JPH0416745A - 干渉計のビームスプリッター曇り監視装置 - Google Patents
干渉計のビームスプリッター曇り監視装置Info
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- JPH0416745A JPH0416745A JP12219190A JP12219190A JPH0416745A JP H0416745 A JPH0416745 A JP H0416745A JP 12219190 A JP12219190 A JP 12219190A JP 12219190 A JP12219190 A JP 12219190A JP H0416745 A JPH0416745 A JP H0416745A
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- Japan
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- beam splitter
- interferometer
- fogging
- light
- photodetector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は干渉計のビームスプリッタ−の曇り監視装置に
関する。
関する。
（従来の技術）
°７−リエ変換型赤外分光光度計に用いられているマイ
ケルソン型干渉計のビームスプリッタ−は赤外光に対し
て透明なＫＢｒとかＣｓ１等が用いられているが、これ
らの物質は潮解性を有するので、大気中の水蒸気により
潮解再結晶が起って、時間と共に表面の平滑度の低下２
曇りを生じるから、定期的に表面状態を点検する必要が
ある。
ケルソン型干渉計のビームスプリッタ−は赤外光に対し
て透明なＫＢｒとかＣｓ１等が用いられているが、これ
らの物質は潮解性を有するので、大気中の水蒸気により
潮解再結晶が起って、時間と共に表面の平滑度の低下２
曇りを生じるから、定期的に表面状態を点検する必要が
ある。
この点検の方法としては、試料を置かないときの干渉計
の透過光を実際に測定して透過光量の減少を検出すると
云う方法が用いられているが、干渉計の透過光量の減少
はビームスプリッタ−の曇りだけでなく、光源の劣化と
か光路中の赤外光を吸収する水蒸気量の増加等でも起き
るため、ビームスプリッタ−単独の曇りを検出すること
は出来ず、結局確実を期するためにはビームスプリッタ
−を直接目視する必要があった。しかしそのためには干
渉計の蓋をあける必要があり、ビームスプリッタ−の目
視観察と云うのは面倒な作業であった。
の透過光を実際に測定して透過光量の減少を検出すると
云う方法が用いられているが、干渉計の透過光量の減少
はビームスプリッタ−の曇りだけでなく、光源の劣化と
か光路中の赤外光を吸収する水蒸気量の増加等でも起き
るため、ビームスプリッタ−単独の曇りを検出すること
は出来ず、結局確実を期するためにはビームスプリッタ
−を直接目視する必要があった。しかしそのためには干
渉計の蓋をあける必要があり、ビームスプリッタ−の目
視観察と云うのは面倒な作業であった。
（発明が解決しようとする課Ｈ）
本発明は干渉計の蓋を開く等せず、目視観察のような感
覚的な判定でなしに、簡単に数量的にビームスプリッタ
−の曇り度合を検出できる装置を提供しようとするもの
である。
覚的な判定でなしに、簡単に数量的にビームスプリッタ
−の曇り度合を検出できる装置を提供しようとするもの
である。
（課題を解決するための手段）
干渉計の通常測定用光路の側方で、ビームスプリッター
によ°る干渉計通過中の光の側方散乱光を受光できる位
置に光検出器を配置し、その出力信号によってビームス
プリッタ−の曇り度合を検出するようにした。
によ°る干渉計通過中の光の側方散乱光を受光できる位
置に光検出器を配置し、その出力信号によってビームス
プリッタ−の曇り度合を検出するようにした。
（作用）
ビームスプリッタ−の曇りが増せば散乱光が増加する。
散乱光は干渉計の通常光路から外れた方向に出るから、
干渉計の機能を阻害することなく、ビームスプリッタ−
からの散乱光を検出する光検出器を設置することができ
る。従って干渉計に付設された装置としてこの光検出器
を設けておけば、−々干渉計の蓋を開くようなことなし
に簡単に定量的にビームスプリッタ−の曇り度合を検出
することができる。
干渉計の機能を阻害することなく、ビームスプリッタ−
からの散乱光を検出する光検出器を設置することができ
る。従って干渉計に付設された装置としてこの光検出器
を設けておけば、−々干渉計の蓋を開くようなことなし
に簡単に定量的にビームスプリッタ−の曇り度合を検出
することができる。
（実施例）
図面は本発明の一実施例を示す。この実施例はマイケル
ソン型干渉計を用いたフーリエ変換型赤外分光光度計で
、移動鏡の移動量を検出するためのＨｅ−Ｎｅレーザの
レーザ光のビームスプリッタ−における散乱を測定する
ようにしたものである。
ソン型干渉計を用いたフーリエ変換型赤外分光光度計で
、移動鏡の移動量を検出するためのＨｅ−Ｎｅレーザの
レーザ光のビームスプリッタ−における散乱を測定する
ようにしたものである。
図で１はビームスプリッタ−１２は固定鏡、３は移動鏡
で、これらの各部によりマイケルソン型干渉計が構成さ
れている。分光測定が行われる赤外光は図の右方図外の
赤外光源から矢印ＩＲ方向に干渉計に入射せしめられ、
矢印！Ｒ干渉光の方向に出射して図下力の図外赤外光検
出器によって検出される。４はＨｅ−Ｎｅレーザーでレ
ーザー光はレーザー光導大鏡５により赤外光とは逆向き
に干渉計に入射せしめられ、ビームスプリッタ−１で分
割された後相互干渉したレーザー光は導出鏡６で反射さ
れて光路差測定用レーザー光検出器７に入射せしめられ
、光検出器７の出力は移動鏡３が−チー光の波長の半波
要分移動する毎に一周期の変動を示して、移動鏡の移動
量検出に用いられる。干渉計の通常光路は図で直交する
光路ａ。
で、これらの各部によりマイケルソン型干渉計が構成さ
れている。分光測定が行われる赤外光は図の右方図外の
赤外光源から矢印ＩＲ方向に干渉計に入射せしめられ、
矢印！Ｒ干渉光の方向に出射して図下力の図外赤外光検
出器によって検出される。４はＨｅ−Ｎｅレーザーでレ
ーザー光はレーザー光導大鏡５により赤外光とは逆向き
に干渉計に入射せしめられ、ビームスプリッタ−１で分
割された後相互干渉したレーザー光は導出鏡６で反射さ
れて光路差測定用レーザー光検出器７に入射せしめられ
、光検出器７の出力は移動鏡３が−チー光の波長の半波
要分移動する毎に一周期の変動を示して、移動鏡の移動
量検出に用いられる。干渉計の通常光路は図で直交する
光路ａ。
ｂであるが、この光路外でビームスプリッタ−１に向け
て曇りモニタ用レーザー光検出器８が設置されている。
て曇りモニタ用レーザー光検出器８が設置されている。
ビームスプリッタ−１によるレーザー光の散乱光の一部
Ｓがこの光検出器８に入射して検出される。光検出器８
の出力はコンパレータ９に入力されて適当に設置された
基準レベルと比較され、光検出器８の出力がその基準値
を超えると、コンパレータ９から信号が出力され、表示
装置１０よってビームスプリッタ−１の曇りが許容範囲
を超えたことを警告する。
Ｓがこの光検出器８に入射して検出される。光検出器８
の出力はコンパレータ９に入力されて適当に設置された
基準レベルと比較され、光検出器８の出力がその基準値
を超えると、コンパレータ９から信号が出力され、表示
装置１０よってビームスプリッタ−１の曇りが許容範囲
を超えたことを警告する。
（発明の効果〉
本発明装置は上述したような構成で従来の干渉計のビー
ムスプリッタ−の側方で通常の測定光路から外れた所に
光検出器を設置しておくだけでよいから、干渉計自体の
構造を変える必要がなく、ビームスプリッタ−の曇りモ
ニタ用の光検出器は測定光路の邪魔にならないから常時
設置したま＼でよく、曇り測定の際どこかを一々動かす
と云うような手数は全（なくて、常時ビームスプリッタ
−の曇りを監視することができる。
ムスプリッタ−の側方で通常の測定光路から外れた所に
光検出器を設置しておくだけでよいから、干渉計自体の
構造を変える必要がなく、ビームスプリッタ−の曇りモ
ニタ用の光検出器は測定光路の邪魔にならないから常時
設置したま＼でよく、曇り測定の際どこかを一々動かす
と云うような手数は全（なくて、常時ビームスプリッタ
−の曇りを監視することができる。
図面は本発明の一実施例装置の平面図である。
１・・・ビームスプリッタ−１２・・・固定鏡、３・・
・移動鏡、４・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザー、レーザー光導
入用鏡、６・・・光導出用鏡、７・・・光路差測定用レ
ーザー光検出器、８・・・曇りモニタ用光検出器、９・
・・コンパレータ、１０・・・表示装置
・移動鏡、４・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザー、レーザー光導
入用鏡、６・・・光導出用鏡、７・・・光路差測定用レ
ーザー光検出器、８・・・曇りモニタ用光検出器、９・
・・コンパレータ、１０・・・表示装置
Claims (1)
- 干渉計の通常測定用光路の側方で、ビームスプリッター
による干渉計通過中の光の側方散乱光を受光できる位置
に光検出器を配置したことを特徴とする干渉計のビーム
スプリッター曇り監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12219190A JPH0416745A (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 | 干渉計のビームスプリッター曇り監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12219190A JPH0416745A (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 | 干渉計のビームスプリッター曇り監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0416745A true JPH0416745A (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=14829825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12219190A Pending JPH0416745A (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 | 干渉計のビームスプリッター曇り監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0416745A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3023768A1 (en) * | 2014-11-21 | 2016-05-25 | Hach Lange GmbH | A nephelometric turbidimeter and method for controlling the humidity of venting air in a nephelometric turbidimeter |
-
1990
- 1990-05-11 JP JP12219190A patent/JPH0416745A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3023768A1 (en) * | 2014-11-21 | 2016-05-25 | Hach Lange GmbH | A nephelometric turbidimeter and method for controlling the humidity of venting air in a nephelometric turbidimeter |
| WO2016079259A1 (en) * | 2014-11-21 | 2016-05-26 | Hach Lange Gmbh | A nephelometric turbidimeter and method for controlling the humidity of venting air in a nephelometric turbidimeter |
| US10408729B2 (en) | 2014-11-21 | 2019-09-10 | Hach Lange Gmbh | Nephelometric turbidimeter and method for controlling the humidity of venting air in a nephelometric turbidimeter |
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