JPH04191387A - 電解オゾン発生方法及び装置 - Google Patents

電解オゾン発生方法及び装置

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JPH04191387A
JPH04191387A JP2323471A JP32347190A JPH04191387A JP H04191387 A JPH04191387 A JP H04191387A JP 2323471 A JP2323471 A JP 2323471A JP 32347190 A JP32347190 A JP 32347190A JP H04191387 A JPH04191387 A JP H04191387A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、水電解によるオゾン発生方法及び装置に関し
、より詳細にはプール水の処理や半導体製造過程のウェ
ハー処理あるいは化学反応に使用するオゾンガスを高電
流効率及び高濃度でかつオゾンの気液分離を行うことな
く生成するためのオゾン発生方法及び装置に関する。
(従来技術とその問題点) オゾンは強力でクリーンな酸化剤あるいは殺菌側として
注目されつつあり、特にその分解生成物が酸素であり従
来から使用されている塩素系のものと比較して残留物が
被処理物中に残留しないこと、分解速度が速くオゾンが
それ自身残留せず二次公害の問題も全くないこと等の理
由から特に水処理用としての使用が増加している。この
ように酸化剤として有用なオゾンを発生させるために従
来から主として放電法及び電解法が採用されている。放
電法はエネルギ原単位が小さくランニングコストが安い
という利点がある反面、得られるオゾン濃度が低く、か
つ不純物が多く更に設備が大きくなりがちであるという
欠点がある。一方電解法はエネルギ原単位が大きいとい
う欠点を存するものの、高濃度及び高純度のオゾンを得
ることができ、かつ小型の電解槽でオゾン製造を行うこ
とができるという利点を有している。従って現在ではエ
ネルギ原単位が高いながら、生成物の純度や操作の容易
性の点が有利な電解法が主流となっている。
この電解法に使用される電解オゾン発生装置(電解オゾ
ナイザ)によると、陽極としてオゾン発生機能に優れた
酸化鉛系電極を使用して通常の水電解とほぼ同様の操作
で高濃度オゾンを得ることができる。該電解オゾン発生
装置は純水(イオン交換水)を原料とし、主としてパー
フルオロカーボンスルホン酸系のイオン交換膜を固体電
解質として使用しており、陽極である二酸化鉛と組み合
わせて使用されオゾンを発生させる。この方法により1
5%程度の濃度のオゾンガスを含有する酸素を得ること
ができ、これをそのまま又は水に溶解してオゾン含有水
として使用する。この電解法は前述の通り装置及び操作
が節単であり、特に小型、小発生量領域での高濃度オゾ
ン発生装置として注目されている。
しかし性能の良好なこのオゾン発生装置にもいくつかの
欠点がある。該装置では通常陽イオン交換膜を固体電解
質とし、陽極及び陰極をこの固体電解質に密着させた電
解槽のオゾン発生が生ずる陽極室側に原料水である純水
やイオン交換水を供給するようにしている。この装置で
は陽極室側にオゾン及び酸素が発生するとともζこ水素
イオンや他の陽イオンが同伴水とともに固体電8¥質を
通して陰極室側に移行し、陰極から水素が発生ずる。
該装置の陽極室では、生成する陽イオンが全て固体電解
質を通して陰極室側に移行するのに対し陰イオンは固体
電解質を透過できずに陽極室内に蓄積される。この蓄積
される陰イオンにより陽極室側の被電導度が大きくなり
かつ電流効率が低下する。
この陰イオンを陽極液から除去するためには該陽極液を
槽外に循環して例えばイオン交換樹脂で処理すればよい
が陽極液中に含有されるオゾンにより前記イオン交換樹
脂が劣化するためこの処理方法は採用しにくい。従って
蓄積する陰イオン除去のためには実質的に液ブローを行
う以外に方法がなく、この液ブローでは装置の構造が複
雑になるとともに液ブロー後の液のオゾンの分解等が必
要になり、更に原料水である純水やイオン交換水を余分
に必要とするという欠点がある。
(発明の目的) 本発明は、陽極液からの蓄積イオンの除去を必要とする
ことなく高電流効率で高濃度オゾンを生成するための方
法及び装置を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、第1に固体電解質により陽極室及び陰極室に
区画されたオゾン発生用電解槽に原料水を供給しかつ電
解して陽極室においてオゾンを製造する電解オゾン発生
方法において、前記原料水を陰極室に供給することを特
徴とする電解オゾン発生方法であり、第2に固体電解質
によりオゾン発生用電解槽を、気液分離塔に連結され原
料水が満たされた陰極室と該陰極室から透過する原料水
以外の水を実質的に有しない陽極室とに区画したことを
特徴とする電解オゾン発生装置である。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明は、電解法によるオゾン発生において、陽極液の
使用に付随する種々の欠点、例えば陽極液とオゾンの気
液分離、陽極液中に存在するオゾンに起因する蓄積イオ
ンの除去の際のイオン交換樹脂の劣化、前記蓄積イオン
に起因する電流効率の低下等の欠点を解消するために原
料水を陰極室のみに供給するようにしたオゾン発生方法
及び装置である。
本発明で使用する電解槽の構造は、固体電解質として好
ましくはパーフルオロカーボンスルホン酸系のイオン交
換膜を使用し、該イオン交換膜の両面に陽極物質及び陰
極物質を被覆したいわゆるSPE型電解槽とし、前記イ
オン交換膜は陽イオン透過性膜とすることが好ましく、
陽イオン透過性であると陰極室で生成する陰イオンが陽
極室へ透過し陽極表面でのオゾン発生反応を阻害するこ
とがなくなる。
前記電解槽の材質は陽極室材料としてはオゾン耐性を有
すれば特に躍定されないが例えばチタン、テフロン(登
録商標)等を、又陰極室材料とじてはチタン、ステンレ
ス、テフロン、塩化ビニル、ポリプロピレン等を使用す
ることができる。
前記イオン交換膜の両側に被覆する陽極物質及び陰極物
質は特に限定されないが、例えば陽極物質としてはβ−
二酸化鉛等を、又陰極物質としては白金族金属やその酸
化物を使用することができる。陽極物質として前記β−
二酸化鉛を使用する場合には、例えば白金や金等の下地
処理を施したチタン製微細多孔性基体上にβ−二酸化鉛
電着層を形成することが望ましく、又陰極物質として白
金や酸化ルテニウム等を使用する場合にはチタン、ステ
ンレス、カーボン製の微細多孔性基体上に、前記白金等
の微粉末とバインダとの混練ペーストを塗布しホットプ
レスにより成型することが望ましい。この他に電極物質
を被覆するのではなく、それぞれの電極物質をイオン交
換膜とは別個に準備し、陽極物質−イオン交換膜−陰極
物質の順に積層し給電体で挟み込みボルトで締着して電
解槽を組み立てるようにしてもよい。
好ましい電解条件は、電流密度50〜150A / d
m2、摺電圧3.0〜3.5■、液温25〜35°C程
度である。なおこの電解による発熱のために電流量によ
っては温度が上昇しすぎることがあるので、この場合に
は冷却水を流して温度を低下させることが望ましい。
該電解槽の陰極室に供給する原料水は、前もって脱イオ
ン化して前記イオン交換膜の保護を図るようにすること
が望ましい。
前記電解槽の陰極室のみに原料水を供給しかつ両極間に
通電すると陰極室で通常の水電解により水素ガスが発生
するとともに、陰極室内の原料水が陰極物質及び固体電
解質を透過して陽極室に達し陽極表面で電解されてオゾ
ン及び酸素が発生する。
陽極室内には実質的な液相が存在しないため、発生する
混合ガスはそのまま気体として槽外に取り出すことがで
き、従来のように陽極室に気液分離塔を設置する必要が
なく、気液分離等によるオゾンのロスや濃度低下を回避
して高濃度オゾンを製造することができる。
又従来の電解オゾン発生装置で生ずる陽極液中への不純
物混入による電流効率の低下や液量導率の上昇も生ずる
余地がなく、固体電解質の選択等を適切に行うことによ
り従来の陽極室への原料水の場合と比較してオゾン発生
効率を20〜50%向上させることができ、しかも従来
必要であった陽極液のイオン交換処理等が不要になる。
オゾン発生に関する電流効率は固体電解質に大きく依存
し、固体電解質のイオン交換容量を0.5〜5ミリ当量
/g、膜厚を0.03〜0.3 mm、イオンクラスタ
径を10〜100人の範囲に維持すると実用上広く使用
される10〜200人/ dm Zの電流密度における
電流効率を15〜25%の範囲に維持することができる
又前述の通り電解オゾン製造には高純度の原料水つまり
純水やイオン交換水を使用することが望ましくこれらの
原料水は比較的高価である。本発明では消費される原料
水は理論的に電解で消費される原料水量にほぼ等しく、
高価な原料水を余分に使用することが不要になる。
更に陽極室側に実質的に液相が存在しないため、リーク
電流に起因する電極物質の劣化を回避でき、更に陽極物
質の逆電流に対する耐性が弱い場合には保護電流を極力
小さくすることも可能である。
次に添付図面に示す本発明に係わるオゾン発生装置の一
例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、これは本
発明を限定するものではない。
箱型のオゾン発生用電解槽1は、パーフルオロカーボン
スルホン酸型イオン交換膜等から成る固体電解質2によ
り陽極室3と陰極室4に区画され、固体電解質2の陽極
室3側には例えば二酸化鉛粉末である陽極物質層5が又
陰極室4側には例えば白金である陰極物質層6がそれぞ
れ額縁状のガスケット7の内部に形成されている。前記
陽極物質[5の側面にはメツシュ状の陽極給電エレメン
ト8が、又前記陰極物質層6の側面にはメソシュ状の陰
極給電エレメント9がそれぞれ接続されている。
前記陽極室3の側面には、生成するオゾン含有ガスの取
出口10が形成されている。
前記陰極室4の側方には気液分離塔11が設置され、陰
極室4及び気液分離塔11は上方の水素取出口12及び
下方の原料水供給口13により連結されている。
このような構成から成るオゾン発生装置を使用してオゾ
ン発生を行うためには、原料水供給口13から陰極室4
内のみに純水やイオン交換水等の原料水を供給し、陽極
室3内は液相が存在しない状態、好ましくはオゾンや酸
素で置換された気相状態としたままで両給電エレメント
8.9から陽極として機能する陽極物質層5及び陰極と
して機能する陰極物質層6間に通電する。
陰極物質層6表面では原料水の電解により水素ガスが発
生し該水素ガスは気液混合状態のまま水素取出口12か
ら気液分離塔11に導かれ、気液分離された水素ガスは
該分離塔11の上部から取り出される。−志気液分離さ
れた原料水は再度原料水供給口13から陰極室4内に導
かれて電解が継続して行われる。
陰極室4内の原料水(電解液)の一部は陰極物質層6−
固体電解質1の順に浸透して陽極物質層5に達し、該陽
極物質層5で陽極酸化反応により電解酸化されてオゾン
及び酸素の混合ガスを発生する。この混合ガスは陽極室
3内に液相が存在しないため通常の電解槽の場合と異な
って気液混合状態となることがなく、従って気液分離を
行うことな(前記取出口10から槽外に取り出される。
このように図示の電解槽1では、陽極液が存在しないた
め、従来のオゾン製造用電解槽では必須であったオゾン
及び酸素の混合ガスと陽極液との分離や、従来の陽極液
中に蓄積される陰イオンや不純物除去のための処理が不
要となり、更に陽極液中の陰イオンや不純物に起因する
液量導度の上昇や電流効率の低下を防止することができ
る。
又陰極室内の原料水(電解液)量は電解の進行に従って
減少するが、該減少量と同量の原料水を前記気液分離塔
11に供給すればよく、従来のオゾン発生用電解槽のよ
うに多量の原料水を必要とすることがない。
(実施例) 次に本発明に係わるオゾン発生装置を使用するオゾン発
生の実施例を記載するが、該実施例は本発明を限定する
ものではない。
1例上 添付凹面に従ってオゾン発生装置を構成した。
固体電解質として縦10cm、横10cm、厚さ0.1
8mmでイオン交換容量が0.9 ミリ当量/gのナフ
ィオン(商品名)■17を使用し、電解槽の電極面積を
1dI112、陽極物質をβ−二酸化鉛、陰極物質を白
金とし、陽極室容積100ci、陰極室容積800Cr
lである電解槽を構成した。前記陽極物質及び陰極物質
のそれぞれにメツシュ状チタン微細繊維焼結体である陽
極給電エレメント及びステンレス微細繊維焼結体である
陰極給電エレメントを接続した。前記陰極室の側方に、
イオン交換樹脂を使用して脱イオンしたイオン交換水で
ある原料水を収容した気液分離塔を設置し、ポンプを使
用して前記原料水を陰極室へ供給しかつ循環するように
した。
前記電解槽に50Aの電流(電流密度50A/dm”)
を供給し、24時間電解を継続したところ、この間のオ
ゾン発生の電流効率は平均13%であった。
陰極室内の原料水の減少量は一−−−−lであり、これ
はほぼ電解による消費量とほぼ一致した。
実施側−I 供給電流量を100A (電流密度100A/dm2)
としたこと以外は実施例1と同一の条件でオゾン発生を
行ったところ、オゾン発生の電流効率は平均15%であ
った。
実−族1トエ 固体電解質の厚さを0.09mmとしたこと以外は実施
例2と同一条件でオゾン発生を行ったところ、オゾン発
生の電流効率は平均16%に上昇した。
実差割( 固体電解質のイオン交換容量を1.1ミリ当量/gとし
たこと以外は実施例1と同一条件でオゾン発生を行った
ところ、オゾン発生の電流効率は平均15%であった。
、比〜較−例」− 陽極室を実施例1と同し原料水で満たしたこと以外は実
施例1と同一条件で24時間電解を継続したところこの
間のオゾン発生の電流効率は平均12%であった。又原
料水(電解液)の電導度は2μS / cmから25μ
S/cmに上昇した。又陽極室及び陰極室内の原料水の
減少量は2.51であり、これは実施例1の陰極室内の
原料水の減少量の約6倍であった。
(発明の効果) 本発明に係わるオゾン発生方法は、固体電解質により陽
極室及び陰極室に区画されたオゾン発生用電解槽に原料
水を供給しかつ電解して陽極室においてオゾンを製造す
る電解オゾン発生方法において、前記原料水を陰極室に
供給することを特徴とする電解オゾン発生方法である。
前記陽極室内には実質的な液相が存在しないため、発生
する混合ガスはそのまま気体として槽外に取り出すこと
ができ、従来のように陽極室に気液分離塔を設置する必
要がなく、気液分離等によるオゾンのロスや濃度低下を
回避して高濃度オゾンを製造することができる。
又従来の電解オゾン発生装置で生ずる陽極液中への不純
物混入による電流効率の低下や液量導率の上昇も生ずる
余地がなく、固体電解質の選択等を適切に行うことによ
り従来の陽極室への原料水の場合と比較してオゾン発生
効率を20〜50%向上させることができ、しかも従来
必要であった陽極液のイオン交換処理等が不要になる。
又本発明では消費される原料水は理論的に電解で消費さ
れる原料水量にほぼ等しく、高価な原料水を余分に使用
することが不要になる。
陽極室側に実質的に液相が存在しないため、リーク電流
に起因する電極物質の劣化を回避でき、更に陽極物質の
逆電流に対する耐性が弱い場合には保護電流を極力小さ
くすることも可能である。
本発明装置は、固体電解質によりオゾン発生用電解槽を
、気液分離塔に連結され原料水が満たされた陰極室と該
陰極室から透過する原料水以外の原料水を実質的に有し
ない陽極室とに区画したことを特徴とする電解オゾン発
生装置であり、前述の本発明方法の場合と同様に、気液
分離を不要とし、電流効率を上昇させる等、操作性を向
上させて大幅なコストダウンを達成することができる。
【図面の簡単な説明】
添付図面は、本発明に係わるオゾン発生装置の一例を示
す概略縦断面図である。 1・・・電解槽 2−・・固体電解質 3・・・陽極室 4・・・陰極室 5・・・陽極物質 6・・・陰極物質 7・・・ガスケット 8・・・陽極給電エレメント 9・・・陰極給電エレメント 10・・・ガス取出口 11・・・気液分離塔12・−
・水素取出口 13・・−原料水供給口手続補正書(自
発) 1.事件の表示 平成2年特許願第323471号 2、発明の名称 電解オゾン発生方法及び装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県藤沢市石用1159番地名称  ベルメ
レック電極株式会社 4、代理人 住所 神奈川県横浜市西区楠町4番地37、補正の内容 (1)明細書第14頁第2行r  −xであり」を、r
O,4fであり」と訂正する。 (以上)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)固体電解質により陽極室及び陰極室に区画された
    オゾン発生用電解槽に原料水を供給しかつ電解して陽極
    室においてオゾンを製造する電解オゾン発生方法におい
    て、前記原料水を陰極室に供給することを特徴とする電
    解オゾン発生方法。
  2. (2)固体電解質によりオゾン発生用電解槽を、気液分
    離塔に連結され原料水が満たされた陰極室と該陰極室か
    ら透過する原料水以外の水を実質的に有しない陽極室と
    に区画したことを特徴とする電解オゾン発生装置。
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