JPH04178083A - Solid-state image pickup device - Google Patents

Solid-state image pickup device

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JPH04178083A
JPH04178083A JP2307472A JP30747290A JPH04178083A JP H04178083 A JPH04178083 A JP H04178083A JP 2307472 A JP2307472 A JP 2307472A JP 30747290 A JP30747290 A JP 30747290A JP H04178083 A JPH04178083 A JP H04178083A
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JP
Japan
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charge
charges
read
solid
diode
Prior art date
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Pending
Application number
JP2307472A
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Japanese (ja)
Inventor
Takahiro Iwazawa
高広 岩澤
Hironori Yatsuyama
博記 八山
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
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Publication date
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Publication of JPH04178083A publication Critical patent/JPH04178083A/en
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Abstract

PURPOSE:To reduce a defect due to a flaw of a solid-state image pickup element by changing the read sequence of charges stored in plural photoelectric conversion elements and transferring the charge to one direction at a vertical transfer section at all times when the charge is read. CONSTITUTION:A charge of a photo diode PDB is read to a hatched part 104 under adjacent gates V1, V2 by a 4-phase transfer pulse phiV1. The read charge is moved to a cross hatched part 105 under gates V3, V4 of a diode PDA by 4-phase transfer pulses phiV1-phiV4. Then the 4-phase pulse phiV3 is used to read the charge of the diode PDA. and the charge is combined with the charge of the diode PDB and not transferred in the original direction. Similarly, the charge of the diode PDC is moved and the charge of the diode PDa is read to combine both the charges. The combined charge is represented in cross hatch similarly to the case above. In order to match the position of the. charges in preceding and succeeding fields, the combined charge is moved under gates V3, V4 of the diode PDA.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、固体撮像素子に蓄えられた信号電荷を転送し
てデータを読み出す固体撮像装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a solid-state imaging device that reads data by transferring signal charges stored in a solid-state imaging device.

従来の技術 近年、半導体技術の発展とともに固体撮像素子も研究開
発が進められ、現在は電子の眼として本格的普及期をむ
かえている。また、固体撮像素子の技術改良の急速な展
開に伴い、より高画質、小型化、使いやすさ、コストダ
ウンが求められるようになってきた。その中で固体撮像
素子の駆動方法は、固体撮像素子の性能を引き出す上で
、もっとも重要な役割を占めている。
BACKGROUND OF THE INVENTION In recent years, along with the development of semiconductor technology, research and development of solid-state image sensors has progressed, and they are now entering a period of full-scale widespread use as electronic eyes. In addition, with the rapid development of technological improvements in solid-state image sensors, there has been a demand for higher image quality, smaller size, ease of use, and cost reduction. Among these, the driving method of the solid-state image sensor plays the most important role in bringing out the performance of the solid-state image sensor.

以下に従来の固体撮像装置における固体撮像素子の駆動
方法について説明する。
A method of driving a solid-state image sensor in a conventional solid-state image sensor will be described below.

第2図は固体撮像素子のフォトダイオード付近の構成を
示す図である。この固体撮像素子は、図に示すように、
光電変換素子(以下フォトダイオードと称す)201、
水平方向電荷転送素子(以下H−CCDと称す)202
、垂直方向電荷転送素子(以下V−CCDと称す)20
3により構成される。H−CCD202は、パルスφH
+、φH2からなる2相転送パルスにより電荷転送が行
われ、V−CCD203は、パルスφV1〜φv4から
なる4相転送パルスにより電荷転送が行われる。
FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the solid-state imaging device near the photodiode. This solid-state image sensor, as shown in the figure,
Photoelectric conversion element (hereinafter referred to as photodiode) 201,
Horizontal charge transfer device (hereinafter referred to as H-CCD) 202
, vertical charge transfer device (hereinafter referred to as V-CCD) 20
Consisting of 3. The H-CCD 202 receives a pulse φH
Charge transfer is performed by a two-phase transfer pulse consisting of + and φH2, and charge transfer is performed in the V-CCD 203 by a four-phase transfer pulse consisting of pulses φV1 to φv4.

また、第3図(a)はフォトダイオード付近の拡大平面
図で、フォトダイオード301. V−CCD502゜
トランスファゲート(以下ゲートと称す)303で構成
されている。第3図(b)はV−CCDの断面方向の構
造を示す概念図であり、ゲート電極304. tfJ転
送チャネル305で構成されている。
FIG. 3(a) is an enlarged plan view of the vicinity of the photodiode, showing the photodiode 301. The V-CCD 502 is composed of a transfer gate (hereinafter referred to as gate) 303. FIG. 3(b) is a conceptual diagram showing the cross-sectional structure of the V-CCD, in which the gate electrode 304. It consists of a tfJ transfer channel 305.

以上のように構成された固体撮像素子で、従来のフィー
ルド蓄積モードにおけるフォトダイオードからの電荷読
み出し時の電荷結合方法についての動作を説明する。
The operation of a charge coupling method when reading charges from a photodiode in a conventional field accumulation mode in a solid-state imaging device configured as described above will be described.

フィールド蓄積モードについて、第4図の概念図に示す
The field storage mode is shown in the conceptual diagram of FIG.

テレビジョン画面401には、垂直方向フォトダイオー
ド画素列402から読み出されたデータにもとづいた走
査線403.404による画像が表示されている。
An image is displayed on the television screen 401 using scanning lines 403 and 404 based on data read out from the vertical photodiode pixel array 402.

画素結合方向すなわちフォトダイオード画素列402の
どの画素同士を結合するのかを符号405.406で示
している。まず、テレビジョン画面401中に、あるフ
ィールドで走査線403の走査をするとき、符号405
で示す画素結合方向、すなわち画素■と同■。
The pixel coupling direction, that is, which pixels of the photodiode pixel row 402 are coupled to each other is indicated by reference numerals 405 and 406. First, when scanning the scanning line 403 in a certain field on the television screen 401, the reference numeral 405
The pixel combination direction shown by is the same as the pixel ■.

画素■と同■1画素■と同■という方向で電荷の結合を
行う。つぎに隣り合う次のフィールドでは走査線404
の走査が行われ、そのときの電荷の結合は、符号406
で示す画素■と同■1画素■と同■。
Charges are combined in the direction of pixel ■ and pixel ■. In the next adjacent field, the scanning line 404
is scanned, and the combination of charges at that time is represented by the symbol 406
The same as the pixel ■ shown by ■ 1 The same as the pixel ■ ■.

画素■と同■という方向で結合される。Pixel ■ is combined in the same direction as ■.

このようにフィールド蓄積モードが行われる際の、電荷
結合時にV−CCD中の電荷移動経過について、第5図
を参照して説明する。
The course of charge movement in the V-CCD during charge coupling when the field accumulation mode is performed in this manner will be described with reference to FIG.

第5図は、垂直方向に配列されたフォトダイオード50
1、その蓄積電荷を垂直方向に転送するV−CCD50
2を示す。なお、V−CCDliゲ−IV+〜V4で表
示し、電荷結合方向503については、結合させるべき
電荷を有するフォトダイオード同士を両矢印を付したマ
ークで示している。
FIG. 5 shows photodiodes 50 arranged vertically.
1. V-CCD 50 that transfers the accumulated charge in the vertical direction
2 is shown. Incidentally, it is indicated by V-CCDlige-IV+ to V4, and regarding the charge coupling direction 503, photodiodes having charges to be coupled are indicated by marks with double-headed arrows.

第5図(B)は、フォトダイオードPD^とフォトダイ
オードPDaに蓄積された電荷の結合が行われる過程を
示す。
FIG. 5(B) shows a process in which the charges accumulated in the photodiode PD^ and the photodiode PDa are combined.

まず、4相転送パルスのうちφVIにより、V−CCD
中のゲートvl、v2の下にフォトダイオードPDBの
電荷を読み出す。その状態を第5図(a)の斜線部分5
04で示す。なお、この斜線部分504は電荷の位置を
示している。読み出された電荷は、4相転送パルスφv
1〜φv4によりV−CCDのフォトダイオードPD^
の隣り合うゲートv3.V4の下に移動する。この電荷
の移動経過を斜線部分504と同様の斜線部分で示す。
First, by φVI of the four-phase transfer pulse, V-CCD
The charge of the photodiode PDB is read out under the inner gates vl and v2. This state is shown in the shaded area 5 in Fig. 5(a).
Indicated by 04. Note that this hatched portion 504 indicates the position of the charge. The read charge is a 4-phase transfer pulse φv
V-CCD photodiode PD^ by 1~φv4
Adjacent gate v3. Move below V4. The progress of this charge movement is shown by a shaded area similar to the shaded area 504.

フォトダイオードPD、の電荷がゲートVx、V4の下
に移動し終えた状態はクロスハツチ部分505で示して
あり、ここに4相転送パルスのφV3によりフォトダイ
オードPD^の電荷がゲートV3.V、の下へ読み出さ
れる。ここで、あらかじめ転送が行われていたフォトダ
イオードPDeの電荷と、読み出されたフォトダイオー
ドPD^の電荷とが結合される(クロスハツチ部分50
5)。そして、電荷の結合が完了すると、フォトダイオ
ードPDaの隣り合うゲートV、、V、、の4相転送パ
ルスφvl〜φV4により電荷が移動される(クロスハ
ツチ部分506)。つぎにフォトダイオードPDC,P
DBの電荷の結合は、第5図(b)に示すように、上記
のフォトダイオードPD^、PDHの電荷結合と同様に
電荷が斜線部分507、クロスハツチ部分508.50
9という移動経過で行われる。
The state in which the charge of the photodiode PD has finished moving below the gates Vx, V4 is shown by a cross hatched portion 505, where the charge of the photodiode PD^ is transferred to the gate V3. V, is read out below. Here, the charge of the photodiode PDe, which has been transferred in advance, and the charge of the photodiode PD^ that has been read out are combined (the crosshatch portion 50
5). Then, when the charge coupling is completed, the charges are moved by the four-phase transfer pulses φvl to φV4 of the adjacent gates V, , V, , of the photodiodes PDa (crosshatch portion 506). Next, the photodiode PDC,P
As shown in FIG. 5(b), the charge coupling of DB is similar to the charge coupling of the photodiodes PD^ and PDH described above, where the charges are connected to the diagonal line portion 507 and the crosshatched portion 508.50.
It is carried out in a movement sequence of 9.

ここで具体的に4相転送パルスφv1〜φV4の波形の
タイミングチャートを第6図に示す。4相転送パルスφ
v1〜φV4は3値の電位をとり“H”レベルのときの
みフォトダイオードとV−CCDのトランスファーゲー
トがオンになり、電荷が読み出される。また、V−CC
D内の電荷転送は“M”レベルと“L”レベルと間で行
われる。
Here, a timing chart of the waveforms of the four-phase transfer pulses φv1 to φV4 is specifically shown in FIG. 4-phase transfer pulse φ
v1 to φV4 have three potentials, and only when they are at the "H" level, the photodiode and the transfer gate of the V-CCD are turned on, and the charges are read out. Also, V-CC
Charge transfer within D occurs between the "M" level and the "L" level.

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記従来の構成では、フォトダイオード
より読み出された電荷が、隣り合うフォトダイオードの
電荷を結合する際に、たとえば、第5図(a)のクロス
ハツチ部分505から同506への転送のように、本来
V−CCDの電荷転送が行われる方向とは逆の方向へ電
荷転送が行われる。そのため、V−CCDのゲート間に
発生するポテンシャルのこぶによって電荷の取り残しが
起こり、これにより出力画像中に傷状に雑音となって現
れ、固体撮像素子の歩留り低下という問題があった。
Problems to be Solved by the Invention However, in the above-mentioned conventional configuration, when the charges read out from the photodiodes combine the charges of adjacent photodiodes, for example, from the crosshatch portion 505 in FIG. 5(a), As in the case of transfer to V-CCD 506, charge transfer is performed in the opposite direction to the direction in which charge is originally transferred to the V-CCD. Therefore, the potential bump generated between the gates of the V-CCD causes charges to be left behind, which appears in the form of noise in the output image in the form of scratches, resulting in a problem of lower yields of solid-state imaging devices.

本発明は、上記従来の課題を解決するもので、固体撮像
素子の出力画像に見られる傷状の雑音成分を低減できる
固体撮像素子駆動の方法を提供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and aims to provide a method for driving a solid-state image sensor that can reduce scratch-like noise components seen in an output image of a solid-state image sensor.

課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために、マトリックス状に
配置された複数の光電変換素子と、水平転送部、垂直転
送部を有する固体撮像装置において、隣り合う光電変換
素子に蓄えられた電荷を結合する際に、垂直転送部が一
方向へのみ電荷転送を行うように構成したものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention provides a solid-state imaging device having a plurality of photoelectric conversion elements arranged in a matrix, a horizontal transfer section, and a vertical transfer section. The vertical transfer section is configured to transfer charges only in one direction when combining the charges stored in the vertical transfer section.

作用 上記構成の本発明の固体撮像装置は、複数の光電変換素
子に蓄えられた電荷を結合させて読み出す際に、その読
み出す順序を変え、垂直転送部により転送をつねに一方
向としたものである。
Function: The solid-state imaging device of the present invention having the above configuration changes the readout order when combining and reading out charges stored in a plurality of photoelectric conversion elements, and always transfers in one direction using the vertical transfer section. .

実施例 以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本実施例の電荷移動の過程過程を示す電荷転送
パターン図である。
FIG. 1 is a charge transfer pattern diagram showing the process of charge transfer in this embodiment.

フォトダイオード101は複数のフォトダイオードPD
A−PDBからなる。V−COD102については、ゲ
ート■1〜V4でその構成を示している。電荷結合方向
については、マーク103で結合相手を示している。ま
た、4相転送パルスによる電荷の結合。
The photodiode 101 includes a plurality of photodiodes PD
Consists of A-PDB. Regarding the V-COD 102, its configuration is shown by gates 1 to V4. Regarding the charge binding direction, a mark 103 indicates a binding partner. Also, the combination of charges by four-phase transfer pulses.

転送については、図中の斜線部分104.107、クロ
スハツチ部分105〜109で、電荷のV−CCD10
2中の移動を示している。固体撮像素子のフィールド蓄
積モードに関しては第2図〜第4図に示す従来のものと
同等である。
Regarding transfer, the charge V-CCD 10 is
It shows the movement in 2. Regarding the field accumulation mode of the solid-state image sensor, it is equivalent to the conventional one shown in FIGS. 2 to 4.

以上のように構成された本実施例の固体撮像装置につい
て、以下その動作を説明する。
The operation of the solid-state imaging device of this embodiment configured as described above will be described below.

まず、第1図(a)に示す、あるフィールドにおけるフ
ォトダイオードPD^と同PDBの電荷の結合について
説明する。
First, the coupling of charges between the photodiode PD^ and the photodiode PDB in a certain field as shown in FIG. 1(a) will be explained.

4相転送パルスφV+によりフォトダイオードPDaの
電荷を隣り合うV−CCDIOI内のゲートv、、V2
の下第1図(a)の斜線部分104に読み出す。
The four-phase transfer pulse φV+ transfers the charge of the photodiode PDa to the gates v, , V2 in the adjacent V-CCDIOIs.
The data is read out in the shaded area 104 in FIG. 1(a) below.

ゲートV、、V2の間に読み出された電荷は、4相転送
パルスφV、〜φv4により、フォトダイオードPD^
の隣り合うゲートv3.v4の下第1図(a)のクロス
ハツチ部分105へ移動する。そこで4相転送パルスφ
v3によりフォトダイオードPD^の電荷を読み出し、
あらかじめ転送が行われていたフォトダイオードPDB
の電荷と結合される(第111(a)のクロスハツチ部
分105)。
The charges read out between the gates V, V2 are transferred to the photodiode PD^ by the four-phase transfer pulses φV, ~φv4.
Adjacent gate v3. Move to the crosshatch section 105 in FIG. 1(a) below v4. Therefore, the four-phase transfer pulse φ
Read the charge of photodiode PD^ by v3,
Photodiode PDB that was transferred in advance
(111(a) crosshatch portion 105).

つぎに、第1図(b)に示す、隣り合う次のフィールド
における電荷結合過程を説明する。第1図(a)に示し
た結合方向に対して、フィールド蓄積モードをとるため
、次のフィールドは、フォトダイオードPDaとフォト
ダイオードPDcとの電荷の結合を行う。初めに4相転
送パルスφV3によりゲートV、、V4の下にフォトダ
イオードPDcの電荷を読み出すく第1図(b)の斜線
部分107)。つぎに4相転送パルスφV+〜φv4に
より、フォトダイオードPDcの電荷をフォトダイオー
ドPDBに隣り合うゲートV、、V2の下へ電荷を移動
するく第1図(b)のクロスハツチ部分108)。そこ
で4相転送パルスφV1によりフォトダイオードPDs
の電荷をこのゲートV、、V=の下へ読み出す。あらか
じめ転送が行われていたフォトダイオードPDcの電荷
を読み出しが行われたフォトダイオードPDeの電荷と
結合が行われる(第1図(b)のクロスハツチ部分10
8)。そこで、前後のフィールドとの電荷の位置を合わ
せるために、結合された電荷をフォトダイオードPDA
の隣り合うゲートv3をゲートv4の下まで移動させる
(第1図(b)のクロハツチ部分109)。
Next, the charge coupling process in the next adjacent field shown in FIG. 1(b) will be explained. Since the field accumulation mode is adopted in the coupling direction shown in FIG. 1(a), in the next field, charges are coupled between the photodiodes PDa and the photodiodes PDc. First, the charge of the photodiode PDc is read out under the gates V, V4 by the four-phase transfer pulse φV3 (shaded area 107 in FIG. 1(b)). Next, by four-phase transfer pulses φV+ to φv4, the charges in the photodiode PDc are transferred to the gates V, V2 adjacent to the photodiode PDB (crosshatch portion 108 in FIG. 1(b)). Therefore, the photodiode PDs is activated by the four-phase transfer pulse φV1.
The charges of V, , V= are read out below this gate. The charge of the photodiode PDc, which has been transferred in advance, is combined with the charge of the photodiode PDe, which has been read out (crosshatch portion 10 in FIG. 1(b)).
8). Therefore, in order to align the charge position with the front and rear fields, the combined charge is transferred to the photodiode PDA.
The adjacent gate v3 is moved to below the gate v4 (black hatch section 109 in FIG. 1(b)).

以上のように本実施例によれば、フィールドごとフォト
ダイオードより読み出す順序を変えることで、つねに一
定方向の電荷転送を行うことができる。
As described above, according to this embodiment, by changing the order of reading from the photodiodes for each field, charge transfer can always be performed in a fixed direction.

なお、この実施例では、フォトダイオードからの読み出
し直後の電荷結合時であるが、その他どのような場合に
おいても、V−CCDIOI内で一定方向の電荷の転送
を行うと、同様の効果が得られることは言うまでもない
In this example, the charge is coupled immediately after reading from the photodiode, but in any other case, the same effect can be obtained by transferring the charge in a fixed direction within the V-CCDIOI. Needless to say.

発明の効果 以上の説明より明らかなように本発明は、V−CCD中
でつねに一定方向に電荷転送を行うことによりV−CC
Dのゲート間に発生するポテンシャルのこぶの影響がな
くなり、固体撮像素子の傷などの欠陥を低減することが
できる優れた固体撮像装置が実現できるものである。
Effects of the Invention As is clear from the above explanation, the present invention improves the V-CCD by always transferring charges in a fixed direction in the V-CCD.
An excellent solid-state imaging device can be realized in which the influence of the potential bump generated between the gates of D is eliminated, and defects such as scratches on the solid-state imaging device can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例における固体撮像装置の電荷
移動経過を示したパターン図、第2図は固体撮像素子の
概念図、第3図は固体撮像素子のフォトダイオード付近
の構成図、第4図はフィールド蓄積モードの概念図、第
5図は従来の固体撮像装置による電荷移動経過を示した
パターン図、第6図は従来例の垂直転送パルスタイミン
グチャートである。 101・・・・・・フォトダイオード(光電変換部) 
、102・・・・・・V−CCD (第1の電荷転送部
)。 第2図 第3図 @荷転逆方句 第4図 405稠 \\ 伏l                       
             究4第5図 第6図 噌
FIG. 1 is a pattern diagram showing the progress of charge movement in a solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a conceptual diagram of the solid-state imaging device, and FIG. 3 is a configuration diagram near the photodiode of the solid-state imaging device. FIG. 4 is a conceptual diagram of the field accumulation mode, FIG. 5 is a pattern diagram showing the progress of charge movement in a conventional solid-state imaging device, and FIG. 6 is a vertical transfer pulse timing chart of the conventional example. 101...Photodiode (photoelectric conversion section)
, 102...V-CCD (first charge transfer unit). Figure 2 Figure 3 @ Load transfer reverse phrase Figure 4 405 稠 \ \
Study 4 Figure 5 Figure 6

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)マトリックス状に配置された複数の光電変換素子
を有する光電変換部と、前記光電変換部に蓄えられた電
荷を垂直方向へ転送する第1の電荷転送部と、前記第1
の電荷転送部により転送された電荷を水平方向へ転送す
る第2の電荷転送部とを具備し、前記第1の電荷転送部
により前記複数の光電変換素子のうち隣り合う前記光電
変換素子に蓄えられた電荷を結合させる際に、一定方向
へのみ電荷転送が行われるようにしてなる固体撮像装置
(1) a photoelectric conversion section having a plurality of photoelectric conversion elements arranged in a matrix; a first charge transfer section that transfers charges stored in the photoelectric conversion section in a vertical direction;
a second charge transfer section that horizontally transfers the charges transferred by the charge transfer section, and stores the charges in adjacent photoelectric conversion elements among the plurality of photoelectric conversion elements by the first charge transfer section. A solid-state imaging device in which charge transfer is performed only in a certain direction when combining the charges.
(2)第1の電荷転送部が、インターレース方式の画像
表示システムへの画像信号として、光電変換部からの電
荷を読み出す際に、第1のフィールドのための電荷の結
合には電荷転送をせず、第2のフィールドのための電荷
の結合には電荷転送を行うようにしてなる請求項1記載
の固体撮像装置。
(2) When the first charge transfer unit reads out the charges from the photoelectric conversion unit as an image signal to an interlaced image display system, charge transfer is not required to combine the charges for the first field. 2. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein charge transfer is performed to combine charges for the second field.
JP2307472A 1990-11-13 1990-11-13 Solid-state image pickup device Pending JPH04178083A (en)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS604381A (en) * 1983-06-22 1985-01-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Solid-state image pickup device

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