JPH04174336A - ポリゴンミラー測定器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、レーザプリンタなどに使用されるポリゴンミ
ラーの回転中の面倒れ・ジッタ・面出入りを測定する、
ポリゴンミラー測定装置に関するものである。

（従来の技術） 従来におけるポリゴンミラーの偏向性能の評価特性とし
ては、反射面の倒れ角の変動（面倒れ）、走査むら（ジ
ッタ）が重要視されることを考慮にいれて、種種の評価
方法、評価装置が開示されている（たとえば、特開平１
−２２１６３１号公報、特開昭６４−６３９１６号公報
、特開昭６４−２８５３５号公報参照）。

更に前述のものとは別に、面出入りつまり面位されてい
る（特開平１−２３２２２６号公報）。

更にこれらを同時に測定しようという装置の提案もなさ
れている（平成２年９月１３日出願［光偏向器評価装置
」）。

（発明が解決しようとする課題） 一般に、走査光を検知してトリガ信号を発生する光検出
器は、光量の立ち上がり信号を一定の電圧で切ってトリ
ガ信号を発生させるので、光量のたちあがりの傾きが大
きい程、高精度な計測が出来る。立ち上がりの傾きは、
センサ上スポットの大きさと走査スピードに比例し、ス
ポットの大きさを回折限界と考えれば、立ち上がりの傾
きは反射鏡上のビームの大きさに比例する。また、ポリ
ゴンミラー面上は加工状態により微少な凹凸がある場合
が有り、ビームが小さいとこの凹凸の影響を受けるので
、その意味でもポリゴンミラー上のビームは大きい方が
よい、ところが、近年ポリゴンミラーの厚さは、一般に
薄く作られるようになってきており、反射面上でビーム
を大きくすると。

上下がけられて光量が少なくなってしまう、そこで、副
走査方向のみ、ポリゴンミラー上に焦点をもつタイプの
面倒れ補正系を入れると、ビームをいくら大きくしても
上下方向は極めて小さくなるので、この問題は解決する
が−１この光学系は面倒れの影響を補正してしまうので
、同一ビームを用いて面倒れ計測を行なうことが出来な
い、また−方、面出入り計測については、面上の凹凸の
影響を無くすため、ポリゴンミラー上で点像としポリゴ
ンミラー面とセンサが共役となるような光学構成が望ま
しいが、このビームは同様に面倒れ補正されているので
面倒れ測定に使用することが出来ない。そこで複数の光
源を用いて各々適した光学系を配置した場合前記のよう
な問題は起こらないが、これを同一平面上に設けると面
倒れや面出入り計測用のビームがトリガ発生用の光検知
器に入射してトリガ信号が発生してしまい、これを電気
回路やソフトウェアで排除するには、多大な労力が必要
になってしまうという問題点があった。

（課題を解決するための手段） 本発明は、前記の課題を解決すべくなされたもので、そ
の手段を実施例に対応する第１図で説明すると、第１の
光源（１）からの入射光（Ｌ１）をポリゴンミラー（１
９）の斜め上方から入射させ、第１の集光光学系（４）
（６）、及びポリゴンミラー面（１９ａ）上に副走査方
向のみ焦点を持つ第１のシリンドリカルレンズ（５）を
設け、第１のトリガセンサ（８）を、第１の光源（１）
からの反射光（Ｌ２ａ）が入射するようにポリゴンミラ
ー（１９）に対し、斜め下方でかつ回転軸と入射光光路
を含む面内に設け、第１のトリガセンサ（８）とポリゴ
ンミラー面（１９ａ）が共役となるように、第２のシリ
ンドリカルレンズ（７）を設け、第２のトリガセンサ（
１０）を第１の光源（１）からの反射光（Ｌ２ｂ）が入
射するように、ポリゴンミラー（１９）に対し斜め下方
でかつ第１のトリガセンサ（８）に対し走査方向に一定
の角度をもって設け、第２のトリガセンサ（１０）とポ
リゴンミラー面（１９ａ）が共役となるよう第３のシリ
ンドリカルレンズ（９）を設け、第３のトリガセンサ（
１２）を第１の光源（１）からの反射光（Ｌ２ｃ）が入
射するよう、ポリゴンミラー（１９）に対し斜め下方で
かつ第１のトリガセンサ（８）に対し走査方向に一定の
角度を持って、第２のトリガセンサ（１０）の反対側に
設け、第３のトリガセンサ（１２）とポリゴンミラー面
（１９ａ）が共役となるよう第４のシリンドリカルレン
ズ（１１）を設け、第２の光源（２）からの入射光（Ｌ
３）をポリゴンミラー（１９）の斜め下方から入射させ
、ポリゴンミラー（１９）の手前に第２の集光光学系（
１３）（１４）を設け、第２の光源（２）からの入射光
（Ｌ３）が入射するように、ポリゴンミラー（１９）に
対し斜め上方でかつ第１の光源（１）からの反射光（Ｌ
２ａ）が第１のトリガセンサ（８）に入射する時点にお
いて第２の光源（２）からの反射光（Ｌ４）が入射する
位置に、ビームの走査方向にたいし垂直方向のビーム入
射位置を測定する第１の光位置検出器（１５）を設け、
第３の光源（３）からの入射光（Ｌ５）を水平にポリゴ
ンミラー（１９）に入射させ、ポリゴンミラー面（１９
ａ）上に焦点を持つ第１の集光レンズ（１６）をポリゴ
ンミラー（１９）の手前に設け、第１の光源（１）から
の反射光（Ｌ２ａ）が第１のトリガセンサ（８）に入射
する時点で第３の光源（３）からの反射光（Ｌ６）が入
射する位置に、走査方向のビーム入射位置を計測する第
２の光位置検出器（１８）を設け、第２の光位置検出器
（１８）とポリゴンミラー面（１９ａ）が共役になるよ
うに第２の集光レンズ（１７）を設け、第２のトリガセ
ンサ（１０）及び第３のトリガセンサ（１２）からの出
力からジッタを測定し、第１のトリガセンサ（８）の出
力時の、第１の光位置検出器（１５）出力から面倒れを
測定し、第１のトリガセンサ（８）の出力時の第２の光
位置検出器（１８）出力から面出入りを測定するポリゴ
ンミラー測定器である。

（作用） 本発明の作用を以下に説明する。

第１の光源（１）から出た入射光（Ｌ１）は。

第１の集光光学系（４）（６）を通過し、第１のシリン
ドリカルレンズ（５）により、副走査方向のみポリゴン
ミラー面（１９ａ）上に焦点を持つよう集光される。そ
の反射光は、ポリゴンミラー（１９）が左回転とすると
、まず、第３のシリンドリカルレンズ（９）を通り、第
２のトリガセンサ（１０）に入射する（Ｌ２ｂ）、次に
、反射光はポリゴンミラー（１９）の回転にともない、
第２のシリンドリカルレンズ（７）を通り第１のトリガ
センサ（８）に入射する（Ｌ２ａ）−このとき、第２の
光源（２）からの入射光（Ｌ３）は第２の集光光学系（
１３）（１４）を通過し、ポリゴンミラー面（１９ａ）
を反射して第１の光位置検出器（１５）に入射しており
（Ｌ４）　、第１のトリガセンサ（８）の出力があった
時点の、第１の光位置検出＃（１５）の出力がコンピュ
ータに送られる。またこのとき、第３の光源（３）から
の入射光（Ｌ５）は第１の集光レンズ（１６）を通過し
、ポリゴンミラー面（１９ａ）で反射され第２の集光レ
ンズ（１７）を通過し第２の光位置検出器（１８）に入
射しており（Ｌ６）　、第１のトリガセンサ（８）の出
力があった時点の、第２の光位置検出１！（１８）の出
力がコンピュータに送られる。第１、及び第２の光位置
検出器（１５）（１８）の出力はコンピュータで演算処
理され、それぞれ面倒れ量・面出入り量が出力される０
次に、第１の光源（１）からの反射光はポリゴンミラー
（１９）の回転にともない、第４のシリンドリカルレン
ズ（１１）を通過し第３のトリガセンサ（１２）に入射
する（Ｌ２ｃ）、第２のトリガセンサ（１０）、及び第
３のトリガ信号の出力はカウンタに入力され、各出力信
号の発生時間差を計測することでジッタを求めることが
出来る。

次に、光学系の作用について説明する。

第１の光源（１）から出た入射光（Ｌ１）を集光する第
１の集光光学系（４）（６）は、第１゜第２、第３のト
リガセンサ（８）（１０）（１２）上に光を集光する。

第１のシリンドリカルレンズ（５）は、第１の光源（１
）から出た入射光（Ｌ１）を副走査方向のみポリゴンミ
ラー面（１９ａ）上に集光する。第２、第３、第４のシ
リンドリカルレンズ（７）（９）（１１）は副走査方向
のみ屈折力をもち、副走査方向に関して、それぞれ第１
、第２、第３のトリガセンサ（８）（ｌＯ）（１２）と
ポリゴンミラー面（１９ａ）が共役となる位置におかれ
ている０例えば、ポリゴンミラー（１９）の反射面が副
走査方向に傾いていたとしても、ポリゴンミラー面（１
９ａ）とセンサ面が共役となっているために、そのこと
による測定の変動はない。第２の光源（２）から呂た入
射光（Ｌ３）を集光する第２の集光光学系（１３）（１
４）は、ポリゴンミラー面（１９ａ）を介して第１の光
位置検出器（１５）上に光を集束する。

第３の光源（３）からでた入射光（Ｌ５）を集光する第
１の集光レンズ（１６）は、ポリゴンミラー面（１９ａ
）上に光を集束する。第２の集光レンズ（１７）は第３
の光源（３）からでた光のポリゴンミラー面（１９ａ）
による反射光（Ｌ６）を、第２の光位置検出器（１８）
上に集束し、ポリゴンミラー面（１９ａ）と第２の光位
置検出器（１８）とが共役となる位置におかれている。

そのため、例えばポリゴンミラー面（１９ａ）表面の凹
凸により反射光（Ｌ６）の角度が変化したとしても、第
２の光位置検出器（１８）上に集光する位置が変わらな
いので、ポリゴンミラー面（１９ａ）の位置のみを計測
することが出来る。また。

第１の光源（１）からの入射光（Ｌ１）はポリゴンミラ
ー（１９）に対し斜め下方から入射し、斜め上方に出射
する（Ｌ２ａ）（Ｌ２ｂ）（Ｌ２ｃ）、第２の光源（２
）からでた入射光（Ｌ３）はポリゴンミラー（１９）の
斜め上方から入射し斜め下方に出射する（Ｌ４）、第３
の光源（３）からでた入射光（Ｌ５）はポリゴンミラー
（１９）と等しい高さで入射し、出射する（Ｌ６）。そ
のため、第１．第２、第３の光源（１）（２）（３）か
らでた光のポリゴンミラー（１９）による走査光は、そ
れぞれ目的とするセンサに入射し、相互に干渉しない。

（実施例） 実施例について第１図を参照して説明する。

第１の光源（１）からの入射光（Ｌ１）を第１の凹レン
ズ（４）、第１の凸レンズ（６）よりなる第１の集光光
学系（４）（６）、及びポリゴンミラー面（１９ａ）上
に副走査方向のみ光を収束させる第１のシリンドリカル
レンズ（５）を通過させた後、ポリゴンミラー（１９）
の斜め上方から入射させ、第１のトリガセンサ（８）を
、第１の光源（１）からの反射光（Ｌ２ａ）が入射する
ように、ポリゴンミラー（１９）に対し斜め下方でかつ
回転軸と入射ビーム光路を含む面内に設け、第１のトリ
ガセンサ（８）とポリゴンミラー面（１９ａ）が共役と
なるように、第２のシリンドリカルレンズ（７）を設け
、第２のトリガセンサ（１０）を第１の光源（１）から
の反射光（Ｌ２ａ）が入射するように、ポリゴンミラー
（１９）に対し斜め下方でかつ第１のトリガセンサ（８
）に対し走査方向に一定の角度をもって設け、第２のト
リガセンサ（１０）とポリゴンミラー面（１９ａ）が共
役となるよう第３のシリンドリカルレンズ（９）を設け
、第３のトリガセンサ（１２）を第１の光源（１）から
の反射光（Ｌ２ａ）が入射するようにポリゴンミラー（
１９）に対し斜め下方でかつ第１のトリガセンサ（８）
に対し走査方向に一定の角度を持って、第２のトリガセ
ンサ（１０）の反対側に設け、第３のトリガセンサ（１
２）とポリゴンミラー面（１９ａ）が共役となるよう第
４のシリンドリカルレンズ（１１）を設）す、第２の光
源（２）からの入射光（Ｌ３）をポリゴンミラー（１９
）の斜め下方から入射させ、ポリゴンミラー（１９）の
手前に第２の凹レンズ（１３）、第２の凸レンズ（１４
）からなる第２の集光光学系（１３）（１４）を設け、
ポリゴンミラー（１９）に対し斜め上方でかつ第１の光
源（１）からの反射光（Ｌ２ａ）が第１のトリガセンサ
（８）に入射する時点において第２の光源（２）からの
反射光（Ｌ４）が入射する位置に、ビームの走査方向に
たいし垂直方向のビーム入射位置を測定する第１の光位
置検出器（１５）を設け、第３の光源（３）からの入射
光（Ｌ５）を水平にポリゴンミラー（１９）に入射させ
、ポリゴンミラー面（１９ａ）上に焦点を持つ第１の集
光レンズ（１６）をポリゴンミラー（１９）の手前に設
け、第１の光！（１）からの反射光（Ｌ２ａ）が第１の
トリガセンサ（８）に入射する時点で第３の光源（３）
からの（Ｌ６）が入射するように、走査方向のビーム入
射位置を計測する第２の光位置検出器（１８）を設け、
第２の光位置検出器（１８）とポリゴンミラー面（１９
ａ）が共役になるように第２の集光レンズ（１７）を設
ける。

本実施例においては各光学部品間に光路変更用ミラー（
２１）、（２２）、（２３）、（２４）。

（２５）＋　　（２６）、（２７）−（２８）、（２９
）、（３０）、（３１）、（３２）を用い小型化を図っ
ている。第２のトリガセンサ（１０）及び第３のトリガ
センサ（１２）からの出力はカウンタに入力され、その
入力信号の時間差からジッタが測定される。また、第１
のトリガセンサ（８）の出力時の第１の光位置検出器（
１５）出力、及び第１のトリガセンサ（８）の出力時の
第２の光位置検出器（１８）出力はコンピュータに送ら
れ演算処理されてそれぞれ面倒れ、面出入りが測定され
る。

第１の光源（１）から出た入射光（Ｌ１）は。

第１の凹レンズ（４）、第１の凸レンズ（６）よりなる
第１の集光光学系（４）（６）を通過し、第１のシリン
ドリカルレンズ（５）により、副走査方向のみポリゴン
ミラー面（１９ａ）上に焦点を持つよう集光される。そ
の反射光は、ポリゴンミラー（１９）が右回転とすると
、まず、第３のシリンドリカルレンズ（９）を通り、第
２のトリガセンサ（１０）に入射する（Ｌ２ｂ）。次に
、反射光はポリゴンミラー（１９）の回転にともない、
第２のシリンドリカルレンズ（７）を通り第１のトリガ
センサ（８）に入射する（Ｌ２ａ）。

このとき、第２の光源（２）からの光は第２の凹レンズ
（１３）、第２の凸レンズ（１４）からなる第２の集光
光学系（１３）（１４）を通過し、ポリゴンミラー面（
１９ａ）を反射して第１の光位置検出器（１５）に入射
しており、第１のトリガセンサ（８）の出力があった時
点の第１の光位置検出器（１５）の出力がコンピュータ
に送られる。またこのとき、第３の光源（３）からの光
は第１の集光レンズ（１６）を通過し、ポリゴンミラー
面（１９ａ）で反射され第２の集光レンズ（１７）を通
過し第２の光位置検出器（１８）に入射しており、第１
のトリガセンサ（８）の出力があった時点の、第２の光
位置検出器（１８）の出力がコンピュータに送られる。

第１．及び第２の光位置検出器（１５）　　（１８）の
出力はコンピュータで演算処理され、それぞれ面倒れ量
・面出入り量が出力される。次に、第１の光源（１）か
らの光はポリゴンミラー（１９）の回転にともない、第
４のシリンドリカルレンズ（１１）を通過し第３のトリ
ガセンサ（１２）に入射する。第２のトリガセンサ（１
０）、及び第３のトリガセンサ（１２）の出力はカウン
タに入力され、各出力信号の発生時間差を計測すること
でジッタを求めることが出来る。

次に光学系について説明すると、第１の光源（１）から
出た光（Ｌ１）を集光する第１の凹レンズ（４）、第１
の凸レンズ（６）よりなる第１の集光光学系（４）（６
）は、ビーム径を拡大した後第１、第２．第３のトリガ
センサ（８）　　（１０）（１２）上に光を集光する。

第１のシリンドリカルレンズ（５）は、第１の光源（１
）から出た入射光（Ｌ１）を副走査方向のみポリゴンミ
ラー面（１９ａ）上に集光する。そのため副走査方向の
ポリゴンミラー面（１９ａ）上のビーム径は極めて小さ
くなりポリゴンミラー（１９）が薄くなっても副走査方
向にビームが蹴られることは無い、第２．第３．第４の
シリンドリカルレンズ（１１）は副走査方向のみ屈折力
をもち、副走査方向に関して、それぞれ第１、第２．第
３のトリガセンサ（１２）とポリゴンミラー面（１９ａ
）が共役となる位置におかれている１例えば、ポリゴン
ミラー（１９）の反射面が副走査方向に傾いていたとし
ても、ポリゴンミラー面（１９ａ）とｌ“ センサ面が共役となっているために、そのことによる測
定の変動はない、第２の光源（２）から出−た光を集光
する第２の凹レンズ（１３）、第２の凸レンズ（１４）
からなる第２の集光光学系（１３）（１４）は、ビーム
径を拡大した後、ポリゴンミラー面（１９ａ）を介して
第１の光位置検出器（１５）上に光を集束する。第３の
光源（３）からでた光を集光する第１の集光レンズ（１
６）は、ポリゴンミラー面（１９ａ）上に光を集束する
。第２の集光レンズ（１７）は第３の光源（３）からで
た光のポリゴンミラー（１９）による反射光を、第２の
光位置検出器（１８）上に集束し、ポリゴンミラー面（
１９ａ）と第２の光位置検出ＩＩ（１８）とが共役とな
る位置におかれている。

そのため１例えばポリゴンミラー面（１９ａ）表面の凹
凸により反射光の角度が変化したとしても、センサ上に
集光する位置が変わらないので、ポリゴンミラー面（１
９ａ）の位置のみを計測することが出来る。このように
本発明では光学系により誤差の低減を図っているので各
測定項目とも高精度な測定が８来る。さらに窓板（２０
）によりポリゴンミラー（１９）からの風を防ぎ、また
図には示していないが各光路に防風用パイプを被せるこ
とにより空気の屈折率変化による誤差が除去され、より
高精度な測定が可能になる。また、第１の光源（１）か
らの光はポリゴンミラー（１９）に対し斜め下方から入
射し、斜め上方に出射する。

第２の光源（２）からでた光はポリゴンミラー（１９）
の斜め上方から入射し斜め下方に出射する。第３の光源
（３）からでた光はポリゴンミラー　（１９）と等しい
高さで入射し、出射する。そのため、第１、第２、第３
の光Ｗ（３）からでた光のポリゴンミラー（１９）によ
る走査光は、それぞれ目的とするセンサに入射し、相互
に干渉しない。

このように１本発明によればジッタ・面倒れ・面出入り
を同時に計測でき、ジッタ光学系については１面倒れ補
正光学系を採用しているためジッタ測定に際し面倒れに
よる誤差が除去され、また面の凹凸の影響をさけるため
ビーム径をひろげたとしても、副走査方向にはビーム径
は非常に細くできるので厚さの薄いポリゴンミラーでも
問題なくはかれる。また各光学系の光路を走査方向にた
いし垂直方向にずらしているので、各光学系同士で干渉
せず、各光学系はそれぞれの測定に適する光学系を採用
しているので高精度に計測できる。

このように１本発明はポリゴンミラーに関する複数の測
定を同時に短時間で高精度に計測できる。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように本発明には以下のような効果
がある。

イ）ジッタ・面倒れ・面出入りを同時に計測できる。

口）ジッタ光学系については面倒れ補正光学系を採用し
ているため、ジッタ測定に際し面倒れによる誤差が除去
され、また面の凹凸の影響をさけるためビーム径をひろ
げたとしても、副走査方向にはビーム径は非常に細くで
きるので厚さの薄いポリゴンミラーでも問題なくはかれ
る。

ハ）各光学系の光路を走査方向にたいし垂直方向にずら
しているので各光学系同士で干渉しない。

二）各光学系はそれぞれの測定に適する光学系を採用し
ているので高精度に計測できる。

ホ）面出入り測定系によりポリゴンミラー面の位置が正
確に特定できるので各測定とも安定した測定ができる。

このように、本発明は、ポリゴンミラーに関する複数の
測定を、同時に短時間で高精度に安定に計測できるとい
う利点を有する。

【図面の簡単な説明】

＝Ｉｌ！＝ｌ−Ａ本発明の一実施例の斜視図。 １・・・第１の光源 ２・・・第２の光源 ３・・・第３の光源 ４・・・第１の凹レンズ ５・・・第１のシリンドリカルレンズ ６・・・第１の凸レンズ ７・・・第２のシリンドリカルレンズ ８・・・第１のトリガセンサ ９・・・第３のシリンドリカルレンズ ｌＯ・・・第２のトリガセンサ １１・・・第４のシリンドリカルレンズ１２・・・第３
のトリガセンサ １３・・・第２の凹レンズ １４・・・第２の凸レンズ １５・・・第１の光位置検出器 １６・・・第１の集光レンズ １７・・・第２の集光レンズ １８・・・第２の光位置検出器 １９・・・ポリゴンミラー １９ａ・・・ポリゴンミラー面 ２０・・・窓板 ２１〜３２・・・ミラー Ｌｌ・・・第１の光源がらの入射光 Ｌ　２　ａ　、　Ｌ　２　ｂ　ｒ　Ｌ　２　ｃ−第１の
光源からの反射光 Ｌ３・・・第２の光源からの入射光 Ｌ４・・・第２の光源がらの反射光 Ｌ５・・・第３の光源からの入射光 Ｌ６・・・第３の光源からの反射光 特許出願人　　　コパル電子株式会社 手続補正書（自発） 平成４年　１月１７日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、第１の光源（１）からの入射光（Ｌ１）をポリゴン
   ミラー（１９）の斜め上方から入射させ、第１の集光光
   学系（４）（６）、及びポリゴンミラー面（１９ａ）上
   に副走査方向のみ焦点を持つ第１のシリンドリカルレン
   ズ（５）を設け、第１のトリガセンサ（８）を、第１の
   光源（１）からの反射光（Ｌ２ａ）が入射するようにポ
   リゴンミラー（１９）に対し、斜め下方でかつ回転軸と
   入射光光路を含む面内に設け、第１のトリガセンサ（８
   ）とポリゴンミラー面（１９ａ）が共役となるように、
   第２のシリンドリカルレンズ（７）を設け、第２のトリ
   ガセンサ（１０）を第１の光源（１）からの反射光（Ｌ
   ２ｂ）が入射するように、ポリゴンミラー（１９）に対
   し斜め下方でかつ第１のトリガセンサ（８）に対し走査
   方向に一定の角度をもって設け、第２のトリガセンサ（
   １０）とポリゴンミラー面（１９ａ）が共役となるよう
   第３のシリンドリカルレンズ（９）を設け、第３のトリ
   ガセンサ（１２）を第１の光源（１）からの反射光（Ｌ
   ２ｃ）が入射するよう、ポリゴンミラー（１９）に対し
   斜め下方でかつ第１のトリガセンサ（８）に対し走査方
   向に一定の角度を持って、第２のトリガセンサ（１０）
   の反対側に設け、第３のトリガセンサ（１２）とポリゴ
   ンミラー面（１９ａ）が共役となるよう第４のシリンド
   リカルレンズ（１１）を設け、第２の光源（２）からの
   入射光（Ｌ３）をポリゴンミラー（１９）の斜め下方か
   ら入射させ、ポリゴンミラー（１９）の手前に第２の集
   光光学系（１３）（１４）を設け、ポリゴンミラー（１
   ９）に対し斜め上方でかつ第１の光源（１）からの反射
   光（Ｌ２ａ）が第１のトリガセンサ（８）に入射する時
   点において第２の光源（２）からの反射光（Ｌ４）が入
   射する位置に、反射光（Ｌ４）の走査方向にたいし垂直
   方向のビーム入射位置を測定する第１の光位置検出器（
   １５）を設け、第３の光源（３）からの入射光（Ｌ５）
   を水平にポリゴンミラー（１９）に入射させ、ポリゴン
   ミラー面（１９ａ）上に焦点を持つ第１の集光レンズ（
   １６）をポリゴンミラー（１９）の手前に設け、第１の
   光源（１）からの反射光（Ｌ２ａ）が第１のトリガセン
   サ（８）に入射する時点で第３の光源（３）からのビー
   ムが入射する位置に、走査方向のビーム入射位置を計測
   する第２の光位置検出器（１８）を設け、第２の光位置
   検出器（１８）とポリゴンミラー面（１９ａ）が共役に
   なるように第２の集光レンズ（１７）を設け、第２のト
   リガセンサ（１０）及び第３のトリガセンサ（１２）か
   らの出力からジッタを測定し、第１のトリガセンサ（８
   ）の出力時の、第１の光位置検出器（１５）出力から面
   倒れを測定し、第１のトリガセンサ（８）の出力時の第
   ２の光位置検出器（１８）出力から面出入りを測定する
   ことを特徴とするポリゴンミラー測定器。