JPH04188115A - Waveguide type optical device - Google Patents

Waveguide type optical device

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JPH04188115A
JPH04188115A JP31581390A JP31581390A JPH04188115A JP H04188115 A JPH04188115 A JP H04188115A JP 31581390 A JP31581390 A JP 31581390A JP 31581390 A JP31581390 A JP 31581390A JP H04188115 A JPH04188115 A JP H04188115A
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    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/31Digital deflection, i.e. optical switching
    • G02F1/313Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
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Abstract

PURPOSE:To obtain high quenching ratio of a port outputting a signal light by constructing an optical waveguide to propagate the signal light into a multimode construction having a large propagation loss. CONSTITUTION:Optical waveguides are constituted out of introducing parts and control parts of wave guided light, and output parts of a signal light, and the width of waveguide of output parts are formed to be wide. First electrodes 15 are provided on the upper part or the vicinity of the optical waveguides 11, 12 of the control part for the wave guided light, and a second electrode 17 to generate electric field for multimode orientating the optical waveguide 12 is provided on the upper part or the vicinity of the optical waveguide 12 of the output part. Hereby. the optical waveguides 11, 12 to propagate the signal light can be constructed into a multimode construction having large propagation loss, and quenching ratio of a port 16 to output the signal light can be made high.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は導波路型光デバイスに係わり、特に光導波路の
構成に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a waveguide type optical device, and particularly to the configuration of an optical waveguide.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

光通信システムの実用化に伴い、さらに大容量で多機能
の高度なシステムが求tられており、より高速の光信号
の発生や光伝送路の切り替え、交換等の新たな機能の付
加が必要とされている。
With the commercialization of optical communication systems, there is a need for higher capacity, multifunctional, and more advanced systems, and new functions such as generation of faster optical signals and switching and switching of optical transmission lines are required. It is said that

現在の実用システムでは光信号は直接半導体レーザや発
光ダイオードの注入電流を変調することによって得られ
ている。しかしながら、直接変調では緩和振動等の効果
のだ袷数GHz以上の高速変調が難しいこと、波長変動
が発生するためコヒーレント光伝送方式には適用が難し
い等の欠点がある。これを解決する手段としては、外部
変調器を使用する方法があり、特に電気光学結晶基板中
に形成された光導波路により構成される導波型の光変調
器は小型、高効率、高速という特長がある。
In current practical systems, optical signals are obtained by directly modulating the injection current of semiconductor lasers or light emitting diodes. However, direct modulation has drawbacks, such as the difficulty of high-speed modulation at frequencies above several GHz due to effects such as relaxation oscillations, and the difficulty of applying it to coherent optical transmission systems due to wavelength fluctuations. One way to solve this problem is to use an external modulator. In particular, a waveguide type optical modulator that is composed of an optical waveguide formed in an electro-optic crystal substrate has the advantages of small size, high efficiency, and high speed. There is.

一方、光伝送路の切り替えやネットワークの交換機能を
得る手段としては、光スィッチが使用されている。現在
実用化されている光スィッチは、プリズム、ミラー、フ
ァイバ等を機械的に移動させて光路を切り替えるもので
あり、低速であること、形状が大きくマトリクス化に不
適等の欠点がある。これを解決する手段としても光導波
路を用いた導波型の光スィッチの開発が進められており
、高速、多素子の集積化が可能、高信頼等の特長がある
。特にニオブ酸リチウム(LtNbOs>結晶等の強誘
電体材料を用いたものは、光吸収が小さく低損失である
こと、大きな電気光学効果を有しているため高効率であ
る等の特長があり、方向性結合器型光変調器あるいは光
スィッチ、全反射型光スイッチ、マツハツエンダ型光変
調器等の種々の方式の光制御デバイスが報告されている
On the other hand, optical switches are used as means for switching optical transmission lines and providing network switching functions. Optical switches currently in practical use switch optical paths by mechanically moving prisms, mirrors, fibers, etc., and have drawbacks such as slow speed, large size, and unsuitability for matrix formation. As a means to solve this problem, the development of waveguide type optical switches using optical waveguides is progressing, and they have features such as high speed, ability to integrate multiple elements, and high reliability. In particular, those using ferroelectric materials such as lithium niobate (LtNbOs> crystals) have features such as low light absorption and low loss, and high efficiency because they have a large electro-optic effect. Various types of optical control devices have been reported, such as a directional coupler type optical modulator or optical switch, a total internal reflection type optical switch, and a Matsuhatsu Enda type optical modulator.

近年、この導波路型光スイッチの高密度集積化の研究開
発が盛んに行われており、西本裕らの文献、電子情報通
信学会OQE8g−147によれば、LiNbO3基板
を用いて方向性結合器型光スイッチを64素子集積した
8X8マトリクス光スイツチを得ている。一方、外部光
変調器のような単一の光スイツチ素子から成るデバイス
の研究開発も盛んに進められている。このような光スイ
ツチデバイスの特性項目には、スイッチング電圧(電力
)、クロストーク、消光比、損失、切り替え速度、温湿
度等の環境に対する動作の、安定惟等がある。
In recent years, research and development on high-density integration of waveguide-type optical switches has been actively conducted, and according to a document by Yutaka Nishimoto et al., IEICE OQE8g-147, directional couplers are being developed using LiNbO3 substrates. An 8×8 matrix optical switch with 64 integrated optical switch elements has been obtained. On the other hand, research and development of devices consisting of a single optical switch element, such as external optical modulators, is also actively progressing. Characteristic items of such optical switch devices include switching voltage (power), crosstalk, extinction ratio, loss, switching speed, and stability of operation with respect to environments such as temperature and humidity.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

第4図に従来の導波路型光デバイスの一例である基板表
面に形成された方向性結合器から成る光スィッチ、変調
器の斜視図を示す。同図において、電極1に電圧が印加
されないときに第1のポート2から入力された光は、方
向性結合器3の部分で近接する他方の光導波路4にパワ
ーが移り、光が第2のポート5から出射するように製作
した時、ある一定の電圧が電極1に印加されたときには
光導波路4の屈折率が変化し、方向性結合器3の部分で
光導波路4間で光パワーの移動は起こらず、光は第3の
ポート6から出射する。なお、2本の光導波路4は基板
7の表面に形成されており、かつ基板7の上部にはバッ
ファ層8が配設されている。
FIG. 4 shows a perspective view of an optical switch and modulator consisting of a directional coupler formed on the surface of a substrate, which is an example of a conventional waveguide type optical device. In the figure, when no voltage is applied to the electrode 1, the power of the light input from the first port 2 is transferred to the other adjacent optical waveguide 4 at the directional coupler 3, and the light is transferred to the second optical waveguide 4. When manufactured to emit light from the port 5, when a certain voltage is applied to the electrode 1, the refractive index of the optical waveguide 4 changes, and optical power is transferred between the optical waveguides 4 at the directional coupler 3. does not occur and the light exits from the third port 6. Note that the two optical waveguides 4 are formed on the surface of the substrate 7, and a buffer layer 8 is provided on the top of the substrate 7.

例えば、光ファイバの破断点測定用計測器に用いる光ス
ィッチの場合、第3のポート6が光源、第1のポート2
に被測定光ファイバ、第2のポート5には受光素子が接
続される。この計測器は光源から被測定光ファイバに光
を送り、被測定光ファイバからの戻り光を受光素子で測
定し、被測定光ファイバの破断点等を調べるもので、第
2のポート5が信号光の出力である。また、変調器の場
合は、方向性結合器3の部分で光路を切り替えることに
より第2のポート5での光出力がオン、オフされ信号光
として伝搬される。な右、第3のポート6でも同様に光
出力がオン、オフされるが、ここでは第2のポート5を
信号光出力としている。
For example, in the case of an optical switch used in a measuring instrument for measuring the break point of an optical fiber, the third port 6 is the light source, and the first port 2 is the light source.
The optical fiber to be measured is connected to the optical fiber to be measured, and the light receiving element is connected to the second port 5. This measuring instrument sends light from a light source to an optical fiber to be measured, and measures the return light from the optical fiber to be measured with a light receiving element to check for break points in the optical fiber to be measured. It is the output of light. In the case of a modulator, by switching the optical path at the directional coupler 3, the optical output at the second port 5 is turned on and off and propagated as signal light. On the right, the optical output is similarly turned on and off at the third port 6, but here the second port 5 is used as the signal optical output.

この構造を用いた光フアイバ破断点測定用計測器の場合
、電極10部分に電圧が印加され、光源から被測定光フ
ァイバに光を送り込むときに方向性結合器3で近接する
光導波路4に光が漏れ込み、第2のポート5での消光比
が劣化するという欠点があった。また、変調器の場合は
、電極lに電圧を印加して信号光出力をOFFにしたと
き、つまり第3のポート6に光が出力されるときに、第
2のポート5に光が漏れ込み、消光比が劣化するという
欠点もあった。
In the case of an optical fiber break point measuring instrument using this structure, a voltage is applied to the electrode 10 portion, and when the light is sent from the light source to the optical fiber to be measured, the directional coupler 3 connects the light to the adjacent optical waveguide 4. There was a drawback that the extinction ratio at the second port 5 deteriorated due to the leakage of light. In addition, in the case of a modulator, when a voltage is applied to the electrode l and the signal light output is turned off, that is, when light is output to the third port 6, light leaks into the second port 5. However, there was also the drawback that the extinction ratio deteriorated.

本発明の目的は上述した欠点に鑑みなされたもので、信
号光が出力するポートの消光比の劣化を防止した導波路
型光デバイスを提供するにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks, and is to provide a waveguide type optical device that prevents deterioration of the extinction ratio of a port through which signal light is output.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

請求項1の発明は、基板表面に形成された複数本の光導
波路と、この光導波路の上部または近傍に形成された電
極とから成る導波路型光デバイスにおいて、光導波路は
導波光の導入部、制御部ふよび信号光の出力部から成り
、この出力部の導波路幅を広く形成し、かつ導波路光の
制御部を成す光導波路の上部または近傍に第1の電極を
有すると共に出力部の光導波路の上部または近傍に出力
部の光導波路をマルチモード化するための電界を発生さ
せる第2の電極を具備せしめた構成としたものである。
The invention of claim 1 provides a waveguide type optical device comprising a plurality of optical waveguides formed on a substrate surface and an electrode formed on or near the optical waveguide, wherein the optical waveguide is an introduction part for guided light. , consisting of a control section and a signal light output section, the waveguide width of the output section is formed wide, and a first electrode is provided above or near the optical waveguide constituting the waveguide light control section. A second electrode is provided above or near the optical waveguide for generating an electric field for making the output optical waveguide multi-mode.

請求項2の発明は、第1の電極、第2の電極をバッファ
層を介して光導波路の上部に形成するようにしたもので
ある。
According to a second aspect of the invention, the first electrode and the second electrode are formed on the optical waveguide with a buffer layer interposed therebetween.

〔作用〕[Effect]

このように本発明によれば、信号光が伝搬する光導波路
を伝搬損失の大きいマルチモード構造とすることにより
、信号光が出力するポートの高消光比が得られる。
As described above, according to the present invention, by forming the optical waveguide through which the signal light propagates into a multimode structure with a large propagation loss, a high extinction ratio of the port through which the signal light is output can be obtained.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明について図面を用いて詳細に説明する。 Next, the present invention will be explained in detail using the drawings.

第1図は本発明に係る導波路型光デバイスの一実施例を
示す斜視図、第2図は第1図の■−■線断面図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a waveguide type optical device according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line ■--■ in FIG.

本実施例では基板10にT1を熱拡散することにより光
導波路11.12を形成させた導波路型光デバイスを示
している。基板10の電気光学効果を利用して光導波路
11.12の屈折率を変化させるために光導波路11.
12の方向性結合器13の上部にはバッファ層14を介
して第1の電極15が形成されている。このバッファ層
14は、第1の電極15が金属膜であるので光導波路1
1.12上部に直接形成されると光導波路11.12を
伝搬する光のTMモード光のノ寸ワーが第1の電極15
に吸収され損失が大きくなるのを防く゛役IIをしてい
る。
This example shows a waveguide type optical device in which optical waveguides 11 and 12 are formed by thermally diffusing T1 into a substrate 10. Optical waveguide 11.12 is used to change the refractive index of optical waveguide 11.12 by utilizing the electro-optic effect of substrate 10.
A first electrode 15 is formed on the top of the twelve directional couplers 13 with a buffer layer 14 in between. Since the first electrode 15 is a metal film, this buffer layer 14 is suitable for the optical waveguide 1.
1.12 When formed directly on the top of the optical waveguide 11.12, the size of the TM mode light of the light propagating through the first electrode 15
It plays the role of preventing losses from becoming large due to being absorbed by the water.

本実施例では、バッファ層14として酸化シリコン(S
i02)膜を用いている。また、光導波路の形状は光導
波路12の方向性結合器13から第2のポニト16まで
の直線部分の光導波路幅を広く形成している。
In this embodiment, silicon oxide (S) is used as the buffer layer 14.
i02) A membrane is used. Further, the shape of the optical waveguide is such that the width of the straight portion of the optical waveguide 12 from the directional coupler 13 to the second point 16 is wide.

第3図には本実施例による動作原理をあられすための基
板10にLiNbO2を用(、Nた場合の光導波路の分
散曲線を示している。同図中1こおG1て、KOは波数
(2π/λ)、dは光導波路幅、NSは基板の屈折率、
Nfは光導波路の屈折率、Nに!等価屈折率(Nf  
Si  Nθ(θは伝搬光のコアとブラッドの境界への
入射角度))である。実施例による導波路幅を広くした
光導波路121まA点(導波路幅を広くしない部分はB
点)1こなるよう光導波路12を設計し、この部分の光
導波路の屈折率を変化させるために第2の電極17をバ
ッファ層14を介して形成している。
Fig. 3 shows the dispersion curve of the optical waveguide when LiNbO2 is used as the substrate 10 to demonstrate the operating principle of this embodiment. (2π/λ), d is the optical waveguide width, NS is the refractive index of the substrate,
Nf is the refractive index of the optical waveguide, N! Equivalent refractive index (Nf
Si Nθ (θ is the angle of incidence of the propagating light on the boundary between the core and the blood). Optical waveguide 121 with widened waveguide width according to the embodiment, point A (the part where the waveguide width is not widened is at B)
Point) The optical waveguide 12 is designed so that the optical waveguide 12 has a 100-degree angle, and the second electrode 17 is formed via the buffer layer 14 in order to change the refractive index of the optical waveguide in this portion.

第1のポート18から入力された光は、電圧無印加時(
第3図におけるA点)には信号出力である第2のポート
16より出射され、電圧印加時(第3図における0点)
にはダミーの出力ポートである第3のポート19から出
射される。第2のポート16で高消光比がとれるように
、第1の電極15に電圧が印加され、光が第3のポート
19より出射されるときには12の電極17にも電圧が
印加され、光導波路12の屈折率が変化し、光導波路1
2にm=1のマルチモードが発生するように設計されて
いる。電圧は光導波路12の屈折率を小さくする方向に
電界が発生するよ・うに印加する。
When no voltage is applied, the light input from the first port 18 is
Point A in Figure 3) is emitted from the second port 16 which is the signal output, and when voltage is applied (point 0 in Figure 3)
The light is emitted from the third port 19, which is a dummy output port. A voltage is applied to the first electrode 15 so that a high extinction ratio can be obtained at the second port 16, and when the light is emitted from the third port 19, a voltage is also applied to the 12 electrodes 17, so that the optical waveguide The refractive index of 12 changes, and the optical waveguide 1
It is designed so that m=1 multimode occurs in 2. The voltage is applied so that an electric field is generated in a direction that reduces the refractive index of the optical waveguide 12.

一般にシングルモード(第3図にふいてm=0)に比ベ
マルチモードでは伝搬損失が大きい。したがって、例え
ば第2のポート16に光ファイバが接続されているとす
ると、光導波路12を伝搬してきた光の光ファイバへの
結合が少なくなり、高消光比が得られることになる。
In general, propagation loss is greater in multi-mode than in single mode (m=0 in FIG. 3). Therefore, for example, if an optical fiber is connected to the second port 16, the coupling of light propagated through the optical waveguide 12 to the optical fiber will be reduced, resulting in a high extinction ratio.

このように光がダミーポートである第3のポート19に
出射されるときに、信号光出射ボートである第2のポー
ト16の光導波路12がマルチモード状態になることに
より高消光比が得られる。
In this way, when light is emitted to the third port 19, which is a dummy port, the optical waveguide 12 of the second port 16, which is a signal light emitting port, enters a multimode state, thereby obtaining a high extinction ratio. .

例えば、光ファイバの破断点測定用計測器に用いる光ス
ィッチの場合、第3のポート19が光源、第1のポート
18に被測定光ファイバ、第2のポート16には受光素
子が接続される。この計測器は光源から被測定光ファイ
バに光を送り、被測定光ファイバからの戻り光を受光素
子で測定し、被測定光ファイバの破断点を調べるもので
ある。
For example, in the case of an optical switch used in a measuring instrument for measuring the break point of an optical fiber, the third port 19 is connected to the light source, the first port 18 is connected to the optical fiber to be measured, and the second port 16 is connected to the light receiving element. . This measuring instrument sends light from a light source to an optical fiber to be measured, and measures the return light from the optical fiber to be measured with a light receiving element to find the break point of the optical fiber to be measured.

したがって、上述したように光源から被測定光ファイバ
に光を送るように光スィッチが働いている場合、受光素
子が接続されている光導波路12をマルチモードにする
ことにより、受光素子へのノイズが低減し、高分解能な
測定が可能となる。
Therefore, when the optical switch is working to send light from the light source to the optical fiber under test as described above, by making the optical waveguide 12 to which the light receiving element is connected multi-mode, noise to the light receiving element can be reduced. This makes it possible to perform high-resolution measurements.

また、この構造は全反射型光スイッチ等の他の導波路型
デバイスおよびGaAs、Inp等化合物半導体基板を
用いた導波路型光デバイスにも適用できることは明らか
である。
It is clear that this structure can also be applied to other waveguide type devices such as total reflection type optical switches and waveguide type optical devices using compound semiconductor substrates such as GaAs and InP.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明に係わる導波路型光デバイス
によれば、光導波路が導波光の導入部、制御部および信
号光の出力部から成り、この8力部の導波路幅を広く形
成し、かつ導波光の制御部を成す光導波路の上部または
近傍に第1の電極を有すると共に出力部の光導波路の上
部または近傍に出力部の光導波路をマルチモード化する
ための電界を発生させる第2の電極を具備せしめた構成
としたことにより、信号光が伝搬する光導波路を伝搬損
失の大きいマルチモード構造にすることが可能となり、
これによって信号光が出力するボートの消光比を従来に
比べて高くすることができるという優れた効果を奏する
As explained above, according to the waveguide type optical device according to the present invention, the optical waveguide consists of a guided light introduction part, a control part, and a signal light output part, and the waveguide width of the eight power parts is formed wide. , and has a first electrode on or near the optical waveguide that forms the control section for the guided light, and a first electrode that generates an electric field on or near the output optical waveguide to make the output optical waveguide multi-mode. By adopting a configuration including two electrodes, it is possible to make the optical waveguide through which the signal light propagates into a multi-mode structure with large propagation loss.
This provides an excellent effect in that the extinction ratio of the boat from which the signal light is output can be made higher than in the past.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る導波路型光デバイスの一実施例を
示す斜視図、第2図は第1図の■−■線断面図、第3図
は本発明に係る光導波路の動作原理を示す図、第4図は
従来の導波路型光デバイスの一例を示す斜視図である。 10・・・・・・基板、11. 12・・・・・・光導波路、 13・・・・・・方向性結合器、 14・・・・・・バッファ層、 15・・・・・・第1の電極、 16・・・・・・第2のポート、 17・・・・・・第2の電極、 18・・・・・・第1のボート、 19・・・・・・第3のポート。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the waveguide type optical device according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line ■-■ in FIG. 1, and FIG. 3 is the operating principle of the optical waveguide according to the present invention. FIG. 4 is a perspective view showing an example of a conventional waveguide type optical device. 10...Substrate, 11. 12... Optical waveguide, 13... Directional coupler, 14... Buffer layer, 15... First electrode, 16... - Second port, 17... Second electrode, 18... First boat, 19... Third port.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、基板表面に形成された複数本の光導波路と、この光
導波路の上部または近傍に形成された電極とから成る導
波路型光デバイスにおいて、前記光導波路は導波光の導
入部、制御部および信号光の出力部から成り、この出力
部の導波路幅を広く形成し、かつ前記導波光の制御部を
成す光導波路の上部または近傍に第1の電極を有すると
共に前記出力部の光導波路の上部または近傍に出力部の
光導波路をマルチモード化するための電界を発生させる
第2の電極を具備せしめたことを特徴とする導波路型光
デバイス。 2、前記第1の電極および第2の電極はバッファ層を介
して光導波路の上部に形成されていることを特徴とする
請求項1記載の導波路型光デバイス。
[Claims] 1. In a waveguide-type optical device comprising a plurality of optical waveguides formed on the surface of a substrate and an electrode formed on or near the optical waveguide, the optical waveguide is used for guiding light. It consists of an introduction section, a control section, and a signal light output section, the output section has a wide waveguide width, and a first electrode is provided above or near the optical waveguide constituting the waveguide light control section. 1. A waveguide type optical device, comprising a second electrode that generates an electric field for making the output optical waveguide multi-mode, above or near the output optical waveguide. 2. The waveguide type optical device according to claim 1, wherein the first electrode and the second electrode are formed on the optical waveguide with a buffer layer interposed therebetween.
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