JPH04209987A - Vacuum pump - Google Patents
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は真空ポンプ゛に係わり、特にＣＶＤ装置、Ｒ
ＩＥ装置等に用いられ、危険性の高いガスを真空引きす
るのに好適である真空ポンプに関する。[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field) This invention relates to a vacuum pump, and in particular to a CVD device, an R
The present invention relates to a vacuum pump that is used in IE devices and the like and is suitable for evacuating highly dangerous gases.
（従来の技術）
第１４図及び第１５図はケーシング内パージ機構を有す
る従来の油回転真空ポンプを概要を示す図でそれぞれ、
一部を断面とした斜視図及び側面図である。(Prior Art) Fig. 14 and Fig. 15 are diagrams schematically showing a conventional oil rotary vacuum pump having a casing internal purge mechanism, respectively.
FIG. 2 is a perspective view and a side view, partially in section.
第１４図及び第１５図に示すように、ケーシング１００
内には真空オイル１０２が満たされており（第１４図に
は図示せず）、このケーシング１００内にポンプハウジ
ング１０４が設置されている。ボンブハウジング１０４
にはこれを駆動するためのモータ１０６が取り付けられ
ている。ポンプハウジング１０４には、例えばＣＶＤ装
置、ＲＩＥ装置等に通しる吸気口１０５が接続されてい
る。この吸気口１０５を介して図示せぬＣＶＤ装置、Ｒ
ＩＥ装置等のベルジャ（反応室）内が真空引きされる。As shown in FIGS. 14 and 15, the casing 100
The interior of the casing 100 is filled with vacuum oil 102 (not shown in FIG. 14), and a pump housing 104 is installed within the casing 100. Bomb housing 104
A motor 106 is attached to drive the motor. The pump housing 104 is connected to an intake port 105 that is connected to, for example, a CVD device, an RIE device, or the like. A CVD device (not shown), R
The inside of the bell jar (reaction chamber) of the IE device etc. is evacuated.
又、ケーシング１００内において、ポンプハウジング１
０４の排気バルブ１１０とケーシングの排気ポート１１
２との間には真空オイル１０２のミストの拡散を防ぐた
めのオイルミスト回収板１０８が取り付けられている。Moreover, within the casing 100, the pump housing 1
04 exhaust valve 110 and casing exhaust port 11
An oil mist collection plate 108 is attached between the vacuum oil 102 and the vacuum oil 102 to prevent the mist from spreading.
オイルミスト回収板１０８には排気バルブ１１０と排気
ポート１１２とを互いに連通させるための開口部１１４
が設けられている。ケーシング１００内は真空オイル１
０２の劣化やケーシング内部の各構成部分を保護するた
め、例えば窒素等の不活性ガスが充填されている。この
不活性ガスの供給口であるパージ用ノズル１１６は一般
にオイルミスト回収板】０Ｂより上部の排気ポート１１
２の近くに設けられている。The oil mist collection plate 108 has an opening 114 for communicating the exhaust valve 110 and the exhaust port 112 with each other.
is provided. Vacuum oil 1 inside the casing 100
In order to prevent deterioration of the 02 and protect each component inside the casing, the casing is filled with an inert gas such as nitrogen. The purge nozzle 116, which is the supply port for this inert gas, is generally the exhaust port 11 above the oil mist collection plate]0B.
It is located near 2.
しかしながら、上記構成の油回転真空ポンプでは、その
構造上、次のような問題がある。However, the oil rotary vacuum pump having the above structure has the following problems due to its structure.
先ず、パージ用ノズル１１６かオイルミスト回収板１０
１１１より上部の排気ポート１１２の近くに設けられて
おり、このために不活性ガスの流れが第１５図中の矢印
Ａに示される排気ガスの主な流れと逆行した矢印Ｂのよ
うになる。即ち、不活性ガスは、排気ガスの流れに逆行
し、オイルミスト回収板１０８の上部を周り、開口“部
１１４を介して該回収板１０ｇの下部に周る。このよう
な不活性ガスの流れであると、排気ガスの量、不活性ガ
スの供給条件（流量、圧力等）によっては不活性ガスの
供給が不十分となり、第１５図中の斜線Ｃで示されるよ
うな開口部１１４から遠い部分等に排気ガスが高濃度で
澱む。First, purge nozzle 116 or oil mist collection plate 10
111 and near the exhaust port 112, so that the flow of inert gas becomes as shown by arrow B, which is opposite to the main flow of exhaust gas shown by arrow A in FIG. That is, the inert gas goes against the flow of exhaust gas, goes around the upper part of the oil mist collection plate 108, and goes around the lower part of the collection plate 10g through the opening 114. If so, the inert gas supply may be insufficient depending on the amount of exhaust gas and the inert gas supply conditions (flow rate, pressure, etc.), and the inert gas may be far from the opening 114 as indicated by diagonal line C in FIG. Exhaust gas accumulates in high concentrations in certain areas.
このような構造の真空ポンプを、例えばプラズマＣＶＤ
装置に使用した場合について述べる。A vacuum pump with such a structure can be manufactured using, for example, plasma CVD.
The case where it is used in a device will be described.
例えばプラズマシリコン酸化膜を形成するにはＳｉＨ４
／Ｎ２０の混合ガスを、又、プラズマシリコン窒化膜を
形成するにはＳｉＨ４／ＮＨ３の混合ガスが膜形成シー
ケンス、あるいはメンテナンスのためにベルジャ内に流
されることがある。For example, to form a plasma silicon oxide film, SiH4
A mixed gas of /N20 or a mixed gas of SiH4/NH3 to form a plasma silicon nitride film may be flowed into the bell jar for the film formation sequence or maintenance.
この混合ガスは吸気口１０５を介してポンプハウジング
１０４内に取り込まれ、排気口１１０を介してケーシン
グ１００内に排気ガスとして排出される。This mixed gas is taken into the pump housing 104 through the intake port 105 and is discharged into the casing 100 through the exhaust port 110 as exhaust gas.
この上記混合ガスを含む排気ガスがケーシング内に澱ん
だ場合、高い確率で爆発を起こす。現に真空ポンプの中
からは、小さな爆発音が聞かれることがしばしばであり
、ケーシング１００か破壊されない程度の小さな爆発は
かなりの頻度で発生している。尚、調査の結果、ケーシ
ング１００内に澱んだ排気ガスの圧力がＩ Ｋ ｇ ／
ｃ ｍ ２以下で排気ガスがＳｉＨ４／Ｎ２０の場合
、爆発限界にきたＳｉＨ４の濃度分布は、ケーシング内
の約１．９〜８７％と広範囲にわたることが判明した。If the exhaust gas containing the above-mentioned mixed gas stagnates inside the casing, there is a high probability that an explosion will occur. In fact, small explosion sounds are often heard from inside the vacuum pump, and small explosions that do not destroy the casing 100 occur quite frequently. As a result of the investigation, the pressure of the exhaust gas stagnant inside the casing 100 is I K g /
It was found that when the exhaust gas is SiH4/N20 at less than cm2, the concentration distribution of SiH4 at the explosive limit ranges over a wide range from about 1.9% to 87% in the casing.
上記のようなケーシング内に澱んだ排気ガスの爆発は、
排気ポート以降に接続される排気ガス処理システム等の
設備の破損を起こしかねない。The explosion of exhaust gas stagnant inside the casing as described above
This may cause damage to equipment such as the exhaust gas treatment system connected after the exhaust port.
最悪の場合には、作業者を巻き込むような大事故にもつ
ながりかねない。In the worst case, it could lead to a major accident involving workers.
（発明が解決しようとする課題）
以上説明したように、従来の真空ポンプではその構造上
、排気ガスがケーシング内に澱み、澱んだ排気ガスが爆
発を起こすといった問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) As explained above, in the conventional vacuum pump, due to its structure, exhaust gas stagnates inside the casing, and the stagnant exhaust gas causes an explosion.
この発明は上記のような点に鑑みて為されたもので、そ
の目的は、ケーシング内の排気ガスの希釈効率、及びケ
ーシング′からの排出速度を共に高め、排気ガスがケー
シング内に澱むことなく、ケーシング外に速やかに排出
できる真空ポンプを提供することにある。This invention was made in view of the above points, and its purpose is to increase both the dilution efficiency of exhaust gas in the casing and the discharge speed from the casing, and to prevent exhaust gas from stagnating in the casing. The object of the present invention is to provide a vacuum pump capable of quickly discharging the air outside the casing.
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段）
この発明の真空ポンプは、排気ポートを有するケーシン
グと、前記ケーシング内に設置され、排気ガスを排出す
るための排気口を有するポンプハウジングと、前記ポン
プハウジングと前記排気ポートとの間前記ケーシング内
に設けられ、オイルミストを回収するためのオイルミス
ト回収板と、前記オイルミスト回収板に形成され、前記
排気口と前記排気ポートとを互いに連通させるための開
口部と、を具備し、前記オイルミスト回収板と前記ポン
プハウジングとの間の前記ケーシングの側壁に、前記ケ
ーシング内に不活性ガスを供給するパージ用ノズルを取
り付けたことを特徴とする。[Configuration of the Invention (Means for Solving the Problems) The vacuum pump of the present invention includes: a casing having an exhaust port; a pump housing installed within the casing and having an exhaust port for discharging exhaust gas; an oil mist collection plate provided in the casing between the pump housing and the exhaust port for collecting oil mist; and an oil mist collection plate formed on the oil mist collection plate to communicate the exhaust port and the exhaust port with each other. and a purge nozzle for supplying an inert gas into the casing is attached to a side wall of the casing between the oil mist collection plate and the pump housing. do.
又、前記開口部、排気口及びパージ用ノズルは、パージ
用ノズル、排気口、開口部の順に前記ケーシング内に配
置され、前記パージ用ノズルから噴き出されたパージ用
不活性ガスが、前記排気口近傍上を通過し前記開口部へ
と流れるようにし −たことを特徴とする。Further, the opening, the exhaust port, and the purge nozzle are arranged in the casing in the order of the purge nozzle, the exhaust port, and the opening, so that the purge inert gas blown out from the purge nozzle flows into the exhaust gas. It is characterized in that it passes over the vicinity of the mouth and flows into the opening.
（作 用）
上記のような真空ポンプにあっては、前記オイルミスト
回収板と前記ポンプハウジングとの間の前記ケーシング
の側壁に、前記ケーシング内に不活性ガスを供給するパ
ージ用ノズルを取り付けることにより、ポンプハウジン
グから排出される排気ガスをパージ用不活性ガスで直ち
に希釈できると共に、該不活性ガスの流れを排気ガスの
流れと順行させることができ、排気ガスを速やかに排気
ポートへと導くことができる。これにより、排気ガスが
ケーシング内に澱むことがなくなる。(Function) In the vacuum pump as described above, a purge nozzle for supplying inert gas into the casing may be attached to a side wall of the casing between the oil mist collection plate and the pump housing. This allows the exhaust gas discharged from the pump housing to be diluted immediately with the inert gas for purging, and also allows the flow of the inert gas to follow the flow of the exhaust gas, so that the exhaust gas is quickly directed to the exhaust port. can lead. This prevents exhaust gas from stagnating inside the casing.
又、前記パージ用ノズル、排気口、開口部の順に前記ケ
ーシング内に配置することにより、パージ用不活性ガス
を前記排気口近傍上を通過し前記開口部へと流れるよう
にでき、排気ガスのケーシング内での澱みがより一層改
善できるようになる。Furthermore, by arranging the purge nozzle, the exhaust port, and the opening in this order in the casing, the inert gas for purging can be made to pass near the exhaust port and flow to the opening, thereby reducing exhaust gas. Stagnation within the casing can be further improved.
（実施例）
以下、図面を参照してこの発明の実施例について説明す
る。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図及び第２図はケーシング内パージ機構を有するこ
の発明の第１の実施例に係わる油回転真空ポンプを概要
を示す図でそれぞれ、一部を断面とした斜視図及び側面
図である。第１図及び第２図において、従来の第１４図
及びｍ１５図と同一の部分については同一の参照符号を
付し、異なる部分についてのみ説明する。1 and 2 are diagrams schematically showing an oil rotary vacuum pump according to a first embodiment of the present invention having a casing internal purge mechanism, and are a partially sectional perspective view and a side view, respectively. In FIGS. 1 and 2, the same parts as in the conventional FIGS. 14 and 15 are given the same reference numerals, and only the different parts will be explained.
第１図及び第２図に示すように、この発明の第１の実施
例に係わる油回転真空ポンプは、不活性ガスの供給口で
あるパージ用ノズル１１６がオイルミスト回収板１０８
とポンプハウジング１０４の排気口１１０との間のケー
シング１００の側壁に取り付けられるものである。パー
ジ用ノズル１１６の取り付けに好適な箇所は、排気口１
１０から排出される排気ガスがオイルミスト回収板１０
８の開口部１１４に向かって煽られるようにできる箇所
である。As shown in FIGS. 1 and 2, in the oil rotary vacuum pump according to the first embodiment of the present invention, the purge nozzle 116, which is an inert gas supply port, is connected to the oil mist collection plate 108.
and the exhaust port 110 of the pump housing 104 . A suitable location for installing the purge nozzle 116 is the exhaust port 1.
The exhaust gas discharged from the oil mist collection plate 10
This is the part where the opening 114 of No. 8 can be pushed out.
例えば上記油回転真空ポンプでは、パージ用ノズル１１
６がオイルミスト回収板１０８の下部、かつ該回収板１
０ｇの開口一部１１４が設けられる部分と相対した部分
下のケーシング１００の側壁に取り付けられている。又
、ポンプハウジング１０４の排気口１１０は開口部１１
０とパージ用ノズル１１１３との中間に配置されている
。即ち、パージ用ノズル１１Ｂ 。For example, in the oil rotary vacuum pump described above, the purge nozzle 11
6 is the lower part of the oil mist collection plate 108, and the collection plate 1
It is attached to the side wall of the casing 100 below the part opposite to the part where the 0g opening part 114 is provided. Further, the exhaust port 110 of the pump housing 104 is connected to the opening 11.
0 and the purge nozzle 1113. That is, the purge nozzle 11B.
排気口１１０、開口部１１４の順に前記ケーシング１０
０内に配置されており、パージ用ノズル１１６から噴き
出された不活性ガスは排気口１１０から排出された排気
ガスを煽り、該排気ガスが開口部１１０へ導かれるよう
に構成される。The exhaust port 110 and the opening 114 are arranged in the casing 10 in this order.
The inert gas ejected from the purge nozzle 116 agitates the exhaust gas discharged from the exhaust port 110, and the exhaust gas is guided to the opening 110.
このような油回転真空ポンプによれば、第２図の矢印Ａ
に示される排気ガスの主な流れと、矢印Ｂに示される不
活性ガスの主な流れとが互いに順行し、かつ排気ガスの
主な流れを、不活性ガスの主な流れにより煽ることがで
きる。これにより、第２図中の斜線Ｃに示される開口部
１１４から遠い部分等に、排気ガスが澱むことがない。According to such an oil rotary vacuum pump, arrow A in FIG.
The main flow of exhaust gas shown in arrow B and the main flow of inert gas shown in arrow B run in parallel with each other, and the main flow of exhaust gas can be agitated by the main flow of inert gas. can. This prevents the exhaust gas from stagnating in a portion far from the opening 114 indicated by diagonal line C in FIG. 2.
しかも、上記のような不活性ガスの流れによれば、排気
ガスを効率的に希釈する′ことができ、例えばＳｉＨ４
のような爆発の恐れがあるガスの濃度を、ケーシング内
で充分に下げることができる。Furthermore, the flow of inert gas as described above allows efficient dilution of exhaust gas, for example, SiH4
The concentration of potentially explosive gases such as gases can be sufficiently reduced within the casing.
第３図及び第４図はそれぞれ、第１の実施例に係わる油
回転真空ポンプの変形例であり一部を断面とした側面図
である。同様に第５図乃至第８図はそれぞれ、第１の実
施例に係わる油回転真空ポンプの変形例であり一部を断
面とした平面図である。第３図乃至第８図において、第
１図及び第２図と同一の部分については同一の参照符号
を付し、異なる部分について説明する。FIGS. 3 and 4 are side views, each partially in section, of a modification of the oil rotary vacuum pump according to the first embodiment. Similarly, FIGS. 5 to 8 are partially sectional plan views of modified examples of the oil rotary vacuum pump according to the first embodiment. In FIGS. 3 to 8, the same parts as in FIGS. 1 and 2 are given the same reference numerals, and different parts will be explained.
先ず、第３図に示すように、パージ用ノズル１１６の先
端は、真空オイル１０２面に向がって曲げられでも良い
。この場合でも、矢印Ｂに示される不活性ガスの主な流
れは、オイル１０２面ではね返るようにして排気口１１
０の近くを通過し、開口部１１４へと抜けるので、上記
実施例と同様に、排気ガスを速やかに開口部１１０へと
導くよう構成でき、排気ガスがケーシング１１０内に澱
むことがない。First, as shown in FIG. 3, the tip of the purge nozzle 116 may be bent toward the vacuum oil 102 surface. Even in this case, the main flow of inert gas shown by arrow B is bounced off the surface of the oil 102 and
0 and exits to the opening 114, the exhaust gas can be configured to be quickly guided to the opening 110, and the exhaust gas will not accumulate inside the casing 110, similar to the above embodiment.
又、排気ガスを効率的に希釈でき、爆発の恐れがあるガ
スの濃度を充分に下げることができる。Furthermore, the exhaust gas can be efficiently diluted, and the concentration of potentially explosive gases can be sufficiently lowered.
又、第４図に示すように、パージ用ノズル１１Ｂの先端
を一度、オイル１０２面に向かって折曲げ、再度、ケー
シングの側壁に向かって曲げても良い。Alternatively, as shown in FIG. 4, the tip of the purge nozzle 11B may be bent once toward the oil 102 surface and then bent again toward the side wall of the casing.
又、第５図の平面図に示すように、パージ用ノズル１１
Ｂの先端に管１２０を取り付けて該先端をＴ字型に加工
し、管１２０の側面にノズル孔を複数設けるようにして
も良い。−
又、第６図に示すように、複数のノく一ジ用ノズル１１
６＾、１１６Ｂを設け、それぞれケーシング１００の側
壁に取り付けても良い。Further, as shown in the plan view of FIG. 5, the purge nozzle 11
A tube 120 may be attached to the tip of B, the tip may be processed into a T-shape, and a plurality of nozzle holes may be provided on the side surface of the tube 120. - Also, as shown in FIG. 6, a plurality of nozzles 11
6^, 116B may be provided and attached to the side wall of the casing 100, respectively.
又、第７図に示すように、複数取り付けられたパージ用
ノズル１１８Ａ、 １１６Ｂの先端をそれぞれ、平面的
にＵ字型等に折り曲げても良い。Further, as shown in FIG. 7, the tips of the plurality of purge nozzles 118A and 116B may be bent into a U-shape or the like on a plane.
又、第８図に示すように、複数のパージ用ノズル１１６
Ａ、 １１８Ｂを、ケーシング１００内において、平面
的にそれぞれ相対した側壁に取り付けても良いＯ
第４図乃至第８図に示した第１の変形例に係わる真空ポ
ンプのいずれに１おいても、矢印Ａに示される排気ガス
の主な流れを、矢印Ｂに示されるパージ用ノズルから噴
き出す不活性ガスの主な流れにより開口部に向かって煽
ることができる。これによりケーシング１００内に排気
ガスが澱むことがないと共に、危険なガスを含む排気ガ
スを充分に希釈することができる。Further, as shown in FIG. 8, a plurality of purge nozzles 116
A and 118B may be attached to side walls facing each other in plan view within the casing 100. The main flow of exhaust gas shown by arrow A can be stirred toward the opening by the main flow of inert gas spouted from the purge nozzle shown by arrow B. This prevents the exhaust gas from stagnating within the casing 100, and allows the exhaust gas containing dangerous gases to be sufficiently diluted.
第９図はケーシング内パージ機構を有するこの発明の第
２の実施例に係わる油回転真空ポンプを概要を示す図で
、一部を断面とした斜視図であ ′る。第９図におい
て、第１図及び第２図と同一の部分については同一の参
照符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。FIG. 9 is a partially sectional perspective view schematically showing an oil rotary vacuum pump according to a second embodiment of the present invention having a casing internal purge mechanism. In FIG. 9, the same parts as in FIGS. 1 and 2 are given the same reference numerals, and only the different parts will be explained.
油回転真空ポンプには、例えば排気ポート１１２にオイ
ルミストが飛散して入り込まないようにするため、オイ
ル１０２に浸されるポンプハウジング１０４と排気ポー
ト１１２との間にオイルミスト回収板１０Ｂが設けられ
る。該回収板１０８は、例えば飛散あるいは蒸散したオ
イルミストを、該回収板１０Ｂの表面に付着させて油滴
とし、ケーシング１００内のオイル１０２に戻すという
働きをする。In the oil rotary vacuum pump, an oil mist collection plate 10B is provided between the pump housing 104, which is immersed in oil 102, and the exhaust port 112, in order to prevent oil mist from scattering and entering the exhaust port 112, for example. . The recovery plate 108 has the function of, for example, causing scattered or evaporated oil mist to adhere to the surface of the recovery plate 10B to become oil droplets, and return the oil mist to the oil 102 in the casing 100.
この発明では、パージ用ノズル１１Ｂが回収板１０８と
ポンプハウジング１０４との間のケーシング１００側壁
に取り付けられるため、回収板１０ｇのオイルミストの
回収効率が低下することが予想される。In this invention, since the purge nozzle 11B is attached to the side wall of the casing 100 between the recovery plate 108 and the pump housing 104, it is expected that the oil mist recovery efficiency of the recovery plate 10g will be reduced.
そこで、第９図の斜視図に示すように、開口部１１４上
部に対応してふた板２００を取り付け、開口部１１４上
でもオイルミストが回収されるようにする。又、ふた板
２００とオイルミスト回収板１０８との間には例えばか
ぎ型の排気通路２０２が設けられ、第１の実施例と同様
に、排出された排気ガスをケーシング１００・の排気ポ
ート１１２へと流すことができる。Therefore, as shown in the perspective view of FIG. 9, a cover plate 200 is attached to the upper part of the opening 114 so that the oil mist can be collected even above the opening 114. Further, a hook-shaped exhaust passage 202, for example, is provided between the cover plate 200 and the oil mist collection plate 108, and similarly to the first embodiment, the exhausted exhaust gas is directed to the exhaust port 112 of the casing 100. It can flow as follows.
第１０図乃至第１３図はそれぞれ、第２の実施例の変形
例を示し、特に上記ふた板の変形例を概略的に示した断
面図である。第１０図乃至第１３図において、第９図と
同一の部分には同一の参照符号を付し、異なる部分につ
いてのみ説明する。FIGS. 10 to 13 are sectional views each showing a modification of the second embodiment, particularly a modification of the lid plate. In FIGS. 10 to 13, the same parts as in FIG. 9 are given the same reference numerals, and only the different parts will be explained.
先ず、第１０図に示すふた板は、第９図に示したふた板
２００と基本的に、準じたもので、開口部１１４上に、
例えばほぼ偏平なふた板２００を被せたものである。偏
平なふた板２００の側部周囲はかぎ型に折曲されており
、又、開口部１１４に沿う側部周囲の回収板１０８もか
ぎ型に折曲されている。これらのかぎ型の部分は互いに
すきまを生じるように対向されており、これによりかぎ
型の排気通路２０２が形成されている。First, the lid plate shown in FIG. 10 is basically similar to the lid plate 200 shown in FIG.
For example, it is covered with a substantially flat lid plate 200. The sides of the flat lid plate 200 are bent into a hook shape, and the collection plate 108 around the sides along the opening 114 is also bent into a hook shape. These hook-shaped portions are opposed to each other with a gap between them, thereby forming a hook-shaped exhaust passage 202.
第１１図に示すふた板は、開口部１１４上のふた板２０
０に、羽根板２０４′を取り付けたものである。The lid plate shown in FIG.
0 with a vane plate 204' attached.
このように羽根板２０４を取り付けることによりふた板
２００の表面積が増加し、オイルミストがより付着しや
すくなり、回収効率をより良好とすることができる。By attaching the vane plate 204 in this manner, the surface area of the cover plate 200 increases, making it easier for oil mist to adhere, and improving the recovery efficiency.
第１２図に示すふた板は、開口部１１４上のふた板２０
０に７字型の溝２０Ｂを設けたものである。このように
７字型の溝２０６を設けることによりふた板２００の表
面積を増加できると共に、付着したオイルミストの油ぎ
れを良好とできる。The lid plate shown in FIG.
0 is provided with a 7-shaped groove 20B. By providing the 7-shaped groove 206 in this manner, the surface area of the cover plate 200 can be increased, and the attached oil mist can be easily removed.
第１３図に示すふた板は、これに設けられた７字型の溝
２０６に例えば水冷管２０ｇのような冷却手段がさらに
取り付けられたものである。このように水冷管２０８の
ような冷却手段をふた板２００に取り付けることにより
、付着したオイルミストを素早く油滴化でき、オイルの
回収時間を短縮できる。The cover plate shown in FIG. 13 has a cooling means, such as a water cooling pipe 20g, further attached to a 7-shaped groove 206 provided therein. By attaching a cooling means such as the water-cooled pipe 208 to the cover plate 200 in this manner, the attached oil mist can be quickly turned into oil droplets, and the oil recovery time can be shortened.
上記構成の油回転真空ポンプによれば、ポンプハウジン
グ１０４から排出された排気ガスは直ちに例えば窒素等
のパージ用不活性ガスに希釈されると共に、該パージ用
不活性ガスの供給口であるノズル１１Ｂから排気ポート
１１２へのスムーズなガスの流れに助けられ、ケーシン
グ１００内に澱むことなく排気することができる。具体
的に得られた効果は、例えば次の通りである。According to the oil rotary vacuum pump having the above configuration, the exhaust gas discharged from the pump housing 104 is immediately diluted with a purge inert gas such as nitrogen, and the nozzle 11B is a supply port for the purge inert gas. Thanks to the smooth flow of gas from the gas to the exhaust port 112, the gas can be exhausted without stagnation inside the casing 100. The specific effects obtained are, for example, as follows.
先ず第１に、従来の油回転真空ポンプで８０％以上の確
率でケーシング内爆発を起こした条件、（Ｓ ｉＨ４−
４００［８ＣＣＮ］ 、Ｎ ２０−２０００［８ＣＣＮ
］、パージ用Ｎ ２−１３０００［ｓｃｃＭ］）でもケ
ーシング内爆発が発生しなかった。First of all, the conditions that caused an explosion inside the casing with a probability of over 80% in a conventional oil rotary vacuum pump (S iH4-
400[8CCN], N 20-2000[8CCN]
], purge N2-13000 [sccM]), no explosion occurred inside the casing.
第２に、ＳｉＨ，の流量をさらに２５％増加さセタ条件
（Ｓ ｉ Ｈａ −５００［８ＣＣＮ］ 、Ｎ２０−２
０００［８ＣＣＮ］、パージ用Ｎ ２− ｆｉＱｌ）０
［５ＣＣＮ］）でもケーシング内爆発が発生しなかった
。Second, the flow rate of SiH, was further increased by 25% under seta conditions (S i Ha -500[8CCN], N20-2
000[8CCN], purge N2-fiQl)0
[5CCN]), no explosion occurred inside the casing.
以上のようにこの発明に係わる油回転真空ポンプではそ
の安全性が著しく向上した。As described above, the oil rotary vacuum pump according to the present invention has significantly improved safety.
この発明に係わる油回転真空ポンプはその安全性から、
例えばプラズマＣＶＤ装置やＲ’ｌ Ｅ装置のような危
険性の高いガスを使用する装置を真空引きする際に用い
られることが好ましいが、他種のＣＶＤ装置等に使用す
ることももちろん可能である。例えば他種のＣＶＤ装置
において、自燃性、支燃性、爆発性のガスを用いた場合
や、ＲＩＥ装置等で腐食性のガス（例えば塩素系ガス等
）を用いた場合でも、ケーシング内での爆発や腐食によ
るケーシング内破損及び該破損に起因した災害に対する
安全性の向上が図れることは言うまでもない。Due to its safety, the oil rotary vacuum pump according to this invention has
For example, it is preferably used to evacuate equipment that uses highly dangerous gases, such as plasma CVD equipment and R'I E equipment, but it is of course possible to use it for other types of CVD equipment, etc. . For example, even when other types of CVD equipment use self-combustible, combustible, or explosive gases, or when RIE equipment uses corrosive gases (e.g. chlorine gas, etc.), Needless to say, it is possible to improve safety against damage within the casing due to explosion or corrosion and disasters caused by such damage.
［発明の効果］
以上説明したようにこの発明によれば、ケーシング内の
排気ガスの希釈効率、及びケーシングからの排出速度が
共に高く、排気ガスがケーシング内に澱むことなく、ケ
ーシング外に速やかに排出できる真空ポンプを提供でき
る。[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, both the dilution efficiency of the exhaust gas in the casing and the discharge speed from the casing are high, and the exhaust gas does not accumulate inside the casing and is quickly released outside the casing. We can provide a vacuum pump that can discharge.
【図面の簡単な説明】
第１図はケーシング内バージ機構を有するこの発明の第
１の実施例に係わる油回転真空ポンプを概要を示す一部
を断面とした斜視図、第２図はこの油回転真空ポンプの
一部を断面とした側面図、第３図及び第４図はそれぞれ
第１の実施例に係わる油回転真空ポンプの変形例を示す
一部を断面と八
して側面図、第５図乃至第８図はそれぞれ第１の、実施
例に係わる油回転真空ポンプの変形例を示す一部を断面
とした平面図、第９図はケーシング内バージ機構を有す
るこの発明の第２の実施例に係わる油回転真空ポンプを
概要を示す一部を断面とした斜視図、第１０図乃至第１
３図はそれぞれ第２の実施例の変形例を示し特にふた板
の変形例を概略的に示した断面図、第１４図はケーシン
グ内バージ機構を有する従来の油回転真空ポンプを概要
を水側面図である。
１００・・・ケーシング、１ｏ４・・・ポンプハウジン
グ、１０８・・・オイルミスト回収板、１１ｏ・・・排
気ｉＤ、１１２・・・排気ポート、１１６・・・パージ
用ノズル。
出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第４図
第５図
第６図
第７図
第８図
第９図
第１０図
第１１図
第１２図
第１３図[BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS] FIG. 1 is a partially sectional perspective view schematically showing an oil rotary vacuum pump according to a first embodiment of the present invention having a casing internal barge mechanism, and FIG. FIGS. 3 and 4 are a side view with a part of the rotary vacuum pump in cross section, and FIGS. 5 to 8 are partially sectional plan views showing modified examples of the oil rotary vacuum pump according to the first embodiment, and FIG. 9 is a plan view showing a second modification of the present invention having a barge mechanism in the casing. 10 to 1 are perspective views, partially in cross section, schematically showing an oil rotary vacuum pump according to an embodiment.
3 is a sectional view schematically showing a modification of the second embodiment, particularly a modification of the cover plate, and FIG. 14 is a schematic view of a conventional oil rotary vacuum pump having a barge mechanism inside the casing, viewed from the water side. It is a diagram. 100...Casing, 1o4...Pump housing, 108...Oil mist collection plate, 11o...Exhaust iD, 112...Exhaust port, 116...Purge nozzle. Applicant's Representative Patent Attorney Takehiko Suzue Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7 Figure 8 Figure 9 Figure 10 Figure 11 Figure 12 Figure 13
Claims (2)
の排気口を有するポンプハウジングと、前記ポンプハウ
ジングと前記排気ポートとの間前記ケーシング内に設け
られ、オイルミストを回収するためのオイルミスト回収
板と、 前記オイルミスト回収板に形成され、前記排気口と前記
排気ポートとを互いに連通させるための開口部と、を具
備し、 前記オイルミスト回収板と前記ポンプハウジングとの間
の前記ケーシングの側壁に、前記ケーシング内にパージ
用不活性ガスを供給するパージ用ノズルを取り付けたこ
とを特徴とする真空ポンプ。(1) A casing having an exhaust port, a pump housing installed in the casing and having an exhaust port for discharging exhaust gas, and a pump housing installed in the casing between the pump housing and the exhaust port, and an oil an oil mist recovery plate for recovering mist; and an opening formed in the oil mist recovery plate to allow the exhaust port and the exhaust port to communicate with each other, the oil mist recovery plate and the A vacuum pump characterized in that a purge nozzle for supplying a purge inert gas into the casing is attached to a side wall of the casing between the pump housing and the casing.
ジ用ノズル、排気口、開口部の順に前記ケーシング内に
配置され、前記パージ用ノズルから噴き出されたパージ
用不活性ガスが、前記排気口近傍上を通過し前記開口部
へと流れるようにしたことを特徴とする請求項（１）記
載の真空ポンプ。(2) The opening, the exhaust port, and the purge nozzle are arranged in the casing in the order of the purge nozzle, the exhaust port, and the opening, and the purge inert gas spouted from the purge nozzle is 2. The vacuum pump according to claim 1, wherein the flow passes near the exhaust port and flows into the opening.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2340299A JP2791214B2 (en) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | Vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2340299A JP2791214B2 (en) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | Vacuum pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH04209987A true JPH04209987A (en) | 1992-07-31 |
| JP2791214B2 JP2791214B2 (en) | 1998-08-27 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019108156A (en) * | 2017-12-19 | 2019-07-04 | ホシザキ株式会社 | Vacuum packaging machine |
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1990
- 1990-11-30 JP JP2340299A patent/JP2791214B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2019108156A (en) * | 2017-12-19 | 2019-07-04 | ホシザキ株式会社 | Vacuum packaging machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JP2791214B2 (en) | 1998-08-27 |
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