JPH04160161A - ウエハー反転装置 - Google Patents
ウエハー反転装置Info
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- JPH04160161A JPH04160161A JP28370590A JP28370590A JPH04160161A JP H04160161 A JPH04160161 A JP H04160161A JP 28370590 A JP28370590 A JP 28370590A JP 28370590 A JP28370590 A JP 28370590A JP H04160161 A JPH04160161 A JP H04160161A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明はウェハー反転装置に関するもので、更に詳細
には、ウェハーの枚葉処理に使用されるウェハー反転装
置に関するものである。
には、ウェハーの枚葉処理に使用されるウェハー反転装
置に関するものである。
一般に、半導体製造装置等の製造におけるウェハー処理
工程に使用されるウェハー処理装置の１つとして化学気
相成長（ＣＶＤ）装置が使用されている。 このＣＶＤ装置は、ウェハーを枚葉処理により真空環境
の中に入れ、そこに例えばモノシラン、酸素等の気体を
供給することにより、化学反応を生ぜしめてウェハーの
表面に非常に薄い二酸化シリコン等の膜を作るもので、
低い温度でウェハー表面に酸化膜を作ることができるの
で、ウェハーを拡散工程の高温で痛めることが少なくな
るという利点がある。 上記のように構成されるＣＶＤ装置において、ウェハー
を反応室へ搬送する前工程としてウエハ−を反転処理す
る必要があり、そのウェハーの反転装置として、ロボッ
トハンド等にてウェハーを把持して反転する装置が知ら
れている。
工程に使用されるウェハー処理装置の１つとして化学気
相成長（ＣＶＤ）装置が使用されている。 このＣＶＤ装置は、ウェハーを枚葉処理により真空環境
の中に入れ、そこに例えばモノシラン、酸素等の気体を
供給することにより、化学反応を生ぜしめてウェハーの
表面に非常に薄い二酸化シリコン等の膜を作るもので、
低い温度でウェハー表面に酸化膜を作ることができるの
で、ウェハーを拡散工程の高温で痛めることが少なくな
るという利点がある。 上記のように構成されるＣＶＤ装置において、ウェハー
を反応室へ搬送する前工程としてウエハ−を反転処理す
る必要があり、そのウェハーの反転装置として、ロボッ
トハンド等にてウェハーを把持して反転する装置が知ら
れている。
しかしながら、従来のこの種のウェハー反転装置におい
ては、ウェハーを把持する把持機構と、ウェハー面を反
転する反転機構の２系統の伝達機構を組合わせる必要が
あるため、機構が複雑になるという問題があった。また
、ウェハーの枚葉処理を真空環境内で行うため、大気側
に配設される駆動源と把持及び反転部との伝達機構のシ
ール機能に細心の注意を払わねばならないという問題も
あった。 この発明は上記事情に鑑みなされたもので、ウェハーの
把持機構及び反転機構を簡単な一体構造とすることを第
１の目的とし、また、ウェハーの把持部及び反転部とこ
れらの駆動源との伝達機構にシール機能をもたせること
を第２の目的とするウェハー反転装置を提供しようとす
るものである。
ては、ウェハーを把持する把持機構と、ウェハー面を反
転する反転機構の２系統の伝達機構を組合わせる必要が
あるため、機構が複雑になるという問題があった。また
、ウェハーの枚葉処理を真空環境内で行うため、大気側
に配設される駆動源と把持及び反転部との伝達機構のシ
ール機能に細心の注意を払わねばならないという問題も
あった。 この発明は上記事情に鑑みなされたもので、ウェハーの
把持機構及び反転機構を簡単な一体構造とすることを第
１の目的とし、また、ウェハーの把持部及び反転部とこ
れらの駆動源との伝達機構にシール機能をもたせること
を第２の目的とするウェハー反転装置を提供しようとす
るものである。
上記目的を達成するために、この発明のウェハー反転装
置は、互いに進退移動可能な一対のウェハー把持体を有
する反転体と、上記反転体を昇降移動する昇降手段と、
上記反転体を正逆回転する反転手段と、上記一対のウェ
ハー把持体を同時に進退移動する把持体移動手段とで構
成され、上記反転手段と把持体移動手段の駆動伝達機構
を同軸上に形成して成るものである。 この発明において、上記反転手段と把持移動手段の駆動
伝達系をそれぞれ別途に形成しても差し支えないが、好
ましくは反転手段と把持移動手段の駆動伝達機構の同軸
上に形成される回転隙間内に磁気シールを封入して成る
方がよい。
置は、互いに進退移動可能な一対のウェハー把持体を有
する反転体と、上記反転体を昇降移動する昇降手段と、
上記反転体を正逆回転する反転手段と、上記一対のウェ
ハー把持体を同時に進退移動する把持体移動手段とで構
成され、上記反転手段と把持体移動手段の駆動伝達機構
を同軸上に形成して成るものである。 この発明において、上記反転手段と把持移動手段の駆動
伝達系をそれぞれ別途に形成しても差し支えないが、好
ましくは反転手段と把持移動手段の駆動伝達機構の同軸
上に形成される回転隙間内に磁気シールを封入して成る
方がよい。
上記のように構成することにより、昇降手段の駆動によ
りウェハー把持体がウェハー受継ぎ位置まで上昇され、
把持体移動手段の駆動によりウェハー把持体が把持移動
されてウェハーが把持され、この状態で反転手段が駆動
して反転体が回転されてウェハー面の反転が行われる。 また、把持移動手段と反転手段の駆動伝達機構の一部を
同軸上に形成することにより、装置全体が小型となり、
更に、同軸上の駆動伝達機構の回転隙間内に磁気シール
を封入することにより、駆動伝達機構のシール性が向上
する。
りウェハー把持体がウェハー受継ぎ位置まで上昇され、
把持体移動手段の駆動によりウェハー把持体が把持移動
されてウェハーが把持され、この状態で反転手段が駆動
して反転体が回転されてウェハー面の反転が行われる。 また、把持移動手段と反転手段の駆動伝達機構の一部を
同軸上に形成することにより、装置全体が小型となり、
更に、同軸上の駆動伝達機構の回転隙間内に磁気シール
を封入することにより、駆動伝達機構のシール性が向上
する。
以下にこの発明の実施例を図面に基いて詳細に説明する
。 第１図はこの発明のウェハー反転装置を有するウェハー
枚葉搬送処理装置の概略平面図が示されている。 このウェハー枚葉搬送処理装置は、ロードロック室１内
から室外へ向って出没移動してウェハー収容用のカセッ
ト２の出入れを行う２つのカセット搬入・搬出部３と、
カセット２内に収容されたウェハー４の中心及びオリエ
ンテーションフラット４ａを位置決めするウェハー位置
合せ部５と、ウェハー４を把持してウェハー面を反転さ
せる２台のこの発明のウェハー反転装置６と、反転され
たウェハー４を多段状に保持するウェハー保持部７と、
カセット搬入・搬出部３、ウェハー位置合せ部５、ウェ
ハー反転装置６及びウェハー保持部７のいずれに向って
移動すると共に、その先端部にウェハー把持部８を有す
る２つのウェハー搬送アーム９とで構成されいる。 上記のように構成されるウェハー枚葉搬送処理装置にお
いて、カセット供給台２ａに載置されたカセット２をカ
セット搬入・搬出部３にて受取ってロードロック室１内
に搬入した後、ウェハー搬送アーム９によってカセット
２内のウェハー４は順次ウェハー位置合せ部５に搬送さ
れてウェハー４の中心及びオリエンテーションフラット
位置の位置決めが行われた後、ウェハー反転装置６にて
ウェハー面が反転されてウェハー保持部７へ搬送される
ようになっている。 この発明のウェハー搬送装置は、策２図ないし第４図に
示すように、互いに進退移動可能な一対のウェハー把持
体１０を有する反転体１２と、この反転体１２を昇降移
動する昇降手段２０と、反転体１２を正逆回転する反転
手段３０と、一対のウェハー把持体１０を同時に進退移
動する把持体移動手段４０とで主要部が構成されている
。 この場合、反転体１２には反転手段３０を構成する反転
用駆動モータ３１からの動力を伝達する反転用伝達軸３
２と、把持体移動手段４０を構成する把持体移動用駆動
モータ４１からの動力を伝達する把持体移動伝達軸４２
とを同軸上に配設する軸受ケース２１が連結されており
、この軸受ケース２１の下面に昇降用軸２２が固定され
、ロードロック室１を貫通して室外へ突出する昇降用軸
２２にはボールねじ２３ａとナツト２３ｂとから成る昇
降機構２３を介して昇降手段２０の昇降用駆動モータ２
４が連結されている（第３図、第９図及び第１０図参照
）。なお、軸受ケース２１の下面にバッキング２５ａを
介して固着される上部取付座２５とロードロック室１の
床部１ａに設けられた貫通穴１ｂの周囲にバッキング２
６ａを介在して固着された下部取付座２６との間には気
密性を有する蛇腹２７が連結されてロードロック室１内
と外気とが遮断されている（第３図参照）。 反転体１２に一端が連結される中空状の反転用伝達軸３
２の他端部には反転ギア３３が装着されており、この反
転ギア３３に噛合する歯車伝達機構３４及びベルト伝達
機構３５を介して反転用駆動モータ３１が連結されてい
る（第２図、第６図、第９図及び第１０図参照）。 また、ウェハー把持体１０にはウェハー４を保持する溝
付ローラ１１が立設されている。ウェハー把持体１０は
、それぞれ第７図及び第８図に示すように、対峙した状
態でピニオン４３に噛合するラック４４を連結して成り
、ピニオン４３を装着した把持体移動用伝達軸４２が中
空状の反転用伝達軸３２内を貫通し、その突出端部に装
着された把持移動用ギア４５に噛合する歯車伝達機構４
６及びベルト伝達機構４７を介して把持移動用駆動モー
タ４１に連結されている（第２図、第６図、第９図及び
第１０図参照）。 なお、反転体１２及びウェハー把持体１０の歯車伝達機
構３４．４６の途中にはそれぞれ回転方向を変換するた
めのベベルギア３６が配設されており、また、垂直軸３
７．４８は例えばステンレス鋼製の伸縮自在なカップリ
ング３７ａにて連結され、かつ、垂直軸３７．４８の一
部にはロードロック室１の床部１ａに取付けられたギア
ボックス３８内において昇降可能なスプライン３８ａが
設けられている。したがって、反転体１２の昇降移動に
追従して歯車伝達機構３４．４６が昇降し得るようにな
っている。 また、反転体１２の歯車伝達機構３４とウェハー把持体
１０の歯車伝達機構４６はロードロック室１と大気側と
の仕切り部において軸受ケース５３内に同軸上に配設さ
れて、それぞれ軸受ケース５３との間及び中空状外軸３
９との間にベアリング３９ａを介して回転可能に支承さ
れており、そして、軸受ケース５３と外軸３９及びベア
リング３９ａにて囲まれた外側隙間３９ｂと、外軸３９
、内軸４゛９及びベアリング４９ａにて囲まれた内側隙
間４９ｂにはそれぞれ磁性粉を含有した潤滑油等にて形
成される磁性流体５ｏが封入されて、伝達系におけるロ
ードロック室１と大気側との遮断が確実に行われるよう
になっている（第６図参照）。 なお、軸受ケース５３と反転用駆動モータ３１、把持移
動用駆動モータ４１及びその他の反転手段３０、把持移
動手段３５の構成部材を収容する装置ボックス５２との
間にはバッキング５２ａが介在されると共に、装置ボッ
クス５２とロードロック室１の床部１ａとの間にもバッ
キング５２ｂが介在されて、ロードロック室１内の気密
性が維持されている。 上記実施例では反転用駆動モータ３１と把持移動用駆動
モータ４１とが別体に設けられた場合について説明した
が、必ずしも反転用駆動モータ３１と把持移動用駆動モ
ータ４１は別体に配置する必要はなく、第１１図及び第
１２図に示すように、反転用駆動モータ３１と把持移動
用駆動モータ４１とを同軸上に配設することもでき、こ
のように両モータ３１，４１を同軸上に配設することに
よりより一部スペースの有効利用が図れる。 なお、第１１図及び第１２図において、その他の部分は
上記実施例と同じであるので、同一部分には同一符号を
付して、その説明は省略する。 次に、この発明のウニノー−反転装置の作動態様につい
て説明する。 ウェハー４の反転を行うには、ウェハー位置合せ部５に
て位置合せされたウェハー４がウェハー搬送アーム９に
てウェハー反転装置６に移動して、ウェハー把持部８の
把持状態が解除されると、昇降手段２０の駆動モータ２
４が駆動して把持体１０がウェハー受継ぎ位置まで上昇
される。そして、この状態において把持体移動手段４０
の駆動モータ４１が駆動して、把持体移動伝達軸４２、
ピニオン４３及びラック４４等を介して把持体１２が近
接方向へ移動されてウェハー４が把持体１０により把持
される。次に、反転手段３０の駆動モータ３１が駆動し
て、伝達機構３４゜３５及び反転用伝達軸３２を介して
反転体１２が１８０°回転魅することによりウェハー４
が反転されるのである。 なお、上記実施例では、この発明のウェハー反転装置を
ウェハーの薄膜処理工程に用いた場合について説明した
が、勿論、その他の処理工程あるいはウェハーと同様な
基板の処理工程等にも使用することができる。
。 第１図はこの発明のウェハー反転装置を有するウェハー
枚葉搬送処理装置の概略平面図が示されている。 このウェハー枚葉搬送処理装置は、ロードロック室１内
から室外へ向って出没移動してウェハー収容用のカセッ
ト２の出入れを行う２つのカセット搬入・搬出部３と、
カセット２内に収容されたウェハー４の中心及びオリエ
ンテーションフラット４ａを位置決めするウェハー位置
合せ部５と、ウェハー４を把持してウェハー面を反転さ
せる２台のこの発明のウェハー反転装置６と、反転され
たウェハー４を多段状に保持するウェハー保持部７と、
カセット搬入・搬出部３、ウェハー位置合せ部５、ウェ
ハー反転装置６及びウェハー保持部７のいずれに向って
移動すると共に、その先端部にウェハー把持部８を有す
る２つのウェハー搬送アーム９とで構成されいる。 上記のように構成されるウェハー枚葉搬送処理装置にお
いて、カセット供給台２ａに載置されたカセット２をカ
セット搬入・搬出部３にて受取ってロードロック室１内
に搬入した後、ウェハー搬送アーム９によってカセット
２内のウェハー４は順次ウェハー位置合せ部５に搬送さ
れてウェハー４の中心及びオリエンテーションフラット
位置の位置決めが行われた後、ウェハー反転装置６にて
ウェハー面が反転されてウェハー保持部７へ搬送される
ようになっている。 この発明のウェハー搬送装置は、策２図ないし第４図に
示すように、互いに進退移動可能な一対のウェハー把持
体１０を有する反転体１２と、この反転体１２を昇降移
動する昇降手段２０と、反転体１２を正逆回転する反転
手段３０と、一対のウェハー把持体１０を同時に進退移
動する把持体移動手段４０とで主要部が構成されている
。 この場合、反転体１２には反転手段３０を構成する反転
用駆動モータ３１からの動力を伝達する反転用伝達軸３
２と、把持体移動手段４０を構成する把持体移動用駆動
モータ４１からの動力を伝達する把持体移動伝達軸４２
とを同軸上に配設する軸受ケース２１が連結されており
、この軸受ケース２１の下面に昇降用軸２２が固定され
、ロードロック室１を貫通して室外へ突出する昇降用軸
２２にはボールねじ２３ａとナツト２３ｂとから成る昇
降機構２３を介して昇降手段２０の昇降用駆動モータ２
４が連結されている（第３図、第９図及び第１０図参照
）。なお、軸受ケース２１の下面にバッキング２５ａを
介して固着される上部取付座２５とロードロック室１の
床部１ａに設けられた貫通穴１ｂの周囲にバッキング２
６ａを介在して固着された下部取付座２６との間には気
密性を有する蛇腹２７が連結されてロードロック室１内
と外気とが遮断されている（第３図参照）。 反転体１２に一端が連結される中空状の反転用伝達軸３
２の他端部には反転ギア３３が装着されており、この反
転ギア３３に噛合する歯車伝達機構３４及びベルト伝達
機構３５を介して反転用駆動モータ３１が連結されてい
る（第２図、第６図、第９図及び第１０図参照）。 また、ウェハー把持体１０にはウェハー４を保持する溝
付ローラ１１が立設されている。ウェハー把持体１０は
、それぞれ第７図及び第８図に示すように、対峙した状
態でピニオン４３に噛合するラック４４を連結して成り
、ピニオン４３を装着した把持体移動用伝達軸４２が中
空状の反転用伝達軸３２内を貫通し、その突出端部に装
着された把持移動用ギア４５に噛合する歯車伝達機構４
６及びベルト伝達機構４７を介して把持移動用駆動モー
タ４１に連結されている（第２図、第６図、第９図及び
第１０図参照）。 なお、反転体１２及びウェハー把持体１０の歯車伝達機
構３４．４６の途中にはそれぞれ回転方向を変換するた
めのベベルギア３６が配設されており、また、垂直軸３
７．４８は例えばステンレス鋼製の伸縮自在なカップリ
ング３７ａにて連結され、かつ、垂直軸３７．４８の一
部にはロードロック室１の床部１ａに取付けられたギア
ボックス３８内において昇降可能なスプライン３８ａが
設けられている。したがって、反転体１２の昇降移動に
追従して歯車伝達機構３４．４６が昇降し得るようにな
っている。 また、反転体１２の歯車伝達機構３４とウェハー把持体
１０の歯車伝達機構４６はロードロック室１と大気側と
の仕切り部において軸受ケース５３内に同軸上に配設さ
れて、それぞれ軸受ケース５３との間及び中空状外軸３
９との間にベアリング３９ａを介して回転可能に支承さ
れており、そして、軸受ケース５３と外軸３９及びベア
リング３９ａにて囲まれた外側隙間３９ｂと、外軸３９
、内軸４゛９及びベアリング４９ａにて囲まれた内側隙
間４９ｂにはそれぞれ磁性粉を含有した潤滑油等にて形
成される磁性流体５ｏが封入されて、伝達系におけるロ
ードロック室１と大気側との遮断が確実に行われるよう
になっている（第６図参照）。 なお、軸受ケース５３と反転用駆動モータ３１、把持移
動用駆動モータ４１及びその他の反転手段３０、把持移
動手段３５の構成部材を収容する装置ボックス５２との
間にはバッキング５２ａが介在されると共に、装置ボッ
クス５２とロードロック室１の床部１ａとの間にもバッ
キング５２ｂが介在されて、ロードロック室１内の気密
性が維持されている。 上記実施例では反転用駆動モータ３１と把持移動用駆動
モータ４１とが別体に設けられた場合について説明した
が、必ずしも反転用駆動モータ３１と把持移動用駆動モ
ータ４１は別体に配置する必要はなく、第１１図及び第
１２図に示すように、反転用駆動モータ３１と把持移動
用駆動モータ４１とを同軸上に配設することもでき、こ
のように両モータ３１，４１を同軸上に配設することに
よりより一部スペースの有効利用が図れる。 なお、第１１図及び第１２図において、その他の部分は
上記実施例と同じであるので、同一部分には同一符号を
付して、その説明は省略する。 次に、この発明のウニノー−反転装置の作動態様につい
て説明する。 ウェハー４の反転を行うには、ウェハー位置合せ部５に
て位置合せされたウェハー４がウェハー搬送アーム９に
てウェハー反転装置６に移動して、ウェハー把持部８の
把持状態が解除されると、昇降手段２０の駆動モータ２
４が駆動して把持体１０がウェハー受継ぎ位置まで上昇
される。そして、この状態において把持体移動手段４０
の駆動モータ４１が駆動して、把持体移動伝達軸４２、
ピニオン４３及びラック４４等を介して把持体１２が近
接方向へ移動されてウェハー４が把持体１０により把持
される。次に、反転手段３０の駆動モータ３１が駆動し
て、伝達機構３４゜３５及び反転用伝達軸３２を介して
反転体１２が１８０°回転魅することによりウェハー４
が反転されるのである。 なお、上記実施例では、この発明のウェハー反転装置を
ウェハーの薄膜処理工程に用いた場合について説明した
が、勿論、その他の処理工程あるいはウェハーと同様な
基板の処理工程等にも使用することができる。
以上に説明したように、この発明のウェハー反転装置に
よれば、上記のように構成されているので、以下のよう
な効果が得られる。 １）請求項１記載のウェハー反転装置によれば、ウェハ
ー把持体と反転体の伝達機構を同軸上にして一体に形成
することができるので、ウェハーの反転処理を迅速にす
ることができる。また、構造が簡単であり、しかも装置
全体を小型にすることができるので、スペースの有効利
用が図れる。 ２）請求項２記載のウェハー反転装置によれば、反転手
段と把持体移動手段の伝達機構の同軸部の回転隙間に磁
気シールが封入されるので、シール性の向上が図れると
共に、ウェハー反転装置の信頼性の向上が図れる。
よれば、上記のように構成されているので、以下のよう
な効果が得られる。 １）請求項１記載のウェハー反転装置によれば、ウェハ
ー把持体と反転体の伝達機構を同軸上にして一体に形成
することができるので、ウェハーの反転処理を迅速にす
ることができる。また、構造が簡単であり、しかも装置
全体を小型にすることができるので、スペースの有効利
用が図れる。 ２）請求項２記載のウェハー反転装置によれば、反転手
段と把持体移動手段の伝達機構の同軸部の回転隙間に磁
気シールが封入されるので、シール性の向上が図れると
共に、ウェハー反転装置の信頼性の向上が図れる。
第１図はこの発明のウェハー反転装置を有するウェハー
枚葉搬送処理装置の概略平断面図、第２図はこの発明の
ウェハー反転装置の平面図、第３図は第２図の正面図、
第４図は第２図の側面図、第５図はこの発明における昇
降手段の側面図、第６図はこの発明における反転及び把
持移動用伝達部の断面図、第７図は第２図のＶ１１４１
１断面図、第８図は第７図の底面図、第９図はこの発明
における駆動伝達部の概略平面図、第１０図は第９図の
側面図、第１１図はこの発明の別の実施例における駆動
伝達部の断面図、第１２図は第１１図の平面図である。 符号説明 （１０）・・・ウェハー把持体 （１２）・・・反転体 （２０）・・・昇降手段 （２２）・・・昇降用軸 （２４）・・・昇降用駆動モータ （３０）・・・反転手段 （３１）・・・反転用駆動モータ （３２）・・・反転用伝達軸 （３９）・・・中空状外軸 （３９ｂ）・・・外側隙間 （４０）・・・把持体移動手段 （４１）・・・把持体移動用駆動モータ（４２）・・・
把持体移動用伝達軸 （４９）・・・内軸 （４９ｂ）・・・内側隙間 （５０）・・・磁気シール 特 許 出 願 人 チル・パリアン株式会社代 理
人 弁理士 中 本 菊 彦第４図 第５図 第８図 第９図 第１１図 第１２図
枚葉搬送処理装置の概略平断面図、第２図はこの発明の
ウェハー反転装置の平面図、第３図は第２図の正面図、
第４図は第２図の側面図、第５図はこの発明における昇
降手段の側面図、第６図はこの発明における反転及び把
持移動用伝達部の断面図、第７図は第２図のＶ１１４１
１断面図、第８図は第７図の底面図、第９図はこの発明
における駆動伝達部の概略平面図、第１０図は第９図の
側面図、第１１図はこの発明の別の実施例における駆動
伝達部の断面図、第１２図は第１１図の平面図である。 符号説明 （１０）・・・ウェハー把持体 （１２）・・・反転体 （２０）・・・昇降手段 （２２）・・・昇降用軸 （２４）・・・昇降用駆動モータ （３０）・・・反転手段 （３１）・・・反転用駆動モータ （３２）・・・反転用伝達軸 （３９）・・・中空状外軸 （３９ｂ）・・・外側隙間 （４０）・・・把持体移動手段 （４１）・・・把持体移動用駆動モータ（４２）・・・
把持体移動用伝達軸 （４９）・・・内軸 （４９ｂ）・・・内側隙間 （５０）・・・磁気シール 特 許 出 願 人 チル・パリアン株式会社代 理
人 弁理士 中 本 菊 彦第４図 第５図 第８図 第９図 第１１図 第１２図
Claims (2)
- （１）互いに進退移動可能な一対のウェハー把持体を有
する反転体と、 上記反転体を昇降移動する昇降手段と、 上記反転体を正逆回転する反転手段と、 上記一対のウェハー把持体を同時に進退移動する把持体
移動手段とで構成され、 上記反転手段と把持体移動手段の駆動伝達機構を同軸上
に形成して成ることを特徴とするウェハー反転装置。 - （２）反転手段と把持移動手段の駆動伝達機構の同軸上
に形成される回転隙間内に磁気流体を封入して成ること
を特徴とする請求項１記載のウェハー反転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28370590A JPH04160161A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | ウエハー反転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28370590A JPH04160161A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | ウエハー反転装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04160161A true JPH04160161A (ja) | 1992-06-03 |
Family
ID=17669016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28370590A Pending JPH04160161A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | ウエハー反転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04160161A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6874515B2 (en) * | 2001-04-25 | 2005-04-05 | Tokyo Electron Limited | Substrate dual-side processing apparatus |
| JP5421923B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2014-02-19 | 国立大学法人大阪大学 | ノイズジェネレータ、及び確率共振素子 |
| WO2023284484A1 (zh) * | 2021-07-13 | 2023-01-19 | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 | 翻转装置 |
-
1990
- 1990-10-22 JP JP28370590A patent/JPH04160161A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6874515B2 (en) * | 2001-04-25 | 2005-04-05 | Tokyo Electron Limited | Substrate dual-side processing apparatus |
| JP5421923B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2014-02-19 | 国立大学法人大阪大学 | ノイズジェネレータ、及び確率共振素子 |
| WO2023284484A1 (zh) * | 2021-07-13 | 2023-01-19 | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 | 翻转装置 |
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