JPH04183994A - 真空ポンプの騒音防止方法 - Google Patents
真空ポンプの騒音防止方法Info
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- JPH04183994A JPH04183994A JP31337490A JP31337490A JPH04183994A JP H04183994 A JPH04183994 A JP H04183994A JP 31337490 A JP31337490 A JP 31337490A JP 31337490 A JP31337490 A JP 31337490A JP H04183994 A JPH04183994 A JP H04183994A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 230000002265 prevention Effects 0.000 title description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 9
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009933 burial Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業１・、の利用分野］
この発明は、真空ポンプの騒１゛１防１１一方仏に関し
、詳しくは微粒子検出装置の検出セルに対してエアを吸
ｔｌｌ気する真空ポンプの騒）１を防止するカ扶に関す
るものである。
、詳しくは微粒子検出装置の検出セルに対してエアを吸
ｔｌｌ気する真空ポンプの騒）１を防止するカ扶に関す
るものである。
［従来の技術］
半導体製品は塵埃などの微粒子による製品の？ｑ染を防
１４−するためにクリーンルーム内で製造され、クリー
ンルーム内の微粒ｒは微粒ｒ検出語により時々刻々に検
出されてｌ＋ｌｆｔ’ｎ度が監視される。
１４−するためにクリーンルーム内で製造され、クリー
ンルーム内の微粒ｒは微粒ｒ検出語により時々刻々に検
出されてｌ＋ｌｆｔ’ｎ度が監視される。
第２図は、レーザビームにより＠粒子−を検１１１する
微粒子検出装置の構成を示すもので、検出セル１にはレ
ーザ発振管２ａと外部ミラー２ｂよりなる外部ミラー型
のレーザ発振管２が設けられる。
微粒子検出装置の構成を示すもので、検出セル１にはレ
ーザ発振管２ａと外部ミラー２ｂよりなる外部ミラー型
のレーザ発振管２が設けられる。
−ツバ、７ ＩＪ−ンルーｌ、がらの微粒子を含ムザン
ブルエアＳＡは、噴射ノズル１ａより検出セル１の内部
に噴射される。これに対してレーザ発振滞２の発振する
レーザビームか照射され、微粒子の散乱光が図示しない
受光諧に受光されて微粒子が検出される。また、調整バ
ルブ３により吸入量が調整された外部のエアＡは、フィ
ルタ４によりｌ（ｑ埃が除去されてバージエアＰＡとな
り、分配器５により分配されて吸入１’ｌ １ ｄ、
１． ｃより吸入され、検出セル１の内部かパージ（清
掃）される。パーシェアＰＡとサンプルエアＳＡは一括
して排出ノズル１ｅよりυ］気される。サンプルエアＳ
Ａの吸入量は排気エアＥＡ ＝ （ＳＡ ＋ＰＡ ）を
調整する調整バルブ１ｂにより調整される。以１−の各
エアＳＡ、ＰＡの吸排気をＪｊうために回転式ｒ〔空ポ
ンプ６が、排気エアＥＡを計測する流計計７、排気エア
ＥＡを調整するための調整バルブ１ｂを介してυ］出ノ
スル１ｅに接続され、その吸引力によりυ閉１ノズル１
ｅよりの排気エアＥＡを吸入し、フィルタ８を通して外
部に１Ｊ１気される。
ブルエアＳＡは、噴射ノズル１ａより検出セル１の内部
に噴射される。これに対してレーザ発振滞２の発振する
レーザビームか照射され、微粒子の散乱光が図示しない
受光諧に受光されて微粒子が検出される。また、調整バ
ルブ３により吸入量が調整された外部のエアＡは、フィ
ルタ４によりｌ（ｑ埃が除去されてバージエアＰＡとな
り、分配器５により分配されて吸入１’ｌ １ ｄ、
１． ｃより吸入され、検出セル１の内部かパージ（清
掃）される。パーシェアＰＡとサンプルエアＳＡは一括
して排出ノズル１ｅよりυ］気される。サンプルエアＳ
Ａの吸入量は排気エアＥＡ ＝ （ＳＡ ＋ＰＡ ）を
調整する調整バルブ１ｂにより調整される。以１−の各
エアＳＡ、ＰＡの吸排気をＪｊうために回転式ｒ〔空ポ
ンプ６が、排気エアＥＡを計測する流計計７、排気エア
ＥＡを調整するための調整バルブ１ｂを介してυ］出ノ
スル１ｅに接続され、その吸引力によりυ閉１ノズル１
ｅよりの排気エアＥＡを吸入し、フィルタ８を通して外
部に１Ｊ１気される。
［解決しようとする課題］
１−記により構成された微粒ｐ＋’ｉ＋出装置において
は、サンプルエアＳＡよバージエアの吸排気のために、
圧力・１／、衡回転翼Ｊ−リの１°Ｌ空ポンプ６か使用
されている。各エアの所定量を吸入するためには各ノズ
ルなとの抵抗損失を考慮して、これに１゛度見合った吸
入量［讐１を自する１−〔空ポンプ６を使用することが
好ましい。その理由は７認な吸入量に１″度見合った容
：１１のもの使用して、容：１１ 杯に稼働すること
により入力側と出力側の１１−力か１衡して回転翼の振
動が消滅し、騒音が発生することなく静かに運転される
からである。しかしながら、真空ポンプ６には段階的な
容は規格があり、必冴な容置に１−゛度見合ったものが
必ずしもえられず、強いて求めれば市価な特注品となる
。−・方、クリーンルームの清浄度は弔位容積当たりの
微粒子の個数で評価されるので、微粒子検出装置におい
てはサンプルエアＳＡの毎分の吸入；１１を定（，１と
して微粒ｒの個数が３１測される。従って、Ａ空ポンプ
６の規格容ｉ １に合わせるようにサンプルエアＳＡの
吸入ｉ７）を変更することは１１′１されない。実例を
述べると、→ノ゛ンブルエアＳＡの吸入量を毎分２８リ
ツター、バージエアＰＡの吸入ｉ辻を毎分１０リツター
とし、これに各部の抵抗損失５０％を加えると、毎分５
７リツターが７冴な吸入ｂｋ （ただし無負荷の値）で
ある。これに近い規格６１は毎分５０１Ｊツタ−と７０
リツターであり、５０リツターでは不足で、７０リツタ
ーでは過大となる。過大な容［ｉのものを使用するとき
は、入力側と出力側の圧力の平衡が崩れるため内部の回
転翼に振動が発生することがＪ１力甲衡型の真空ポンプ
の特徴である。
は、サンプルエアＳＡよバージエアの吸排気のために、
圧力・１／、衡回転翼Ｊ−リの１°Ｌ空ポンプ６か使用
されている。各エアの所定量を吸入するためには各ノズ
ルなとの抵抗損失を考慮して、これに１゛度見合った吸
入量［讐１を自する１−〔空ポンプ６を使用することが
好ましい。その理由は７認な吸入量に１″度見合った容
：１１のもの使用して、容：１１ 杯に稼働すること
により入力側と出力側の１１−力か１衡して回転翼の振
動が消滅し、騒音が発生することなく静かに運転される
からである。しかしながら、真空ポンプ６には段階的な
容は規格があり、必冴な容置に１−゛度見合ったものが
必ずしもえられず、強いて求めれば市価な特注品となる
。−・方、クリーンルームの清浄度は弔位容積当たりの
微粒子の個数で評価されるので、微粒子検出装置におい
てはサンプルエアＳＡの毎分の吸入；１１を定（，１と
して微粒ｒの個数が３１測される。従って、Ａ空ポンプ
６の規格容ｉ １に合わせるようにサンプルエアＳＡの
吸入ｉ７）を変更することは１１′１されない。実例を
述べると、→ノ゛ンブルエアＳＡの吸入量を毎分２８リ
ツター、バージエアＰＡの吸入ｉ辻を毎分１０リツター
とし、これに各部の抵抗損失５０％を加えると、毎分５
７リツターが７冴な吸入ｂｋ （ただし無負荷の値）で
ある。これに近い規格６１は毎分５０１Ｊツタ−と７０
リツターであり、５０リツターでは不足で、７０リツタ
ーでは過大となる。過大な容［ｉのものを使用するとき
は、入力側と出力側の圧力の平衡が崩れるため内部の回
転翼に振動が発生することがＪ１力甲衡型の真空ポンプ
の特徴である。
この振動により１１空ポンプ６は広い周波数帯域で高い
レベルの騒音を発生して静かなりリーンルーム内の作業
者に不快感をｌｊ、える弊害がある。このような振動を
訪中するには、なんらかの方法により１°〔空ポンプを
規格容ｊ７１ ・杯に稼働させることが有効である。
レベルの騒音を発生して静かなりリーンルーム内の作業
者に不快感をｌｊ、える弊害がある。このような振動を
訪中するには、なんらかの方法により１°〔空ポンプを
規格容ｊ７１ ・杯に稼働させることが有効である。
この発明は、以１−に鑑みてなされたものて、微寧１ン
、 Ｊ’検出装置に使用される回転翼型の真空ポンプに
おいて、必冴なエアの吸入量に対して過大な規格容＋７
１のものを使用した場合に、真空ポンプを実効的に規格
容；賃・杯に稼働させて騒ｒ′ｒの発生を防屯する方ｌ
去を提供するこ七をｌｊ的とするものである。
、 Ｊ’検出装置に使用される回転翼型の真空ポンプに
おいて、必冴なエアの吸入量に対して過大な規格容＋７
１のものを使用した場合に、真空ポンプを実効的に規格
容；賃・杯に稼働させて騒ｒ′ｒの発生を防屯する方ｌ
去を提供するこ七をｌｊ的とするものである。
［課題を解決するためのＬ段］
この発明は、検出セルの排出ノズル側に回転翼型の真空
ポンプを設け、その吸引力により、噴射ノズルより４ｍ
１−１．＋セル内に微粒子を含むサンプルエアを噴射し
、サンプルエアにレーザビームを１ｊ（（ｌｉｌして微
粒子を検出するとともに、外部のエアをフィルタを透過
し”Ｃバージエアとして吸入１１より検出セル内に吸入
してパージし、ナンブルエアおよびバージエアを ・括
して１非出ノズルより排出し、さらにフィルタを通して
外部に排気する微粒Ｊ−検出装置における真空ポンプの
騒音防１１一方法であって、サンプルエアおよびバージ
エアのそれぞれの所定の吸入υＦ気ｈ１・に対して、１
−記の各ノズル、各フィルタおよび各部間の配管の抵抗
損失を考慮してＬ位の規格容■を有する１−記１ｉＬ空
ポンプを使用し、真空ポンプの入力側と出力側の間に調
整バルブ付きの短絡配管を接続し、調整バルブの調整に
より規格容Ｍと所定の吸期気（−の差に相当するエアｊ
１１を還Ｍｔｔ、、１°〔空ポンプを実効的に規格容Ｈ
５１６，−杯に稼働して騒音を防ｌｌ−１するものであ
る。
ポンプを設け、その吸引力により、噴射ノズルより４ｍ
１−１．＋セル内に微粒子を含むサンプルエアを噴射し
、サンプルエアにレーザビームを１ｊ（（ｌｉｌして微
粒子を検出するとともに、外部のエアをフィルタを透過
し”Ｃバージエアとして吸入１１より検出セル内に吸入
してパージし、ナンブルエアおよびバージエアを ・括
して１非出ノズルより排出し、さらにフィルタを通して
外部に排気する微粒Ｊ−検出装置における真空ポンプの
騒音防１１一方法であって、サンプルエアおよびバージ
エアのそれぞれの所定の吸入υＦ気ｈ１・に対して、１
−記の各ノズル、各フィルタおよび各部間の配管の抵抗
損失を考慮してＬ位の規格容■を有する１−記１ｉＬ空
ポンプを使用し、真空ポンプの入力側と出力側の間に調
整バルブ付きの短絡配管を接続し、調整バルブの調整に
より規格容Ｍと所定の吸期気（−の差に相当するエアｊ
１１を還Ｍｔｔ、、１°〔空ポンプを実効的に規格容Ｈ
５１６，−杯に稼働して騒音を防ｌｌ−１するものであ
る。
［作用］
以［ユの構成による騒名防１１方法においては、必要な
吸入量より人きいト位の規格容量の真空ポンプを使用し
た場合、入力側と出力側の圧力差か大きいために真空ポ
ンプの内部の回転翼に発生する振動は、入力端と出力側
の間に接続された短絡配管の流量を調整バルブにより調
整し、真空ポンプを実効的に規格容ｈ１・杯に稼働させ
ることにより両側の圧力差か低減し、回転翼の振動が消
滅して騒音が防１１−．される。
吸入量より人きいト位の規格容量の真空ポンプを使用し
た場合、入力側と出力側の圧力差か大きいために真空ポ
ンプの内部の回転翼に発生する振動は、入力端と出力側
の間に接続された短絡配管の流量を調整バルブにより調
整し、真空ポンプを実効的に規格容ｈ１・杯に稼働させ
ることにより両側の圧力差か低減し、回転翼の振動が消
滅して騒音が防１１−．される。
［実施例コ
第１図は、この発明による真空ポンプの騒音防ｌに方法
を適用した微粒子検出装置の構成を示すもので、検出セ
ル１の構造と機能、サンプルエアＳＡとパージエアＰＡ
の供給ルートは、排気エアＥＡを調整するための調整バ
ルブ１ｂが除かれた以外は、前記した第２図の場合と同
様であるから説明を省略する。この発明においては、回
転翼）１すのｌ“〔空ポンプ６として、所要の吸入；１
１より人きい１゜位の規格容量のものを余儀なく使用す
る。ここでは、前記したサンプルエアＳＡの吸、Ａ１２
８１Ｊ 、、。
を適用した微粒子検出装置の構成を示すもので、検出セ
ル１の構造と機能、サンプルエアＳＡとパージエアＰＡ
の供給ルートは、排気エアＥＡを調整するための調整バ
ルブ１ｂが除かれた以外は、前記した第２図の場合と同
様であるから説明を省略する。この発明においては、回
転翼）１すのｌ“〔空ポンプ６として、所要の吸入；１
１より人きい１゜位の規格容量のものを余儀なく使用す
る。ここでは、前記したサンプルエアＳＡの吸、Ａ１２
８１Ｊ 、、。
ターとパーシェアＰＡの吸入ｔｉｔ １０リツターに、
各部の抵抗損５０％を加えた５７リツターの所冴晴に対
して、規格容量が７０ Ｕツタ−の真空ポンプ６を使用
した場合を例とする。真空ポンプ６の入力側と出力側に
分配器９ａと９ｂをそれぞれ挿入して排気エアＥＡを短
絡配管ＩＯに分流する。出力側の圧力は入力端より高い
ので、分流の方向は出力側より入力端に還流し、調整バ
ルブＩＩにより還流附を１３リツターに調整すると、所
要の５７リツターが吸排気されるとともに、真空ポンプ
６は規格容量７０リッターで動作して両側の圧力差が低
減され、回転翼の振動が消滅して騒１′１”が防１１さ
れる。Ｉｒ、記の数値は１例であって、−・殻内には、
調整バルブ１１の調整により、微粒子−検出装置の所要
吸入厳と真空ポンプ６の規格容ｌの差を還流することに
より、１１空ポンプ６は規格容Ｍて動作して振動か消滅
するものである。
各部の抵抗損５０％を加えた５７リツターの所冴晴に対
して、規格容量が７０ Ｕツタ−の真空ポンプ６を使用
した場合を例とする。真空ポンプ６の入力側と出力側に
分配器９ａと９ｂをそれぞれ挿入して排気エアＥＡを短
絡配管ＩＯに分流する。出力側の圧力は入力端より高い
ので、分流の方向は出力側より入力端に還流し、調整バ
ルブＩＩにより還流附を１３リツターに調整すると、所
要の５７リツターが吸排気されるとともに、真空ポンプ
６は規格容量７０リッターで動作して両側の圧力差が低
減され、回転翼の振動が消滅して騒１′１”が防１１さ
れる。Ｉｒ、記の数値は１例であって、−・殻内には、
調整バルブ１１の調整により、微粒子−検出装置の所要
吸入厳と真空ポンプ６の規格容ｌの差を還流することに
より、１１空ポンプ６は規格容Ｍて動作して振動か消滅
するものである。
［発明の効果］
以１−の説明により明らかなように、この発明による真
空ポンプの騒音防止方法においては、微粒子検出装置の
必要な吸入［ｉに１°度適合する規格容ｊ’ｉｌ、の真
空ポンプかえられない場合、過大な＋７位の規格容；賃
の真空ポンプを使用し、入力側と出力側の間に接続され
た短絡配管の還流量を調整バルブにより調整し、真空ポ
ンプを実効的に規格容量−・杯に稼働して騒音を防止す
るもので、微粒子検出装置の吸入量に見合った１！〔空
ポンプを特注する必要がなくて規格品を使用できる利点
があるとともに、クリーンルーム内の作業者に与える不
快感を除去する効果には大きいものがある。
空ポンプの騒音防止方法においては、微粒子検出装置の
必要な吸入［ｉに１°度適合する規格容ｊ’ｉｌ、の真
空ポンプかえられない場合、過大な＋７位の規格容；賃
の真空ポンプを使用し、入力側と出力側の間に接続され
た短絡配管の還流量を調整バルブにより調整し、真空ポ
ンプを実効的に規格容量−・杯に稼働して騒音を防止す
るもので、微粒子検出装置の吸入量に見合った１！〔空
ポンプを特注する必要がなくて規格品を使用できる利点
があるとともに、クリーンルーム内の作業者に与える不
快感を除去する効果には大きいものがある。
第１図はこの発明による真空ポンプの騒音防止方法を適
用した微粒子検出装置の実施例の構成図、第２図は従来
の微粒Ｙ検出装置の構成図である。 １・・・検出セル、 １ａ・・・噴射ノズル、
１ｂ、３． Ｉ＋・・・調整バルブ、１ ｃ、 １ ｄ
・・・吸入に１．１ｅ・・・ｔｌｉノズル、 ２・
・・レーザ発振器、２ａ・・・レーザ管、 ２ｂ
・・・外部ミラー、４．８・・・フィルタ、 ５．
９ａ、９ｂ・・・分配器、６・・・回転翼型の真空ポン
プ、７・・・流ｉ’ｊｔ＋１．１０・・・短絡配管。
用した微粒子検出装置の実施例の構成図、第２図は従来
の微粒Ｙ検出装置の構成図である。 １・・・検出セル、 １ａ・・・噴射ノズル、
１ｂ、３． Ｉ＋・・・調整バルブ、１ ｃ、 １ ｄ
・・・吸入に１．１ｅ・・・ｔｌｉノズル、 ２・
・・レーザ発振器、２ａ・・・レーザ管、 ２ｂ
・・・外部ミラー、４．８・・・フィルタ、 ５．
９ａ、９ｂ・・・分配器、６・・・回転翼型の真空ポン
プ、７・・・流ｉ’ｊｔ＋１．１０・・・短絡配管。
Claims (1)
- （１）検出セルの排出ノズル側に回転翼型の真空ポンプ
を設け、該真空ポンプの吸引力により、噴射ノズルより
該検出セル内に微粒にを含むサンプルエアを噴射し、該
サンプルエアにレーザビームを照射して該微粒子を検出
するとともに、外部のエアをフィルタを透過してパージ
エアとして吸入口より該検出セル内に吸入してパージし
、該サンプルエアおよびパージエアを一括して前記排出
ノズルより排出し、該排出された各エアをフィルタを通
して外部に排気する微粒子検出装置において、前記サン
プルエアおよびパージエアのそれぞれの所定の吸入排気
量に対して、前記各ノズル、各フィルタおよび各部間の
配管の抵抗損失を考慮して上位の規格容量を有する前記
真空ポンプを使用し、該真空ポンプの入力側と出力側の
間に調整バルブ付きの短絡配管を接続し、該調整バルブ
の調整により前記規格容量と前記所定の吸排気量の差に
相当するエア量を還流し、該真空ポンプを実効的に前記
規格容量一杯に稼働して騒音を防止することを特徴とす
る、真空ポンプの騒音防止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31337490A JPH04183994A (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 | 真空ポンプの騒音防止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31337490A JPH04183994A (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 | 真空ポンプの騒音防止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04183994A true JPH04183994A (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=18040499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31337490A Pending JPH04183994A (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 | 真空ポンプの騒音防止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04183994A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008197120A (ja) * | 2008-05-19 | 2008-08-28 | Seiko Epson Corp | 赤外吸収分光器を用いた温室効果ガス測定方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5718497A (en) * | 1980-07-04 | 1982-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Eddy flow fan |
| JPS58160731A (ja) * | 1982-03-18 | 1983-09-24 | ヴエバスト―ヴエルク・ヴエ−・バイエル・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング・ウント・コムパニ | 燃焼空気用フアン |
| JPS63306297A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-14 | Daikin Ind Ltd | 渦流分子ポンプ |
-
1990
- 1990-11-19 JP JP31337490A patent/JPH04183994A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5718497A (en) * | 1980-07-04 | 1982-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Eddy flow fan |
| JPS58160731A (ja) * | 1982-03-18 | 1983-09-24 | ヴエバスト―ヴエルク・ヴエ−・バイエル・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング・ウント・コムパニ | 燃焼空気用フアン |
| JPS63306297A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-14 | Daikin Ind Ltd | 渦流分子ポンプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008197120A (ja) * | 2008-05-19 | 2008-08-28 | Seiko Epson Corp | 赤外吸収分光器を用いた温室効果ガス測定方法 |
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