JPH04171126A - 複数部材の位置合わせ方法及びその方法を用いて製造される記録ヘッド - Google Patents

複数部材の位置合わせ方法及びその方法を用いて製造される記録ヘッド

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JPH04171126A
JPH04171126A JP29520690A JP29520690A JPH04171126A JP H04171126 A JPH04171126 A JP H04171126A JP 29520690 A JP29520690 A JP 29520690A JP 29520690 A JP29520690 A JP 29520690A JP H04171126 A JPH04171126 A JP H04171126A
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Takeshi Origasa
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、第1の部位が配設された第1の平面及びこ
の第1の平面と直交する第2の平面を有する第1の部材
と、第1の平面に平行な第3の平面及びこの第3の平面
と直交した第4の平面及びこの第4の平面と所定間隔離
間して平行に、且つ、第2の部位が形成された第5の平
面を有する第2の部材とを、第1及び第2の平面を密着
させ、且つ、第2及び第4の平面を密着させると共に、
第5の表面が外方に位置する様に合わせする、複数部材
の位置合わせ方法に関する。
[従来の技術] 近年、インクを吐出して、用紙上に印字させるに際して
、インクを加熱して泡状になし、所謂バブルジェット方
式で印字させる印字ヘッドが、印字精度の向上を図る上
で有利であるため、開発され、実用に供されている。
このようなバブルジェット方式の印字ヘッドを組み立て
る組立装置においては、インクを加熱するためのヒータ
と、このヒータで加熱・沸騰され、泡状となったインク
を用紙に向けて吐出する吐出口とを、ミクロンオーダで
正確に位置決めしなければならないものである。例えば
、印字精度として約360 dpi(dotts pe
r 1nch)の高精度を達成するためには、約4.5
mmの範囲に、64個の吐出穴を等間隔に配列しなけれ
ばならず、この際の配設ピッチは、約70ミクロンと微
細な値になるものである。
ここで、このような極小間隔での吐出穴の形成は、例え
ば、レーザ加工機等の超精密加工装置を用いる事により
、天板部材の前面に取り付けられるオリフィスプレート
に、許容される所定の高精度で吐出穴を形成させること
が出来るものであるし、また、ヒータの形成に際しては
、超精密エツチング技術を用いる事により、同様に、許
容される所定の高精度でヒータボード上に、ヒータを形
成させることが出来るものである。
[発明が解決しようとする課題〕 ここで、従来の組立装置においては、第1の部材として
のヒータボード上の第1の部位としてのヒータと、第2
の部材としての天板の前面に取り付けられたオリフィス
プレートに形成された第2の部位としての吐出穴上を、
その軸を正確に一致させた状態で、ヒータボード上に天
板を載置させるべく、その位置合わせを行うために、専
用の治具を用いてヒータボードと天板とを夫々セットし
、金属顕微鏡により、ヒータと吐出穴とを交互に観察し
ながら、手動により位置合わせを行う様にしている。
しかしながら、このような手動による位置合わせでは、
作業のばらつきにより位置調整精度がばらつき、完成品
の信頼性の点で問題が発生している。
このため、ヒータと吐出穴とを夫々カメラで撮影し、そ
の撮影した画像情報に基づき、その位置検出を行う事が
考えられる。このような画像情報に基づ(位置検出を利
用する事により、その検出精度は飛躍的に高まり、信頼
性の点で全く問題がなくなるものである。
ここで、このような画像情報に基づき位置検出を精度よ
くするためには、画像のピントが正確にあっている事が
要求される。しかしながら、高精度のピント合わせを行
おうとすると、焦点深度が浅(なり、このため、所定の
焦点深度の範囲外にカメラが位置していると、目標にピ
ントを合わせる合焦動作を無限に繰り返し実行し、実質
的に位置合わせ作業が停止してしまう事になる。
この発明は上述した課題に鑑みなされたもので、この発
明の目的は、より正確で、且つ、より高速の位置合わせ
動作をする事の出来る複数部材の位置合わせ方法を提供
することである。
[課題を解決するための手段] 上述した目的を達成するため、この発明に係わる複数部
材の位置合わせ方法は、第1の部/材の第1の平面を撮
影し、この撮影した画像情報に基づき、第1の部位の配
設位置を検出する第1の検出工程と、前記第1の部材の
第2の平面を撮影した画像を合焦させる合焦工程と、こ
の合焦位置から、前記所定間隔分だけ、前記第1の部材
を遠のかせろオフセット工程と、前記オフセットされた
第1の部材の上方に第2の部材を移動させる移動工程と
、第2の部材を第1の部材上に落下させ、第1及び第3
の平面を密着させる落下工程と、第2の部材の第4の平
面が第1の部材の第2の平面に密着する様に引き付ける
引き付け工程と、第2の平面と第4の平面とが互いに密
着した状態で、第5の平面を撮影し、この撮影した画像
情報に基づき、第2の部位の配設位置を検出する第2の
検出工程と、前記第1及び第2の検出工程で検出した第
1及び第2の配設位置に基づき、両配設位置が一致する
様に、第1及び第2の部材を相対的に移動させる移動工
程とを具備する事を特徴としている。
また、この発明に係るする複数部材の位置合わせ方法は
、前記引き付け工程と第2の検出工程との間で実行され
、第5の平面を撮影し、この第5の平面の画像を合焦さ
せる第20合焦工程を更に具備する事を特徴としている
[実施例] 以下に、この発明に係る複数部材の位置合わせ方法の一
実施例が適用される印字用ヘッドノズル組立装置10の
構成を説明する。
(ヘッドノズル10゛Oの説明) 先ず、この発明に係る位置合わせ方法が実施される組立
装置10により組み立てられるヘッドノズル100と、
これを搭載したインクジェットカートリッジ200の概
略構成を、第1図乃至第3図を参照して説明する。
このインクジェットカートリッジ200は、第1図に示
す様に、インクタンク202とヘッドノズル100とか
ら概略構成されている。また、このヘッドノズル100
は、第2図及び第3図に示す様に、インク加熱用のヒー
タ112が形成されたヒータボード102と、このヒー
タボード102上に位置決めされ、複数のインク流路を
夫々区分するための隔壁や各インク流路へインクを分配
するための共通液室及びこの共通液室にインクを供給す
るための円筒状のインク受は口118等を備えた天板1
04と、この天板104の前面に一体的に取り付けられ
、各インク流路に各々対応した吐出口106を複数有す
るオリフィスプレート108とから構成されている。
尚、この一実施例においては、これらの吐出口106は
、長さ約4.5a+mに渡り等間隔に配設されており、
この間隔の配設により、このヘッドノズル100の印字
密度は、約360 dpi(dottsper 1nc
h)という高精度になっている。
(組立装置10の説明) 以下に、ヘッドノズル100の組立装置10、即ち、溝
付天板104を、ヒータボード102上に正確に位置決
めした状態で組み付けるための組立装置10の構成、及
び、組み付け方法を、添付図面の第4図以降を参照して
、詳細に説明する。
〈組立装置10の全体構成の説明〉 この組立装置10は、第4図に示す様に、図示しない土
台上に水平状態にその載置姿勢を正確に位置決めされた
定盤12を備えている。この定盤12上には、この組立
装置10で組み立てられる゛ヘッドノズル100の一方
の構成部品である所の、予めオリフィスプレート108
が取り付けられた溝付天板104(以下、単に天板と呼
ぶ)を、その取り付け位置を調整可能に規定する第1の
位置調整機構14と、他方の構成部品である所の、予め
ベース部材208の先端部上面に正確に位置決めされた
状態で固着されたヒータボード102を、その取り付け
位置を調整可能に規定する第2の位置調整機構16とが
設けられている。
この第1の位置調整機構14は、定盤12上に直接載置
され、定盤12に対してX軸方向(紙面に直行する方向
)に沿って移動可能な第1のX軸ステージ18と、この
第1のX軸ステージ18上に載置され、第1のX軸ステ
ージ18に対してZ軸方向(図中、上下方向)に沿って
移動可能な第1の2軸ステージ20と、この第1の2軸
ステージ20上に載置され、第1のZ軸ステージ20に
対して、y軸方向(図中、左右方向)に沿って移動可能
な第1のy軸ステージ22と、この第1のy軸ステージ
22上にスペーサ24を介して基端部を載置され、先端
部に、上述した天板104が着脱可能に取り付けられる
取り付け機構26と、この取り付け機構26から取り外
され、ヒータボード102上に載置された溝付天板10
4の、ヒータボード102に対する位置決めを実行する
ための第1の位置決め機構27とから構成されている。
この取り付け機構26と第1の位置決め機構27との構
成は、夫々後に詳細に説明する。
一方、第2の位置調整機構16は、定盤12上に上述し
た第1の位置調整機構14に隣接した状態で直接載置さ
れ、定盤12に対して上述したX軸方向に沿って移動可
能な第2のX軸ステージ28と、この第2のX軸ステー
ジ28上に載置され、第2のX軸ステージ28に対して
上述したZ軸方向に沿って移動可能な第2のZ軸ステー
ジ30と、この第2のZ軸ステージ30上に載置され、
第2の2軸ステージ30に対して、上述したy軸方向に
沿って移動可能な第2のy軸ステージ32と、この第2
のy軸ステージ32上に配設され、ヒータボード102
が取り付け固定されるベース部材208を、この第2の
y軸ステージ32に対して正確に位置決めさせた状態で
固定させる第2の位置決め機構33と、天板104をヒ
ータボード102上に所定の接合力で接合させるための
接合力発生機構34とから構成されている。この第2の
位置決め機構33と接合力発生機構34との構成は、後
に夫々詳細に説明する。
ここで、各軸ステージ18,20,22;28.30.
32は、図示していないが、各々、駆動モータを備えて
おり、これら駆動モータは、対応するドライバ36 a
、 36 b、 36 c。
36 d、 36 e、 36 fを夫々介して、全体
制御を司る制御ユニット38に接続されている。そして
、これら駆動モータは、この制御ユニット38による制
御の下で、第1の位置調整機構14においては、天板1
04がヒータボード102の上方の所定位置に来るよう
に、また、第2の位置調整機構16においては、ヒータ
ボード102が定盤12に対して所定の位置に来るよう
に、夫々位置決めされるべく、夫々駆動制御されるよう
になされている。
一方、この制御ユニット38は、天板104を正確に位
置決めするために、その位置を正確に検出する必要があ
るが、天板104を撮像した画像に基づき、その位置を
正確に検出する第1の位置検出機構40が、また、ヒー
タボード102を正確に位置決めするために、その位置
を正確に検出する必要があるが、ヒータボード102を
撮像した画像に基づき、その位置を正確に検出する第2
の位置検出機m42が、共に、画像処理装置44を介し
て、制御ユニット38に接続されている。
ここで、この第1の位置検出機構40は、後に詳細に説
明する取り付け機構26により、これの先端に正確に把
持された溝付天板104のオリフィスプレート108の
前方に配設されており、第1の一対物レンズ40aと、
この第1の対物レンズ40aを保持する第1の対物レン
ズホルダ40bと、第1の落射照明器具40cと、この
第1の落射照明器具40c用の第1の光源40dと、合
焦状態を判別する第1の光学系40eと、これらの光学
機器を収納する第1の鏡筒40fと、第1の対物レンズ
40aを介して観察されるオリフィスプレート108の
画像を写し出す第1のITVカメラ40gとから構成さ
れている。
尚、この第1のITVカメラ40gの画像情報は、第1
の信号変換器46を介して、上述した画像処理装置44
に送られる。また、この第1の合焦判別用の光学系40
eは、第1の合焦状態検出器48を介して、制御ユニッ
ト38に接続されている。ここで、この第1の位置検出
機構40は、図示しない第1の支柱を介して、前述した
定盤12上に取り付け・固定されている。
また、上述した第2の位置検出機構42は、後に詳細に
説明する第2の位置決め機構33により、第2のy軸ス
テージ32上に正確に載置されたヒータボード102の
上方に配設されており、第2の対物レンズ42aと、こ
の第2の対物レンズ42aを保持する第2の対物レンズ
ホルダ42bと、第2の落射照明器具42cと、この第
2の落射照明器具42c用の第2の光源42dと、合焦
状態を判別する第2の光学系42eと、これらの光学機
器を収納する第2の鏡筒42fと、第2の対物レンズ4
2aを介して観察されるヒータボード102の画像を写
し出す第2のITVカメラ42gとから構成されている
尚、この第2のITVカメラ42gの画像情報は、第2
の信号変換器50を介して、上述した画像処理装置44
に送られる。また、この第2の合焦判別用の光学系42
eは、第2の合焦状態検出器52を介して、制御ユニッ
ト38に接続されている。ここで、この第2の位置検出
機構42は、図示しない第2の支柱を介して、前述した
定盤12上に取り付け・固定されている。
ここで、この一実施例においては、第1の位置検出機構
40における第1の対物レンズ40aの光軸と、第2の
位置検出機構42における第2の対物レンズ42aの光
軸との交わる位置において、組立作業位置αが規定され
ている。この組立作業位置αにおいては、上述した2本
の光軸は正しく交差している事が好ましいが、別設、実
際に交差していなくても、後述する校正動作を実行する
事により、実質的に問題ないものである。実際には、2
本の光軸を正しく交差する様に、両光軸の位置合わせを
しようと動作は、極めて困難であり、この一実施例の様
に、交差していない事を前提として、そのずれ量ΔXを
校正動作により算出し、この算出したずれ量ΔXを、第
1及び第2の位置調整機構14.16における位置調整
動作において数値上考慮する事により、このずれ量ΔX
は、実質的に無視することが出来る事になる。
尚、このずれ量ΔXを算出する校正動作は、後に詳細に
説明する。
一方、この組立装置10は、吐出口106と対応する吐
出ヒータ112とを互いに合致せしめた後のヒータボー
ド102と天板104とを、紫外線硬化性の接着剤を介
して互いに接着する事により、両者の相対位置関係が変
化しない様にするために、換言すれば、両者を仮止めす
るために、仮着機構54を備えている。この仮着機構5
4は、取り付け機構26の先端部の両側に位置し、夫々
の先端が、接着剤配設部位に向けられた一対のライトガ
イド56と、両ライトガイド56−の基端部に接続され
、紫外線を発光する紫外線光源58とから構成されてい
る。
そして、上述した画像処理装置44は、第1及び第2の
信号変換器46.50を介して第1及び第2のITVカ
メラ40g、42gから得られた画像情報に基づき、オ
リフィスプレート108に形成された吐出口106の形
成位置、及び、ヒータボード102上に配設された吐出
ヒータ112の配設位置を夫々算出し、その算出結果を
制御ユニット38に送る様に構成されている。また、こ
の画像処理装置44には、測定画像確認用のITVモニ
タ64、装置調整プログラム及びデータ入力用のキーボ
ード62、データ表示用のCRTモニタ66が接続され
ており、マン・マシン・インターフェイスが確立してい
る。
また、上述した制御ユニット38は、第1及び第2の合
焦状態検出器48,52、及び、画像処理装置44から
入力されてきたデータを所定のアルゴリズムで演算し、
この演算結果に基づき、各ステージドライバ36a〜3
6fを各々介して、対応する各軸ステージ18,20,
22,28゜30、.112を適宜駆動制御し、天板1
04とヒータボード102との相対位置を調整して、吐
出口106と対応する吐出ヒータ112とを互いに合致
せしめる様に、また、この合致後において、仮着機構5
4を起動させて、紫外線光源58を作動させて、ヒータ
ボード102と天板104との間に介在する接着剤を硬
化させる制御動作を実行する様に構成されている。
ここで、この制御ユニット38には、組立装置10の操
作用の操作盤66と、動作プログラム設定・変更用のキ
ーボード68と、データ表示用のCRTモニタ70と、
データ記録用のプリンタ72と、データ保存用のデータ
ディスク74と、動作プログラムが記憶されたプログラ
ムディスク76とが接続され、マン・マシン・インター
フェイスが確立されている。
〈取り付け機[26の説明〉 次に、第5図を参照して、天板104が取り付けられる
取り付け機構26の構成を、詳細に説明する。
この取り付け機構26は、上述した第1のy軸ステージ
22上にスペーサ24を介して取り付け固定される本体
26aを備えている。この本体26aの先端部には、一
対の吸引部材26b。
26cが互いに平行に、所定間隔を開けて、夫々前方に
向けてCyX軸方向沿って)突出した状態で取り付けら
れており、これら吸引部材26b。
26cは、紫外線透過性材料、具体的には透明板ガラス
から夫々形成されている。
これら吸引部材26b、26cの下面には、吸引孔26
d、26eが夫々開口しており、これら吸引孔26d、
26eは、対応する吸引部材26b、26c内を貫通す
る連通管26f。
26gの端部開口から夫々規定されており、これら連通
管26f、26gは、図示しない切換弁を夫々介して図
示しない負圧発生機構及び正圧発生機構に選択的に接続
されている。
そして、切換弁が負圧発生機構に接続された状態におい
て、これら吸引孔26d、26eに発生する吸引力を介
して、天板104を吸引部材26b、26cの下面に吸
引保持する様になされている。一方、切換弁が正圧発生
機構に接続された状態において、これら吸引孔26d、
26eから噴畠される(逆噴出される)空気により、今
まで吸引部材26b、26cに吸引・保持されていた天
板104は、強制的に吸引部材26b。
26cから下方に引き離される事になる。
尚、この様に、一対の吸引部材26b、26cの下面に
吸引保持された状態で、天板104は、その円筒状のイ
ンク受は口118が、丁度、吸引部材26b、26cの
間に入り込んだ姿勢に、また、オリフィスプレート10
8が前方に臨んだ姿勢に設定されている。
く第1の位置決め機構27の説明〉 また、この取り付け機構26には、ここから解放され、
ヒータボード102上に落下した天板104のヒータボ
ード102に対する位置を正確に位置決めするための第
1の位置決め機構27が設けられている。  − この第1の位置決め機構27は、天板104のヒータボ
ード102上におけるX軸方向に沿う、即ち、互いに対
応する吐出口106と吐出ヒータ112とが合致する様
に、これらの配列方向に沿う位置決めを行うX軸位置決
め部27Aと、y軸方向に沿う、即ち、オリフィスプレ
ート108の後面が、ヒータボード102の前端面に密
着する様に、位置決めを行うX軸位置決め部27Bとを
備えている。
(X軸位置決め部27Aの説明) 先ず、X軸位置決め部27Aにおいては、一方の、この
一実施例においては図中手前側の吸引部材26bを基準
側として規定しており、この基準側の吸引部材26bは
、本体26aに対して固定されている。これに対して、
図中向こう側の吸引部材26cは、本体26aに対して
、X軸方向に沿って移動可能に支持されている。尚、こ
のX軸位置決め部27Aにおいては、一対の吸引部材2
6b、26cの互いに対向する端面、即ち、間に円筒状
のインク受は口118が入り込んだ空間を規定する所の
互いに対向する端面が、位置規制面として夫々規定され
ている。
また、この可動側の吸引部材26cは、その後部に、本
体26aの中途部まで延出する連設部材26hが一体的
に接続されいる。一方、この本体26aには、X軸方向
に沿って延出するガイドシャフト26iが取り付けられ
ている。そして、この連設部材26hはスライドガイド
26jを介してガイドシャフト26iに、X軸方向に沿
って移動自在に支持されている。
一方、この連設部材26hの中間部分に対向した状態で
、本体26a上には、第1の駆動シリンダ(図示せず)
が取り付けられている。この第1の駆動シリンダのピス
トンロッド、X軸方向に沿って進退駆動される様に突出
し、これの先端は上述した連設部材26hに接続されて
いる。
この様にして、この第1の駆動シリンダが対応するピス
トンロッドを高速で往復駆動する事により、遠投部材2
6hを介して連設された吸引部材26cは、X軸方向に
沿って高速で往復駆動、即ち、振動させられる事になる
(X軸位置決め部27Bの説明) 次に、X軸位置決め部27Bは、第5図に示す様に、ヒ
ータボード102上に載置された天板104のオリフィ
スプレート108の前面に係合可能な一対の係合片26
m、26nを、互いに立ち下がった状態で、間隔を開け
て平行に備えている。これら係合片26 m + 26
 nは、一対の吸引部材26b、26cに夫々対応して
設けられ、夫々対応する位置規制用の端面よりも外側に
位置する様に配設されている。また、これら係合片26
m、26nは、夫々対応する吸引部材26b、26cの
前端面の上縁に沿ってこれらの外方端よりも更に外方位
置まで延出する接続片26p、26Qの内方端部に、夫
々の上端を接続されている。これら接続片26p、26
Qの外方端部は、y軸方向に沿って延出する連結部材2
6r、26sの前端取り付けられている。
一方、本体26aの両端縁には、y軸方向に沿って延出
する第2の駆動シリンダ26tが配設されている。これ
ら第2の駆動シリンダ26tの夫々のピストンロッド2
6uは、y軸方向に沿って進退駆動される様に突出し、
これらの先端は上述した連結部材26r、26sの後方
端部に夫々接続されている。
この様にして、この第2の駆動シリンダ26tが、対応
するピストンロッド26uを高速で往復駆動する事によ
り、接続片2ep、26Qを夫々介して接続された係合
片26m、26nは、y軸方向に沿って高速で往復駆動
、即ち、振動させられて、オリフィスプレート108が
ヒータボード102の前端面に密着する様に、天板10
4のy軸方向に沿う位置決めがなされる事になる。
この様に取り付け機構26は構成されているので、一対
の吸引部材26b、26cに吸引保持された天板104
は、ヒータボード102の上方の所定位置まで、第1の
位置調整機構14の駆動制御に基づき移動され、吸引が
解除される事により、天板104はヒータボード102
上に落下し、この落下した位置において、天板104は
、X軸位置決め部26Aの作動により、ヒータボード1
02に対するy軸に沿う位置を規定され、また、X軸位
置決め部26Bの作動により、ヒータボード102に対
するy軸に沿う位置を規定される事になる。尚、この取
り付け機構26における位置調整動作は、後に詳細に説
明する。
く第2の位置決め機構33の説明〉 次に、ヒータボード102が予め取り付けられたベース
部材208を第2のy軸ステージ32上に正確に位置決
めした状態で取り付けるための第2の位置決め機構33
の構成を、第6A図乃至第6C図を参照して説明する。
この第2の位置決め機構33は、上述した第1の位置決
め機構27と同様に、ベース部材208の第2のy軸ス
テージ32上におけるX軸方向に沿う位置決めを行うX
軸位置決め部33Aと、y軸方向に沿う位置決めを行う
X軸位置決め部33Bとを備えると共に、更に、z軸方
向に沿う2軸位置決め部33Cを備えている。
ここで、この第2の位置決め機構33により位置決めさ
れる対象となるベース部材208は、第6A図から明ら
かな様に、長方形状の本体部分208aと、この本体部
分208aの前端中央部から前方に突出し、その上面に
、ヒータボード102が取り付け固定されたヒータボー
ド取り付け部208bとから一体に形成されている。
尚、このヒータボード102は、所定の精度で、ヒータ
ボード取り付け部208bに予め取り付けられ、固定さ
れているものである。従って、このヒータボード102
が取り付けられたベース部材208を第2のy軸ステー
ジ32に対して位置決めする事により、ヒータボード1
02が第2のy軸ステージ32に対して位置決めされる
事になる。
この第2の位置決め機構33は、詳細には、第6A図及
び第6B図に示す様に、第2のy軸スデージ32上に取
り付けられ、側面略し字状に形成された取り付け本体3
3aと、この本体33aの起立した内側面に、スライド
ガイド33bを介して上下動自在に支持された位置決め
台33cとを備えている。
(X軸位置決め部33Aの説明) また、この位置決め台33c上には、第6A図に示す様
に、X軸位置決め部33Aとして、上方に向けて突出し
た一対のX軸位置決め用突起33d、33eがy軸方向
に沿って並んだ状態で一体的に形成されている。これら
X軸位置決め用突起33d、33eにベース部材208
の本体部分208aのy軸に沿う一側縁が当接する事に
より、ベース部材208のX軸に沿う位置が一義的に規
定される事、即ち、X軸方向が位置決めされる事になる
一方、この様に、これらX軸位置決め用突起33d、3
3eにベース部材208の本体部分208aのy軸に沿
う一側縁が当接した状態を強制するために、これらX軸
位置決め用突起33d、33eに当接するベース部材2
08の一側縁とは反対側の他側縁に当接可能に、X軸規
制レバー33fが配設されている。このX軸規制レバー
33fは、基端部を第1の支軸33g回りに回動可能に
軸支されると共に、第1のトーションばね33hにより
、図中、反時計方向回りの回動付勢力を受けている。尚
、このX軸規制レバー33fの当接端である先端は、ベ
ース部材208の他側縁の略中央部分に当接する様に設
定されている。
(X軸位置決め部33Bの説明) また、この位置決め台33c上には、X軸位置決め部3
3Bとして、上方に向けて突出した一本のX軸位置決め
用突起33iが一方のX軸位置決め用突起33eに近接
した状態で一体的に形成されている。このX軸位置決め
用突起33iにX軸方向位置を予め規定されたベース部
材208の本体部分208aのX軸に沿う先端縁が当接
する事により、ベース部材208のy軸に沿う位置が一
義的に規定される事、即ち、y軸方向が位置決めされる
事になる。
一方、この様に、このX軸位置決め用突起33iにベー
ス部材208の本体部分208aのX軸に沿う先端縁が
当接した状態を強制するために、このX軸位置決め用突
起33iに当接するベース部材208の先端縁とは反対
側の後端縁に当接可能に、略し字状のy軸規制レバー3
3jが配設されている。このy軸規制レバー33jは、
中間部(即ち、L字を構成する折曲部)を第2の支軸3
3に回りに回動可能に軸支されると共に、第2のトーシ
ョンばね33Aにより、図中、反時計方向回りの回動付
勢力を受けている。尚、このy軸規制レバー33Jの当
接端である後端は、ベース部材208の後端縁の略中央
部分に当接する様に設定されている。
ここで、ベース部材208の位置決め台33cへの着脱
時には、X軸およびy軸規制レバー33f、33jによ
る付勢力が解除されなければならない、このため、この
一実施例においては、解除機構33Dが設けられている
この解除機構33Dは、第6C図に示す様に、6位置決
め台33cの一側縁に取り付けられた解除シリンダ33
mと、この解除シリンダ33mからX軸方向に沿って進
退自在に突出し、位置決め台33c内を貫通するピスト
ンロッド33nと、このピストンロッド33nに起立し
た状態で一対設けられ、位置決・め台33cにX軸方向
に沿って延出する様に形成された透孔33p、33qを
夫々介して、位置決め台33cの上面から僅かに突出し
た状態で取り出され、X軸規制レバー33f及びy軸規
制レバー33jに夫々時計方向側から当接可能な解除ビ
ン33r、33sとから構成されている。
ここで、この解除機構33Dにおいて、解除シリンダ3
3mは、非解除状態で、ピストンロッド33nを引き込
んだ状態に付勢している。この結果、一対の解除ビン3
3r、33sは、夫々、対応するX軸規制レバー33f
及びy軸規制レバー33jから離間する。この様にして
、非解除状態においては、X軸規制レバー33f及びy
軸規制レバー33jは、夫々、対応するトーションばね
33h、33ρの付勢力により、反時計方向に沿って回
動され、ベース部材208を位置決め及び保持動作する
一方、解除シリンダ33mは、解除状態において、ピス
トンロッド33nを突出した状態に付勢する。この結果
、一対の解除ビン33r、33sは、夫々、対応するX
軸規制レバー33f及びy軸規制レバー33jに当接し
、これらを対応するトーションばね33h、33βの付
勢力に抗して、時計方向に沿って回動させる。従って、
X軸規制レバー33f及びy軸規制レバー33jの夫々
の当接端は、ベース部材208の他側縁及び後端縁から
夫々離間し、この様にして、ベース部材208の位置決
め及び保持は解除される事になる。
(2軸位置決め部33Cの説明) 一方、上述した2軸位置決め部33Cは、第6B図に示
す様に、ベース部材208の先端部の下面に下方に向け
て突出した状態で、X軸方向に沿って並設された第1及
び第2の一対の突起33t、33u (第6B図には、
第1の突起33tしか示されていないが、第6A図にお
いて、第1及び第2の突起33t、33uの配設位置が
破線で示されている。)と、位置決め台33cの後端部
の上面の中央部において上方に向けて突出した状態で形
成された第3の突起33vが形成されている。
ここで、これら第1乃至第3の突起33t〜33vの突
出長さは、予め、互いに同一となる様に正確に規定され
ている。この結果、第1及び第2の突起33t、33u
が位置決め台33cの上面に当接し、且つ、第3の突起
33vがベース部材208の下面に当接する事により、
ベース部材208の位置決め台33c上におけるZ軸方
向に沿う位置が正確に規定される事になる。
尚、この一実施例においては、上述した当接状態を確実
に達成させるために、ベース部材208を位置決め台3
3cに向けて吸引する吸引機構33Eが設けられている
。この吸引機構33Eは、第6B図に示す様に、位置決
め台33c上に配設され、上面が開口されたリング状の
吸引パッド33wと、この吸引パッド33wと図示しな
い吸引源とを接続すべく、位置決め台33c内を貫通し
た状態で形成された接続管33xとから構成されている
ここで、吸引パッド33wの高さは、上述した3つの突
起33 t + 33 u + 33 vの夫々の高さ
より僅かに高(設定されている。この結果、ベース部材
208が位置決め台33c上に載置された状態で、吸引
パッド33wの開放端縁は、ベース部材208の下面に
全周に渡り密着する事となる。そして、図示しない吸引
源が起動する事により、このベース部材208は位置決
め台33cに向けて強制的に引きつけられ、この結果、
第1及び第2の突起33t、33uが位置決め台33c
の上面に確実に当接し、且つ、第3の突起33vがベー
ス部材208の下面に確実に当接する状態が、強制的に
設定される事になる。
この様に、この第2の位置決め機構33を構成する事に
より、位置決め台33c上において、ベース部材208
は、そのX軸方向、y軸方向、及びZ軸方向に沿う位置
を夫々正確に位置決めされる事になる。この結果、この
一実施例においては、天板104をヒータボード102
に取り付ける際に、は、第1の位置決め機構27を介し
て、天板104のヒータボード102に対する相対位置
のみを規定する様にすれば良い事になる。
く接合力発生機構34の説明〉 次に、天板104をヒータボード102上に位置決め・
載置した際に、両者の間に接合力を発生させる接合力発
生機構34について、第6B図を参照して説明する。
この接合力発生機構34は、上述した本体33aの先端
に、上下動自在に貫通した状態で取り付けられたガイド
シャフト34aを備え、このガイドシャフト34aの上
端は、位置決め台33cの下面に固定されている。また
、このガイドシャフト34aの上端部には、接合力調整
用のワッシャ34bが螺合しており、このワツシャ34
bを回転させる事により、これのガイドシャフト34a
に対する軸方向位置が変化する事になる。
一方、このガイドシャフト34aの外周には、接合力発
生用のコイルスプリング34cが巻回されており、この
コイルスプリング34cの上端は、ワッシャ34bの下
面に係止されると共に、下端は本体33aの上面に係止
されている。ここで、このコイルスプリング34cは、
位置決め台33c及びこれに乗っている部品類の重量を
支えて、ある程度縮んでいるが、このある程度縮んだ初
期設定状態から更に所定量だけ縮む事により、所定の弾
性反発力を発生する事となり、この弾性反発力が接合力
として規定されるものである。
この様に接合力発生機構34は構成されているので、天
板104をヒータボード102上に載置するに当たり、
このヒータボード102が位置決め・載置された位置決
め台33cが上述した所定量だけ下降する様に、天板1
04をヒータボード102に対して押しつける事により
、天板104とヒータボード102との間には、上述し
た所定の接合力が両者の間に発生する事になる。
尚、この接合力の変更は、上述したワッシャ34bを回
転させ、ガイドシャフト34aの軸方向に沿って偏倚さ
せる事により、コイルスプリング34cの初期設定長さ
が変化する事により達成されるものである。
〈校正チャート78の説明〉 ここで、上述した第2の位置決め機構33の位置決め台
33c上には、第7A図に示すように、後に詳細に説明
する校正動作において用いられる校正チャート78が固
定されている。この校正チャート78は、第2の位置決
め機構33により所定の位置に正確に位置決めされたベ
ース部材208上のヒータボード102に対して、X軸
に沿って所定距離だけ離間した位置に正確に配設されて
おり、直方体形状に形成されている。
特に、その形成状態は、この直方体形状の校正チャート
78の前端面から第1の校正面78aが規定され、この
第1の校正面78aは、正確にX軸方向に沿って垂直に
延出すると共に、ヒータボード102の前端面と同一垂
直面内で延出するように設定されている。また、この直
方体形状の校正チャート78の上面から第2の校正面7
8bが規定され、この第2の校正面78bは、正確に2
軸方向に沿って水平に延出すると共に、ヒータボード1
02の上面と同一水平面内で延出するように設定されて
いる。更に、この直方体形状の校正チャート78のヒー
タボード102が配設された側の側面から第3の校正面
78cが規定され、この第3の校正面78cは、正確に
y軸方向に沿って垂直に延出するように設定されている
ここで、第1乃至第3の校正面78a〜78cの交差点
により、校正基準点78dが規定されている。この結果
、第1の位置検出機構40でこの校正チャート78を撮
影した場合には、第7B図に示、すように、第1の校正
面78aのみが撮影され、この校正基準点78dは、画
面40Aの右上部に位置する角部の交点として撮影され
、また、第2の位置検出機構42で撮影した場合には、
第7C図に示すように、第2の校正面78bのみが撮影
され、この校正基準点78dは、画面42Aの右下部に
位置する角部の交点として撮影される事になる。
尚、校正チャート78を説明した第7A図において、符
号80a、80bは、天板104とヒータボード102
とを互いに仮着するための接着剤を示している。これら
の接着剤80a。
80bは、紫外線を照射される事により硬化する紫外線
硬化性を有するように形成されており、図示するように
、ヒータボード102の後端縁の両端に夫々予め添着さ
れるように設定されている。
(以下、余白) (組立装置10におけるヘッドノズル10の組立方法の
説明) 以下に、第8図以降を参照して、上述した構成の組立装
置10における、制御ユニット38の制御の下での、複
数部材の位置合わせ方法が適用されるヘッドノズル10
の組立方法を説明する。
く組立方法の概略手順〉 先ず、第8図に示すフローチャートを参照して、この組
立方法の概略的な手順を説明する。
先ず、組立動作が指示されると、ステップS10におい
て、組立回数を示す変数Nを「1」に設定する。そして
、ステップS12において、各軸ステージ18,20,
22,28,30.32の駆動モータの初期設定を実行
し、引き続き、ステップS14において、各軸ステージ
18゜20.22,28,30.32の駆動モータの原
点出しを実行する。これらステップS12及びステップ
S14を実行する事により、各軸ステージ18.20,
22,28,30.32は、定盤12に対して規定され
た任意の位置に正確に移動することが出来る事になる。
この後、ステップSL6において、第1及び第2の位置
検出機構40.42の検出位置のずれ量を校正量ΔXと
して予め算出しておくための、上述した校正チャート7
8を利用しての校正動作を実行し、第1及び第2の位置
検出機構40.42の検出位置のずれを校正する。尚、
この校正動作は、この発明の特徴の一つを構成するもの
であり、後にサブルーチンとして詳細に説明する。この
ステップS16における校正動作が終了すると、ステッ
プS18において、変数NをrlJに設定し直し、ステ
ップS20に進む。
このステップS20においては、ヒータボード102が
予め取り付けられたベース部材208を図示しない供給
ロボットを介して、供給位置から第2の位置調整機構1
6の第2の位置決め機構33上に供給する。そして、引
き続くステップS22において、この供給されたベース
部材208を正確に位置決めする。
ここで、この位置決め動作においては、上述した第2の
位置決め機構33の動作に基づき、本体33aに対する
3軸方向の位置決めを実行する動作と共に、ヒータボー
ド102上の吐出ヒータ112a〜112eの中で、基
準となる真ん中に位置する吐出ヒータ112Cの、これ
ら吐出ヒータ112a〜112eの配設方向であるX軸
方向に関しての組立作業位置αからのずれ量(x、、)
を正確に測定する動作と、且つ、このずれ量測定を第2
のITVカメラ42gで操影した画像に基づき行うため
に、その画像のピントを正確に合わせるために、ヒータ
ボード102の上面の組立作業位置αに対するZ軸方向
の正確な位置合わせ動作とを含むものである。
尚、このベース部材208、即ち、ヒータボード102
の供給動作、及び、位置決め動作は、後にサブルーチン
として詳細に説明する。
このヒータボード102の供給、及び位置決め動作に引
き続き、ステップS24において、図示しない供給ロボ
ットを介して、天板104を収納位置から第1の位置調
整機構14の第1の位置決め機構27に供給する。そし
て、引き続くステップS26において、この供給された
天板104を、ステップS22において予め第2の位置
決め機構33を介して位置決めされたベース部材208
上のヒータボード102に対して仮置きする。尚、この
天板104の供給動作及び仮置き動作は、後にサブルー
チンとして詳細に説明する。
このように組立対象となるヒータボード102及び天板
104が共に供給され、位置決めされたヒータボード1
02上に天板104が仮置きされると、ステップS28
において、両者のX軸方向に沿う相対位置関係を正確に
規定した状態で、ステップS30に置いて、両者の接着
動作が実行される。そして、接着動作が終了すると、ス
テップS32において、完成品としての組体を、図示し
ないロボットを介して、完成品排出位置まで排出する。
これらのX軸位置合わせ動作は、その詳細を、後にサブ
ルーチンとして説明する。
そして、ステップS34において、全ての組み付け動作
が終了し、全ての完成品の排出動作が終了したか否かが
判断され、このステップS34においてNoと判断され
た場合、即ち、未だ組み付け動作が終了せず、組立動作
中であると判断される場合には、ステップS36に進み
、ここで変数Nを「1」だけインクリメントし、ステッ
プ838において、変数Nが所定数に至ったか否かを判
断する。このステップ338において、Noと判断され
る場合、即ち、組立実行回数Nが所定数回未満であると
判断される場合、詳細には、最先の校正動作を実行して
から所定数回未満であると判断される場合には、先に算
出した校正量ΔXへの信頼度が依然として維持されてい
ると判断されるので、新たに校正動作を実行することな
(組立動作を実行すべ(、上述したステップS20に戻
り、これ以下の組立制御手順を繰り返し実行する。
一方、ステップS38においてYESと判断される場合
、即ち、組立実行回数Nが、最先の校正動作を実行して
から所定数回目であると判断される場合には、温度変化
当の環境変化に基づき、上述した校正量△Xが変化して
いる可能性があり、再び、校正動作を実行して、この校
正量ΔXを新たに算出すべく、上述したステップ316
に戻り、これ以下の組立制御手順を繰り返し実行する。
即ち、組立精度がミリメートルオーダである場合には、
最初に上述した校正動作を実行し、得た校正量△Xを、
1日の全ての作業期間を通じて用いても何ら問題を発生
しないが、この一実施例の様に、その組立精度としてミ
クロンオーダの精度が要求される場合には、上述した温
度変化に伴う校正量ΔXの変化が、大きく組立精度に影
響する事になる。一方、この校正動作は、上述した事情
に鑑みれば、1回の組立動作毎に実行する事が好ましい
。しかしながら、このように1回の組立動作毎に校正動
作を実行すると、組立時間が長(なり、組立効率が低下
し、ひいては、製品のコストに悪影響を与える事になる
。このようにして、組立制度の維持と、組立効率との両
立を図るべ(、この一実施例においては、所定数回の組
立動作毎に、校正動作を再実行する様に設定している。
ここで、このステップS16において校正動作を実行し
た後、ステップS18において変数NはrlJに設定し
直されるので、この組立動作における組立回数は、再び
、−回目としてカウントされ、引き続く組立動作におい
ては、「1」つずつ組立回数がインクリメントされる事
になる。
また、上述したステップS34においてYESと判断さ
れる場合、即ち、全ての組み付け動作が終了し、全ての
完成品の排出動作が終了したと判断される場合には、こ
の時点で、この組立制御手順を終了する。
尚、以下に、上述した組立制御手順で概略説明した個々
の制御手順をサブルーチンとして、詳細に説明するが、
実際には、既に上述したように、360 dpiの高密
度の印字精度を達成するため、約4.5++noの長さ
の間に多数個の吐出口106が等間隔に形成されたオリ
フィスプレート108を一体的に備えた天板104を、
同様な配設ピッチで68本の吐出ヒータ112が形成さ
れたヒータボード102上に、少なくとも64個の吐出
口106及び吐出ヒータ112が互いに対応した状態で
組み付けられる様にするものであり、極めて正確な位置
決め動作、及び、微妙な接合力の付加動作が要求される
ものである。
しかしながら、以下の組立制御手順の説明において、実
際通りに、68個の吐出0106及び、多数本の吐出ヒ
ータ112を図示して説明しようとすると、却って不明
確となると共に、説明が煩雑になるので、以下の説明に
おいては、オリフィスプレート108には第9図に示す
ように、5個との吐出口106、具体的には、第1乃至
第5の吐出口106a〜106eが形成されており、ヒ
ータボード102上には、5本の吐出ヒータ112、具
体的には、第1乃至第5の吐出ヒータ112a〜112
eが形成されているものと、簡略化した状態で説明する
ものとする。
〈各サブルーチンの詳細な説明〉 以下に、第8図を参照して概略的に説明した組立制御手
順の中の、種々のサブルーチンを詳細に説明する。
(ステップS16における校正動作の説明)先ず、第1
0図及び第11図、並びに先に示した第7B図及び第7
C図を参照して、上述したステップS16における校正
動作の制御手順を説明する。
即ち、第10図にフローチャートとして示す様に、この
校正動作が起動されると、ステップ$16Aにおいて、
第2の位置調整機構16の第2のX軸ステージ28を駆
動して、第11図に示す様に、校正チャート78をこれ
の校正基準点78dが、第1及び第2の位置検出機構4
0゜42における夫々の対物レンズ40a、42aの光
軸の交点で規定される組立作業位置αと一致するまで移
動させる。
そして、ステップ5L6Bにおいて、第1の位置検出機
構40の第1のITVカメラ40gを用いて、この校正
チャート78を正面から撮影する。また、ステップ51
6Cにおいて、第2の位置検出機構42の第2のITV
カメラ42gを用いて、この校正チャート78を上方か
ら撮影する。この結果、第1のITVカメラ40gを用
いて撮影した画像は、上述した第7B図に示す様に、ま
た、第2のITVカメラ42gを用いて撮影した画像は
、上述した第7C図に示す様に写し出される。そこで、
ステップ516Dにおいて、ステップ516Bで撮影さ
れた画像を、第1の信号変換器′46を介して画像処理
装置44に伝送し、ステップ516Eにおいて、ステッ
プ816Cで撮影された画像を、第2の信号変換器50
を介して画像処理装置44に伝送する。
そして、ステップ5L6Fにおいて、第1のITVカメ
ラ40gを介して撮影した画像に基づき、画面左端から
校正基準点78dまでの距離X1を電気的に測定し、ス
テップ516Gにおいて、第2のITVカメラ42gを
介して撮影した画像に基づき、画面圧端から校正基準点
78dまでの距離x2を電気的に測定する。この後、ス
テップ516Hにおいて、X + −X 2を演算し、
この結果を、上述したずれ量(校正量)ΔXと規定する
そして、ステップ516Iにおいて、この演算結果とし
てのずれ量△Xを、制御ユニット38内のメモリ及びデ
ータディスク78に記憶し、ステップ516Jにおいて
、この校正チャート78が載置された位置決め台33c
を、これの上にヒータボード102が予め固定されたベ
ース部材208が供給される供給位置まで復帰する様に
、第2のX軸ステージ28を駆動制御する。このように
して、一連の校正動作を終了し、元のメインルーチンに
戻る。
ここで、この校正動作においては、第1及び第2(7)
ITVカメラ40g、42gは、校正チャート78の同
一の校正基準点78dを撮影し、この同一の校正基準点
78dまでの画面左端からの距離X+、Xsを夫々測定
しているので、これら距離X II X *の差として
規定されるΔXにより、第1及び第2の対物レンズ40
a、42aの夫々の光軸のずれ量が求められる事になる
(ステップS20にSけるヒータボードの供給動作の説
明) 次に、第12図に示すフローチャート及び第13図を参
照して、上述したステップS20におけるヒータボード
供給動作の制御手順を説明する。
このヒータボード102は、既に何度も説明している様
に、予め、所定の精度で、ベース部材208のヒータボ
ード取り付け部208b上に位置決め固定されているも
のである。従って、ヒータボード102を供給するとい
う事は、即ち、ベース部材208を第2の位置決め機構
33上に供給する事を意味するものである。
先ず、ヒータボード供給動作が起動されると、ステップ
52OAにおいて、図示しない供給ロボットをして、予
めヒータボード102が取り付けられたベース部材20
8を収納位置から把持して取り出し、図示しない接着剤
塗布治具上に搬送する。そして、ステップ52OBにお
いて、この接着剤塗布治具上に載置されたベース部材2
0g上のヒータボード102の所定位置、詳細には、第
7A図に示す様に、ヒータボード102の後端縁両側に
、図示しない接着剤塗布機構を介して接着剤80a、8
0bを夫々塗布する。
尚、この接着剤80a、80bは、上述した様に、紫外
線を照射される事により硬化、即ち、接着力を発揮する
紫外線硬化性接着剤から構成されている。換言すれば、
この塗布時点において、これら接着剤80a、80bは
、何ら接着性を発揮しておらず、単なる液体としてしか
機能していないものである。
この後、ステップ320Cにおいて、この接着剤80a
、80bが塗布されたヒータボード102が取り付けら
れたベース部材208を、待機位置に位置する第2の位
置決め機構33上に搬送し、ステップ520Dにおいて
、搬送ロボットによるベース部材208の把持を解除し
て、このベース部材208を第2の位置決め機構33上
に載置する。尚、この第2の位置決め機構33の待機位
置は、第13図に示す様に、上述した組立作業位置αか
らX軸方向に沿って所定距離だけ離間した所の図示する
位置により規定されている。
このようにして、一連のヒータボード供給動作を終了し
て、制御手順は、元のメインルーチンに戻る。
(ステップS22におけるヒータボードの位置決め動作
の説明) 次に、第14図に示すフローチャートと、第15図と、
上述した第6A図乃至第6C図とを参照して、ステップ
S22におけるヒータボード102の位置決め動作につ
いて説明する。
先ず、このヒータボード102を位置決めするための第
2の位置決め機構33は、ここに、ヒータボード102
が搬送されてくる前の待機状態において、第6C図に示
す解除機構33Dが起動しており、解除シリンダ33m
が対応するピストンロッド33nを押し出す様に駆動し
ているので、このピストンロッド33n上の解除ピン3
3r。
33sが夫々X軸規制レバー33f及びy軸規制レバー
33jに係合して、これらを共にベース部材208から
大きく離間する位置、即ち、離間位置に移動している。
このように第2の位置決め機構33が待機状態に設定さ
れた状態で、位置決め動作が起動されると、ステップ5
22A−において、解除シリンダ33mの駆動が解除さ
れる。この結果、対応するピストンロッド33nは、内
蔵する図示しないリターンスプリングの付勢力により内
方に引き込まれる様に移動する。従って、このピストン
ロッド33n上の解除ビン33r、33sは夫々X軸規
制レバー33f及びy軸規制レバー33jから離間する
事になる。
このようにして、ベース部材208は、X軸規制レバー
33fが第1のトーションばね33hの付勢力により反
時計方向に沿って回動偏倚する事により、離間位置から
X軸方向に沿って押されて、X軸位置決め部33Aを構
成する一対のX軸位置決め用突起33d、33eに当接
し、そのX軸方向の位置を規定される事になる。一方、
このベース部材208は、y軸規制レバー33jが第2
のトーションばね33ρの付勢力により反時計方向に沿
って回動偏倚する事により、離間位置からy軸方向に沿
って押し出され、X軸位置決め部33Bを構成するX軸
位置決め用突起33iに当接し、そのy軸方向の位置を
規定される事になる。即ち、解除シリンダ33mがその
駆動力を解除される事により、ベース部材208はX軸
及びy軸方向に沿う位置を正確に位置決めされる事にな
る。
このようにステップ522Aが実行された後、ステップ
522Bにおいて、吸引機構33Hの駆動が開始される
。この開始にともない、図示しない吸引源が起動して、
この吸引源からの吸引力が接続管33xを介して吸引バ
ッド33w内に作用し、この結果、ベース部材208が
下方に引きつけられ、2軸位置決め部33Cを構成する
第1及び第2の突起33t、33uが位置決め第33c
の上面に確実に当接し、また、第3の突起33vがベー
ス部材208の下面に確実に当接する事になる。即ち、
吸引機構33Eが駆動される事により、ベース部材20
8はZ軸方向に沿う位置を正確に位置決めされる事にな
る。
このようにして、ベース部材208は、第2の位置決め
機構33の位置決め動作により、これの本体33aに対
する3軸方向に関する位置決めが正確になされる事にな
る。また、このような吸引機構33Hの作動により、ベ
ース部材208は、第2の位置決め機構33により正確
に位置決めされた位置に、例え本体33aが移動したと
しても、確実に保持される事になる。
このステップ822Bが終了すると、次に、ステップ5
22Cにおいて、第2の位置調整機構16を起動して、
第2の位置検出機構33に位置決め保持されたベース部
材208をその待機位置から組立作業位置αまで移動す
る。そして、ステップ522Dにおいて、この組立作業
位置αにもたらされたベース部材208上のヒータボー
ド102の上面の画像を、合焦判別用の第2の光学系4
2eを介して、第2の合焦状態検出器52に伝送する。
そして、ステップ522Hにおいて、この第2の合焦状
態検出器52において、合焦位置からの2軸方向のピン
トずれ量Δ2、即ち、この合焦位置が設計上のZ軸方向
の設定位置であるので、ヒータボード102の組立作業
位置αにおけるz軸方向のピントずれ量ΔZを測定し、
ステップ522Fにおいて、この測定したピントずれ量
ΔZを制御ユニット38に伝達する。この後、ステップ
322Gにおいて、制御ユニット38は、内部で、この
ピントずれ重ΔZに基づき、第2のZ軸ステージ30の
移動量z2を算出し、ステップ522Hにおいて、この
算出した移動量z2に基づき、第2の2軸ステージ30
を移動駆動して、ヒータボード102の上面の組立作業
位置αにおけるZ軸方向の位置を正確に規定する。
次に、ステップ522Iにおいて、第2の位置検出機構
42の第2のITVカメラ42gで、ヒータボード10
2の上面を撮影し、ステップ522Jにおいて、その撮
影した画像情報を、第2の信号変換器50を介して画像
処理装置44に伝送する。ここで、この第2のITVカ
メラ42gで撮影したヒータボードの画像を第15図に
示す。この第2のITVカメラ42gで写し出される画
像は、先に、ステップ522D乃至ステップ522Hに
おいて、ヒータボード102の上面の組立作業位置αに
おけるZ軸方向の位置を正確に規定されているので、ピ
ントの正確にあった鮮明な画像となっている。
ここで、この第15図に示す様に、吐出ヒータ112a
〜112eが所定の形成精度で予めヒータボード102
上に形成され、且つ、上述した第2の位置決め機構33
が所定の位置決め動作を実行していれば、真ん中に位置
する吐出ヒータ112Cが画像内に写し出される事にな
る。そして、この真ん中に位置する吐出ヒータ112c
が写し出されている限りにおいて、以下の組み付け動作
は可能になる様に設定されている。
このため、ステップ522Kにおいて、真ん中に位置す
る吐出ヒータ112Cが写し出されているか否かを判断
し、このステップ522Kにおいて写し出されていない
と判断される場合には、以下の組み付け動作が不可能に
なるので、ステップ522Lにおいて、警報を発し、そ
の後の制御手順を終了する。一方、ステップ822Kに
おいて真ん中に位置する吐出ヒータ112cが写し出さ
れていると判断される場合には、ステップ322Mに進
み、吐出ヒータ112cの組立作業位置αからのX軸方
向に沿うずれ量Xゎを測定する。
尚、このX軸方向に沿うずれ量X。の測定に際して、中
央に位置する吐出ヒータ112cが中心線より画面右側
にずれている場合に、(+)の符号を付し、左側にずれ
ている場合に、(−)の符号を付す様に設定されている
ここで、この一実施例においては、5つの吐8ヒータ1
12a〜112eの中で、真ん中に位置する吐出ヒータ
112Cを他から識別する手段として、第13図及び第
15図に示す様に、この吐出ヒータ112Cに隣接する
位置に識別マーク82が描かれている。即ち、上述した
ステップ822Kにおいては、この識別マーク82を画
像内に認識した場合には、真ん中に位置する吐出ヒータ
112cが写し出されていると判断し、識別マーク82
を認識することが出来なかった場合には、この吐出ヒー
タ112Cが写し出されていないものと判断する様に設
定されている。
尚、上述したX軸方向に沿うずれ量X。は、画像の中心
位置から真ん中の吐出ヒータ112Cの中心位置までの
距離として規定されるものであり、この画像の中心位置
と組立作業位置αとは、予め一致する様に設定されてい
る。
このようにX軸方向のずれ量x、、を測定した後、ステ
ップ522Nにおいて、このずれ量Xr+を制御ユニッ
ト38に伝達し、ステップ5220において、このずれ
量xl、を制御ユニット38内のメモリに記憶する。
この後、ステップ522Pにおいて、第1の位置検出機
構40の合焦判別用の第1の光学系40eを介して、こ
の組立作業位置αにもたらされたベース部材208上の
ヒータボード102の前端面の画像を、第1の合焦状態
検出器48に伝送する。そして、ステップ522Qにお
いて、この第1の合焦状態検出器48において、合焦状
態が達成される様に、即ちピントが合う様に、y軸方向
に沿ってヒータボード102を移動すべく、第2のy軸
ステージ32を移動駆動する。そして、このステップ5
22Qにおいて合焦動作が終了すると、ステップ522
Hにおいて、上述したオリフィスプレート108の厚さ
t1分だけ、更に、第2のy軸ステージ32を移動駆動
して、合焦位置から更に遠のく様にする。
このようにオリフィスプレート108の厚さt1分だけ
予めym方向に関するヒータボード102の前端面の位
置をオフセットする事により、このヒータボード102
上に天板104が組み付けられ、この天板104の前端
面に予め固着されているオリフィスプレート108が、
ヒータボード102の前端面に密着する様になされた状
態で、このオリフィスプレート108の表面に対する第
1の位置検出機構40におけるピントは、何ら合焦検出
動作を実行することなく、正確に合致する事になる。
このようにして、一連のヒータボード102の位置決め
動作を終了して、制御手順は元のメインルーチンに復帰
する。
(ステップS24における天板104の供給動作の説明
) 次に、第16図に示すフローチャートと、上述した第8
A図及び第8B図と第13図とを参照して、ステップS
24における天板104の供給動作について説明する。
先ず、天板104の供給動作が起動されると、ステップ
524Aにおいて、図示しない供給ロボットを介して、
天板104が収納位置から、待機位置にある取り付け機
構26まで搬送する。詳細には、取り付け機構26を構
成する一対の吸引部材26b、26cの間で規定される
間隙内に、下方から、天板104の円筒状のインク受は
口118が入り込む様に、搬送する。そして、ステップ
−524Bにおいて、第1の位置決め機構27の第1の
駆動シリンダ26iを駆動して、可動側の第2の吸引部
材26cを固定側の第1の吸引部材26bに向けて近接
する様に駆動し、第13図に示す様に、第1及び第2の
吸引部材26b。
26cの間にインク受は口118か弱い力で挟持される
様にする。このようにして、インク受は口118は固定
側の第1の吸引部材26bの基準面として規定される内
側面に軽く当接する事となり、この結果、インク受は口
118の、従って、天板104の取り付け機構26に対
するX軸方向の位置が正確に規定される事になる。
ここで、このようにインク受は口118を挟持する力は
弱く設定されているので、この挟持力によるインク受は
口118の変形は殆ど無視することが出来るものである
と共に、この挟持状態ではインク受は口118を把持し
て、天板104を保持することが出来ないものである。
この後、ステップ524BでX軸方向の位置を位置決め
された天板104の天板本体116は、第1及び第2の
吸引部材26b、26cの下面に夫々形成された吸引孔
26d、26eを介して、これら第1及び第2の吸引部
材26b、26cの下面に吸着・保持される事になる。
このようにして、一連の天板104の供給動作を終了し
て、制御手順は元のメインルーチンに復帰する。
(ステップS26における天板104の仮置き動作の説
明) 次に、第17図に示すフローチャートを参照して、ステ
ップS26における天板104のヒータボード102上
へめ仮1き動作を説明する。
ここで、既に説明しである通り、天板104及びヒータ
ボード102は、実際には、共に、微細加工部品である
ため、過大な力が作用すると破損する虞がある。このた
め、ステップ328のX軸方向位置合わせ動作に先立っ
て、ヒータボード102上への天板104の仮置き動作
が実行される。
先ず、仮置き動作が起動されると、ステップ526Aに
示す様に、第1の位置調整機構14を駆動して、天板1
04とヒータボード102との間に充分な隙間を保って
、天板104をヒータボード102の直上方に移動する
。この後、ステップ526Bにおいて、天板104をX
軸方向に沿って下方に移動して、天板104とヒータボ
ード102との隙間を縮める。そして、ステップ826
Cにおいて、天板104をヒータボード102上に落下
させる。
この状態において、天板104はヒータボード102上
に、その載置位置を正確に規定されない状態で載置され
る。このため、ステップ526Dにおいて、第1の位置
決め機構27の係合片26m、26nを動かして、オリ
フィスプレート108をヒータボード102の前端面に
つき当てさせる。更に、ステップ526Hにおいて、X
軸方向位置合わせ動作の準備として、天板104の厚さ
校正動作を行い、天板104と第1の位置決め機構27
における吸引部材26b、26cとの位置関係を最適な
状態に設定する。
このようにして、一連の天板104のヒータボード10
2上への仮置き動作を終了し、制御手順は元のメインル
ーチンに復帰する。
(ステップS28における天板104のヒータボード1
02に対するX軸方向の位置合わせ動作の説明) 次に、第18図に示すフローチャートと、第19図乃至
第21図を参照して、この発明の特徴をなる所の、ステ
ップ328における天板104のヒータボード102上
に対するX軸方向の位置合わせ動作について説明する。
上述した天板104の仮置き動作においては、取り付け
機構26を設計上の取り付け位置に第1の位置調整機構
14を駆動して移動させ、その上で、この取り付け機構
26から天板104をヒータボード102上に落下させ
、上述した設計上の取り付け位置に位置決めさせる事に
より、この仮置き動作を実行している。
ここで、既に上述している様に、天板104のオリフィ
スプレート108に形成された吐出口106及びヒータ
ボード102上に形成された吐出ヒータ112の配設ピ
ッチは、ミクロンオーダであるので、設計上の絶対的な
位置合わせのみでなく、吐出ヒータ112に対する吐出
口106の相対的な位置合わせを実行して、実際に、互
いに対応する吐出ヒータ112と吐出口106とが、所
定の位置精度内で、互いに組み合わされる様に、位置決
め動作を実行しなければならない。
尚、これら吐出口106及び吐出ヒータ112の配設方
向は、X軸方向に設定されているので、この天板104
のヒータボード102に対する最終的な位置合わせは、
X軸方向に沿ってのみ、画像処理を介して行われる様に
規定されている。
先ず、このX軸合わせ動作が起動されると、ステップ5
28Aにおいて、天板104の片寄動作を行う、即ち、
この片寄動作においては、第19A図に示す様に、天板
104の円筒状のインク受は口118が両吸引部材26
b、26cの間に位置した状態から、第19B図に示す
様に、可動側の吸引部材26cを固定側の吸引部材26
bに向けて移動させ、このインク受は口118を固定側
の吸引部材26bに突き当てる。そして、第19C図に
示す様に、可動側の吸引部材26cを元の位置に戻し、
第19D図に示す様に、両吸引部材26b、26cを一
体的に、即ち、取り付け機構26を全体的に駆動して、
天板104を所定の位置まで移動する事により、この天
板104の片寄動作が完了する。
この天板104の片寄動作が終了すると、次に、ステッ
プ528Bにおいて、第20図に示す様に、第1の位置
検出機構40の合焦判別用の第1の光学系40eを介し
て、ヒータボード102上に仮置きされた天板104の
前方に取り付けられたオリフィスプレート108の前面
の画像を、第1の合焦状態検出器48に伝送する。そし
て、ステップ528Cにおいて、この第1の合焦状態検
出器48において、合焦状態が達成される様に、即ちピ
ントが合う様に、y軸方向に沿ってヒータボード102
及び天板104を一体的に移動すべく、第2のy軸ステ
ージ32を移動駆動する。
ここで、この合焦動作においては、先に説明したヒータ
ボード102の位置決め動作のステップ522P〜ステ
ツプ522Hにおいて、既に、第1のITVカメラ40
gのピントが、実質的に、オリフィスプレート108の
前面に合わされているので、この合焦動作は極めて短時
間の内に済むと共に、オリフィスプレート108の前面
が合焦範囲外にあって、合焦動作が不可能となる事が、
確実に防止される事になる。
そして、このステップ528Cにおいて合焦動作が終了
すると、ステップ528Dにおいて、第1の位置検出機
構40における第1のITVカメラ40gで、ヒータボ
ード102上に仮置きされた天板104の前面側に固定
されているオリフィスプレート108の前面を撮影する
。この第1のITVカメラ40gで撮影されたオリフィ
スプレート108の画像は、上述した様に合焦動作を済
ませであるので、第21図に示す様に、ピントの正確に
合った鮮明な画像となっている。
この後、ステップ528Hにおいて、ステップ328C
で撮影された画像を、第1の信号変換器46を介して画
像処理装置44に伝送し、ステップ528Fにおイテ、
第1 (7) I TVカメラ40gを介して撮影した
画像に基づき、画面中央から上述した中央の吐出ヒータ
112Cに一番近接していると判断される吐出穴106
の中心位置までの距離x8を電気的に測定する。ここで
、ステップS22におけるヒータボード102の位置決
め動作において説明したと同様に、画面の中心線は、組
立作業位置αに対応しており、この距離XHは、組立作
業位置αから中央の吐出ヒータ112cに組み合わされ
ることとなる吐出穴106までのX軸方向に沿うずれ量
を表す事になる。
上述した中央の吐出ヒータ112cに対応する吐出口1
06の中心線からのずれ量XHを測定し終えると、ステ
ップ828Gにおいて、中央に位置する吐出ヒータ11
2cと、これに対応する吐出口106とを正確に上下で
一致させるために、この吐出0106が形成されたオリ
フィスプレート108を備える天板104を、X軸方向
に沿って移動させるに必要となる移動量X丁を、以下に
示す演算式から算出する。
X丁 =Xh  −XH+ΔX 次に、ステップ52BHにおいて、この移動量Xtが予
めデータディスクに記憶されているX方向位置合わせの
調整規格範囲Cより小さいか否かが判定される。このス
テップ528Hにおいて、YESと判断される場合、即
ち、移動量X↑が調整規格範囲Cよりも小さいと判断さ
れる場合には、制御ユニット38はヒータボード102
の各吐出ヒータ112と天板104のオリフィスプレー
ト108に形成された吐出穴106との、互いにX軸方
向の位置が合致していると判断し、このX軸方向位置合
わせ動作の制御手順を終了し、メインルーチンにリター
ンする。
一方、上述したステップ52gHにおいて、Noと判断
される場合、即ち、移動量XTが調整規格範囲Cよりも
大きいと判断される場合には、ステップS28 Iにお
いて、第1のX軸駆動ステージ18を駆動して、この移
動量x7に相当する量だけ天板104を移動させ、上述
したステツブ528Dに復帰する。
そして、このように天板104のヒータボード102に
対する位置決めがなされる事により、ヒータボード10
2の中央に位置する吐出ヒータ112cと、天板104
のオリフィスプレート108における、吐出ヒータ11
2cに最も近接する吐出口106との互いの中心線が、
X軸方向に関して一致する事になる。
この様にして、天板104とヒータボード102とのX
軸方向の位置合わせ動作を終了し、制御手順は、元のメ
インルーチンに復帰する。
以上詳述した様に、この一実施例の組立装置10及びこ
の組立装置10における組立方法を実行する事により、
微細加工部品であるヒータボード102及び天板104
を、これらに過度な組み付け力を作用させて破損するこ
となく、ヒータボード102の吐出ヒータ112と天板
104の吐出口106とを、所定の精度で正確に、互い
に組み合わせた上で、お互いを接着させることが出来る
事になる。
特に、上述した一実施例においては、この組立装置10
により、組立作業全体から手動操作を排除して、全自動
の組立作業を達成する事が出来る事になる。ここで、こ
の組立装置10の組立動作において、第1の部材として
のヒータボード102と第2の部材としての天板104
とを、両者の位置合わせ動作を実行するに際して、天板
104の前面に取り付け固定され、第2の部位としての
吐出0106が形成されているオリフィスプレート10
8の厚さ(tl)は既知である。
このため、ヒータボード102の第1の平面としての上
面に、天板104の第3の平面としての下面が当接する
様に、この天板104がヒータボード102上に落下し
、この後、ヒータボード102の第2の平面としての前
端面に、オリフィスプレート108の第4の平面として
の後面が密着する様に、オリフィスプレート108をヒ
ータボード102に引き付けた状態で、オリフィスプレ
ート108の第5の平面としての前面に形成されている
吐出口106を撮影して、この吐出口106の配設位置
を、撮影した画像から検出するに際して、この吐出口1
06を撮影する第1のITVカメラ40gの焦点は、予
め、ヒータボード102の第2の平面としての前端面を
撮影した画像を合焦させる合焦動作を実行し、この合焦
位置から、オリフィスプレート108の既知の厚さ(t
l)分だけ、第2の位置調整機構16を起動して、y軸
方向に沿って第1のITVカメラ40gからヒータボー
ド102を遠のかせるオフセット動作を実行しているの
で、上述した第1のITVカメラ40gで吐出口106
を撮影しようとした際には、既に、合焦動作を実質的に
終了しているものである。
従って、この一実施例では、ステップ328におけるX
軸合わせ動作でのステップ528A及びステップ328
Bでの合焦動作を不要にする事も可能であるし、また、
この合焦動作を実行する場合においても、この合焦動作
にかかる時間は非常に短時間で済む事となり、このよう
にして、高速の位置合わせ動作が達成される事になる。
[発明の効果] 以上詳述したように、この発明に係わる複数部材の位置
合わせ方法は、第1の部位が配設された第1の平面及び
この第1の平面と直交する第2の平面を有する第1の部
材と、第1の平面に平行な第3の平面及びこの第3の平
面と直交した第4の平面及びこの第4の平面と所定間隔
離間して平行に、且つ、第2の部位が形成された第5の
平面を有する第2の部材とを、第1及び第2の平面を密
着させ、且つ、第2及び第4の平面を密着させると共に
、第5の表面が外方に位置する様に合わせする位置合わ
せ方法であって、第1の部材の第1の平面を撮影し、こ
の撮影した画像情報に基づき、第1の部位の配設位置を
検出する第1の検出工程と、前記第1の部材の第2の平
面を撮影した画像を合焦させる合焦工程と、この合焦位
置から、前記所定間隔分だけ、前記第1の部材を遠のか
せるオフセット工程と、前記オフセットされた第1の部
材の上方に第2の部材を移動させる移動工程と、第2の
部材を第1の部材上に落下させ、第1及び第3の平面を
密着させる落下工程と、第2の部材の第4の平面が第1
の部材の第2の平面に密着する様に引き付ける引き付け
工程と、第2の平面と第4の平面とが互いに密着した状
態で、第5の平面を撮影し、この撮影した画像情報に基
づき、第2の部位の配設位置を検出する第2の検出工程
と、前記第1及び第2の検出工程で検出した第1及び第
2の配設位置に基づき、両配設位置が一致する様に、第
1及び第2の部材を相対的に移動させる移動工程とを具
備する事を特徴としている。
また、この発明に係るする複数部材の位置合わせ方法は
、前記引き付け工程と第2の検出工程と−の間で実行さ
れ、第5の平面を撮影し、この第5の平面の画像を合焦
させる第2の合焦工程を更に具備する事を特徴としてい
る。
従って、この発明によれば、より正確で、且つ、より高
速の位置合わせ動作をする事の出来る複数部材の位置合
わせ方法が提供される事になる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に係わる複数部材の位置合わせ方法が
実施される組立装置で組み立てられたヘッドノズルが組
み込まれたインクジェット記録装置に着脱自在に装着さ
れるインクジェットカートリッジの構成を取り出して示
す斜視図;第2図は組立装置での組立対象としてのヘッ
ドノズルの構成を示す斜視図; 第3図はヘッドノズルの一方の構成要件を規定するヒー
タボードの構成を示す上面図;第4図はこの発明に係る
複数部材の位置合わせ方法の一実施例が適用されるヘッ
ドノズルの組立装置の構成を概略的に示す図; 第5図は第1の位置調整機構における取り付け機構及び
第1の位置決め機構の構成を概略的に示す斜視図; 第6A図は第2の位置調整機構における第2の位置決め
機構の構成を示す上面図; 第6B図は第2の位置決め機構と共に接合力発生機構の
構成を示す側断面図; 第6C図は第2の位置決め機構における解除機構の構成
を示す上面図; 第7A図は校正チャートの取り付け状態を示す斜視図; 第7B図は第1の位置検出機構における第1の工Tvカ
メラで撮影した校正チャートの画像を示す図; 第7C図は第2の位置検出機構における第2のITVカ
メラで撮影した校正チャートの画像を示す図; 第8図はこの発明に係る複数部材の位置合わせ方法の一
実施例が適用される組立方法の制御手順を示すフローチ
ャート; 第9図は組立方法を説明するについて、説明を明確化す
るために、ヘッドノズルを構成するヒータボード及び天
板を簡略化した状態で示す斜視図; 第10図は校正動作の制御手順をサブルーチンとして示
すフローチャート; 第11図は校正動作中の状態を示す斜視図;第12図は
ヒータボード供給動作の制御手順をサブルーチンとして
示すフローチャート;第13図は第1及び第2の位置決
め機構の待機位置と、組立作業位置を示す斜視図; 第14図はヒータボードの位置決め動作のの制御手順を
サブルーチンとして示すフローチャート  ; 第15図は第2のITVカメラでヒータボードを撮影し
た画像を示す図; 第16図は天板供給動作の制御手順をサブルーチンとし
て示すフローチャート; 第17図は天板仮置き動作の制御手順をサブルーチンと
して示すフローチャート; 第18図は天板のヒータボードに対するX軸方向の位置
合わせ動作の制御手順を示すフローチャート; 第19A図乃至第19D図は、天板の片寄動作の手順を
順次示す図; 第20図は天板のヒータボードに対するX軸の位置合わ
せ動作におけるオリフィスプレートの撮影状態を示す斜
視図;そして 第21図は第1のITVカメラで撮影したオリフィスプ
レートの吐出口の画像を示す図である。 図中、10・・・組立装置、12・・・定盤、14・・
・第1の位置調整機構、16・・・第2の位置調整機構
、18・・・第1のX軸ステージ、20・・・第1のZ
軸ステージ、22・・・第1のy軸ステージ、24・・
・スペーサ、26・・・取り付け機構、27・・・第1
の位置決め機構、27A・・・X軸位置決め部、27B
・・・X軸位置決め部、28・・・第2のX軸ステージ
、30・・・第2の2軸ステージ、32・・・第2のy
軸ステージ、33・・・第2の位置決め機構、33A・
・・X軸位置決め部、33B・・・X軸位置決め部、3
3C・・・Z軸位置法め部、33D・・・解除機構、3
3E・・・吸引機構、34・・・接合力発生機構、36
a〜36f・・・ドライバ、38・・・制御ユニット、
40・・・第1の位置検出機構、42・・・第2の位置
検出機構、44・・・画像処理装置、46・・・第1の
信号変換器、48・・・第1の合焦状態検出器、50・
・・第2の信号変換器、52・・・第2の合焦状態検出
器、54・・・仮着機構、56・・・ライトガイド、5
8・・・紫外線光源、60・・・CRTモニタ、62・
・・キーボード、64・・・ITVモニタ、66・・・
操作盤、68・・・キーボード、70・・・CRTモニ
タ、72・・・プリンタ、74・・・データディスク、
76・・・プログラムディスク、78・・・校正チャー
ト、80a ; 80b・・・接着剤、100・・・ヘ
ッドノズル、102・・・ヒータボード、104・・・
溝付天板、106・・・吐出口、108・・・オリフィ
スプレート、110・・・基板、112・・・吐出ヒー
タ、114・・・電気配線、116・・・天板本体、1
18・・・インク受は口、 200・・・インクジェットカートリッジ、202・・
・インクタンクである。 第1図 第3図 第6C凶 第7A図 帛7B図      II 7C図 第11図 こ−9本−トイ共奪合1カイ乍 第12図 第14 図(B) 第15図 第16図 第17図 第19A図 第19B図 第19C図 第19D図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)第1の部位が配設された第1の平面及びこの第1
    の平面と直交する第2の平面を有する第1の部材と、第
    1の平面に平行な第3の平面及びこの第3の平面と直交
    した第4の平面及びこの第4の平面と所定間隔離間して
    平行に、且つ、第2の部位が形成された第5の平面を有
    する第2の部材とを、第1及び第2の平面を密着させ、
    且つ、第2及び第4の平面を密着させると共に、第5の
    表面が外方に位置する様に合わせする位置合わせ方法で
    あつて、 前記第1の部材の第1の平面を撮影し、この撮影した画
    像情報に基づき、第1の部位の配設位置を検出する第1
    の検出工程と、 前記第1の部材の第2の平面を撮影した画像を合焦させ
    る合焦工程と、 この合焦位置から、前記所定間隔分だけ、前記第1の部
    材を遠のかせるオフセット工程と、前記オフセットされ
    た第1の部材の上方に第2の部材を移動させる移動工程
    と、 第2の部材を第1の部材上に落下させ、第1及び第3の
    平面を密着させる落下工程と、 第2の部材の第4の平面が第1の部材の第2の平面に密
    着する様に引き付ける引き付け工程と、第2の平面と第
    4の平面とが互いに密着した状態で、第5の平面を撮影
    し、この撮影した画像情報に基づき、第2の部位の配設
    位置を検出する第2の検出工程と、 前記第1及び第2の検出工程で検出した第1及び第2の
    配設位置に基づき、両配設位置が一致する様に、第1及
    び第2の部材を相対的に移動させる移動工程とを具備す
    る事を特徴とする複数部材の位置合わせ方法。
  2. (2)前記引き付け工程と第2の検出工程との間で実行
    され、第5の平面を撮影し、この第5の平面の画像を合
    焦させる第2の合焦工程を更に具備する事を特徴とする
    複数部材の位置合わせ方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1004444A2 (en) 1998-10-27 2000-05-31 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head and assembling method therefor
US6349239B2 (en) 1997-03-12 2002-02-19 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing a liquid jet recording head
CN115229804A (zh) * 2022-09-21 2022-10-25 荣耀终端有限公司 组件贴合方法和装置

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