JPH04196030A

JPH04196030A - マグネトロン

Info

Publication number: JPH04196030A
Application number: JP32294690A
Authority: JP
Inventors: Tomokatsu Oguro; 友勝小黒
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1990-11-28
Filing date: 1990-11-28
Publication date: 1992-07-15
Anticipated expiration: 2015-09-11
Also published as: JP3085402B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はマグネトロンの陰極構体に関する。

〔従来の技術〕

従来の陰極構体は、第３図及び第４図に示すような構造
となっている。即ち、アルミナセラミック製の絶縁体ｌ
に設けられた２個の貫通孔には、それぞれモリブデンな
どの高融点金属からなる陰極サポート２．３の一端側が
挿通され、これら陰極サポート２．３は金属金具４を介
して、第３図のように絶縁体１の下面、または第４図の
ように絶縁体１の上面に気密にろう付は固着されて保持
されている。また絶縁体１には図示しない陽極円筒にろ
う付は固着された封着用金属体５がろう付は固着されて
いる。前記陰極サポート２．３の先端にはモリブデン製
のエンドシールド６．７が固着され、エンドシールド６
．７にはフィラメント８の両端がろう付は固着されてい
る。

なお、この種の陰極構体として関連するものには、例え
ば特開昭５６−１３２７４７号公報、特開昭５９−１８
６２３３号公報、特開昭６２−５５８４８号公報、特開
昭６３−２９８４４壮公報などがあげられる。

どころで、前記陰極サポート２．３は、モリブデン粉末
をインゴットプレス成形し、次にインゴット焼成し、そ
の後高温で線引きを行い、必要な長さに切断した後、折
り曲げ加工を行って製作される。

〔発明が解決しようどする課題〕

上記従来技術は、高価なモリブデン製の陰極サポートの
長さが長いので、コスト高になる。また陰極サポートは
、高温で線引きしたモリブデン棒が用いられるが、高温
で線引きを行う際に棒の表面を鍛造する関係で棒の表層
に異物を巻き込んだり、亀裂、空洞部等のいわゆる欠陥
部分を生じ易い。この欠陥部分が外部から内部の真空部
分に連通して発生している場合には、組み立て後真空気
密不良となる。また線引きで作られる棒はほぼ直線状で
あるため、その後の工程で更にプレス成形により折り曲
げ加工が必要であり、加工工程が多くてこの点からもコ
スト高になる。さらに、陰極サポートの断面寸法は長さ
方向に沿って均一・なものに限られるので、マグネ）・
ロンの構造として小型軽量化しにくい。

本発明の目的は、陰極サポートのコスト低減及び信頼性
の高いマグネトロンが得られる陰極構体を提供すること
にある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、陰極サポートを、絶縁体に
挿通される外部陰極サポートと、エンドシールドが固着
される内部陰極サポートとによって構成し、外部陰極サ
ポートと内部陰極サポートとを絶縁体の上面に固着され
た金属金具を介して固着した構造であって、前記内部陰
極サポートは、モリブデンもしくはその合金粉末をプレ
ス成形し、焼成を行って所定の形状にせしめたものであ
る。

〔作用〕

陰極サポートは、外部陰極サポートと内部陰極サポート
とよりなるので、内部陰極サポートのみモリブデン材と
し、外部陰極サポートは安価な鉄材または鉄合金材どし
ているか、更に内部陰極サポートは線引き工程のない粉
末成形品とすることができる。このため、モリブデン材
の工程が大幅に短縮され、コスト低減が図れる。

更に内部陰極サポートはモリブデン粉末をプレス成形し
、それを焼成し、その後整形プレスにより製作すること
により、形状に変化をもたせることができる。例えばフ
ィラメント側の断面を小形にし、絶縁体側を大形にする
こともでき、これにより、小形のフィラメントの支持も
可能となり、しかも、絶縁体に固定する側は大形のため
に外部からの振動、ｉｆｆに対しても強固なマグネトロ
ンか得られる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。なお
、第４図と同じ部材は、同一符号を付して説明する。陰
極サポート９、ＩＯは、絶縁体１に挿通される鉄材また
は鉄合金等からなる外部陰極サポート９ａ、１０ａと、
エンドシールド６．７が固着されるモリブデン等の高融
点金属からなる内部陰極サポート９ｂ、１０ｂとからな
っている。そして、外部陰極サボー）９ａ、１０ａが絶
縁体１に挿通され、外部陰極サポート９ａ、１０ａと内
部陰極サポート９ｂ、Ｊｏｂとはそれぞれ円筒部付き金
属金具１１の円筒部内部で共にろう付けされ、かつ金属
金具１１が絶縁体１の上面にろう付けされている。また
従来と同様に、絶縁体１には封着用金属体５が固着され
、内部陰極サポート９ｂ、１０ｂの先端にはエンドシー
ルド６．７を介してフィラメント８が保持されている。

このように、内部陰極サポート９ｂ、１０ｂのみモリブ
デン材とすることができるので、モリブデン材の長さが
従来に比べて大幅に短縮され、コスト低減が図れる。ま
た内部陰極サポー）９ｂ、１０ｂに亀裂、空洞部等の欠
陥部分あっても、マグネトロンの内部と外部は外部陰極
サポート９ａ、１０ａで遮断され、真空気密性の信頼性
が向上する。

また内部陰極サポート９ａ、ｌＯａは、モリブデン粉末
をプレス整形し、それを焼成して製作できる。即ち、極
めて簡単な製造プロセスで製作てきるので、この点から
もコスト低減が図れる。

またプレスにより製作できることにより、第２図（ａ）
に示す円形断面、同図（ｂ）に示す矩形断面、同図（Ｃ
）に示す８角形断面、同図（ｄ）に示す非均−の矩形断
面のように、形状に変化をもたせることができる。特に
第２図（ｃｌ）のように、フィラメント８側の断面を小
形にし、絶縁体１側を大型にすると、小形のフィラメン
トの支持も可能となり、しかも、絶縁体１に固定される
側は大型となるために外部からの振動、衝撃に対しても
強固なマグネトロンが得られる。

なお、陰極構体の構成は、前記実施例で述べたような２
本の陰極サポートに限定されず、３本の陰極サポートで
あってもよく、また２本の陰極サポートの内の１本を円
筒状とした同軸形ステムであってもよい。また前記実施
例では絶縁体１に２個の貫通孔を有するものとしたが、
特開昭６２−５５８４８号公報、特開昭６３−２９８４
４号公報のように２個の貫通孔と２個の非貫通孔とを有
する絶縁体を用いた陰極構体としてもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、陰極サポートは、絶縁体に挿通される
外部陰極サポートと、エンドシールドが固着される内部
陰極サポートとよりなり、内部陰極サポートは線引きモ
リブデンではなく粉末整形、焼成から直接製作されたモ
リブデンからなるので、コスト低減、耐振強度及び信頼
性の高いマグネトロンが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図（ａ）
乃至（ｄ）はそれぞれ内部陰極サポートを示す正面図及
び底面図、第３図及び第４図はそれぞれ従来例の断面図
である。１・・・絶縁体、　　　６．７・・・エンドシールド、
８・・・ラメント、　　９、ＩＯ・・・陰極サポート、
９ａｌＯａ・・・外部陰極サポート、９ｂ、１０ｂ・・・内部陰極サポート、区

Claims

【特許請求の範囲】

１、絶縁体と、この絶縁体に貫通して設けられ、該絶縁
体の上面に金属金具を介して固着された陰極サポートと
、この陰極サポートの先端に固着されたエンドシールド
と、このエンドシールドによって支持されたフイラメン
トとを備えたマグネトロンにおいて、前記陰極サポート
は、前記絶縁体に挿通される外部陰極サポートと、前記
エンドシールドが固着される内部陰極サポートとからな
り、外部陰極サポートと内部陰極サポートとを絶縁体の
上面に固着された金属金具を介して固着してなる基本構
成を有すると共に、前記内部陰極サポートは、モリブデ
ン粉末もしくはその合金粉末をプレス成形及びその後焼
成した粉末焼成よりなることを特徴とするマグネトロン
の陰極構体。