JPH04167549A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH04167549A JPH04167549A JP2295771A JP29577190A JPH04167549A JP H04167549 A JPH04167549 A JP H04167549A JP 2295771 A JP2295771 A JP 2295771A JP 29577190 A JP29577190 A JP 29577190A JP H04167549 A JPH04167549 A JP H04167549A
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- Japan
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- heat
- heat dissipation
- semiconductor device
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73253—Bump and layer connectors
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体装置の放熱の手段として用いる放熱器
に関するものであム 従来の技術 透気 半導体集積回路の素子数は増大し又 チップサイ
ズは大型化の傾向にあ4 −X このため半導体集積
回路動作時の発熱も大きくなり半導体素子の信頼性土
半導体装置には放熱の必要性が生じてくも 半導体装置
の放熱方法には一般的に放熱器による空冷方式がコスト
的にk 信頼性的にも有利であるため多く用いられてい
も 放熱器には種々の種類があるカミ 第4図は従来に
おけるピン型放熱器を示したもので、ピン型放熱器1は
放熱部2に複数の角柱3状または円柱4状の凸部5を整
列して表面積をもたせたものであも前記ピン型放熱器1
による放熱方法は第5図に示すとおり、半導体装置6の
発熱領域7にピン型放熱器lを設け、半導体装置より発
生した熱8はピン型放熱器1に伝わり放熱部2である複
数の角柱3状または円柱4状の凸部から熱を外部(大気
中)に放散させも この時無風すなわ杖 自然空冷の場
合同図(A)に示すとおり、放熱部2に設けられた複数
の角柱3及び、円柱4状の凸部から放散される熱9によ
り空気の対流lOが生じて冷却されも 一人 ファン(図示せず)による強制空冷時は送風され
る冷却風11がピン型放熱器lの放熱面2に設けられた
複数の角柱3または円柱4状の凸部にふれ 冷却される
ものであも この啄 放熱面2は複数の角柱3状または
円柱4状の凸部であるためピン型放熱器1は風向が制限
されな(℃ また 無風及び、強制空冷いずれの場合に
でも使用する事が可能であるなどの特徴を有するため主
に大型計算機等の多ピンLSIパッケージに用いられて
いるものであった しかしなが収 ピン型放熱器1の放
熱特性は放熱面積に依存しており、角柱3状または円柱
4状の凸部の直径12及び、配置数により放熱面積が決
定されも 従って、外形寸法13に対していかに多くの
ピンを設置す、放熱面積を確保するかが問題であった
そのため多数のピンを配置できるようにピンの配置ピッ
チ14を少なくしたりピンの形状寸法を細かくするなど
の方法がとられているものであっ九 発明が解決しようとする課題 しかしながら前記のような構成で(よ 1)放熱面積を増大するためにピン型放熱器のピンの配
置ピッチを小さくすると発熱源から外部(大気中)へ放
散させる放熱領域までの熱伝達効率が低下すも 2)ビン型放熱器のピンの配置ピッチを少なくすること
によりピン間の空気の対流が緩慢になり放熱特性が悪化
し さらには冷却風が極めて弱い場合放熱効果が著しく
低下するというきわめて重大な問題点を有していた 本発明はかかる点に鑑へ 発熱源から外部(大気中)へ
放散させる放熱領域までの熱伝達効率を損なわず又 ピ
ン型放熱器のピンの配置ピッチを少なくすることによる
ピン間の空気の対流の緩慢で放熱特性が悪化しない効果
的な放熱を行うピン型放熱器を提供するこ七を目的とす
ム 課題を解決するための手段 本発明(i ビン型放熱器の放熱面積を増大させる手
段として前期ピン型放熱器に複数個設けられた柱状の突
起部の側面に凹凸状にするものであも作用 本発明は前記の構成により、ビン型放熱器に設けられた
柱状の突起部の側面に凹凸状にすることにより柱状の側
面部の表面積の増大を計ることが可能となり、放熱器全
体の放熱面積の増大が可能となム このことにより従来
の放熱面積を増大する方法であったピンの直径及び、ピ
ン数を増大することにより生じる放熱器寸法を大型化す
ることなく叉 ピン配置のピッチを狭ピッチ化すること
によるピン間の空気の対流が緩慢になって放熱特性が著
しく低下することがなl、% 実施例 第1図は本発明の第1の実施例の半導体装置におけるビ
ン型放熱器を示すものであム 第1図においてピン型放
熱器20の放熱領域である複数個の円柱及び、角柱状の
突起部(以下柱状の突起部と呼ぶ)21の側面にC−L
らせん状部22aが形成されていも 突起部21の
側面に施す凹凸の形状としては突起部の側面の表面積を
増大するような形状であればよく、例えば他の形状とし
て第2図に示す凹凸状部22bを形成してもよいことは
言うまでもなし〜 これにより柱状の突起部21の側面
に施されたらせん状部22aにより柱状の突起部21の
側面の表面積が増大し 放熱器全体の放熱面積は著しく
増加するものであa 通家 放熱器の材質にはアルミ材
が適用されるた敦 放熱器の柱状の突起部の側面への凹
凸状(らせん状)部の形成はアルミ鋳造金型を加工する
ことにより容易に実現出来るものであム また 放熱器
の円柱及び、角柱を機械加工また(よ 機械的な応力を
加えてねじり変形させて行うことも可能であもつぎに本
発明におけるピン型放熱器による半導体装置の放熱につ
いて第3図をもちいて説明すも同図(A)は自然空冷に
おける場合を示したもので、半導体装置23とピン型放
熱器20との接着には一般的には接着樹脂(図示せず)
で行われも放熱は半導体装置23の発熱面24にビン型
放熱器20を設Cす、半導体装置23の発熱面24から
発生する熱25をピン型放熱器20に伝え 柱状の突起
部21の側面全城主として放散されも この放散された
熱25により柱状の突起部21間には空気の対流27が
生よ これにより放熱・冷却されも この時、 ビン型
放熱器20に設けられた柱状の突起部21にらせん状部
22aが形成されているため柱状の突起部21の側面の
放熱表面積が増加しているため放熱効率が著しく向上す
ムこのことによって、従来 放熱面積を増大する手段と
してピンの配置ピッチ28を少なくしてピンの配置数を
増大したことによるピン間の空気の対流が緩慢になって
放熱特性が悪化することがな(−次に同図(B)に示す
ファン(図示せず)による強制空冷時における実施例に
ついて説明すも送風される冷却風29がピン型放熱器2
0の放熱面に設けられた複数柱状の突起部21の側面部
にふれて放熱されるものであム この時、ピン型放熱器
20に設けられた柱状の突起部21の側面がらせん状2
2に施されているため柱状の突起部21の側面の放熱表
面積が増加しているため強制空冷時における放熱器は自
然空冷と同様に著しく向上するものでありその効果は絶
大であ本発明の詳細 な説明したよう&ミ 本発明によれ(瓜 従来において
放熱面積を増大させる手段としては柱状の突起部の配置
数を増やす力\ 柱状の突起部の配置ピッチを少なくす
るなどの方法であったがそのことにより放熱面積を増大
するためのピン型放熱器のピンの配置ピッチを小さくし
たことで発熱源から外部(大気中)へ放散させる放熱領
域までの熱伝達効率が低下すも さらには ピン型放熱
器のピンの配置ピッチを少なくすることにでピン間の空
気の対流が緩慢になり放熱特性が悪化し さらには冷却
風が極めて弱い場合放熱効果が著しく低下するなどの問
題を有すものであったが本発明による放熱器においては
ピン型放熱器の放熱面積を増大させる手段として前期ピ
ン型放熱器に設けられた柱状の突起部の側面を凹凸状に
形成することでピン型放熱器に設けられた柱状の突起部
の側面の放熱表面積の増大を計り、放熱器全体の放熱面
積の増大が可能とな4 従って、従来の放熱面積を増大
する方法であったピンの直径及び、 ビン数を増大する
ことにより生じる放熱器法を大型化することなく又 ピ
ン配置のピッチを狭ピッチ化することによるピン間の空
気の対流が緩慢になって放熱特性が著しく低下すること
がない半導体装置をきわめて低コストで信頼性の高い放
熱器を実現でき、その実用的効果は極めて大きし〜
に関するものであム 従来の技術 透気 半導体集積回路の素子数は増大し又 チップサイ
ズは大型化の傾向にあ4 −X このため半導体集積
回路動作時の発熱も大きくなり半導体素子の信頼性土
半導体装置には放熱の必要性が生じてくも 半導体装置
の放熱方法には一般的に放熱器による空冷方式がコスト
的にk 信頼性的にも有利であるため多く用いられてい
も 放熱器には種々の種類があるカミ 第4図は従来に
おけるピン型放熱器を示したもので、ピン型放熱器1は
放熱部2に複数の角柱3状または円柱4状の凸部5を整
列して表面積をもたせたものであも前記ピン型放熱器1
による放熱方法は第5図に示すとおり、半導体装置6の
発熱領域7にピン型放熱器lを設け、半導体装置より発
生した熱8はピン型放熱器1に伝わり放熱部2である複
数の角柱3状または円柱4状の凸部から熱を外部(大気
中)に放散させも この時無風すなわ杖 自然空冷の場
合同図(A)に示すとおり、放熱部2に設けられた複数
の角柱3及び、円柱4状の凸部から放散される熱9によ
り空気の対流lOが生じて冷却されも 一人 ファン(図示せず)による強制空冷時は送風され
る冷却風11がピン型放熱器lの放熱面2に設けられた
複数の角柱3または円柱4状の凸部にふれ 冷却される
ものであも この啄 放熱面2は複数の角柱3状または
円柱4状の凸部であるためピン型放熱器1は風向が制限
されな(℃ また 無風及び、強制空冷いずれの場合に
でも使用する事が可能であるなどの特徴を有するため主
に大型計算機等の多ピンLSIパッケージに用いられて
いるものであった しかしなが収 ピン型放熱器1の放
熱特性は放熱面積に依存しており、角柱3状または円柱
4状の凸部の直径12及び、配置数により放熱面積が決
定されも 従って、外形寸法13に対していかに多くの
ピンを設置す、放熱面積を確保するかが問題であった
そのため多数のピンを配置できるようにピンの配置ピッ
チ14を少なくしたりピンの形状寸法を細かくするなど
の方法がとられているものであっ九 発明が解決しようとする課題 しかしながら前記のような構成で(よ 1)放熱面積を増大するためにピン型放熱器のピンの配
置ピッチを小さくすると発熱源から外部(大気中)へ放
散させる放熱領域までの熱伝達効率が低下すも 2)ビン型放熱器のピンの配置ピッチを少なくすること
によりピン間の空気の対流が緩慢になり放熱特性が悪化
し さらには冷却風が極めて弱い場合放熱効果が著しく
低下するというきわめて重大な問題点を有していた 本発明はかかる点に鑑へ 発熱源から外部(大気中)へ
放散させる放熱領域までの熱伝達効率を損なわず又 ピ
ン型放熱器のピンの配置ピッチを少なくすることによる
ピン間の空気の対流の緩慢で放熱特性が悪化しない効果
的な放熱を行うピン型放熱器を提供するこ七を目的とす
ム 課題を解決するための手段 本発明(i ビン型放熱器の放熱面積を増大させる手
段として前期ピン型放熱器に複数個設けられた柱状の突
起部の側面に凹凸状にするものであも作用 本発明は前記の構成により、ビン型放熱器に設けられた
柱状の突起部の側面に凹凸状にすることにより柱状の側
面部の表面積の増大を計ることが可能となり、放熱器全
体の放熱面積の増大が可能となム このことにより従来
の放熱面積を増大する方法であったピンの直径及び、ピ
ン数を増大することにより生じる放熱器寸法を大型化す
ることなく叉 ピン配置のピッチを狭ピッチ化すること
によるピン間の空気の対流が緩慢になって放熱特性が著
しく低下することがなl、% 実施例 第1図は本発明の第1の実施例の半導体装置におけるビ
ン型放熱器を示すものであム 第1図においてピン型放
熱器20の放熱領域である複数個の円柱及び、角柱状の
突起部(以下柱状の突起部と呼ぶ)21の側面にC−L
らせん状部22aが形成されていも 突起部21の
側面に施す凹凸の形状としては突起部の側面の表面積を
増大するような形状であればよく、例えば他の形状とし
て第2図に示す凹凸状部22bを形成してもよいことは
言うまでもなし〜 これにより柱状の突起部21の側面
に施されたらせん状部22aにより柱状の突起部21の
側面の表面積が増大し 放熱器全体の放熱面積は著しく
増加するものであa 通家 放熱器の材質にはアルミ材
が適用されるた敦 放熱器の柱状の突起部の側面への凹
凸状(らせん状)部の形成はアルミ鋳造金型を加工する
ことにより容易に実現出来るものであム また 放熱器
の円柱及び、角柱を機械加工また(よ 機械的な応力を
加えてねじり変形させて行うことも可能であもつぎに本
発明におけるピン型放熱器による半導体装置の放熱につ
いて第3図をもちいて説明すも同図(A)は自然空冷に
おける場合を示したもので、半導体装置23とピン型放
熱器20との接着には一般的には接着樹脂(図示せず)
で行われも放熱は半導体装置23の発熱面24にビン型
放熱器20を設Cす、半導体装置23の発熱面24から
発生する熱25をピン型放熱器20に伝え 柱状の突起
部21の側面全城主として放散されも この放散された
熱25により柱状の突起部21間には空気の対流27が
生よ これにより放熱・冷却されも この時、 ビン型
放熱器20に設けられた柱状の突起部21にらせん状部
22aが形成されているため柱状の突起部21の側面の
放熱表面積が増加しているため放熱効率が著しく向上す
ムこのことによって、従来 放熱面積を増大する手段と
してピンの配置ピッチ28を少なくしてピンの配置数を
増大したことによるピン間の空気の対流が緩慢になって
放熱特性が悪化することがな(−次に同図(B)に示す
ファン(図示せず)による強制空冷時における実施例に
ついて説明すも送風される冷却風29がピン型放熱器2
0の放熱面に設けられた複数柱状の突起部21の側面部
にふれて放熱されるものであム この時、ピン型放熱器
20に設けられた柱状の突起部21の側面がらせん状2
2に施されているため柱状の突起部21の側面の放熱表
面積が増加しているため強制空冷時における放熱器は自
然空冷と同様に著しく向上するものでありその効果は絶
大であ本発明の詳細 な説明したよう&ミ 本発明によれ(瓜 従来において
放熱面積を増大させる手段としては柱状の突起部の配置
数を増やす力\ 柱状の突起部の配置ピッチを少なくす
るなどの方法であったがそのことにより放熱面積を増大
するためのピン型放熱器のピンの配置ピッチを小さくし
たことで発熱源から外部(大気中)へ放散させる放熱領
域までの熱伝達効率が低下すも さらには ピン型放熱
器のピンの配置ピッチを少なくすることにでピン間の空
気の対流が緩慢になり放熱特性が悪化し さらには冷却
風が極めて弱い場合放熱効果が著しく低下するなどの問
題を有すものであったが本発明による放熱器においては
ピン型放熱器の放熱面積を増大させる手段として前期ピ
ン型放熱器に設けられた柱状の突起部の側面を凹凸状に
形成することでピン型放熱器に設けられた柱状の突起部
の側面の放熱表面積の増大を計り、放熱器全体の放熱面
積の増大が可能とな4 従って、従来の放熱面積を増大
する方法であったピンの直径及び、 ビン数を増大する
ことにより生じる放熱器法を大型化することなく又 ピ
ン配置のピッチを狭ピッチ化することによるピン間の空
気の対流が緩慢になって放熱特性が著しく低下すること
がない半導体装置をきわめて低コストで信頼性の高い放
熱器を実現でき、その実用的効果は極めて大きし〜
第1図(A)、 (B)は本発明の実施例における放熱
器の斜視図 要部拡大医 第2図は柱状の突起部側面に
施す他の凹凸形状例の拡大医 第3図(A)、 (B
)は同実施例における半導体装置の放熱手段を示した構
造正面図 第4図(A)。 (B)は従来の放熱器の斜視図 第5図(A)。 (B)は従来における半導体装置の放熱手段を示した構
造正面図であム 20・・・ピン型放熱器 21角柱及び円柱状の突起部
22a・・・らせん状K 22・・・凹凸状訊 2
3・・・半導体装[24・・・発熱狙 25・・・教
27・・・空気の対丸 代理人の氏名 弁理士 小鍜治 明 ほか2名菓1図 (Bン
(A>υビ8−ufX帖鴬、 112 図 第3図 ^ (B) 第4図 (A) (β) 481
器の斜視図 要部拡大医 第2図は柱状の突起部側面に
施す他の凹凸形状例の拡大医 第3図(A)、 (B
)は同実施例における半導体装置の放熱手段を示した構
造正面図 第4図(A)。 (B)は従来の放熱器の斜視図 第5図(A)。 (B)は従来における半導体装置の放熱手段を示した構
造正面図であム 20・・・ピン型放熱器 21角柱及び円柱状の突起部
22a・・・らせん状K 22・・・凹凸状訊 2
3・・・半導体装[24・・・発熱狙 25・・・教
27・・・空気の対丸 代理人の氏名 弁理士 小鍜治 明 ほか2名菓1図 (Bン
(A>υビ8−ufX帖鴬、 112 図 第3図 ^ (B) 第4図 (A) (β) 481
Claims (1)
- 複数個の柱状の突起部が設けられ、前記柱状の突起部の
側面が凹凸状である放熱器を備えたことを特徴とする半
導体装置
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2295771A JPH04167549A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2295771A JPH04167549A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04167549A true JPH04167549A (ja) | 1992-06-15 |
Family
ID=17824957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2295771A Pending JPH04167549A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04167549A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2017195270A1 (ja) * | 2016-05-10 | 2018-08-02 | 三菱電機株式会社 | ヒートシンク |
-
1990
- 1990-10-31 JP JP2295771A patent/JPH04167549A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2017195270A1 (ja) * | 2016-05-10 | 2018-08-02 | 三菱電機株式会社 | ヒートシンク |
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