JPH0420857B2 - - Google Patents
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- JPH0420857B2 JPH0420857B2 JP60295442A JP29544285A JPH0420857B2 JP H0420857 B2 JPH0420857 B2 JP H0420857B2 JP 60295442 A JP60295442 A JP 60295442A JP 29544285 A JP29544285 A JP 29544285A JP H0420857 B2 JPH0420857 B2 JP H0420857B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は紫外線透過ガラスに係り、特に紫外線
消去型EPROMの窓用として金属枠との封着に適
した紫外線透過ガラスに関する。 〔従来の技術〕 従来、紫外線をICメモリー・チツプに照射し
てメモリー内容を消去できる記憶半導体素子
EPROM（以下EPROMという）の支持体として
はアルミナセラミツクパツケージが使用され、こ
れに紫外線照射用のガラス窓が直接あるいは枠材
を介して取り付けられている。この紫外線透過窓
の製造方法として、たとえばコバールメタルなど
の枠材にガラス片をのせ、ガラスを軟化融着させ
ることによつて枠材と封着させると同時に火磨き
を行ない、中心がレンズ状のガラスとなつたもの
を半導体パツケージに取着して窓とする方法が知
られている。この方法には、封着性の良さから主
として硼珪酸ガラスが用いられていた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 前記ガラス窓に用いられるガラスとしては、熱
膨張係数が45〜55×10-7／℃程度のものが要求さ
れている。熱膨張係数が45〜55×10-7／℃なるガ
ラスは、硼珪酸ガラスやアルミノ珪酸塩ガラスな
どがこれに相当する。しかしこれら従来のガラス
は、通常EPROMの消去用光源として使用される
水銀灯の波長254nｍにおける透過率が低く
EPROMの窓に用いた場合、紫外線照射によるメ
モリ消去の効率が低い欠点がある。また紫外線透
過率の高いガラスとしては石英ガラス、リン酸塩
ガラスなどがあるが、熱膨張係数45〜55×-7／℃
の範囲のものがなく、コバールメタルと封着する
ことができない。 本発明は上記事情を考慮してなされたもので、
ガラスの肉厚1.1mmでの波長254nｍにおける透過
率が60％以上で、かつ熱膨張係数45〜55×-7／℃
を有するガラスを提供するものである。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、重量百分率でSiO270〜75％、
B2O312〜17％、Al2O31〜３％、Na2O＋K2O＋
Li2O4〜８％、MgO＋CaO＋ZnO＋SrO1〜４％
なる組成を有し、ガラスの透過率が肉厚1.1mmの
ガラスにおいて波長254nｍで60％以上であり、
かつ平均線膨張係数が45〜55×10-7／℃であるこ
とを特徴とする紫外線ガラスである。 次に上記ガラスの各成分値を限定した理由につ
いて説明する。 SiO2はガラスを形成する主成分であるが、75
％を超えると溶融性が悪化し、70％未満では他成
分との相対的関係から紫外線透過率が低下する。 B2O3は17％を超えると科学的耐久性が悪化し
12％未満では紫外線透過率が低下しかつ溶融性も
悪化する。 Al2O3は化学的耐久性を高める働きをするが、
３％を超えると溶融性が悪化し、１％未満では化
学的耐久性改善の効果がない。 アルカリ金属酸化物は８％を超えると化学的耐
久性が悪化し、また紫外線透過率低下をまねき、
４％未満では熱膨張係数が小さくなり溶融性が悪
化する。 MgO、CaO、SrOおよびZnOは４％を超える
と紫外線透化率が低下し、１％未満では溶融性お
よび化学的耐久性が悪化する。 また紫外線吸収を増す物質としては、不純物と
して混入する鉄分があり、鉄分のうちFe3+が特
に紫外域に大きな吸収を持ち、紫外線透過率を低
下させる原因となつている。そのため不純物であ
る鉄分を減少させることが必要であり、Fe3+を
還元によつてFe2+に変えFe3+を減少させること
も紫外線透過率向上に有効である。これはガラス
原料バツチ中に還元剤を加えて溶融することによ
つて実現され、その還元剤としてはカーボン、酒
石酸、金属シリコン、金属アルミニウムなどが有
効である。ただし原料中の鉄分が重量比で
100ppm以下である場合は、酸化清澄剤たとえば
As2O3、Sb2O3を酸化剤と共に用いても差し支え
ない。 〔作用〕 上記組成により肉厚1.1mmでの波長254nｍにお
ける透過率が60％以上で、かつコバールメタルと
近似の熱膨張係数、すなわち平均熱膨張係数45〜
55×10-7／℃を有するガラスが得られる。 〔実施例〕 次に本発明の実施例について説明する。表中の
ガラス組成は重量％で示してある。
消去型EPROMの窓用として金属枠との封着に適
した紫外線透過ガラスに関する。 〔従来の技術〕 従来、紫外線をICメモリー・チツプに照射し
てメモリー内容を消去できる記憶半導体素子
EPROM（以下EPROMという）の支持体として
はアルミナセラミツクパツケージが使用され、こ
れに紫外線照射用のガラス窓が直接あるいは枠材
を介して取り付けられている。この紫外線透過窓
の製造方法として、たとえばコバールメタルなど
の枠材にガラス片をのせ、ガラスを軟化融着させ
ることによつて枠材と封着させると同時に火磨き
を行ない、中心がレンズ状のガラスとなつたもの
を半導体パツケージに取着して窓とする方法が知
られている。この方法には、封着性の良さから主
として硼珪酸ガラスが用いられていた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 前記ガラス窓に用いられるガラスとしては、熱
膨張係数が45〜55×10-7／℃程度のものが要求さ
れている。熱膨張係数が45〜55×10-7／℃なるガ
ラスは、硼珪酸ガラスやアルミノ珪酸塩ガラスな
どがこれに相当する。しかしこれら従来のガラス
は、通常EPROMの消去用光源として使用される
水銀灯の波長254nｍにおける透過率が低く
EPROMの窓に用いた場合、紫外線照射によるメ
モリ消去の効率が低い欠点がある。また紫外線透
過率の高いガラスとしては石英ガラス、リン酸塩
ガラスなどがあるが、熱膨張係数45〜55×-7／℃
の範囲のものがなく、コバールメタルと封着する
ことができない。 本発明は上記事情を考慮してなされたもので、
ガラスの肉厚1.1mmでの波長254nｍにおける透過
率が60％以上で、かつ熱膨張係数45〜55×-7／℃
を有するガラスを提供するものである。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、重量百分率でSiO270〜75％、
B2O312〜17％、Al2O31〜３％、Na2O＋K2O＋
Li2O4〜８％、MgO＋CaO＋ZnO＋SrO1〜４％
なる組成を有し、ガラスの透過率が肉厚1.1mmの
ガラスにおいて波長254nｍで60％以上であり、
かつ平均線膨張係数が45〜55×10-7／℃であるこ
とを特徴とする紫外線ガラスである。 次に上記ガラスの各成分値を限定した理由につ
いて説明する。 SiO2はガラスを形成する主成分であるが、75
％を超えると溶融性が悪化し、70％未満では他成
分との相対的関係から紫外線透過率が低下する。 B2O3は17％を超えると科学的耐久性が悪化し
12％未満では紫外線透過率が低下しかつ溶融性も
悪化する。 Al2O3は化学的耐久性を高める働きをするが、
３％を超えると溶融性が悪化し、１％未満では化
学的耐久性改善の効果がない。 アルカリ金属酸化物は８％を超えると化学的耐
久性が悪化し、また紫外線透過率低下をまねき、
４％未満では熱膨張係数が小さくなり溶融性が悪
化する。 MgO、CaO、SrOおよびZnOは４％を超える
と紫外線透化率が低下し、１％未満では溶融性お
よび化学的耐久性が悪化する。 また紫外線吸収を増す物質としては、不純物と
して混入する鉄分があり、鉄分のうちFe3+が特
に紫外域に大きな吸収を持ち、紫外線透過率を低
下させる原因となつている。そのため不純物であ
る鉄分を減少させることが必要であり、Fe3+を
還元によつてFe2+に変えFe3+を減少させること
も紫外線透過率向上に有効である。これはガラス
原料バツチ中に還元剤を加えて溶融することによ
つて実現され、その還元剤としてはカーボン、酒
石酸、金属シリコン、金属アルミニウムなどが有
効である。ただし原料中の鉄分が重量比で
100ppm以下である場合は、酸化清澄剤たとえば
As2O3、Sb2O3を酸化剤と共に用いても差し支え
ない。 〔作用〕 上記組成により肉厚1.1mmでの波長254nｍにお
ける透過率が60％以上で、かつコバールメタルと
近似の熱膨張係数、すなわち平均熱膨張係数45〜
55×10-7／℃を有するガラスが得られる。 〔実施例〕 次に本発明の実施例について説明する。表中の
ガラス組成は重量％で示してある。
以上のように本発明のガラスは、紫外線透過率
が高いのでEPROMの紫外線透過窓として使用し
た場合に、紫外線照射によるメモリ消去を効率よ
く行うことができ、しかもコバールメタルと近似
の熱膨張係数を有するので、コバールメタルとの
封着が容易であり、コバールメタル等の金属を窓
枠に用いたEPROMの窓用ガラスとして、極めて
好適した紫外線透過ガラスである。
が高いのでEPROMの紫外線透過窓として使用し
た場合に、紫外線照射によるメモリ消去を効率よ
く行うことができ、しかもコバールメタルと近似
の熱膨張係数を有するので、コバールメタルとの
封着が容易であり、コバールメタル等の金属を窓
枠に用いたEPROMの窓用ガラスとして、極めて
好適した紫外線透過ガラスである。
Claims (1)
- １ 重量百分率でSiO270〜75％、B2O312〜17％、
Al2O31〜３％、Na2O＋K2O＋Li2O4〜８％、
MgO＋CaO＋ZnO＋SrO1〜４％からなる組成を
有し、ガラスの透過率が肉厚1.1mmのガラスにお
いて波長254nｍで60％以上であり、かつ平均線
膨張係数が45〜55×10-7／℃であることを特徴と
する紫外線透過ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29544285A JPS62153142A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | 紫外線透過ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29544285A JPS62153142A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | 紫外線透過ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62153142A JPS62153142A (ja) | 1987-07-08 |
| JPH0420857B2 true JPH0420857B2 (ja) | 1992-04-07 |
Family
ID=17820641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29544285A Granted JPS62153142A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | 紫外線透過ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62153142A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6489411B2 (ja) * | 2014-03-19 | 2019-03-27 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| TWI692459B (zh) * | 2015-05-29 | 2020-05-01 | 日商Ａｇｃ股份有限公司 | 紫外線透射玻璃 |
| CN109422459A (zh) * | 2017-08-28 | 2019-03-05 | 杭州富阳环宇玻璃厂 | 一种用于传光棒的紫外高透过率低折射率玻璃 |
-
1985
- 1985-12-25 JP JP29544285A patent/JPS62153142A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62153142A (ja) | 1987-07-08 |
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