JPH04161077A - 直進送り装置 - Google Patents
直進送り装置Info
- Publication number
- JPH04161077A JPH04161077A JP2282108A JP28210890A JPH04161077A JP H04161077 A JPH04161077 A JP H04161077A JP 2282108 A JP2282108 A JP 2282108A JP 28210890 A JP28210890 A JP 28210890A JP H04161077 A JPH04161077 A JP H04161077A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- bimorph
- voltage
- bimorph piezoelectric
- drive power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、圧電セラミックを用いた直進送り装置に関す
る。
る。
従来の技術
近年、ビデオテープレフーダ（ＶＴＲ）、フロッピーデ
ィスクドライブ（ＦＤＤ）等の音響映像（ＡＶ ）及び
事務（ＯＡ）機器はいかに小さく、軽くまた省電力化が
できるかが最も重要な課題となっている。それに伴い、
内部機構である駆動装置、すなわちアクチュエータに関
しても小型軽量化及び部品の簡素化が検討されている。
ィスクドライブ（ＦＤＤ）等の音響映像（ＡＶ ）及び
事務（ＯＡ）機器はいかに小さく、軽くまた省電力化が
できるかが最も重要な課題となっている。それに伴い、
内部機構である駆動装置、すなわちアクチュエータに関
しても小型軽量化及び部品の簡素化が検討されている。
従来の技術においては、駆動装置としては主に電動機が
利用されていた。
利用されていた。
以下、図面ｋ１２照しながら、上述した従来のアクチュ
エータの一つとして、ＯＡ機器におけるＦＤＤのヘッド
送り機構等に使用されている直進変換装置の一例につい
て説明する。
エータの一つとして、ＯＡ機器におけるＦＤＤのヘッド
送り機構等に使用されている直進変換装置の一例につい
て説明する。
第７図は、従来の送り駆動装置を用いた直進変換装置の
構成の一例である。同図において、直進変換装置の駆動
源としては、ヌテッピングモータ等の電動機１１を使用
し、電動機１１のシャフトに直接設けられたリードスク
リュー１２の回転により、ガイドレール１３に沿ってス
ライダ部１４が直進運動をする。
構成の一例である。同図において、直進変換装置の駆動
源としては、ヌテッピングモータ等の電動機１１を使用
し、電動機１１のシャフトに直接設けられたリードスク
リュー１２の回転により、ガイドレール１３に沿ってス
ライダ部１４が直進運動をする。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記の構成においては、部品の復雑さや
部品点数の多さ及び電動機のもつ体格による出力トルク
の限界から、小型高トルク化はかなり困難であるという
欠点？もつ。さらに、電動機においては電動機から発生
する電磁ノイズの影響と考慮する必要があった。
部品点数の多さ及び電動機のもつ体格による出力トルク
の限界から、小型高トルク化はかなり困難であるという
欠点？もつ。さらに、電動機においては電動機から発生
する電磁ノイズの影響と考慮する必要があった。
本発明は上記の課題と解決し、小型高精度で、電磁ノイ
ズの発生しない直進送り装置の提供を目的とする。
ズの発生しない直進送り装置の提供を目的とする。
課題を解決するための手段
上記の目的を達成するために本発明の直進送り装置は、
電圧印加により伸縮する圧電セラミックの一端を基板上
に固定し、他端を支持体と介してバイモルフ型圧電セラ
ミックの一端に固定し、上記バイモルフ型圧電セラミッ
クの他端をスライダ部に接触させ、上記圧電セラミック
および上記バイモルフ型圧電セラミックに接続して駆動
電源を設け、その駆動電源に接続して駆動電源の極性を
制御する制御部を設けたものである。
電圧印加により伸縮する圧電セラミックの一端を基板上
に固定し、他端を支持体と介してバイモルフ型圧電セラ
ミックの一端に固定し、上記バイモルフ型圧電セラミッ
クの他端をスライダ部に接触させ、上記圧電セラミック
および上記バイモルフ型圧電セラミックに接続して駆動
電源を設け、その駆動電源に接続して駆動電源の極性を
制御する制御部を設けたものである。
作 用
本発明は上記した構成によって、圧電セラミックの伸縮
する性質とバイモルフ型圧電セラミックの屈曲により変
位する性質の組合わせによりスライダ部ヲ直進送りする
ことになる。
する性質とバイモルフ型圧電セラミックの屈曲により変
位する性質の組合わせによりスライダ部ヲ直進送りする
ことになる。
実施例
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例における直進送り装置の構成
図である。同図において、１は圧電セラミックで、電１
ｉ２１２’ を通してリード線３，３′から駆動電源
Ａにより電圧を印加すると、伸縮する性質を持ち、一端
が基板４に固定されている。
図である。同図において、１は圧電セラミックで、電１
ｉ２１２’ を通してリード線３，３′から駆動電源
Ａにより電圧を印加すると、伸縮する性質を持ち、一端
が基板４に固定されている。
また、６は電極２．２’、２″を通してリード線６゜６
′と７から駆動電源Ｂによ紗電圧全印加すると。
′と７から駆動電源Ｂによ紗電圧全印加すると。
先端が屈曲による変位特性と有するバイモルフ型の圧電
セラミックであり、一端が上記圧電セラミック１の他端
と支持体８を介して接着等の方法で結合されている。上
記バイモルフ型圧電セラミック５の他端の変位によりス
ライダ部９！！ｉ−直進させる構成となっている。Ｃは
駆動電源Ａと駆動電源Ｂの極性のタイミングを制御する
制御部である。スライダ部９の底面の摩擦係数によって
は、バイモルフ型圧電セラミック５の先端にゴム等の摩
擦物を付加してもよい。第２図〜第５図を参照しながら
その動作？説明する。
セラミックであり、一端が上記圧電セラミック１の他端
と支持体８を介して接着等の方法で結合されている。上
記バイモルフ型圧電セラミック５の他端の変位によりス
ライダ部９！！ｉ−直進させる構成となっている。Ｃは
駆動電源Ａと駆動電源Ｂの極性のタイミングを制御する
制御部である。スライダ部９の底面の摩擦係数によって
は、バイモルフ型圧電セラミック５の先端にゴム等の摩
擦物を付加してもよい。第２図〜第５図を参照しながら
その動作？説明する。
第２図（ａ）及び第２図（ｂ）は、長さ方向に伸縮する
圧電セラミック１の動作原理を表したものであり、電圧
の印加によって伸縮する。
圧電セラミック１の動作原理を表したものであり、電圧
の印加によって伸縮する。
第３図は、第２図における圧電セラミックと同方向に分
極して貼り合わせたもので、第１図における圧電セラミ
ック１の伸縮量を増大する必要がある場合に利用可能で
ある。
極して貼り合わせたもので、第１図における圧電セラミ
ック１の伸縮量を増大する必要がある場合に利用可能で
ある。
また、第４図（ａ）及び第４図（ｂ）は、屈曲方向に変
位するバイモルフ型の圧電セラミック５の動作原理を表
したものであり、電圧の印加によって、屈曲方向に変位
する。
位するバイモルフ型の圧電セラミック５の動作原理を表
したものであり、電圧の印加によって、屈曲方向に変位
する。
次に、第５図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ） 、 （
ｄ） 、 （ｅ）は、第１図における実施例の動作原理
を表した図である。
ｄ） 、 （ｅ）は、第１図における実施例の動作原理
を表した図である。
第５図（ａ＞においては、圧電セラミック１にかける電
圧の極性が第２図（ｂ）の状態に、バイモルフ型圧電セ
ラミック５にかける電圧の極性が第４図（ａ）の状態に
なっている。ここで第５図（ｂ）に示すようにバイモル
フ型圧電セラミック６を変位させる方向に電圧？かける
と、バイモルフ型圧電セラミック５の先端がスライダ部
９と接触し、スライダ部９は直進運動を始める。バイモ
ルフ型圧電セラミック５が第５図（Ｃ）の位置までき九
時、バイモルフ型圧電セラミック６の先端がスライダ部
９と離れるためスライダ部９の直進は一時停止する。次
に “第５図（ｄ）に示すように圧電セラミック１と縮
む方向に電圧をかけながら、第６図（ｅ）のようにバイ
モルフ型圧電セラミック５を元の変位位置に戻す。
圧の極性が第２図（ｂ）の状態に、バイモルフ型圧電セ
ラミック５にかける電圧の極性が第４図（ａ）の状態に
なっている。ここで第５図（ｂ）に示すようにバイモル
フ型圧電セラミック６を変位させる方向に電圧？かける
と、バイモルフ型圧電セラミック５の先端がスライダ部
９と接触し、スライダ部９は直進運動を始める。バイモ
ルフ型圧電セラミック５が第５図（Ｃ）の位置までき九
時、バイモルフ型圧電セラミック６の先端がスライダ部
９と離れるためスライダ部９の直進は一時停止する。次
に “第５図（ｄ）に示すように圧電セラミック１と縮
む方向に電圧をかけながら、第６図（ｅ）のようにバイ
モルフ型圧電セラミック５を元の変位位置に戻す。
その後第４図（ａ）に示すように圧電セラミック１を伸
びる方向に電圧をかけることにより、バイモルフｆｆ、
＋１［セラミック５がスライダ部９と接触する。
びる方向に電圧をかけることにより、バイモルフｆｆ、
＋１［セラミック５がスライダ部９と接触する。
このようにして、第５図の一連の動作を繰り返すことに
より、スライダ部９はステップ状に直進する。この場合
圧電セラミック１とバイモルフ型圧電セラミック５に印
加する電圧の極性のタイミングは第６図のようにする。
より、スライダ部９はステップ状に直進する。この場合
圧電セラミック１とバイモルフ型圧電セラミック５に印
加する電圧の極性のタイミングは第６図のようにする。
以上のように本実施例の直進送υ装置によれば、磁石等
？用いないため電磁ノイズがなく、しかも圧電セラミッ
クの伸縮長さ及び変位量全調節することにより、高精度
の直進送りを可能にする。
？用いないため電磁ノイズがなく、しかも圧電セラミッ
クの伸縮長さ及び変位量全調節することにより、高精度
の直進送りを可能にする。
発明の効果
以上のように本発明の直進送り装置によれば、電磁ノイ
ズがなくしかも圧電セラミックの伸縮長さを調節するこ
とによυ、高精度の直進送りを可能にするという効果が
ある。
ズがなくしかも圧電セラミックの伸縮長さを調節するこ
とによυ、高精度の直進送りを可能にするという効果が
ある。
第１図は本発明の一実施例における直進送シ装置の構成
図、第２図（ａ） 、 （ｂ）は長さ方向に伸縮する圧
電セラミックの動作原理を表した図、第３図は第２図に
おける圧電セラミックを同方向に分極して貼シ合わせた
図、第４図（ａ） 、 （ｂ）はバイモルフ型の圧電セ
ラミックの動作原理を表した図、第５図（ａ）、山）
、 （ｃ） 、 （ｄ） 、 （ｅ）は第１図の実施例
の動作原理を表した図、第６図は両圧電セラミックに印
加する電圧の極性タイミング図、第７図は従来の直進送
シ装置の構成図である。 １・・・・・・圧電セラミック、４・・・・・・基板、
５・・・・・・バイモルフ型圧電セラミック、８・・・
・・・支持部、９・・・・・・スライダ部、Ａ、Ｂ・・
・・・・駆動電源、Ｃ・・・・・・制御部。 代理人の氏名 弁理士 小鍜治 明 ほか２名第１図 第２図 （ＩＬ） ｃｂ＞ 第３図 第４図 （ユ２ 第 ５ 図
図、第２図（ａ） 、 （ｂ）は長さ方向に伸縮する圧
電セラミックの動作原理を表した図、第３図は第２図に
おける圧電セラミックを同方向に分極して貼シ合わせた
図、第４図（ａ） 、 （ｂ）はバイモルフ型の圧電セ
ラミックの動作原理を表した図、第５図（ａ）、山）
、 （ｃ） 、 （ｄ） 、 （ｅ）は第１図の実施例
の動作原理を表した図、第６図は両圧電セラミックに印
加する電圧の極性タイミング図、第７図は従来の直進送
シ装置の構成図である。 １・・・・・・圧電セラミック、４・・・・・・基板、
５・・・・・・バイモルフ型圧電セラミック、８・・・
・・・支持部、９・・・・・・スライダ部、Ａ、Ｂ・・
・・・・駆動電源、Ｃ・・・・・・制御部。 代理人の氏名 弁理士 小鍜治 明 ほか２名第１図 第２図 （ＩＬ） ｃｂ＞ 第３図 第４図 （ユ２ 第 ５ 図
Claims (1)
- 電圧印加により伸縮する圧電セラミックの一端を基板
上に固定し、他端を支持体を介してバイモルフ型圧電セ
ラミックの一端に固定し、上記バイモルフ型圧電セラミ
ックの他端をスライダ部に接触させ、上記圧電セラミッ
クおよび上記バイモルフ型圧電セラミックに接続して駆
動電源を設け、その駆動電源に接続して駆動電源の極性
を制御する制御部を設けたことを特徴とする直進送り装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2282108A JPH04161077A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 直進送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2282108A JPH04161077A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 直進送り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04161077A true JPH04161077A (ja) | 1992-06-04 |
Family
ID=17648231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2282108A Pending JPH04161077A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 直進送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04161077A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6429572B1 (en) * | 1999-06-04 | 2002-08-06 | Norbert Beyrard France | Actuation device comprising at least one piezoelectric motor and a part able to move under the action of the said piezoelectric motor |
| US6765743B2 (en) | 2001-04-18 | 2004-07-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands. B.V. | Micro-actuator transducer stack inertia cancellation control |
| US6888291B2 (en) * | 2002-10-31 | 2005-05-03 | The Boeing Company | Electrical system for electrostrictive bimorph actuator |
| US7355325B2 (en) * | 2006-06-15 | 2008-04-08 | Piezomotor Uppsala Ab | Wide frequency range electromechanical actuator |
| DE102014209094A1 (de) | 2013-10-11 | 2015-04-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Strömungsratenmessvorrichtung |
| DE102014224609A1 (de) | 2014-05-19 | 2015-11-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Flussmessvorrichtung |
| DE102015209337A1 (de) | 2014-10-27 | 2016-04-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Flussraten-Messvorrichtung |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP2282108A patent/JPH04161077A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6429572B1 (en) * | 1999-06-04 | 2002-08-06 | Norbert Beyrard France | Actuation device comprising at least one piezoelectric motor and a part able to move under the action of the said piezoelectric motor |
| US6765743B2 (en) | 2001-04-18 | 2004-07-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands. B.V. | Micro-actuator transducer stack inertia cancellation control |
| US6888291B2 (en) * | 2002-10-31 | 2005-05-03 | The Boeing Company | Electrical system for electrostrictive bimorph actuator |
| US7355325B2 (en) * | 2006-06-15 | 2008-04-08 | Piezomotor Uppsala Ab | Wide frequency range electromechanical actuator |
| DE102014209094A1 (de) | 2013-10-11 | 2015-04-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Strömungsratenmessvorrichtung |
| DE102014224609A1 (de) | 2014-05-19 | 2015-11-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Flussmessvorrichtung |
| DE102015209337A1 (de) | 2014-10-27 | 2016-04-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Flussraten-Messvorrichtung |
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