JPH04185999A - ガスシリンダキャビネット - Google Patents
ガスシリンダキャビネットInfo
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- JPH04185999A JPH04185999A JP31522590A JP31522590A JPH04185999A JP H04185999 A JPH04185999 A JP H04185999A JP 31522590 A JP31522590 A JP 31522590A JP 31522590 A JP31522590 A JP 31522590A JP H04185999 A JPH04185999 A JP H04185999A
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- Japan
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- valve
- gas
- piping
- gas cylinder
- vacuum generator
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- Granted
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- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 53
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
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- Pipeline Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野）
本発明は、ガスシリンダキャビネットに関する。
〔従来の技術］
従来のガスシリンダキャビネットは、ガスシリンダ交換
時、配管内ガスあるいは配管内に入った空気をＮ３等不
活性ガスで置換する際、例えば装置側で真空ポンプを備
えている場合は、ガスシリンダキャビネット配管内ガス
を装置側真空ポンプで排気する方法がとられていた。し
かし、この方法によれば、装置とガスシリンダキャビネ
ット間の配管や、ガスシリンダキャビネット内配管の配
管抵抗が大きいため、十分に配管内を真空状態にできな
かった。また、その他の方法として、ガスシリンダキャ
ビネット内に真空ポンプを備え、減圧弁の１次側を排気
する方法があった。
時、配管内ガスあるいは配管内に入った空気をＮ３等不
活性ガスで置換する際、例えば装置側で真空ポンプを備
えている場合は、ガスシリンダキャビネット配管内ガス
を装置側真空ポンプで排気する方法がとられていた。し
かし、この方法によれば、装置とガスシリンダキャビネ
ット間の配管や、ガスシリンダキャビネット内配管の配
管抵抗が大きいため、十分に配管内を真空状態にできな
かった。また、その他の方法として、ガスシリンダキャ
ビネット内に真空ポンプを備え、減圧弁の１次側を排気
する方法があった。
この方法を第３図を用いて説明する。
まず、ガスシリンダ１の元バルブ２及びバルブ３を閉じ
る。次に、真空ポンプ４を作動させ、バルブ５及びバル
ブ６を開け、減圧弁７の１次側のバルブ３より１次側の
配管内を排気する。その際の真空ポンプＯＵＴからの排
気ガスは、希釈Ｎ。
る。次に、真空ポンプ４を作動させ、バルブ５及びバル
ブ６を開け、減圧弁７の１次側のバルブ３より１次側の
配管内を排気する。その際の真空ポンプＯＵＴからの排
気ガスは、希釈Ｎ。
により十分希釈され排気ダクトへ排気される。圧力セン
サ８により配管内圧力が大気圧より十分低くなったとき
１、バルブ５を閉じ、バルブ９を開け、数ｋｇ／ａｎ？
程度のＮ、を配管内に導入する。その後、バルブ９を閉
じ、バルブ５を開は配管内を排気する。この配管内Ｎ８
導入と、排気を数回繰返すことにより、配管内に残留し
ているガスをより効果的に排気させようとしていた。ま
た、一般に各バルブの開閉、−真空ポンプ４の制御は、
制御部１０により制御、色れている。
サ８により配管内圧力が大気圧より十分低くなったとき
１、バルブ５を閉じ、バルブ９を開け、数ｋｇ／ａｎ？
程度のＮ、を配管内に導入する。その後、バルブ９を閉
じ、バルブ５を開は配管内を排気する。この配管内Ｎ８
導入と、排気を数回繰返すことにより、配管内に残留し
ているガスをより効果的に排気させようとしていた。ま
た、一般に各バルブの開閉、−真空ポンプ４の制御は、
制御部１０により制御、色れている。
［発明が解決しようとする課題］
上述した梃来のガスシフリングキャビネットでは、配管
内真空引きのための真空ポンプを設置する必要があるた
め、ガスシリンダキャビネット設置面積が大きくなり、
設置レイアウト上−問題゛が生じたり、真空ポンプの制
御部の故障による事故発生や、真空ポンプＯＵＴ側配管
は気密試験ができないため、ＯＵＴ側配管よりのガスリ
ーグ発生、さらにそのり−７クガスの爆発等が発生する
可能性があり、非常に危険であった。また、真空ポンプ
の定期メンテナンスによるガスシリンダキャビネットの
稼働率低下９作業者の工数増加の問題や、真空ポンプＩ
Ｎ側が真空状態であるため、ポンプ内部で使用している
オイルが蒸気となって配管内に逆流し、さらにガスシリ
ンダからのガスを使用している装置自体へのオイル分に
よる汚染の危険性もあった。
内真空引きのための真空ポンプを設置する必要があるた
め、ガスシリンダキャビネット設置面積が大きくなり、
設置レイアウト上−問題゛が生じたり、真空ポンプの制
御部の故障による事故発生や、真空ポンプＯＵＴ側配管
は気密試験ができないため、ＯＵＴ側配管よりのガスリ
ーグ発生、さらにそのり−７クガスの爆発等が発生する
可能性があり、非常に危険であった。また、真空ポンプ
の定期メンテナンスによるガスシリンダキャビネットの
稼働率低下９作業者の工数増加の問題や、真空ポンプＩ
Ｎ側が真空状態であるため、ポンプ内部で使用している
オイルが蒸気となって配管内に逆流し、さらにガスシリ
ンダからのガスを使用している装置自体へのオイル分に
よる汚染の危険性もあった。
さらに、ガスシリンダキャビネット自体が非常に高価に
なり、先に述べた真空ポンプの定期メンテ′ ナンスの
ための費用も少なからぬものがあった。
なり、先に述べた真空ポンプの定期メンテ′ ナンスの
ための費用も少なからぬものがあった。
杏４発嬰、のシ的は、外付真空ポンプを不要としたガス
シリンダキャビネットを提供することにある。
シリンダキャビネットを提供することにある。
′前記目的を達成するため、本発明に係るガスシリンダ
キャビネットは、ガスシリンダキャビネットの１次側に
バルブで区切られたコンバムあるいはバキュームジェネ
レータを配し、前記コンバムあるいはバキュームジェネ
レータに、Ｎ、もしく、番を置換ガ２スを供給する配管
を接続したものである。
キャビネットは、ガスシリンダキャビネットの１次側に
バルブで区切られたコンバムあるいはバキュームジェネ
レータを配し、前記コンバムあるいはバキュームジェネ
レータに、Ｎ、もしく、番を置換ガ２スを供給する配管
を接続したものである。
バキュームジェネレータ或いはコンバムを用いてガスシ
リンダギヤビネット内配管のガス晟いは空気をＮ、とと
もにガスシリしダギヤビネット外に排気する。また、一
連の排気動作を単にバルブの開閉で行うものである。
リンダギヤビネット内配管のガス晟いは空気をＮ、とと
もにガスシリしダギヤビネット外に排気する。また、一
連の排気動作を単にバルブの開閉で行うものである。
以下、本発明の実施例を図により説明する。
（実施例１）
第１図は、本発明の実施例１を示す配管系統図である。
図において、ガスシリンダ１に取付けた元バルブ２の１
次側にバルブ３及び減圧弁７を介して装置−配管し１を
接続し、ｖｅｖＬ、にバルブ９を介しで、Ｎ、若しくは
置換ガスを供給する配管り、を接続する。 ゛ また、元バルブ２の１次側に、バルブ６及び圧力センサ
８を介して分岐配管り、を接続し、分岐配管り、にバキ
ュームジェネレータ（或いはコンバム）°１３を接続す
る。さらに、バキュームジェネレータ１３には、Ｎ３°
若しく゛は置換ガスｉ供給する配管し４”をバルブ１１
友び減圧弁Ｉ２を介して接続する。ま°た、１０は制御
部であって、制御部１０は弁開閉シーケンスに一基づい
て各バルブ２゜３．６，９．１１を開閉制御する。
次側にバルブ３及び減圧弁７を介して装置−配管し１を
接続し、ｖｅｖＬ、にバルブ９を介しで、Ｎ、若しくは
置換ガスを供給する配管り、を接続する。 ゛ また、元バルブ２の１次側に、バルブ６及び圧力センサ
８を介して分岐配管り、を接続し、分岐配管り、にバキ
ュームジェネレータ（或いはコンバム）°１３を接続す
る。さらに、バキュームジェネレータ１３には、Ｎ３°
若しく゛は置換ガスｉ供給する配管し４”をバルブ１１
友び減圧弁Ｉ２を介して接続する。ま°た、１０は制御
部であって、制御部１０は弁開閉シーケンスに一基づい
て各バルブ２゜３．６，９．１１を開閉制御する。
実−例番日おいて、減圧弁７の１次側配管し、内の労ス
歳いｉ空気を′Ｎ、置換すると曇は、次の動作を行う。
歳いｉ空気を′Ｎ、置換すると曇は、次の動作を行う。
子なわち、ガスシリンダ１″の元バルブｉ及びバルブ３
を閉じる。次に、バルブｌｉを開いて、Ｎ、を減圧弁１
２□そ数ｋｇ／ｃＩＩＹＧど減圧した後、バキュームジ
ェネレータ１３に導入する。バキュームジェネレータ１
３により発生した真空が圧力センサ８により十分大気圧
以下になったと判断されたとき、バルブ６を開けて減圧
弁７の１次側よりガスを排気する。 ′ 排気を続け、圧力センサ８が十分大気圧より低くなった
とき、バルブ６を閉じ、バルブ９を開は配管し３内に数
ｋｇ／ａｎｔに減圧されたＮ２を導入する。
を閉じる。次に、バルブｌｉを開いて、Ｎ、を減圧弁１
２□そ数ｋｇ／ｃＩＩＹＧど減圧した後、バキュームジ
ェネレータ１３に導入する。バキュームジェネレータ１
３により発生した真空が圧力センサ８により十分大気圧
以下になったと判断されたとき、バルブ６を開けて減圧
弁７の１次側よりガスを排気する。 ′ 排気を続け、圧力センサ８が十分大気圧より低くなった
とき、バルブ６を閉じ、バルブ９を開は配管し３内に数
ｋｇ／ａｎｔに減圧されたＮ２を導入する。
その後バルブ９を閉じ、バルブ６を開け、再び配管り、
内をバキュームジェネレータｌ−３で排気する。配管内
Ｎ、導入と、排気とを５数回繰返した後、最後にバルブ
９を開は配管内にＮ、を導入し、全パルプ閉じて、ガス
シリンダ１を取外すか、或いは新しいガスシリンダ１を
取付けたときには、元バルブ２とバルブ３を開け、装置
へガスを供給する。また、上述した一連のバルブの開閉
は制御部１１により制御される。 １、 （実施例２） ゛ ・ ゛、５第２図は、本
発明の実施例２を示す配管系統図である。
・本実施例では、バキュームジェネレ
ータ１３のＯＵＴ側に吸着塔１４を設け、吸着塔１４を
通過後排気される。通常、配管内ガスはバキュームジェ
ネレータ１３中でＮ３ と混合され排気されるが、Ｎ３
である程度希釈されてもガス成分は変化していないため
、排気ダクト中での爆発の危険が考えられる。しかし、
この実施例２の方法を用いると、ガスの有害成分を吸着
塔で除去した後のガスを排気することが可能になる。
内をバキュームジェネレータｌ−３で排気する。配管内
Ｎ、導入と、排気とを５数回繰返した後、最後にバルブ
９を開は配管内にＮ、を導入し、全パルプ閉じて、ガス
シリンダ１を取外すか、或いは新しいガスシリンダ１を
取付けたときには、元バルブ２とバルブ３を開け、装置
へガスを供給する。また、上述した一連のバルブの開閉
は制御部１１により制御される。 １、 （実施例２） ゛ ・ ゛、５第２図は、本
発明の実施例２を示す配管系統図である。
・本実施例では、バキュームジェネレ
ータ１３のＯＵＴ側に吸着塔１４を設け、吸着塔１４を
通過後排気される。通常、配管内ガスはバキュームジェ
ネレータ１３中でＮ３ と混合され排気されるが、Ｎ３
である程度希釈されてもガス成分は変化していないため
、排気ダクト中での爆発の危険が考えられる。しかし、
この実施例２の方法を用いると、ガスの有害成分を吸着
塔で除去した後のガスを排気することが可能になる。
以上説明したように本発明は、コンバム或いはバキュー
ムジェネレータを用いてガスシリンダキャビネット内配
管のガス或いは空気をＮ、と共にガスシリンダキャビネ
ット外に排気することが可能であるため、外付けの真空
ポンプが必要なくなり、その分設置レイアウトを狭くす
ることができ、一連の排気動作を単にバルブの開閉で行
うため、制御部が簡単になり、ガスシリンダキャビネッ
ト内配管は全て気密試験可能となり、ガスリーク発生防
止、リークガスの爆発の危険が非常に少なくなり、ガス
シリンダキャビネットのメンテナンス時間の短縮による
稼働率向上９作業者の工数低減。
ムジェネレータを用いてガスシリンダキャビネット内配
管のガス或いは空気をＮ、と共にガスシリンダキャビネ
ット外に排気することが可能であるため、外付けの真空
ポンプが必要なくなり、その分設置レイアウトを狭くす
ることができ、一連の排気動作を単にバルブの開閉で行
うため、制御部が簡単になり、ガスシリンダキャビネッ
ト内配管は全て気密試験可能となり、ガスリーク発生防
止、リークガスの爆発の危険が非常に少なくなり、ガス
シリンダキャビネットのメンテナンス時間の短縮による
稼働率向上９作業者の工数低減。
オイル成分による配管内汚染がなくなり、さらに、ガス
シリンダキャビネット自体を安価に製作でき、定期メン
テナンス費用も削減可能という効果を有する。
シリンダキャビネット自体を安価に製作でき、定期メン
テナンス費用も削減可能という効果を有する。
第１図は、本発明の実施例１を示す配管系統図、第２図
は、本発明の実施例２を示す配管系統図、第３図は、従
来例を示す配管系統図である。 １・・・ガスシリンダ ２・・・元バルブ３．５
，６，９．１１・・・バルブ
は、本発明の実施例２を示す配管系統図、第３図は、従
来例を示す配管系統図である。 １・・・ガスシリンダ ２・・・元バルブ３．５
，６，９．１１・・・バルブ
Claims (1)
- （１）ガスシリンダキャビネットの１次側にバルブで区
切られたコンバムあるいはバキュームジェネレータを配
し、前記コンバムあるいはバキュームジェネレータに、
Ｎ＿２もしくは置換ガスを供給する配管を接続したこと
を特徴とするガスシリンダキャビネット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2315225A JP2586208B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | ガスシリンダキャビネット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2315225A JP2586208B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | ガスシリンダキャビネット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04185999A true JPH04185999A (ja) | 1992-07-02 |
| JP2586208B2 JP2586208B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=18062902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2315225A Expired - Fee Related JP2586208B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | ガスシリンダキャビネット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2586208B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105299470A (zh) * | 2014-07-28 | 2016-02-03 | 中国石油化工股份有限公司 | 中低压燃气管网甲烷监测自动排空装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0266400A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-06 | Fujitsu Ltd | ガス交換装置 |
-
1990
- 1990-11-20 JP JP2315225A patent/JP2586208B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0266400A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-06 | Fujitsu Ltd | ガス交換装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105299470A (zh) * | 2014-07-28 | 2016-02-03 | 中国石油化工股份有限公司 | 中低压燃气管网甲烷监测自动排空装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2586208B2 (ja) | 1997-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071205 Year of fee payment: 11 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081205 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091205 Year of fee payment: 13 |
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