JPH04180625A - 流体吐出装置 - Google Patents
流体吐出装置Info
- Publication number
- JPH04180625A JPH04180625A JP30968890A JP30968890A JPH04180625A JP H04180625 A JPH04180625 A JP H04180625A JP 30968890 A JP30968890 A JP 30968890A JP 30968890 A JP30968890 A JP 30968890A JP H04180625 A JPH04180625 A JP H04180625A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- nozzle
- fluid
- discharged
- ejection
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- Pending
Links
- 238000007599 discharging Methods 0.000 title description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、流体吐出装置に関する。
(従来の技術〕
従来、流体吐出装置は第4図(a)、(b)の様に流体
を吐出したい領域に対して、−度に吐出しない流体量を
得る事ができる様に吐出ノズルに吐出孔を複数個、マス
目状に設けで吐出していた。
を吐出したい領域に対して、−度に吐出しない流体量を
得る事ができる様に吐出ノズルに吐出孔を複数個、マス
目状に設けで吐出していた。
〔発明が解決しようとする!IIり
上述した従来の流体吐出装置は、吐出したい領域全域に
一度に吐出するなめに数多くの吐出孔を設けなければな
らず吐出領域が大きくなるにつれノズルは大型化し製作
費用が増大するという欠点がある。
一度に吐出するなめに数多くの吐出孔を設けなければな
らず吐出領域が大きくなるにつれノズルは大型化し製作
費用が増大するという欠点がある。
本発明の目的は、従来の吐出ノズルより少ない吐出孔で
従来と同等の吐出量、吐出分布が得られ、吐出ノズルの
管理が容易に、かつその製作費を少なくできる流体吐出
装置を提供することにある。
従来と同等の吐出量、吐出分布が得られ、吐出ノズルの
管理が容易に、かつその製作費を少なくできる流体吐出
装置を提供することにある。
本発明の流体吐出装置は、吐出中心から異なる半径の同
心円上に複数個の吐出孔を有する吐出ノズルと、そのノ
ズルを回転させる回転機構を備えて構成される。
心円上に複数個の吐出孔を有する吐出ノズルと、そのノ
ズルを回転させる回転機構を備えて構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第1図
(a)、(b)は、本発明の一実施例の構成図及び吐出
ノズルの平面図である。吐出ノズル2の中心から半径の
異なる同心円上に吐出孔3を設け、流体を入れたシリン
ジ1と吐出ノズル2をノズル回転モータ4で回転させな
がら流体を吐出する。この場合180°回転させると第
2図の様に流体を吐出できる。
(a)、(b)は、本発明の一実施例の構成図及び吐出
ノズルの平面図である。吐出ノズル2の中心から半径の
異なる同心円上に吐出孔3を設け、流体を入れたシリン
ジ1と吐出ノズル2をノズル回転モータ4で回転させな
がら流体を吐出する。この場合180°回転させると第
2図の様に流体を吐出できる。
第3図は、本発明の他の実施例の吐出ノズルの図である
。この実施例では、第2図と同じ吐出形状を得るのに9
0°回転させればよいので吐出時る。
。この実施例では、第2図と同じ吐出形状を得るのに9
0°回転させればよいので吐出時る。
以上説明したように本発明は、シリンジと吐出ノズルを
回転させながら流体を吐出する事により同じ吐出量を得
るのに少ない吐出孔で吐出できるため吐出ノズルの管理
を容易にできると共に、その製作費を少なくできる効果
がある。
回転させながら流体を吐出する事により同じ吐出量を得
るのに少ない吐出孔で吐出できるため吐出ノズルの管理
を容易にできると共に、その製作費を少なくできる効果
がある。
第1図(a)、(b)は本発明の一実施例の流体吐出装
置の構成図及び吐出ノズルの平面図、第2図は第1図の
流体吐出装置で吐出した場合の吐出形状を示す図、第3
図は本発明の流体吐出装置の他の実施例のノズルの図、
第4図(a)。 (b)は従来の流体吐出装置のノズルの図、第5図は第
4図の従来のノズルで吐出した場合の吐出形状である。 1・・・シリンジ、2・・・吐出ノズル、3・・・吐出
孔、4・・・ノズル回転モータ。
置の構成図及び吐出ノズルの平面図、第2図は第1図の
流体吐出装置で吐出した場合の吐出形状を示す図、第3
図は本発明の流体吐出装置の他の実施例のノズルの図、
第4図(a)。 (b)は従来の流体吐出装置のノズルの図、第5図は第
4図の従来のノズルで吐出した場合の吐出形状である。 1・・・シリンジ、2・・・吐出ノズル、3・・・吐出
孔、4・・・ノズル回転モータ。
Claims (1)
- 吐出中心から異なる半径の同心円上に複数個の吐出孔
を有する吐出ノズルと、該吐出ノズルを吐出方向と垂直
に回転させる機構とを有する事を特徴とする流体吐出装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30968890A JPH04180625A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 流体吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30968890A JPH04180625A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 流体吐出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04180625A true JPH04180625A (ja) | 1992-06-26 |
Family
ID=17996088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30968890A Pending JPH04180625A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 流体吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04180625A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011135014A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2014103416A (ja) * | 2014-02-13 | 2014-06-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
-
1990
- 1990-11-15 JP JP30968890A patent/JPH04180625A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011135014A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2014103416A (ja) * | 2014-02-13 | 2014-06-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
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