JPH04155205A - 三次元計測装置 - Google Patents

三次元計測装置

Info

Publication number
JPH04155205A
JPH04155205A JP27766090A JP27766090A JPH04155205A JP H04155205 A JPH04155205 A JP H04155205A JP 27766090 A JP27766090 A JP 27766090A JP 27766090 A JP27766090 A JP 27766090A JP H04155205 A JPH04155205 A JP H04155205A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slit light
slit
image
address
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP27766090A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2864163B2 (ja
Inventor
Tsugihito Maruyama
次人 丸山
Shinji Kanda
真司 神田
Jun Wakitani
脇谷 潤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP27766090A priority Critical patent/JP2864163B2/ja
Priority to CA002044820A priority patent/CA2044820C/en
Priority to EP99122065A priority patent/EP0985903B1/en
Priority to EP95103248A priority patent/EP0660079B1/en
Priority to EP19910110071 priority patent/EP0462595A3/en
Priority to DE69132853T priority patent/DE69132853T2/de
Priority to DE69133108T priority patent/DE69133108T2/de
Publication of JPH04155205A publication Critical patent/JPH04155205A/ja
Priority to US08/113,745 priority patent/US5307153A/en
Priority to US08/285,441 priority patent/US5509090A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2864163B2 publication Critical patent/JP2864163B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [概要〕 マルチスリット光を投影して三次元計測を行う三次元計
測装置に関し、 被測定物の三次元計測の高速化を図ることを目的とし、 コード化マルチスリット光パターンを被測定物に投影す
るマルチスリット投光器と、前記被測定物に投影された
前記コード化マルチスリット光パターンを撮像する撮像
部と、該撮像部からの画像信号を2値化する2値化回路
と、該2値化回路からの2値画像信号を、前記コード化
マルチスリフト光パターン対応に蓄積する複数の画像メ
モリと、該複数の画像メモリのアドレス信号を発生する
アドレス発生回路と、該アドレス発生回路からのアドレ
ス信号と、該アドレス信号により前記複数の画像メモリ
から同時に読出した前記2値画像信号のビット構成によ
るスリット光番号とを基に前記被測定物の輪郭点の三次
元位置を求める距離計算部とを備えて構成した。
(産業上の利用分野〕 本発明は、マルチスリット光を投影して三次元計測を行
う三次元計測装置に関するものである。
ロボット等の形状認識により自動的に動作する自動装置
や、設計や構造解析等、の為の形状入力装置等に於いて
、マルチスリット光を被測定物に投影し、テレビカメラ
等の撮像装置により撮像し、投影されたマルチスリット
光の中の基準スリット光を定めて、観測点から被測定物
の輪郭点までの距離を算出する三次元計測装置が知られ
ている。
このような三次元計測装置に於ける計測の高速化が要望
されている。
〔従来の技術] 従来例の三次元計測装置は、被測定物にスリット光を投
影し、それを撮像した二次元面に於けるスリット光の座
標により、観測点からの距離を計測するもので、スリッ
ト光を順次走査する必要があるから、計測時間が長くな
る欠点があった。
このような欠点を改善する為に、コード化マルチスリッ
ト光を被測定物に投影して、三次元計測を行う装置が提
案されている。その三次元計測装置に於けるマルチスリ
ット投光器は、例えば、第6図に示す構成を有するもの
であり、半導体レーザ51からの単一波長のレーザ光が
コリメ、−トレンズ52により平行光に変換されて、第
1の回折格子54に入射され、y軸方向にスポット光が
1列に配列された出力光58となり、第2の回折格子5
5に入射される。この第2の回折格子55は、第1の回
折格子54と回折方向が直交するように構成されている
から、スポット光は複数列に配列された出力光59とな
り、シリンドリカルレンズ53に入射される。前述の第
1及び第2の回折格子54.55は、例えば、20−7
0μm程度の直径の光ファイバを平板状に配列して構成
することができる。
又シリンドリカルレンズ53は、X軸方向に延長されて
いるので、出力光60はy軸方向にスポット光が連続し
たマルチスリット光となる。この場合、シリンドリカル
レンズ53がy軸方向に延長されていると、出力光60
はX軸方向に連続したマルチスリット光となる。この出
力光60はシャ、タアレイ57に入射され、選択された
ンヤノタの開閉制御により、コード化マルチスリット光
パターン56となる。ンヤノタアレイ57は、例えば、
偏光を利用した液晶ノ47タや電気光学効果素子等を利
用したシャノタ二ニより構成することができる。
コード化マルチスリット光パターンは、2′本のマルチ
スリット光に対してn種類のパターンとすることにより
、総てのスリット光に番号付けを行うことができる。そ
の場合、n種類のコード化マルチスリット光パターンを
切替えて投影する毎に、テレビカメラ等の撮像装置によ
り被測定物を撮像し、1画素複数ビット構成の1画面分
の画像信号を画像メモリに蓄積し、n個の画像メモリに
それぞれ蓄積された画像信号を読出して、画像信号間の
演算処理によりスリット光の番号付けをスリット光単位
で行うものであった。
[発明が解決しようとする課題〕 前述のように、コード化マルチスリット光パターンを被
測定物に投影して撮像した画像信号を、例えば、1画素
8ビツト構成のディジタル信号に変換して画像メモリに
蓄積し、コード化マルチスリット光パターンを切替える
毎に異なる画像メモリに画像信号を蓄積するものである
から、多数のスリット光を用いる場合にパターン数が多
くなり、それに伴って画像メモリ数を多く必要とするか
ら、高価な装置となる欠点があった。又各画像メモリに
蓄積された画像信号を基に、スリット光単位で照合処理
等を順次行い、それによりスリ・ノド光に番号付けを行
うものであるから、処理時間が長くなる欠点があった。
本発明は、被測定物の三次元計測の高速化を図ることを
目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の三次元計測装置は、並列処理により高速化を図
るものであり、第1図を参照して説明する。
コード化マルチスリット光パターンを被測定物に投影す
るマルチスリット投光器1と、被測定物に投影されたコ
ード化マルチスリット光パターンを撮像するテレビカメ
ラ等からなる撮像部2と、この撮像部2からの画像信号
を2値化する2値化回路3と、この2値化回路3からの
2値画像信号を、コード化マルチスリット光パターン対
応に蓄積する複数の画像メモリ4−1〜4−nと、これ
らの画像メモリ4−1〜4−nのアドレス信号を発生す
るアドレス発生回路5と、このアドレス発生回路5から
のアドレス信号と、このアドレス信号により複数の画像
メモリ4−1〜4−nから同時に読出した2値画像信号
のビット構成によるスリット光番号とを基に、被測定物
の輪郭点の三次元位置を求める距離計算部6とを備えて
構成したものである。
又複数の画像メモリ4−1〜4−nから同時に読出した
2値画像信号のビット構成の中のオール′“0パを除く
ビット構成によるスリット光番号を形成し、このスリッ
ト光番号についてのみ、アドレス発生回路5からのアド
レス信号を距離計算部6に加える判定制御回路を設けた
ものである。
又コード化マルチスリット光パターンを被測定物に投影
するマルチスリット投光器1と、被測定物に投影された
コード化マルチスリット光パターンを撮像する複数のフ
ォトダイオード等の受光素子からなる撮像部2と、この
撮像部2の受光素子の出力信号をそれぞれ2値化する受
光素子対応の2値化回路と、この受光素子対応の2値化
回路の出力信号を、コート化マルチスリット光パターン
の切替え毎にシフトして蓄積するシリアルイン・パラレ
ルアウトの受光素子対応のシフトレジスタと、この受光
素子対応のシフトレジスタを指定するアドレス信号を発
生するアドレス発生回路と、このアドレス発生回路から
のアドレス信号と、このアドレス信号により指定された
受光素子対応のシフトレジスタから並列に読出されたビ
ット構成によるスリット光番号とを基に、被測定物の輪
郭点の三次元位置を求める距離計算部とを備えて構成し
た。
[作用] 第1項の発明に於いては、マルチスリット投光器1から
被測定物にコード化マルチスリット光パターンを投影し
、撮像部2により被測定物を撮像して得られた画像信号
を2値化回路3により2値化し、コード化マルチスリッ
ト光パターン対応の画像メモリ4−1〜4−nに蓄積す
る。即ち、n種lのコード化マルチスリット光パターン
を順次投影して得られた2値画像信号が、n個の画像メ
モリ4−1〜4−nに蓄積されることになる。
そして、アドレス発生回路5からのアドレス信号に従も
てn個の画像メモリ4−1〜4−nから同時に2値画像
信号を読出す。従って、nビノトの信号が得られるから
、それぞれ2°〜2 +1−1の重みを与えてデコード
することにより、スリット光番号が得られる。このスリ
ット光番号とアドレス信号とを基に距離計算部6に於い
て観測点から被測定物までの距離を算出し、被測定物の
三次元位置を求めることができる。
第2項の発明に於いては、コード化マルチスリット光パ
ターンのスリット光間の2値画像信号は“0”となり、
画像メモリ4−1〜4−nから同時に読出した2値画像
信号がオール゛′O”′の場合のアドレス信号は、距離
計算に利用できないので、これを判定制御回路に於いて
判定し、距離計算部6に無駄なアドレス信号が入力され
ないように制御するものである。
第3項の発明に於いては、撮像部2を複数の二次元配列
の受光素子により構成し、受光素子対応に比較器等によ
る2値化回路を設け、2値化された信号をシフトレジス
タに入力し、コード化マルチスリット光パターンを切替
える毎にシフトする。
従って、各シフトレジスタには、1画素単位でコード化
マルチスリット光パターン毎の2値画像信号が蓄積され
る。アドレス発生回路は、1画素単位のシフトレジスタ
を指定するアドレス信号を発生することになり、そのア
ドレス信号により指定されたシフトレジスタから並列に
読出した複数ビットをデコードすることによってスリッ
ト光番号が求められる。このスリット光番号とアドレス
信号とを基に距離計算部6に於いて被測定物の三次元位
置を求めることができる。
(実施例〕 以下図面を参照して本発明の実施例について詳細に説明
する。
第2図は本発明の一実施例のブロック図であり、10は
被測定物、11はマルチスリット投光器、12は撮像部
を構成するテレビカメラ、13は2値化回路、14−1
〜14−3はコード化マルチスリット光パターン対応の
画像メモリ、15はアドレス発生回路、16は距離計算
部、17は有効データを格納するテーブル、18は判定
制御回路、19は投光制御部である。
二の実施例は、マルチスリット投光器11から被測定物
10に、3種類のコード化マルチスリット光パターンを
切替えて投影する場合を示し、コード化マルチスリット
光パターンの種類に対応して3個の画像メモリ14−1
〜】4−3が設けられている。又コード化マルチスリッ
ト光パターンが投影された被測定物10をテレビカメラ
12により撮像して得られた画像信号は2値化回路13
により2値化され、その2値画像信号Cは画像メモリ1
4−1〜14−3に加えられる。
3個の画像メモリ14−1〜14−3には、投光制御部
19からのコード化マルチスリット光パターンの切替信
号aと、アドレス発生回路15からのアドレス信号すと
が加えられ、切替信号aにより第1のコード化マルチス
リット光パターンを投iした時に画像メモIJ 14−
1が指定され、第2のコード化マルチスリット光パター
ンを投影した時に画像メモリ14−2が指定され、第3
のコード化マルチスリット光パターンを投影した時に画
像メモリエ4−3が指定されて、それぞれアドレス信号
すにより指定されたアドレスに画素対応の2値画像信号
が書込まれる。
コード化マルチスリット光パターンが切替えられて投影
され、画像メモリ14−1〜14−3S二2値画像信号
Cが書込まれると、アドレス発生口815からのアドレ
ス信号すにより同時ムニ読出しが行われる。その続出信
号di、d2.d3は判定制御回路18!:加えられる
。この場合、例えば、dlX2°+d2X2’ +’d
3x22とし、その3ビツトをデコードすることにより
、アドレス信号すによる座標χ、yに於けるスリット光
番号りが得られる。
第3図はコード化マルチスリット光パターンの説明図で
あり、前述のように、3種類のコード化マルチスリット
光パターンA、B、cを切替えて投影した時、実線をス
リット光有り、点線をスリット光無しとじ、コード化マ
ルチスリ、ト光パターンAを投影した時の2(Ii!画
像信号を画像メモリ14−1に蓄積し、コート化マルチ
スリ、ト光パターンBを投影した時の2値画像信号を画
像メモリ14−2に蓄積し、コード化マルチスリットパ
ターンCを投影した時の2値画像信号を画像モリ14−
3に蓄積したとすると、3個の画像モリ14−1−14
−3の同一アドレスから同□に続出した時、di、d2
.d3=1.0.0場合は、前述のように、1×2°”
OX2’+X22=1となるから、スリット光番号は「
1となる。又di、d2.d3=0.1.Oの場・は、
0×2°+1x2’ +OX2” =2となる;ら、ス
リット光番号は「2」となる。以下同様1して、3ビツ
ト構成の読出信号d1〜d3のデートにより「0」〜「
7」のスリット光番号を二めることができる。
又コード化マルチスリット光パターンを、例jば、6種
類とすると、2”=64本のスリットに対して、r□コ
〜「63」の番号付けを行う、とができる。
判定制御回路18に於いて、前述のように、劉像メモリ
14〜1〜14−3から同時に読出しフ信号d1〜d3
の3ビツトにより、スリ・ノド光4光  号りを求める
ことができるものであり、そのスリン   シト光番号
りと、その時のアドレス信号b= (x。
メ   y)とを対応させてテーブル17に書込み、そ
れ時  を読出して距離計算部16に加えるものである
の  又判定制御回路18は、スリ・シト光番号が得ら
れ0   るアドレス信号すのみを、書込信号eにより
チー」   プル17に書込むもので、テーブル17の
有効利き  用を図るものである。即ち、スリット光と
スリンか   ト光との間の画素対応の2値画像信号は
、コードこ   化マルチスリット光パターンを切替え
た場合でも、コ   スリ・メト光が照射されないもの
であるから、オーRル′″O゛となり、このオール“0
”を判定した時は、その時のアドレス信号すをテーブル
17に書し   込まないようにするものである。
屹   第4図は距離計測説明図であり、テレビカメラ
二   12のレンズ中心を原点とする座標系を0−X
YZ、マルチスリット投光511の光源中心を原点附 
  とする光源座標系を0−χyzとすると、両者の関
係は、 隷 ・・・(1) で表される。ここで、t+J(i=1〜3.j=1〜4
)は、マルチスリット投光器11とテレビカメラ12と
の配置関係により定まる係数であり、これらは計算によ
り求めることができる。
マルチスリット投光器11からのスリット光は、光源か
らy軸回りに広がるm本からなる場合を示し、各スリッ
ト光面をπk  (k=1〜m)とすると、3番目のス
リット光π、に着目した時、その投影によって被測定物
10上に投影像Pが形成され、テレビカメラ12のイメ
ージ面π1上に、その投影像1が結像される。なお、簡
略化の為に1本のスリット光21が照射された場合を示
している。
又、その時の投影像P上の点P、[Xk、Yk。
Z、)の三次元位置は、三角測量の原理に基いてレンズ
中心Oとイメージ面π、上の点1m(Xm。
yk)を結んだ視線0−■、とスリット光面π。
との交点として求めることができる。
Z、=uf   ’ u = h / g              ・・
・(3)g−(tzXk”’L+zyk+t+3f)C
O5θJ(L:++Xw  +  t:+z yh  
j−、L*xf  )   sinθ、・・・(4) h =L sa S!nθ、 −t +a cos f
l J   −(5)ここで、(χア、y、)は、イメ
ージ面π1上のP、の位置を示し、θ、はスリット光面
π4の投影角を示し、fは焦点距離を示す。
イメージ面π4上のIkの位置(xh、yk)は、画像
メモリ14−1〜14−3のアドレスに対応し、投影角
θ、は、スリ7)先番号jから求めることができる。従
って、距離計算部16に於いては、テーブル17から読
出されたアドレス信号b=(x、y)と、スリット光番
号りとにより、被測定物lOの輪郭点の三次元位置x、
 y、  zを求めることができる。
前述のように、画像メモリ14−1−1’4−3からア
ドレス信号すに従って読出された信号dl〜d3の3ビ
ツト構成により、スリット光番号りを求めることができ
るから、コード化マルチスリット光パターンを所定種類
だけ順次切替えて投影した後は、直像信号としての演算
等を必要とすることなく、距離計算に必要なアドレス信
号すとスリット光番号りとを得ることができる。従って
、三次元計測を高速化できる。又画像メモリ14−1〜
14−3は、コード化マルチスリット光パターン対応の
個数を必要とする−ことになるが、2値画像信号を蓄積
するものであるから、全体の容量は特に多くなることは
なく、距離計算に必要なスリット光番号を求める処理が
高速化される利点が大きいものである。
又テーブル17及び判定制御回路18を省略して、画像
メモリ14−1〜14−3から同時に読出した信号dl
−d3と、アドレス信号すとを距離計算部16に加え、
この距離計算部16に於いてスリット光番号りを求める
ことにより、被測定物10の輪郭点の三次元位置x、y
、zを求める距離計算を行わせることもできる。
第5図は本発明の他の実施例のブロック図であり、31
−1〜31−mは二次元配列のフォトダイオード等の受
光素子、32−1〜32−mは受光素子対応の2値化回
路、33−1〜33−mは受光素子対応のシリアルイン
・パラレルアウトのシフトレジスタ、34はアドレス発
生回路、35はハス、36は距離計算部である。
図示を省略した被測定物にコード化マルチスリット光パ
ターンを投影し、その投影像を受光素子31−1〜31
−mからなる撮像部で撮像し、各受光素子31−1〜3
1−mの出力信号を、2値化回路32−1〜32−mに
加える。この2値化回路32−1〜32−mは、基1!
電圧rと比較する比較器により構成することができる。
この2値化回路32−1〜32−mからの2値画像信号
は、シフトレジスタ33−1〜33−mに加えられ、シ
フト信号Sによってシフトされる。
このシフト信号Sは、コード化マルチスリット光パター
ンを切替えた時に加えられるものであり、前述のように
、3種類のコード化マルチスリ、ト光パターンを用いる
場合、各シフトレジスタ33−1〜33−mは3段構成
で良いことになる。即ち、全シフトレジスタ33−1〜
33−mにより、3画面分の2値画像信号を蓄積できる
又アドレス発生回路34からアドレス信号χ。
yが各ソフトレジスタ33−1〜33−mと距離計算部
36とに加えられ、コード化マルチスリット光パターン
の投影が終了すると、アドレス発生回路34からのアド
レス信号x、yによりソフトレジスタ33−1〜33−
mの一つが指定され、並列に続出された信号は、バス3
5を介して距離計算部36に加えられる。
前述のように、3種類のコード化マルチスリ。
ト光パターンを用いる場合は、アドレス信号X。
yにより指定されたシフトレジスタから並列に3ビツト
続出されるので、前述の実施例のd1〜d3の3ビツト
と同様にスリット光番号りを求めることができる。即ち
、アドレス信号χ、yとスリット光番号りとにより被測
定物の輪郭点の三次元位置x、y、zを求めることがで
きる。
二次元配列の受光素子31−1〜31−mの集積回路化
は容易であり、更に2値化回路32−1〜32−mを含
めて集積回路化も可能である。又シフトレジスタ33−
1〜33−mを含めて集積回路化することにより、受光
素子31−1〜31−mの個数を増加して解像度を向上
させることが容易となる。
〔発明の効果: 以上説明したように、本発明は、コード化マルチスリッ
ト光パターンを被測定物乙二投影し、撮像部2により撮
像して2値化5、コード化マルチスリ、ト光パターン対
応の画像メモリ4−1〜4−nに蓄積し、アドレス信号
C二従って同時C二続出した複数ビット構成の続出信号
のデコートニニよりスリット光番号を直ちに得ることが
できるから、そのスリット先番号とその時のアドレス信
号とを用いて距離計算を行うことができる。即ち、画像
メモリの容量を特別に増大することなく、三次元計測の
高速化を図ることができる。
又撮像部2を二次元配列の受光素子31−工〜31−m
により構成し、受光素子対応に2値化回路32−1〜3
2−m及びシフトレジスタ33−1〜33−mを設けて
、コード化マルチスリット光パターンを切替えて被測定
物に投影し、その2値画像信号をシフトレジスタに蓄積
し、アドレス信号により指定されたシフトレジスタから
並列に読出すことにより、スリット光番号を求めること
ができるから、三次元計測の高速化を図ることができる
と共に、受光素子と2値化回路とを含めて、更にはシフ
トレジスタを含めて集積回路化も可能) となるから、
小型且つ経済的な計測装置を提供できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1回は本発明の原理説明図、第2図は本発明の一実施
例のブロック図、第3回はコード化マルチスリット光パ
ターンの説明図、第4図は距離計測説明図、第5図は本
発明の他の実施例のブロック図、第6図はマルチスリッ
ト投光器の説明図である。 工はマルチスリット投光器、2は撮像部、3は2値化回
路、4−1〜4−nは画像メモリ、5はアドレス発生回
路、6は距離計算部である。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)、コード化マルチスリット光パターンを被測定物
    に投影するマルチスリット投光器(1)と、前記被測定
    物に投影された前記コード化マルチスリット光パターン
    を撮像する撮像部(2)と、該撮像部(2)からの画像
    信号を2値化する2値化回路(3)と、 該2値化回路(3)からの2値画像信号を、前記コード
    化マルチスリット光パターン対応に蓄積する複数の画像
    メモリ(4−1〜4−n)と、該複数の画像メモリ(4
    −1〜4−n)のアドレス信号を発生するアドレス発生
    回路(5)と、該アドレス発生回路(5)からのアドレ
    ス信号と、該アドレス信号により前記複数の画像メモリ
    (4−1〜4−n)から同時に読出した前記2値画像信
    号のビット構成によるスリット光番号とを基に前記被測
    定物の輪郭点の三次元位置を求める距離計算部(6)と を備えたことを特徴とする三次元計測装置。
  2. (2)、前記複数の画像メモリ(4−1〜4−n)から
    同時に読出した前記2値画像信号のビット構成のオール
    “0”を除くビット構成によるスリット光番号を形成し
    、且つ該スリット光番号についてのみ前記アドレス発生
    回路(5)からのアドレス信号を前記距離計算部(6)
    に加える判定制御回路を設けたことを特徴とする請求項
    1記載の三次元計測装置。
  3. (3)、コード化マルチスリット光パターンを被測定物
    に投影するマルチスリット投光器(1)と、前記被測定
    物に投影された前記コード化マルチスリット光パターン
    を撮像する複数の受光素子からなる撮像部(2)と、 該撮像部(2)の前記受光素子の出力信号をそれぞれ2
    値化する該受光素子対応の2値化回路と、該受光素子対
    応の2値化回路の出力信号を前記コード化マルチスリッ
    ト光パターンの切替え毎にシフトして蓄積するシリアル
    イン・パラレルアウトの前記受光素子対応のシフトレジ
    スタと、該受光素子対応のシフトレジスタを指定するア
    ドレス信号を発生するアドレス発生回路と、該アドレス
    発生回路からのアドレス信号と、該アドレス信号により
    指定された前記受光素子対応のシフトレジスタから並列
    に読出されたビット構成によるスリット光番号とを基に
    、前記被測定物の輪郭点の三次元位置を求める距離計算
    部とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
JP27766090A 1990-06-19 1990-10-18 三次元計測装置 Expired - Lifetime JP2864163B2 (ja)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27766090A JP2864163B2 (ja) 1990-10-18 1990-10-18 三次元計測装置
CA002044820A CA2044820C (en) 1990-06-19 1991-06-17 Three-dimensional measuring apparatus
EP95103248A EP0660079B1 (en) 1990-06-19 1991-06-19 Three-dimensional measuring apparatus
EP19910110071 EP0462595A3 (en) 1990-06-19 1991-06-19 Three-dimensional measuring apparatus
EP99122065A EP0985903B1 (en) 1990-06-19 1991-06-19 Three-dimensional measuring apparatus
DE69132853T DE69132853T2 (de) 1990-06-19 1991-06-19 Dreidimensionales Messinstrument
DE69133108T DE69133108T2 (de) 1990-06-19 1991-06-19 Apparat zur dreidimensionalen Messung
US08/113,745 US5307153A (en) 1990-06-19 1993-08-31 Three-dimensional measuring apparatus
US08/285,441 US5509090A (en) 1990-06-19 1994-08-04 Three-dimensional measuring apparatus having improved speed and resolution

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27766090A JP2864163B2 (ja) 1990-10-18 1990-10-18 三次元計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04155205A true JPH04155205A (ja) 1992-05-28
JP2864163B2 JP2864163B2 (ja) 1999-03-03

Family

ID=17586527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27766090A Expired - Lifetime JP2864163B2 (ja) 1990-06-19 1990-10-18 三次元計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2864163B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2864163B2 (ja) 1999-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2976878B1 (en) Method and apparatus for superpixel modulation
CN100518488C (zh) 具有元件布局检查功能的抓取式设备
US4685145A (en) Conversion of an image represented by a field of pixels in a gray scale to a field of pixels in binary scale
JPS6364114B2 (ja)
JPH09214691A (ja) 相対運動をトラッキングする方法および装置
JP2010526992A (ja) 単一レンズ、単一絞り開口、単一センサー3d撮像装置
CN103581625A (zh) 一种分时并行图像采集装置及其标定方法
JP5310483B2 (ja) 撮像装置
JPS62228106A (ja) 形状計測方法及び装置
JP2005530410A (ja) センサの回転により画像の解像度を高めるシステム
JPH10170239A (ja) 3次元形状計測装置
JPH09145318A (ja) 三次元計測装置
JPH04155205A (ja) 三次元計測装置
CN100518487C (zh) 一种获取抓取式设备中多个图像的方法
JPS6142807B2 (ja)
JPH0820232B2 (ja) 三次元計測装置
US4384770A (en) Focus detecting device
CN209267691U (zh) 图像处理装置
JP2001004367A (ja) 測距演算装置
CN109274906A (zh) 图像处理装置
JPH05322539A (ja) 読出し装置および距離測定装置
US20230118504A1 (en) Smart Sensor with Region of Interest Capabilities
JP2731681B2 (ja) 三次元計測システム
JP3583012B2 (ja) フィルム傷検出装置
RU2583349C2 (ru) Звездный датчик с увеличенной частотой обновления информации об ориентации