対する弾性波振
幅の特性を示す図である。
幅の特性を示す図である。
20 超音波モータの駆動制御装置
22 VCO
23移相回路
26 ロータリエンコーダ
27 温度センサ
29 速度設定器
30 CPU
M 超音波モータ
【図7】
Claims (1)
- 【請求項1】超音波モータに印加する交流信号の周波数
を、該超音波モータの回転子に連結された回転検出器か
らの信号に応じて所定変化率で可変し、該超音波モータ
の回転速度を目標速度に常に近づける方向に定速制御す
る超音波モータの駆動制御装置において、前記超音波モ
ータの温度を検出する温度センサと、前記定速制御時の
交流信号の周波数の変化率を、前記温度センサによって
検出される前記超音波モータの温度の高低に応じて切換
える周波数変化率切換手段とを備えたことを特徴とする
超音波モータの駆動制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2407186A JP2814147B2 (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 超音波モータの駆動制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2407186A JP2814147B2 (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 超音波モータの駆動制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04210787A true JPH04210787A (ja) | 1992-07-31 |
JP2814147B2 JP2814147B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=18516805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2407186A Expired - Lifetime JP2814147B2 (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 超音波モータの駆動制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2814147B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06261568A (ja) * | 1993-03-08 | 1994-09-16 | Rion Denshi Kk | 超音波モータ |
US6376965B1 (en) | 1999-02-22 | 2002-04-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving device for vibration type actuator |
JP2010057212A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Canon Inc | 振動型アクチュエータ制御装置、レンズ鏡筒、撮像装置、振動型アクチュエータの制御方法、振動型アクチュエータの制御プログラム |
-
1990
- 1990-12-10 JP JP2407186A patent/JP2814147B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06261568A (ja) * | 1993-03-08 | 1994-09-16 | Rion Denshi Kk | 超音波モータ |
US6376965B1 (en) | 1999-02-22 | 2002-04-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving device for vibration type actuator |
JP2010057212A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Canon Inc | 振動型アクチュエータ制御装置、レンズ鏡筒、撮像装置、振動型アクチュエータの制御方法、振動型アクチュエータの制御プログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2814147B2 (ja) | 1998-10-22 |
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