Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл бесконтактного измерени параметров шероховатости полированных поверхностей. Известно устройство дл определени параметров шероховатости (среднего квадратического отклонени высо неровностей и среднего квадратического значени углов наклона неровностей , св занного с интервалом коррел ции определенным соотнесением), содержащее лазер, освещающий измер е мую поверхность практически нормально , отражатель в виде сферического зеркала с отверстием в центре, через которое отводитс зеркально отраженный поток, ирисовую диафрагму и фото приемник. Путем установки разных диаметров ирисовой диафрагмы измен етс телесный угол диффузно отраженного потока и производитс два измерени при двух разных; телесных углах 1. Недостатком этого устройства вл етс наличие образца сравнени . Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс уст ройство дл измерени шероховатости поверхности., содержащее последовательно расположенные на однОй оси и устанавливаемые под острым углом к измер емой поверхности источник монохроматического излучени , модул тор и оптическую систему, приемник излучени , светофильтры, расположенные перед приемником излучени , и электронный блок обработки сигналов В этом устройстве используютс три преемника излучени , установленные в плоскости падени так, что на первый приемник, попадает поток излучени , отраженный в зеркальном направлении под углом в , а на два других - потоки излучени , отраг женные под углом 82 и 0 также ТРИ диафрагмы, установленные перед приемниками излучени 2. Недостатком зтого устройства вл ютс : необходимость измерени малых потоков излучени , отраженных под углом 02 и 0, св занна с малыми . значени ми телесных углов, что снижает чувствительность и точность устройства; больша погрешность изме рени параметров шероховатости на анизотропных неоднородных поверхност х , обусловленна тем что в зтом случае индикатрисса рассе ни в плос кости падени существенно измен етс при различных направлени х зтой плоскости. . Цель изобре тени - повышение точности и чувствительности измерени . Указанна цель достигаетс гем, что устройство дл измерени шероховатости поверхности, содержащее последовательно расположенные на одной оси и устанавливаемые под острым углом к измер емой поверхности источник монохроматического излучени , модул тор и оптическую систе му, приемник излучени , светофильтры, расположенные перед приемником излучени , и электронный блок обработки сигналов, снабжено последовательно установленными перед светофильтра по ходу отражаемых от контролируемой поверхности световых лучей маской, имеющей два кольцевых концентрических отверсти и круглое отверстие в центре, трем параллельными шторками, выполненнь 4и с возможностью перемещени относительно маски, и фокусирующим объективом. На фиг. 1 изображена принципиальна схема устройства.дл измерени шероховатости поверхности; на фиг, 2, 3, 4 - конфигураци маски и расположение шторок относительно маски. Устройство содержит последовательно расположенные на одной оси и устанавливаемые под острым углом к измер емой поверхности источник 1 монохроматического излучени , модул тор 2 и оптическую систему 3, последовательно установленные по ходу отражаемых от контролируемой поверхности световых лучей маску, имеющую два кольцевых концентрических отверсти и круглое отверстие в центре, три параллельные между собой шторки 5, 6 и 7, выполненные с возможностью перемец ени относительно 1аски 4, фокусирующий объектив 8, светофильтры 9, приемник 10 излучени и электронный блок 11 обработки сигналов. Устройство работает следующим образом . Параллельный пучок монохроматического излучени , выход щий из ирточника 1 монохроматического излучени -лазера , модулируетс модул то ром 2, представл ющим собой жидкокристаллическую чейку с пол ризатором , и оптической системой 3 направл етс на измер емую поверхность 12. Отраженный в зеркальном направлении поток проходит через.круглое отверстие в центре маски 4, затем чере объектив 8, светрфильтры 9,попадает на приемник 10 излучени и регистрируетс электронным блоком 11 обработки сигналов. При этом подвижные шторки б и 7 вдвинуты, а шторка 5 : в,ыдвинута (фиг. 2). Затем при вдвинутых подвижных шторках 5 и 7 и выдвинутой подвижной шторке б (фиг.З) регистрируетс поток излучени , прошедший через внутреннее кольцевое отверстие в маске 4. После чего, выдвинув подвижную шторку 7 и вдвинув шторки 5 и б (фиг. 4), регистрируетс поток излучени , прошедший через крайнее кольцевое отверстие в маске 4. По отношению потоков излучени , прс аедших через кольцевые отверсти в маске 4, к зеркальному отргикенному опр чдел ютс параметры шероховатости измер емой поверхности г среднее квадратическЬе отклонение и интервал коррел ции высот неровностей. Так как в данном устройстве петоки рассе нного излучени измер ютс в больших телесных углах, реализованных за счет кольцевых отверстий в маске, и за счет того,что рассе нное излучение измер етс во всех направлени х относительно зеркально отражённого пучка, возрастает чувствйточность устройсттельность ва.
Фиг.г
Фиг.З