JPH04157741A

JPH04157741A - フラットパッケージ型ｉｃリードピンの画像入力装置

Info

Publication number: JPH04157741A
Application number: JP28231990A
Authority: JP
Inventors: Kiyomune Ooba; 大庭　聖統; Nobusuke Iwata; 岩田　暢祐
Original assignee: M I TECHNOL KK
Current assignee: M I TECHNOL KK
Priority date: 1990-10-20
Filing date: 1990-10-20
Publication date: 1992-05-29
Anticipated expiration: 2009-10-19
Also published as: JPH0682737B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は画像処理・計測によってフラットパッケージ型
ＩＣのり−ドビンを外観検査するために用いる該ＩＣリ
ードピンの画像入力装置に関する。

〔従来の技術］フラットパッケージ型ＩＣのり−ドピンは、パッケージ
本体から横方向に突出した部分、該突出部分に交差する
方向に該部分から斜めに延びるテーパ部分および該テー
パ部分がら再び前記横方向ニ延ヒるピン端部からなるい
わゆるガルウィング形のもの、パッケージ本体下面へま
わり込んだＪ形のもの等がある。

これらリードビンは、ＩＣパッケージを基板に正確Ｑこ
接続するために、正規の位置、方向、間隔を保持してい
なくてはならず、これらに狂いがあるものは不良品とし
て除かなければならない。

ガルウィング形リードビンを例にとると、根元突出部と
ピン端部間の曲がり、ピン端部浮き、ピン先端部のねし
れ、ピッチ異常、長さの不揃いや折れ、数本が同方向へ
斜めに延びたカニ足等の異常が考えられる。また、Ｊ形
す−トピンについても同様な異常が考えられる。

これらリードピンの異常発見は、工具顕微鏡による目視
検査、治工具による検査等により行われてきたが、ピン
数が増加しつつある最近では、カメラ装置および画像処
理・計測装置を利用した測定、検査が行われるようにな
っている。

画像処理によってフラットパッケージ型ＩＣリードピン
を外観検査する場合に使用する画像入力装置は、基本的
には被検査ＩＣを所定検査位置に配置するための検査台
と、該検査台上のＩＣのリードビンを撮影するカメラ装
置を備えている。

被検査ＩＣは、そのパンケージ本体が、−膜内には多角
形、特に四角形状に形成されており、その多角形状の１
または２以上の辺から前記リードピンが延び出ており、
各辺のり−トビン数は数十本におよぶ場合がある。

従って、これらリードピンのすべてを撮影するために、
前記検査台は、通常、互いに直交する２軸方向に水平面
内で移動できるようにし、固定カメラ装置に対し、ＩＣ
を移動できるようにしている。

［発明が解決しようとする課題：しかしながら、前記方法では、検査台か移動するため、
移動時の加速や振動により検査台上のＩＣ位置がずれ、
以後の正確な測定、検査に支障をきたす恐れがある。

測定、検査を迅速に行うためには検査台移動も迅速に行
わなければならないが、そうするとますますＩＣの位置
ずれが生じる。

検査台にＩＣ固定手段を設けることも考えられるが、そ
のような手段はリードビンのカメラ撮影の邪魔になる。

そこで本発明は、被検査フラットパッケージ型ＩＣを移
動させずに所定検査位置に静止配置したまま該ＩＣの被
検査リードピンを撮影でき、それによってＩＣを移動さ
せる場合に比べて正確なり一トピン外観検査を可能とす
るフラットパッケージ型１ｃリードピンの画像入力装置
を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段］本発明は前記目的に従い、被検査フラットパッケージ型
ＩＣを載置する固定検査台、前記検査台上の前記ＩＣの
１または２以上の辺のそれぞれにおけるリードビンを撮
影するための前記検査台の周囲に配置した複数のカメラ
装置、前記複数のカメラ装置を、それぞれが対向する前
記検査台上のＩＣのリードビン配列と平行または略平行
に移動するように連動させる機構、および前記検査台上
のＩＣのリードビンを照明する装置を備えたことを特徴
とするフラットパッケージ型ＩＣリードピンの画像入力
装置を提供するものである。

前記照明装置は種々考えられるが、−例として、各カメ
ラ装置について設けたリードピン照明用光ファイバおよ
び該各光ファイバにそれぞれ接続された光源部を備えた
ものが考えられる。

また、前記光ファイバをすべて一つの光源部に接続し、
該光源部には、検査中光源を常時オンさせておいて光照
明に供される光ファイバへ順次光を切換え導通させる手
段を設けてもよい。

［作　用］本発明画像入力装置によると、固定検査台上に載置され
たＩＣの被検査リードビンは、照明装置により照らされ
、前記連動機構により連動移動するカメラ装置により、
順次撮影される。

〔実　施　例］以下、本発明の一実施例を図面を参蕉して説明する。

第１図は、ＩＣに信号を入力してＩＣの良、不良を検査
するそれ自体既に知られたＩＣテスターにおけるＩＣハ
ンドラー１と、これに着脱可能に取り付けた本発明の一
実施例画像入力装置２と、該装置２に接続した画像処理
・計測装置６と、該装置６に接続した表示装置（本例で
はＣＲＴ）７と、検査結果を記録する記録装置（本例で
はプリンタ）８の側面図である。

第２図は、第１図に示す画像入力装置２の平面図である
。

ＩＣハンドラー１は、後述する検査台２１上に被検査Ｉ
Ｃを載置し、または、検査済ＩＣを咳台から受けとるこ
とができるものである。

具体例としては、ガルウィング形リードピンを有する複
数個のフラットパッケージ型ＩＣを並べ載置したトレイ
１１、良品ＩＣ受取りトレイ１１ａおよび不良品ＩＣの
受取りトレイｌｌｂを支持する昇降テーブル１２．１２
ａ、１２ｂ、該テーブル上方を一方向Ｘに往復水平動で
きるフレーム１３、該フレーム上を方向Ｘに直角な水平
方向Ｙに往復動できるキャッチャ−支持部材１４、部材
１４に設けた真空吸引保持式ＩＣキヤ・ノチャー１５、
テーブル１２ｂの外側に配置した回動可能のＩＣ支持ア
ーム１６、アーム１６に臨む一対の真空吸引保持式ＩＣ
キャッチャ−１７８，、’１７ｂを備えている。一対の
キャッチャ−１７ａ、１７ｂは、図示しない駆動手段に
より水平面内で回転可能のアーム１７１の両端に設けら
れている。

ＩＣキャッチャ−１５，１７ａ、１７ｂは図示しない駆
動手段により昇降可能であり、また、図示しない真空吸
引手段に接続されている。ＩＣ支持アーム１６は図示し
ない駆動手段にて水平面内で回転駆動されるようになっ
ており、両端はＩＣ支持面１６１．１６２を有している
。

ＩＣ支持アーム１６はアーム１７１より下段に配置され
ており、アーム１６のＩＣ支持面の円運動軌跡はアーム
１７１上のキャッチャ−の円運動軌跡と一個所で重なり
合う。

支持アーム１６は、一方の支持面１６１または１６２が
キャッチャ−１５とＩＣを受は渡しできる□位置に、同
時に、他方の支持面１６２または１６１がキャッチャ−
１７ａまたは１７ｂとＩＣを受は渡しできる位置に配置
されるように回動できる。また、アーム１７１は、一方
のキャッチャ−１７ａまたは１７ｂがアーム１６の支持
面１６１または１６２とＩＣを受は渡しできる位置に、
同時に、他方のキャッチャ−１７ｂまたは１７ａが後述
する画像入力装置２の検査台２１とＩＣを受は渡しでき
る位置に配置されるように回動できる。

このハンドラー１は次のように動作する。

フレーム１３のＸ方向移動、キャッチャ−支持部材１４
のＹ方向移動の組み合わせにより、部材１４上のキャッ
チャ−１５がテーブル１２上のトレイ１１内の目標とす
る被検査フラットパッケージ型ＩＣの上方に移動する。

引き続きキャッチャ−１５が下降して該ＩＣを吸引保持
したのち上昇する。続いてフレーム１３および支持部材
１４のＸ、Ｙ方向の組み合わせ移動によりキャッチャ−
１５がＩＣ支持アーム１６上の一つのＩＣ支持面１６１
にＩＣを載置する。その後キャッチャ−１５は上昇し、
次のＩＣ搬送に備える。

一方、アーム１６は回動し、支持したＩＣを一つのキャ
ッチャ−１７ａ下に配置する。かくしてキャッチャ−１
７ａが下降し、ＩＣを吸引保持して上昇する。そのあと
、キャッチャ−支持アーム１７１が回り、ＩＣは検査台
２１上方に配置される。ここでキャッチャ−１７ａが下
降してＩＣを検査台上に載置する。その後、キャッチャ
−１７ａは上昇する。

この間、ＩＣ支持アーム１６のもう−っの支持面１６２
上にキャッチャ−１５から次のＩｃが載置され、アーム
１６の回転により、もう一つのキャッチャ−１７ｂ下に
配置され、該キャッチャ−に保持される。

検査台２１上のＩＣの検査が終了すると、キャッチャ−
１７ａがこれを保持し、アーム１７１が回る。か（して
キャッチャ−１７ｂに保持されたＩＣが検査台２１に臨
み、そこに次のＩＣが載置される。

キャッチャ−１７ａに保持された検査済ＩＣは支持アー
ム１６上に載置され、そこからキャッチャ−１５に保持
されて、良品トレイｌｌ’ａまたは不良品トレイｌｌｂ
に載置される。

その後、キャッチャ−１５は次の被検査ＩＣを支持アー
ム１６上の空き支持面に載置し、該ＩＣをキャッチャ−
１７ａが保持して次の検査に備える。

以上の操作の繰り返しにより被検査ＩＣは順次検査台２
１上に載置され、検査済ＩＣはトレイ１１ａまたはｌｌ
ｂに収納される。

前記ハンドラー１は市販のＩＣテスターのもので、画像
入力装置２は、該ＩＣテスターの図示しないテスタ一部
を取り外したあとに付設してあり、該テスタ一部と外径
寸法が路間しで、互換性がある。

この装置２は、検査ステージ２０を備えており、そのス
テージ上に検査台２１が取り外し可能に配置しである。

検査台２１は、前記ハンドラー１のキャッチャ−１７ａ
または１７ｂがそれに保持したＩＣを該キャッチャ−の
下降にて検査台２１キに載置でき、或いは該検査台上の
ＩＣを該キャ・ンチャーで受は取ることができる位置に
ある。

検査台２１は、第３図に示すように、基部２１１とその
上の所定位置に立設したＩＣガイド突起部２１２．２１
３．２１４．２１５を備えている。

基部２１１は平面視四角形のもので、上端面は平坦な測
定ベース面２１１ａとなっており、四縁ラインＬ１〜Ｌ
４を有する。

突起部２１２〜２１５は縁辺Ｌ１〜Ｌ４とそれぞれ平行
であり、いずれも同一高さに形成されている。表面色は
全体黒色である。

ところで、検査対象となるＩＣパッケージ１０は、例え
ば、第４回および第５図に示すように、四角形のＩＣパ
ッケージ本体ａから横方向に突出する突出部分ｂ、該部
分から該部分に交差するように斜めに延びるテーパ部分
Ｃおよび該部分Ｃから再び前記横方向へ延びるピン端部
ｄからなるガルウィング形のリードピンＰを本体ａの各
辺に複数本ずつ備えている。

前記検査台のガイド突起部２１２〜２１５のそれぞれは
テーパ外面（傾斜外面）Ｆを備えている。

該テーパ外面Ｆは、第５図に二点鎖線で示すように、Ｉ
Ｃパッケージ１０を検査台上に載置位置決めするときの
ガイドの役目をする。

すなわち、パッケージ１０を検査台上に載置するとき、
そのリードピンＰのテーパ部分Ｃの内面ｃｓが外面Ｆに
案内され、最終的にはピン端部ｄが検査台基部の測定ベ
ース面２１１ａ上の所定位置に乗る。

第５図には、そのように乗った状態でも、なお外面Ｆが
リードピン内面ＣＳに接している状態を示しているが、
実際には、このようにピン端部ｄが面２１１ａに乗った
状態では、ピン内面ＣＳはガイド突起部の１または２以
上の各外面Ｆから離れた状態となる。

もっとも、ピン端部ｄが面２１１ａに乗ったとき、まだ
ピン内面ｃｓが突起部２１２〜２１５の外面Ｆに接して
いてもよいが、何れにしても、リードピンＰが突起部２
１２〜２１５に支持されて宙に浮いた状態となることは
避ける。

また、このようにピン端部ｄが面２１１ａに乗るように
、予め突起部２１２〜２１５の面２１１ａ上の位置を定
めておく。

このように支持された状態では、ＩＣ各辺に並ぶリード
ピンの配列方向は上から見てピン列下の縁ラインＬ１、
Ｌ２、Ｌ３またはＬ４と平行または略平行となる。また
、各ピン列における各り−ドピン端部ｄの端面ｄｓは検
査台基部２１１の側面Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３またはＳ４の位
置に略揃っている。

このＩＣ支持方法は、ＩＣパッケージ本体ａの合成樹脂
成形体Ｍの下面ｍ１や側面ｍ２を基準とする従来のＩＣ
検査位置決め方法や、内周側面がすり林状に傾斜した四
角形凹部を有する従来周知の位置決め治具の該凹部へＩ
Ｃを落とし込んで位置決めする方法と比べ、より正確な
ＩＣの検査位置決めを行える。

何故なら、成形体Ｍの下面ｍ１や側面ｍ２は成形不良に
より変形、凹凸があることがあり、また治具凹部への落
とし込み方法では、ＩＣリードピンの長さの不揃い等の
ために位置決めにバラつきが出る。これに対し、前記リ
ードピンＰの突出部すおよびこれに続くテーパ部分Ｃは
比較的バラつき少なく、精度よく出来上がっているから
である。

前記、ガイド突起部２１２〜２１５は別個に立設されて
いるが、これらを一体的に形成してもよい。

なお、本例では採用していないが、検査台基部２１１上
面に、既述の如きテーパ外面Ｆを有する二つのガイド突
起部を平行に立設し、これらと直角にストッパを設け、
ＩＣリードピンのテーパ部分内面ｃ、ｓを該突起部に案
内させて該ピンを基部上面に載置することにより該ＩＣ
を前後または左右方向について位置決めし、そのあと、
プッシャーまたはエア吹き付は等により、前記ストッパ
までＩＣを移動させることで最終位置決めを行うことも
できる。

また、平坦上面に前述の如きガイド突起部を有する台を
検査台とは別個に設けておき、これを位置決め専用台と
して用いることも考えられる。この場合には、リードピ
ンのテーパ内面ＣＳを該突起部のテーパ外面Ｆで支持し
てリードビンを宙に浮かせてもよいし、前記検査台２１
のように支持してもよい。

さて、検査台２１の基部２１１の側面には検査用マーク
を付しである。

評言すると、縁ラインＬ１を含む側面Ｓｌとこれに対向
する縁ラインＬ３を含む側面Ｓ３のそれぞれの上端部に
、該縁ラインの方向に予め定めた間隔でマークｎ１、ｎ
２、ｎ３を付してあり、縁ラインＬ２を含む側面Ｓ２と
これに対向する縁ラインＬ４を含む側面Ｓ４にはそれぞ
れ上端部の中央部にマークｎ４が付しである。各マーク
は照明によりよく光るように白色または金属色とされる
。

これらマークの役割については後の説明で明らかにする
。

再び第１図および第２図に戻る。

検査台２１の各縁ラインに直角に対向させて合計四つの
カメラ装置３１〜３４が配置しである。

各カメラ装置はレンズを含む光学系およびカメラを備え
ており、検査台２１上のＩＣリードピンの基板実装にお
けるコンタクト部（本例ではピン端部ｄ）の外側方から
リードビンおよび検査台縁ラインを撮影することができ
る。

各カメラ装置はステージ２０上面に敷設した案内レール
３５に沿って、対向する検査台縁ライン方向に往復動可
能となっている。このレール３５および次に説明するモ
ータ等各部はカメラ装置の連動機構３０を構成している
。

ステージ２０下面にはモータ３６が設けてあり、これに
より正逆回転されるネジ棒３６１が１つのカメラ装置３
１下面の雌ネジ部３６２に螺合貫通している。この雌ネ
ジ部はステージの長孔２０１を貫通している。従って、
モータ３６の運転により、カメラ装置３１がレール３５
に沿って往復駆動される。

雌ネジ部３６２からはロッド３１１がステージ中心部の
下へ向は延びている。

カメラ装置３２．３３．３４の下面には、ステージ長孔
２０２．２０３．２０４を貫通して下方へ延びるスライ
ダ３２１．３３１．３４１が設けてあり、これらからス
テージ中心部の下へ向はロッド３２２．３３２．３４２
が延びている。各スライダは案内ロッド３００に沿って
摺動する。

ステージ下面には円板３７が回転自在に架設してあり、
該円板上面にはピン３８１．３８２．３８３．３８４が
立設しである。前記カメラ装置から延びるロッド３１１
．３２２．３３２．３４２はこれらピンに当接しており
、円板３７と各ロッドにはそれぞれ引張りスプリング３
９１．３９２．３９３．３９４を張り渡しである。富亥
スプリングは前記ピンを常時ロッドに接触させるように
円板３７を引っ張っている。

従って、カメラ装置３１を第３図中矢印Ｔ１方向に移動
させると、そのロッド３１１が円板上のピン３８１を押
し、このピンの回動によってスプリング３９２〜３９４
がロッド３２２．３３２．３４２を引っ張ってカメラ装
置３２．３３．３４をカメラ装置３１と同量だけＴ２、
Ｔ３、Ｔ４方向に動かす。

カメラ装置３１をＴ１と反対方向に戻すと、円板３７が
スプリング３９１に引かれて戻り回動し、これによって
、ピン３８２〜３８４がロッド３２２〜３４２を押すこ
とで、他のカメラ装置も同量だけ反対方向に連動する。

なお、前記ロッド３１１〜３４２は円板３７上のピンを
挟む二股形状としてもよい。また、カメラ装置３１〜３
４をそれぞれ案内レール３５で支持できるときは、カメ
ラ装置下面のスライダ３２１〜３４１、これを案内する
ロッド３００およびスライダが貫通するステージ長孔２
０２〜２０４を省略してもよい。さらに、モータ３６、
ネジ棒３６１１雌ねじ部３６２はステージ２ｏ上に配置
してもよい。

連動機構３０は以上のとおりである。

ステージ２０上の片隅にはハロゲンランプを含む光源部
４１．４２．４３．４４が設けてあり、これら光源部か
ら延びる光ファイバ５１．５２．５３．５４の先端部が
それぞれ対応するカメラ装置に付設されている。

以上説明した画像入力装置２によると、当初、各カメラ
装置が連動機構３０により初期位置に配置される。そし
て光源部４１〜４４のランプが全て点灯される。本例で
は、これらランプは、オン・オフの繰り返しによるラン
プの早期劣化、光量の変動を避けるため、検査期間生金
て点灯される。

検査台２１上に載置位置決めされた被検査ＩＣ１０の各
辺のうち、第１のカメラ３１に向かう辺のリードビンＰ
が、先ず、該カメラ装置で撮影される。この撮影にあた
っては光ファイバ５１によってリードピンが照明される
。

リードビン２群のうち、先ず一番端のピンＰ１を含む数
本乃至数十本がカメラ装置３１で一度に撮影される。こ
のとき検査台基部の縁ラインＬｌおよび側面Ｓｌの検査
用マークｎ１、ｎ２も同時に撮影される。

かくして得られた画像は、画像入力装置２に接続された
画像処理・計測装置６に入力され、また、装置６に接続
されたＣＲＴ７に表示される。このときＣＲＴ７の画面
は略第６図のとおりである。

この図から分かるように、とりあえずこの時点では検査
されないマークｎ２のあとの１または２以上のビンＰ３
等も同時に撮影されている。

入力された画像に基づく画像処理・計測装置６での必要
な処理が終わると、各カメラ装置は静止のまま、次に第
２のカメラ装置３２に対向する１０辺のリードピンＰが
該装置３２で撮影される。

このとき、検査台基部の縁ラインＬ２および側面Ｓ２の
マークｎ４が、該マークｎ４より片側にあるピンＰ５を
含むすべてのリードピンとともに撮影される。この撮影
にあたっては光ファイバ５２でリードピンが照明される
。

かくして得られた画像は画像処理・計測装置６に入力さ
れ、ＣＲＴ７にも表示される。

このときＣＲＴ７の画面は略第７図のとおりである。こ
の図から分かるように、とりあえずこの時点では検査さ
れないマークｎ４の反対側の１または２以上のビンＰ６
等も同時に撮影される。

このように入力された画像に基づく装置６での必要な処
理が終わると、各カメラ装置は静止のまま、次に第３の
カメラ装置３３により、光ファイバ５３の照明のもとに
、該カメラ装置に対向する１０辺のり−ドピンの一部が
、第１カメラ装置４１による撮影と同様に、検査台基部
縁ラインＬ３および側面Ｓ３のマークｎ１、ｎ２と共に
撮影され、画像処理・計測装置６に入力され、ＣＲＴ７
に表示される。

さらにその後、各カメラ装置静止のまま、第４のカメラ
装置３４により、光ファイバ５４の照明のもとに、該カ
メラ装置に対向する１０辺のり−ドピンの一部が、第２
カメラ装置による撮影と同様に、検査台基部縁ラインＬ
４および側面Ｓ４のマークｎ４と共に撮影され、装置６
に入力され、ＣＲＴ７に表示される。

なお、各カメラ装置によるリート”ピンの撮影にあたり
、撮影されるリードピンが載っている検査台のガイド突
起部以外のガイド突起部は、該リードピンの背後からの
光入射の一部を遮るので、それだけ撮影が容易、正確と
なる。

さて、かくして一連の撮影、画像入力が終了すると、前
記連動機構３０の操作のもとに、カメラ装置３１〜３４
が第２図中、矢印Ｔ１〜Ｔ４方向りこ一定量動かされる
。

そのあと、先ず、第１カメラ装置３１で、これに対向す
るＩＣ辺のリードピンの残部Ｐ３〜Ｐ４が縁辺ラインＬ
１、マークｎ２、ｎ３と共に撮影され、画像処理・計測
装置６に画像入力されるとともにＣＲＴ７に表示される
。このときＣＲＴ表示画面ば略第８図のとおりである。

続いて、第２カメラ装置３２により、これに対向するＩ
Ｃ辺のリードピンの残部が、縁辺ライン２、マークｎ４
と共に撮影され、その画像が装置６に入力されるととも
にＣＲＴ７に表示される。

このときＣＲＴ画面ば略第９図のとおりである。

さらに、第３のカメラ装置３３により、これに対向する
ＩＣ辺のリードピン残部、縁ラインＬ３、マークｎ２、
ｎ３が第１カメラ装置による撮影と同様に撮影され、そ
の画像が装置６に入力されるとともにＣＲＴ７に表示さ
れる。

続いて、第４のカメラ装置３４により、これに対向する
ＩＣ辺のリードピン残部、縁ラインＬ４、マークｎ４が
第２カメラ装置による撮影と同様に撮影され、その画像
が装置６に入力されるとともにＣＲＴ７に表示される。

以上により全てのリードピンの画像入力が終了するが、
その後は、連動機構３０により各カメラ装置を初期位置
に戻して次の検査に備える。

以上の画像入力操作中、被検査ＩＣｌ０は検査台２１上
に静止したままであるから、検査台を移動させる場合に
生じる加速、振動等によるＩＣ位置ずれは無く、それだ
けハラつきの無い、正確なリードピン撮影を行い、リー
ドピン検査の精度を上げることができる。

なお、前記画像入力装置２の照明装置４１〜４４を第１
３図に示すものに代えてもよい。第１３回の照明装置は
、電力節約、装置の簡素化をもたらすもので、一つの光
源部４０を採用している。

この光源部４０に前述の四本の光ファイバ５１〜５４の
全てが接続されている。光源部４０には、ハロゲンラン
プ４０１が設けられ、検査期間中常時点灯され、切換え
装置４ＯＡによって、リードピンの光照明に供される光
ファイバへ順次光が切換え導通される。切換え装置４０
Ａは、一つの仮想円上に等間隔で集められた光ファイバ
５１〜５４に対し孔あきシャッタ４０２を伝動部４０３
を介してモータ４０４で必要角度回せるもので、該シャ
ッタ４０２の孔４０２ａが順次光ファイバ端面に臨み、
光を導通させる。

さて、本例の場合、画像処理・計測装置６では装置２か
ら入力された画像を多値化状態で計測に用いる。勿論、
装置６は入力画像を二値化処理するものでもよい。

そして、本例では、各リードピンＰのピン端部ｄの浮き
を検査するため、画像処理・計測装置６において、各カ
メラ装置により一度に撮影される複数のり−ドピンＰに
対し、同時に撮影された検査用マークを基準にウィンド
ウ処理を行い、該ウィンドウ内の各ビン端部ｄにつき、
該ビン端部ｄとその下の検査台基部縁ラインＬ１、Ｌ２
、Ｌ３またはＬ４との距離を計測し、その値が予め定め
た闇値を超えると、不良と判断し、闇値内であると良品
と判断し、ハンドラー１へその旨指示する。

計測結果はプリンタ８にプリントアウトさせる。

例えば、第１カメラ装置３１にて入力される画像が第６
図に示すものであるときは、装置６内に予め記憶された
マークの形状を基にマークｎ１およびｎ２の位置を求め
、該マークを基準に、マーク０１側から始まる一番端の
ピンＰ１からマークｎ２の手前までのピンＰ２にウィン
ドウＷ１を掛け、該ウィンドウ内の各ビン端部ｄについ
て浮き検査する。

この場合、各ビン端部の位置および該端部おける測定基
準点（本例ではピン端部下面前縁）は、予め装置６内に
記憶されたビン端部ｄの四角形端面ｄｓ形状に基づいて
求められる。

また、第１カメラ装置３１にて入力される画像が第８図
に示すものであるときは、マークｎ２およびｎ３の位置
を求め、該マークを基準に、マークｎ２側から始まるピ
ンＰ３からマークｎ３の手前のピンＰ４までウィンドウ
Ｗ２を掛け、該ウィンドウ内の各ビン端部について浮き
検査する。

第３カメラ装置３３により入力される画像についても同
様に処理する。

また、第２カメラ装置３２にて入力される画像が第７図
に示すものであるときは、マークｎ４の位置を求め、該
マークを基準に、その片側にあるピンＰ５等にウィンド
ウＷ３を掛け、該ウィンドウ内の各ピン端部について浮
き検査する。

第２カメラ装置３２で入力される画像が第９図に示すも
のであるときは、マークｎ４の位置を求め、該マークを
基準に、その反対側にあるビンＰ６等にウィンドウＷ４
を掛け、該ウィンドウ内の各ピン端部について浮き検査
する。

第４カメラ装置３４により入力される画像についても同
様に処理する。

カメラ装置を移動させてリートビンを複数本ずつ撮影し
て検査を行う場合、確実に全てのリードピンについて検
査を行うために、カメラ装置が成る位置にあるとき撮影
されたり−ドピンの一部を、カメラ装置を次の位置に移
して第２の撮影を行う場合にもオーバラップ撮影する必
要があるが、このように撮影を行うと、第２撮影により
とらえられるリードピンのうち、どのビンまでが検査済
みであるのか不明となる。

しかし、本例のように、検査台２１に検査用マークを付
しておくことにより、該マークを基準とする一定の枠内
のり−ドピンにつき検査を行うことができるので、同じ
リードピンについての二度検査や検査漏れが発生するこ
とはない。

また、本例では、検査台２１の平坦な上面に直接リード
ビンを載置するので、検査台上面の縁ラインを測定ベー
ス縁ラインとすることができる。

そして該検査台上面２１１ａはＩＣを実装する基板面と
同様に考えることができる。

実際にＩＣパッケージを基板面上に配置した場合、該Ｉ
Ｃは最も下方へ突出した少なくとも３本のり−ドピンに
より支持され、他のビンが基板面から浮いた恰好となる
と考えられる。ＩＣパッケージを検査台上端平面に載置
すると、この実際に生じ得る状態と実質上同じ状態が現
れ、画像処理によるリードピン浮き検査を一層正確に行
うことができる。

ところで、測定基準に検査台の測定ベース縁ラインを採
用するとき、該縁ラインの凹凸が粗すぎると、それだけ
検査精度が低下する。

また、前記測定ベース縁ラインに対するリードビン端部
の浮きを測定するには、ベース縁ラインとピン端部の双
方を同時に光らせる必要があるが、そのだめの光源の位
置調整等が困難な場合がある。

この問題を解決するには、該ベース縁ライン上の２点を
選択して該画点を結ぶ仮想縁ラインを測定基準に採用す
ればよい。

すなわち、例えば、カメラ装置３１により撮影されるＣ
ＲＴ画面が第６図と同じ第１０図に示すものである場合
を代表例として説明すると、既述のように、先ず、ウィ
ンドウＷ１を設け、該ウィンドウ内のり−ドピンのうち
両端のビンＰ１、Ｐ２から順次内側のビンに向け、隣合
うピン端部ｄ、ｄ間の距離が予め定めた距離以上あるピ
ン端部間を探し、そのようなピン端部間ｑ１、ｑ２下の
検査台基部縁ラインＬｌ上の点Ｑｌ、Ｑ２を求め、該両
点を結ぶ仮想測定ベースライン！を測定基準として記憶
しておき、あとはピン端部をよく光らせ、各ピン端部ｄ
とこのラインｌとの距離からビン浮きを検査する。

このように処理することにより、浮き検査はより正確と
なる。このように仮想ベースラインを求めると、多値画
像を扱う場合は勿論のこと、入力画像を２値化処理する
場合にも都合か良い。

この処理を行う場合には、画像処理・計測装置６にその
ような処理機能を持たせておく。

以上説明したリードピン浮き検査はＪ形のり−ドビン浮
き検査にも適用できる。

前記画像入力装置２は、Ｉ　Ｃ’Ｊ−ドビンの曲がり検
査にも利用できる。これを次に説明する。

すなわち、既述のとおり、リードピンＰの突出部分すお
よびこれに続くテーパ部分Ｃは比較的ハラつき少なく精
度良く製作されるので、部分すおよびＣが連続する屈曲
部ｅ上の予め定めた位置およびビン端部ｄ上の予め定め
た位置をそれぞれ測定点とし、これら測定点をカメラ装
置３１．３２．３３または３４で撮影し、その画像を画
像処理・計測装置に入力し、画像処理・計測装置で両側
定点間の距離を求めることによりリードピンの曲がりを
検出するのである。

１例を挙げると、第１１図に示すように、リードピンＰ
の前記屈曲部ｅの中央点Ｒ１と、ピン端部端面ｄｓの上
縁中央点Ｒ２を測定点とし、これら測定点が写るように
、前記リードビン浮き検査時と同様に、ＩＣ各辺のリー
ドビンを複数本ずつ順次撮影してその画像を画像処理・
計測装置６に入力し、該装置６において、各リードビン
につき順次、前記両点間距離を計測し、該計測値が予め
定めた闇値を超えるときは不良ＩＣとし、該閾値内のと
きは良品ＩＣとする。この良、不良はハンドラー１に知
らせる。

また、カメラ装置による撮影画像はＣＲＴ７に表示し、
計算結果はプリンタ８でプリントアウトする。

この検査の場合、各カメラ装置は、前記両側定点を同時
に撮影できるように、焦点深度の深いものを採用する。

また、勿論、画像処理・計測装置６には、前記処理を行
える機能を与えておく。

従来のリードピン曲がり検査では、第１１図に示すリー
ドビンの突出部分す上の例えば測定点ｂｌとビン端部ｄ
上の測定点ｄｉのそれぞれを上方から撮影する２台のカ
メラ装置を必要としていたところ、１台のカメラ装置で
足りるので、画像入力装置がそれだけ小形化、簡素化さ
れ、安価に提供できる。

勿論、リードピン曲がり検査に供するために、従来のよ
うに２台−組のカメラ装置を前記画像入力装置２のカメ
ラ装置３１〜３４のそれぞれに代えることもできる。

このほか、曲がり検査のためにＩＣＣリードビン上の二
つの測定点を同時に撮影する方法として、第１２図に示
すように、点ｂｌとｄｉを結ぶ線ｒ上の中央ｇにおいて
線ｆに立てた垂線り上に、焦点深度の深い１台のカメラ
装置ＣＡを配置し、このカメラ装置で点ｂ１、ｄｌを同
時に撮影することが考えられる。リードピン曲がり検査
に供するために、前記画像入力装置２におけるカメラ装
置３１〜３４のそれぞれを、このような傾斜配置のカメ
ラ装置ＣＡに代えることも考えられる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明画像入力装置によると、被検
査フラットパッケージ型ＩＣを移動させずに所定検査位
置に静止配置したまま該ＩＣの被検査リードピンを撮影
でき、それによってＩＣを移動させる場合に比べて正確
なリードピン外観検査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はＩＣハンドラー、本発明の一実施例である画像
入力装置、画像処理・計測装置、表示装置および記録装
置の全体の側面図、第２図は画像入力装置の平面図、第
３図は検査台の斜視図、第４図はフラットパッケージ型
ＩＣの平面図、第５図は同ＩＣの側面図、第６図から第
９図はそれぞれカメラ装置のＩＣパッケージ撮影による
表示装置（ＣＲＴ）画面の例を示す図、第１０図は仮想
測定ベースラインの決め方を示す図、第１１図はリード
ピン曲がり検査説明図、第１２図はリードピン曲がり検
査の他の例の説明図、第１３図は照明装置の他の例の概
略斜視図である。ｌ・・・ＩＣハンドラー２・・・画像入力装置２１・・・検査台２１１・・・検査台基部２１１ａ・・・基部上面２１２〜２１５・・・ガイド突起部Ｆ・・・ガイド突起部テーパ外面Ｓ１〜Ｓ４・・・基部側面Ｌ１〜Ｌ４・・・測定ベース縁ラインｎ１〜ｎ４・・・検査用マーク２０・・・検査ステージ２０１〜２０４・・・ステージ長孔３１〜３４・・・カメラ装置４１〜４４・・・光源部５１〜５４・・・光ファイバ３０・・・連動機構３２１．３３Ｌ３４１・・・スライダ３２２．３３２．３４２・・・ロッド３８１〜３８４・・・ピン３９１〜３９４・・・スプリング３７・・・円板３５・・・案内レール３６・・・モータ３６１・・・ネジ棒３６２・・・雌ネジ部３００・・・案内ロッドロ・・・画像処理・計測装置７・・・ＣＲＴ８・・・プリンタＷ１〜Ｗ４・・・ウィンドウｑｌ、ｑ２・・・ピン端部間隙Ｑｌ、Ｑ２・・・測定ベース縁ライン上の点！・・・仮
想測定ベースライン１０・・・ＩＣパッケージＰ・・・リードピンＰ１〜Ｐ６・・・リードピンＭ・・・合成樹脂成形体ａ・・・ＩＣパッケージ本体ｂ・・・突出部分Ｃ・・・テーバ部分ｃｓ・・・テーバ部分内面ｄ・・・ピン端部ｄｓ・・・ピン端部端面ｅ・・・屈曲部Ｒ１、Ｒ２・・・リードピン曲がり測定点ＣＡ・・・カ
メラ装置ｂｌ・・・突出部分す上の測定点ｄｉ・・・ピン端部ｄ上の測定点ｆ・・・ｂｌ、ｄｌを結ふ線ｇ・・・ｂｌ、６１間の中点ｈ・・・線ｆの垂線４０・・・照明装置４０Ａ・・・切換え装置４０１・・・光源４０２・・・シャッタ４０２ａ・・・孔４０３・・・伝動部４０４・・・モータ出願人　株式会社エム・アイ・テクノロジーｆ・・・ｂ
ｌ、ｄｌを結ぶ線（、）　　　≧ト脈　　　　　　　　味転　　　　　　　　味

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被検査フラットパッケージ型ＩＣを載置する固定
検査台、前記検査台上の前記ＩＣの１または２以上の辺
のそれぞれにおけるリードピンを撮影するための前記検
査台の周囲に配置した複数のカメラ装置、前記複数のカ
メラ装置を、それぞれが対向する前記検査台上のＩＣの
リードピン配列と平行または略平行に移動するように連
動させる機構、および前記検査台上のＩＣのリードピン
を照明する装置を備えたことを特徴とするフラットパッ
ケージ型ＩＣリードピンの画像入力装置。
（２）前記照明装置が、前記各カメラ装置についてそれ
ぞれ設けられたリードピン照明用光ファイバおよび該各
光ファイバにそれぞれ接続された光源部を備えている請
求項１記載の画像入力装置。
（３）前記照明装置が、前記各カメラ装置についてそれ
ぞれ設けられたリードピン照明用光ファイバおよび前記
各光ファイバが接続された一つの光源部を備え、前記光
源部は光照明に供される光ファイバへ順次光を切換え導
通させる手段を備えている請求項１記載の画像入力装置
。