JPH04192391A - パターン描画装置 - Google Patents

パターン描画装置

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Publication number
JPH04192391A
JPH04192391A JP2318054A JP31805490A JPH04192391A JP H04192391 A JPH04192391 A JP H04192391A JP 2318054 A JP2318054 A JP 2318054A JP 31805490 A JP31805490 A JP 31805490A JP H04192391 A JPH04192391 A JP H04192391A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
sensor
substrate
paste
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2318054A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoji Tajiri
洋治 田尻
Tasaku Kiyono
太作 清野
Kazuhiko Ato
和彦 阿藤
Hiroyuki Hida
飛田 博之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH04192391A publication Critical patent/JPH04192391A/ja
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  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、スクリーンを用いることなく導体ペーストや
抵抗ペーストを基板上で描画することにより厚膜回路を
形成するパターン描画装置に関する。
〔従来の技術〕
一般に、この種のパターン描画装置は、例えば特開昭5
9−111387号公報や特開昭60−132385号
公報に開示されているようにスクリーンの代わりにペー
スト吐出ノズルによりペーストを基板上に吐出するよう
に構成されている。
第4図はこの種の従来のパターン描画装置の説明図であ
る。同図においてテーブル1は水平方向(XY力方向に
移動可能であり、この上に基板2が載置される。テーブ
ル1は駆動モータ(M)4により制御回路3の制御に応
じて水平方向に移動する。これによりテーブル1上の基
板2も水平方向に移動する。
このテーブルlの上方には、ペースト6を基板2上に均
一に吐出するために上下方向(2方向)に微小移動可能
なノズル5か配置され、また、ノズル5の吐出口の近傍
に配置されて吐出口と基板2の間の距離ΔZを検出する
ための一つのセンサ7か固定されている。ノズル5は、
センサ7の検出信号ΔZにより吐出口と基板2の間の距
離ΔZが一定になるように制御され、また、ノズル5内
のペースト6は圧縮空気により吐出される。
尚、センサ7としては、基板2上に接触する接触式や、
特開昭59−111387号公報に示すような非接触式
が知られており、また、ノズル5と一体になって移動す
るものや、分離されたものが知られている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上記従来のパターン描画装置ては、1つ
のセンサ7かノズル5の近傍に固定されているので、基
板2かセンサ7からノズル5の方向(図示矢印方向)に
移動する場合にはノズル5の吐出口と基板2の距離ΔZ
か一定になるように制御することができるか、基板2が
他の方向に水平移動する場合には基板2の反りや凹凸に
よりノズル5の吐出口と基板2の間の距離Δ2を正確に
検出することかてきず、したかつて、ペースト6を均一
に塗布することかできないという問題点かある。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、基板の反りや凹凸に
かかわらずペーストを均一に塗布することができるパタ
ーン描画装置を提供することを目″ 的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は上記目的を達成するために、基板がセンサから
ノズルの方向に常に向かうように、1つのセンサをノズ
ルの回りに回動可能に配置したり、又は複数のセンサを
配置して当該センサを選択するようにしたものである。
          1〔作 用〕 本発明は上記構成により、基板がセンサからノズルの方
向に常に向かうのて、センサの検出信号が基板の反りや
凹凸にかかわらず正確になり、したかって、ペーストを
均一に塗布することができる。
〔実施例〕
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。第1図
は本発明に係るパターン描画装置の一実施例を示す構成
図、第2図は第1図のパターン描画装置の動作を説明す
るための平面図である。
第1図において、XY子テーブル1は、XYモータ(M
)12により水平方向(XY力方向に移動可能であり、
基板I3はXYテーブルII上に水平に載置される。
XY子テーブル1の上方には、Zモータ(M)14によ
り垂直方向(Z方向)に移動可能なZテーブル15が配
置され、Zテーブル15には、センサテーブル17がセ
ンサモータI8により水平面において回動可能なように
取り付けられている。
センサテーブル17には、ペーストPをXYテーブル1
1上の基盤I3上に吐出するためのノズル16が固定さ
れるとともに、ノズル16の吐出口と基板13の間の距
離Δ2を検出可能なようにセンサ19がノズル16の吐
出口に近接して固定されている。したがって、ノズル1
6とセンサ19は共に水平面において回動可能である。
XYモータ12.Zモータ14.センサモータ18はそ
れぞれ、モータ駆動回路20のXY方向駆動信号、Z方
向駆動信号、センサ駆動信号θにより駆動され、モータ
駆動回路20は後述するようにコントローラ21により
制御される。また、XY子テーブル1.Zテーブル15
.センサテーブル17の現在位置(X、 ¥) 、Y、
θはそれぞれ、例えばXYモータ12.Zモータ14.
センサモータ18に設けられたロータリーエンコーダ等
の検出手段により検出されてコントローラ21に通知さ
れ、また、センサ19の検出信号ΔZも同様にコントロ
ーラ21に通知される。
尚、XYモータ12.Zモータ14.センサモータ18
かパルスモータである場合には、XY方向駆動信号、Z
方向駆動信号、センサ駆動信号θをカウントすることに
よりXY子テーブル1、Zテーブル15、センサテーブ
ル17の現在位置(X、Y) 、Y、θを検出すること
ができるので、ロータリーエンコーダ等の検出手段は不
要である。
次に、上記実施例の動作を説明する。
コントローラ21は、予め設定された回路パターンに応
じてXY子テーブル1及び基板13が水平方向に移動す
るように、モータ駆動回路20を介してXYモータ12
を駆動し、また、この回路パターンにより基板13がセ
ンサ19からノズル16の方向に常に向かうように、モ
ータ駆動回路20を介してセンサモータ18を駆動する
したがって、第2図に示すように、基板13か図示実線
で示す方向に移動する場合、センサ19はノズル16の
前に配置され、また、基板13か図示破線で示す他の方
向に移動する場合にも同様にセンサ19はノズル16の
前に配置される。
この場合、センサ19の検出信号ΔZがコントローラ2
1に通知され、ノズル16の吐出口と基板13の間の距
離△Zか一定になるよう゛にコントローラ21がモータ
駆動回路20を介してZモータ14を駆動すると、基板
13が常にセンサ19からノズル16の方向に向かうの
で、基板13の反りや凹凸にかかわらずペーストPを均
一に塗布することかできる。
尚、上記実施例では、センサ19かノズル16と共に回
動するように構成したが、第3図に示すようにZモータ
14かノズル16のもをZ方向に移動し、センサモータ
18かセンサテーブル17を介してセンサ19のみを回
動するように構成してもよい。
また、上記実施例では、基板13かセンサ19からノズ
ル16の方向に常に向かうように1つのセンサ19を回
動して構成したが、ノズル16の回りに複数のセンサを
固定し、基板13の進行方向に応じてセンサの検出信号
を選択するように構成してもよい。尚、この場合には、
センサの数により基板13の進行方向が限定されるが、
パターンが±X方向のみ、±Y力方向み、±X方向及び
±Y力方向みの場合には安価に構成することができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように請求項1および2記載の発明によれ
ば、基板がセンサからノズルの方向に常に向かうように
、1つのセンサをノズルの回りに回動可能に配置したり
、又は複数のセンサを配置して当該センサを選択するよ
うにしたので、センサの検出信号が基板の反りや凹凸に
かかわらず正確になり、したかつて、ペーストを均一に
塗布することかできる。
【図面の簡単な説明】
画装置の動作を説明するための平面図、第3図は第1図
のパターン描画装置の変形例を示す概略構成図、第4図
は従来のパターン描画装置を示す構成図である。 11・・・・・・・・・XY子テーブル12,14.1
8・・・・・・・・・モータ、13・・・・・・・・・
基板、15・・・・・・・・・Zテーブル、16・・・
・・・・・・ノズル、17センサテーブル、19・・・
・・・・・・センサ、20・・・・・・・・・モータ駆
動回路、21・・・・・・・・・コントローラ。 第1図 11−−−−−− XYテープンV +2.14.18−−・・モータ 13−・一番才に 15−−−−−− Zチーデル 16−−−−−・ノズル 17−−−−−−亡ンリテーフル 19−−−−−−センサ 20−−−−一石−7駐劃同ち 2+−−−−−・つントローラ 第2図 第3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.XY方向に移動可能であり、ペーストによりパター
    ンが描画される基板が載置されるXYテーブルと、 前記XYテーブルの上方にZ方向に移動可能に配置され
    、前記XYテーブル上の基板上にペーストを塗布するノ
    ズルと、 前記ノズルの吐出口の回りのXY面において回動可能で
    あり、前記ノズルの吐出口と基板の間の距離を検出する
    センサと、 パターンに応じてXYテーブルをXY方向に移動させる
    とともに、前記ノズルを回動させて基板が前記センサか
    ら前記ノズルの方向に常に向かうように制御し、前記セ
    ンサの検出信号により前記ノズルをZ方向に移動させて
    前記ノズルの吐出口と基板の間の距離が一定になるよう
    に制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とするパターン描画装置。
  2. 2.XY方向に移動可能であり、ペーストによりパター
    ンが描画される基板が載置されるXYテーブルと、 前記XYテーブルの上方にZ方向に移動可能に配置され
    、前記XYテーブル上の基板上にペーストを塗布するノ
    ズルと、 前記ノズルの吐出口の回りに固定され、それぞれ前記ノ
    ズルの吐出口と基板の間の距離を検出する複数のセンサ
    と、 パターンに応じてXYテーブルがXY方向に移動するよ
    うに制御するとともに、基板が前記センサから前記ノズ
    ルの方向に向かうときのセンサの検出信号を前記複数の
    センサから選択し、前記検出信号により前記ノズルがZ
    方向に移動して前記ノズルの吐出口と基板の間の距離が
    一定になるように制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とするパターン描画装置。
JP2318054A 1990-11-26 1990-11-26 パターン描画装置 Pending JPH04192391A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100601471B1 (ko) * 2004-08-30 2006-07-14 삼성전기주식회사 다중 분사 방식을 이용한 인쇄회로기판의 제조방법
WO2006079913A1 (en) * 2005-01-28 2006-08-03 Smart Res S.R.L. Apparatus and method for making an antenna for a radiofrequency identifying device

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