JPH04152209A - 防爆型光学式エンコーダ - Google Patents
防爆型光学式エンコーダInfo
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- JPH04152209A JPH04152209A JP27539490A JP27539490A JPH04152209A JP H04152209 A JPH04152209 A JP H04152209A JP 27539490 A JP27539490 A JP 27539490A JP 27539490 A JP27539490 A JP 27539490A JP H04152209 A JPH04152209 A JP H04152209A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 8
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 36
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、回転軸の回転角を検出する防爆型光学式エン
コーダに関する。
コーダに関する。
〈従来の技術〉
工作機械、産業ロボット等の産業用機器の多くは回転軸
を有しており、これらの機器を制御するには、回転軸の
回転角を検出する必要がある。
を有しており、これらの機器を制御するには、回転軸の
回転角を検出する必要がある。
一般に、回転軸の回転角を検出するには、エンコーダと
呼ばれる角度検出器を使用している。
呼ばれる角度検出器を使用している。
従来技術によるエンコーダには、スリット式、抵抗式等
がある。
がある。
第3図にスリット式エンコーダの一例を示す。
同図に示すようにスリット式エンコーダでは、回転軸4
に円盤状スリット板3が固定され、このスリット板3に
図に示すような2進数符号を表す円弧状のスリットが貫
通しいてる。この円周状のスリットは半径方向に4周形
成されており、各スリットの半径に対応する位置に発光
素子1と受光素子2とが正対して4組設置されている。
に円盤状スリット板3が固定され、このスリット板3に
図に示すような2進数符号を表す円弧状のスリットが貫
通しいてる。この円周状のスリットは半径方向に4周形
成されており、各スリットの半径に対応する位置に発光
素子1と受光素子2とが正対して4組設置されている。
この為、発光素子1から出射された光がスリット板3の
スリットを通過すると受光素子2に達するが、スリット
のない部分では、光はスリット板3に選られて受光素子
2に達しない。
スリットを通過すると受光素子2に達するが、スリット
のない部分では、光はスリット板3に選られて受光素子
2に達しない。
従って、従来のスリット式エンコーダでは、回転軸4と
共にスリット板3が回転すると、発光素子1と受光素子
2との間にあるスリット板3のスリット位置が変わり、
この為、スリットを通過して受光素子2に達する光が2
進数符号状に変化し、受光素子2の出力がそのまま回転
軸4の回転角θとして得られる。
共にスリット板3が回転すると、発光素子1と受光素子
2との間にあるスリット板3のスリット位置が変わり、
この為、スリットを通過して受光素子2に達する光が2
進数符号状に変化し、受光素子2の出力がそのまま回転
軸4の回転角θとして得られる。
この時の角度分解能は、スリットが半径方向に何周形成
されているかで決まり、図では4周であるので、2’=
16となる。即ち、角度分解能は、360度を16分割
した値である。
されているかで決まり、図では4周であるので、2’=
16となる。即ち、角度分解能は、360度を16分割
した値である。
第4図に抵抗式エンコーダの一例を示す。抵抗式エンコ
ーダは、回転軸4の周囲に抵抗体6を円弧状に配置し、
回転軸4に摺動子5を半径方向に突設して、その先端を
抵抗体6に接触させたものである。抵抗体6の両端には
、それぞれ第一、第二の端子7,8が接続され、また、
摺動子5には第三の端子9が接続されている。
ーダは、回転軸4の周囲に抵抗体6を円弧状に配置し、
回転軸4に摺動子5を半径方向に突設して、その先端を
抵抗体6に接触させたものである。抵抗体6の両端には
、それぞれ第一、第二の端子7,8が接続され、また、
摺動子5には第三の端子9が接続されている。
従って、従来の抵抗式エンコーダでは、回転軸4と共に
接触子5が回転すると、抵抗体6上での摺動子5の節点
が変わり、抵抗体6の全抵抗に対して、第一の端子7又
は第二の端子8と第三の端子9の内での抵抗が直線的に
変化する。
接触子5が回転すると、抵抗体6上での摺動子5の節点
が変わり、抵抗体6の全抵抗に対して、第一の端子7又
は第二の端子8と第三の端子9の内での抵抗が直線的に
変化する。
この抵抗変化を検出すれば、回転軸4の回転角を検出す
ることが出来る。
ることが出来る。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、従来のスリット式エンコーダでは、その
分解能を向上させる為にはスリットの半径方向の数を増
さなければならず、スリット板及び発光素子l、受光素
子2の機械的な寸法及び加工制度の点から、大型化して
しまう問題があった。
分解能を向上させる為にはスリットの半径方向の数を増
さなければならず、スリット板及び発光素子l、受光素
子2の機械的な寸法及び加工制度の点から、大型化して
しまう問題があった。
また、抵抗式エンコーダでは、摺動子5が抵抗体6の上
を移動するため、摺動子5及び抵抗体6に摩耗が生じ、
寿命が短いという問題点があった。
を移動するため、摺動子5及び抵抗体6に摩耗が生じ、
寿命が短いという問題点があった。
本発明は、上記従来技術に鑑みて成されたものであり、
容易に分解能を向上できると共に機械的な接触点がなく
、更に、危険雰囲気中で使用されても爆発の危険性のな
い防煙型光学式エンコーダを提供することを目的とする
。
容易に分解能を向上できると共に機械的な接触点がなく
、更に、危険雰囲気中で使用されても爆発の危険性のな
い防煙型光学式エンコーダを提供することを目的とする
。
〈課題を解決するための手段〉
斯かる目的を達成する本発明の構成は第一の偏光フィル
タが回転軸に垂直に固定されると共に第二の偏光フィル
タが第一の偏光フィルタに対し平行に重ね合わせて設置
され、第一の偏光フィルタの外周部分に半回転分の光を
嬬る遮光部が取り付けられ、また、第二の偏光フィルタ
には回転軸を通る直線を境にして45度の角度を成す2
方向の偏光面が区分して形成され、更に第一、第二の偏
光フィルタを間に挟んで第一第二の光ファイバの一端が
正対させられると共に第三、第四の光ファイバの一端が
正対させられ、更に前記遮光部を間に挟んで第五、第六
の光ファイバの一端が正対させられ、第一、第三、第五
の光ファイバの他端には発光素子がそれぞれ接続される
一方、第二、第四、第六の光ファイバの他端には受光素
子がそれぞれ接続され、また、第一、第二の光ファイバ
と第三、第四の光ファイバとは回転軸に関して対称に配
置されることをことを特徴とする。
タが回転軸に垂直に固定されると共に第二の偏光フィル
タが第一の偏光フィルタに対し平行に重ね合わせて設置
され、第一の偏光フィルタの外周部分に半回転分の光を
嬬る遮光部が取り付けられ、また、第二の偏光フィルタ
には回転軸を通る直線を境にして45度の角度を成す2
方向の偏光面が区分して形成され、更に第一、第二の偏
光フィルタを間に挟んで第一第二の光ファイバの一端が
正対させられると共に第三、第四の光ファイバの一端が
正対させられ、更に前記遮光部を間に挟んで第五、第六
の光ファイバの一端が正対させられ、第一、第三、第五
の光ファイバの他端には発光素子がそれぞれ接続される
一方、第二、第四、第六の光ファイバの他端には受光素
子がそれぞれ接続され、また、第一、第二の光ファイバ
と第三、第四の光ファイバとは回転軸に関して対称に配
置されることをことを特徴とする。
〈作用〉
発光素子から出力された光は第一、第三の光ファイバに
導かれて、第一、第二の偏光フィルタに照射される。第
一の偏光フィルタは、回転軸と共に回転するが、第二の
偏光フィルタは回転しないので、第一、第二の偏光フィ
ルタを透過する光量は、それらの偏光方向が一致すると
きは最大となり、逆に偏光方向が直交するときは最小と
なる。この為、第一、第二の偏光フィルタを透過する光
量は、回転軸と共に回転する第一の偏光フィルタの回転
に応じて、周期的に変化する。このような透過光は第二
、第四の光ファイバにより受光素子に導かれ、受光素子
は、その透過光量の変化により、回転軸の回転角を求め
るられる。ここで、第二の偏光フィルタの何れかには4
5度の角度を成す2方向の偏光面が形成されているので
、それらの受光素子により検出される透過光量は45度
の位相差を持って変化することになる。また、第一の偏
光フィルタの外周部分には半回転分の光を遮る遮光部が
取り付けられているので、180度毎に遮光、通光を繰
り返す。
導かれて、第一、第二の偏光フィルタに照射される。第
一の偏光フィルタは、回転軸と共に回転するが、第二の
偏光フィルタは回転しないので、第一、第二の偏光フィ
ルタを透過する光量は、それらの偏光方向が一致すると
きは最大となり、逆に偏光方向が直交するときは最小と
なる。この為、第一、第二の偏光フィルタを透過する光
量は、回転軸と共に回転する第一の偏光フィルタの回転
に応じて、周期的に変化する。このような透過光は第二
、第四の光ファイバにより受光素子に導かれ、受光素子
は、その透過光量の変化により、回転軸の回転角を求め
るられる。ここで、第二の偏光フィルタの何れかには4
5度の角度を成す2方向の偏光面が形成されているので
、それらの受光素子により検出される透過光量は45度
の位相差を持って変化することになる。また、第一の偏
光フィルタの外周部分には半回転分の光を遮る遮光部が
取り付けられているので、180度毎に遮光、通光を繰
り返す。
〈実施例〉
以下、本発明について、図面に示す実施例を参照して、
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例に係る防爆型光学式エンコー
ダを示すものである。
ダを示すものである。
同図に示すように、第一、第二の偏光フィルタ10.1
1は円盤状をなし、これらは僅かな間隔をあけて平行に
配置されている。第一の偏光フィルタlOは、その中心
で回転軸4に垂直に固定され、回転軸4と共に回転する
が、第二の偏光フィルタ11は図示しないエンコーダ本
体に固定されている。第一の偏光フィルタI2は唯一の
偏光面を有するが、第二の偏光フィルタ11には回転軸
4を通る直線を境に45度の角度を成す2方向の偏光面
が区分して形成されている。
1は円盤状をなし、これらは僅かな間隔をあけて平行に
配置されている。第一の偏光フィルタlOは、その中心
で回転軸4に垂直に固定され、回転軸4と共に回転する
が、第二の偏光フィルタ11は図示しないエンコーダ本
体に固定されている。第一の偏光フィルタI2は唯一の
偏光面を有するが、第二の偏光フィルタ11には回転軸
4を通る直線を境に45度の角度を成す2方向の偏光面
が区分して形成されている。
従って、回転軸4の回転に伴い第一の偏光フィルタlO
が回転すると、第一の偏光フィルタ10の唯一の偏光方
向と、偏光フィルタ11の二つの偏光方向の交差角が4
5度の角度差を持って変化することになる。
が回転すると、第一の偏光フィルタ10の唯一の偏光方
向と、偏光フィルタ11の二つの偏光方向の交差角が4
5度の角度差を持って変化することになる。
これらの偏光フィルタ10.11の上下には、これらを
挟む第一、第二の光ファイバ13.I4の一端が正対し
て配設されると共に同様にこれらを挟む第一、第二の光
ファイバ15.16の一端が正対して配設されている。
挟む第一、第二の光ファイバ13.I4の一端が正対し
て配設されると共に同様にこれらを挟む第一、第二の光
ファイバ15.16の一端が正対して配設されている。
これら第一第二の光ファイバ13.14の一端と、第三
、第四の光ファイバ15.16の一端とはそれぞれ回転
軸4に関して対称に配置されている。第、第三の光ファ
イバI3.15の他端は、第、第二の発光素子17.1
8にそれぞれ接続され、また、第二、第四の光ファイバ
I4.16の他端は第一、第二の受光素子19.20に
それぞれ接続している。
、第四の光ファイバ15.16の一端とはそれぞれ回転
軸4に関して対称に配置されている。第、第三の光ファ
イバI3.15の他端は、第、第二の発光素子17.1
8にそれぞれ接続され、また、第二、第四の光ファイバ
I4.16の他端は第一、第二の受光素子19.20に
それぞれ接続している。
従って、第一、第二の発光素子I7.18から出力され
た光は第一、第三の光ファイバ13.15により導かれ
て第一、第二の偏光フィルタ10.11に照射され、こ
れら偏光フィルタ10、IIを透過した光は、第二、第
四の光ファイバI4.16により第一、第二の受光素子
19.20に導かれることになる。
た光は第一、第三の光ファイバ13.15により導かれ
て第一、第二の偏光フィルタ10.11に照射され、こ
れら偏光フィルタ10、IIを透過した光は、第二、第
四の光ファイバI4.16により第一、第二の受光素子
19.20に導かれることになる。
ここで、第一、第二の偏光フィルタ】0,11を透過す
る光の光量は、第一、第二の偏光フィルタ10.11の
偏光方向が一致する時に最大となり、直交する時に最小
となる。従って、その透過光量は、第2図に示すように
回転軸4の回転角θの変化により、1回転の間に2周期
分の変化を示す正弦波状の特性となる。また、偏光フィ
ルタ11には45度の角度を成す2方向の偏光面が形成
されているので、受光素子19で受光される透過光量と
、受光素子20で受光される透過光量では、回転角度θ
に対し45度の位相差が生じることになる。尚、回転軸
4の1回転に対し、通過光量の周期は2周期分変化する
ので、この位相差は、透過光量の周期に換算すると90
度となる。
る光の光量は、第一、第二の偏光フィルタ10.11の
偏光方向が一致する時に最大となり、直交する時に最小
となる。従って、その透過光量は、第2図に示すように
回転軸4の回転角θの変化により、1回転の間に2周期
分の変化を示す正弦波状の特性となる。また、偏光フィ
ルタ11には45度の角度を成す2方向の偏光面が形成
されているので、受光素子19で受光される透過光量と
、受光素子20で受光される透過光量では、回転角度θ
に対し45度の位相差が生じることになる。尚、回転軸
4の1回転に対し、通過光量の周期は2周期分変化する
ので、この位相差は、透過光量の周期に換算すると90
度となる。
従って、受光素子19.20で、通過光量を検出すれば
、0度から180度の範囲に渡って一義的に回転軸4の
回転角度θを検出することが出来る。
、0度から180度の範囲に渡って一義的に回転軸4の
回転角度θを検出することが出来る。
更に、第一の偏光フィルタ10の外周部分には、遮光部
12が取り付けられている。この遮光部12は、回転軸
4を通る直線でリングを半分に切断した半リング状をな
し、この遮光部12では、全く光を遮るが、その他の部
分では光は遂られることはない。
12が取り付けられている。この遮光部12は、回転軸
4を通る直線でリングを半分に切断した半リング状をな
し、この遮光部12では、全く光を遮るが、その他の部
分では光は遂られることはない。
この遮光部I2の上下には、これを間に挟んで第五、第
六の光ファイバ21.22の一端が正対して配置されて
おり、第五の光ファイバ2】の他端は第三の発光素子2
3に接続され、また、第六の光ファイバ22の他端は第
三の受光素子24に接続している。
六の光ファイバ21.22の一端が正対して配置されて
おり、第五の光ファイバ2】の他端は第三の発光素子2
3に接続され、また、第六の光ファイバ22の他端は第
三の受光素子24に接続している。
従って、第三の発光素子23から出力された光は、第五
の光ファイバ21に導かれて、遮光部12により遮られ
るときには、第三の受光素子24で検出されないが、遮
光部12で遮られないときには、第六の光ファイバ22
に導かれて第三の受光素子24で検出されることになる
。
の光ファイバ21に導かれて、遮光部12により遮られ
るときには、第三の受光素子24で検出されないが、遮
光部12で遮られないときには、第六の光ファイバ22
に導かれて第三の受光素子24で検出されることになる
。
ここで、遮光部12は、半リング状であり半回転分の光
を遮るので、第2図に示すように第三の受光素子24で
は回転角度が0度から180度までの間は嬬光され低レ
ベルの光が検出されるが、回転角度180度から360
度までの間は遮光されないので高レベルの光が検出され
る。
を遮るので、第2図に示すように第三の受光素子24で
は回転角度が0度から180度までの間は嬬光され低レ
ベルの光が検出されるが、回転角度180度から360
度までの間は遮光されないので高レベルの光が検出され
る。
この為、第一、第二の受光素子19.20で得られる通
過光量と、第三の受光素子24で測定される通過光量を
検討すれば、1回転分、つまり360度の回転軸4の回
転角度を一義的に求めることが出来る。
過光量と、第三の受光素子24で測定される通過光量を
検討すれば、1回転分、つまり360度の回転軸4の回
転角度を一義的に求めることが出来る。
上記構成を有する本実施例の防爆型光学式エンコーダは
、光ファイバを12〜15を使用するので、回転軸4の
ある場所より離れた位置に発光素子16.17、受光素
子18.19を置くことが出来る。この為、仮に回転軸
4が爆発の危険のある環境下に有る場合でも、安全にエ
ンコーダとして使用可能である。
、光ファイバを12〜15を使用するので、回転軸4の
ある場所より離れた位置に発光素子16.17、受光素
子18.19を置くことが出来る。この為、仮に回転軸
4が爆発の危険のある環境下に有る場合でも、安全にエ
ンコーダとして使用可能である。
また、発光素子16.17から受光素子18゜19に光
を導く光学式であり、機械的な摺動部がないので、摩耗
がなく長寿命である。
を導く光学式であり、機械的な摺動部がないので、摩耗
がなく長寿命である。
更に、スリット板を使用せず、二つの偏光フィルタ10
.11を使用するので、分解能を向上させるために、発
光素子、受光素子の数、スリット板のスリットの数を増
やす必要がなく、小型化が容易となる利点がある。
.11を使用するので、分解能を向上させるために、発
光素子、受光素子の数、スリット板のスリットの数を増
やす必要がなく、小型化が容易となる利点がある。
しかも、偏光フィルタ】1には45度の角度を成す二つ
の偏光面が形成されると共に偏光フィルタIOにはf先
部12が取り付けられているので、第一、第二、第三の
受光素子19,20゜24の通過光量を検出すれば、回
転軸4の1回転分、つまり、360度を一義的に求める
ことが出来る。
の偏光面が形成されると共に偏光フィルタIOにはf先
部12が取り付けられているので、第一、第二、第三の
受光素子19,20゜24の通過光量を検出すれば、回
転軸4の1回転分、つまり、360度を一義的に求める
ことが出来る。
尚、上記実施例では、二つの偏光面を有する偏光フィル
タ11をエンコーダ本体に固定し、遮光部の取り付けら
れた偏光フィルタ10を回転軸4に固定していたが、逆
に、偏光フィルタ11を回転軸4に固定し、偏光フィル
タ10をエンコーダ本体に取り付けても良いものである
。
タ11をエンコーダ本体に固定し、遮光部の取り付けら
れた偏光フィルタ10を回転軸4に固定していたが、逆
に、偏光フィルタ11を回転軸4に固定し、偏光フィル
タ10をエンコーダ本体に取り付けても良いものである
。
また、発光素子、受光素子としては、光を出射すること
ができ、これを検出することが出来るものを広く用いる
ことができ、更に、発光素子は共用しても良い。
ができ、これを検出することが出来るものを広く用いる
ことができ、更に、発光素子は共用しても良い。
〈発明の効果〉
以上、実施例に基づいて具体的に説明したように、本発
明はスリットの加工されたスリット板を用いず、二つの
偏光フィルタを使用しているので、分解能を向上させて
も、容易に小型化できる。また、機械的な摺動部がない
ので、摩耗がな(長寿命である。更に、光ファイバを使
用して発光素子及び受光素子を回転軸から離した位置に
配置でき、通電の必要もないので、爆発の危険性のある
環境下にある回転軸でも使用可能である。また、一方の
偏光フィルタに45度の方向を成す二つの偏光面を形成
すると共に他方の偏光フィルタに遮光部を形成したので
、回転軸の1回転分を測定可能である。
明はスリットの加工されたスリット板を用いず、二つの
偏光フィルタを使用しているので、分解能を向上させて
も、容易に小型化できる。また、機械的な摺動部がない
ので、摩耗がな(長寿命である。更に、光ファイバを使
用して発光素子及び受光素子を回転軸から離した位置に
配置でき、通電の必要もないので、爆発の危険性のある
環境下にある回転軸でも使用可能である。また、一方の
偏光フィルタに45度の方向を成す二つの偏光面を形成
すると共に他方の偏光フィルタに遮光部を形成したので
、回転軸の1回転分を測定可能である。
第1図は本発明の一実施例に係る防爆型光学式エンコー
ダの斜視図、第2図は本実施例における回転角と通過光
量の関係を示すグラフ、第3図は従来のスリット式エン
コーダの斜視図、第4図は従来の抵抗式エンコーダの斜
視図である。 lは発光素子、 2は受光素子、 3はスリット板、 4は回転軸、 5は摺動子、 6は抵抗体、 7.8.9は端子、 10、IIは偏光フィルタ、 12は遣光部、 +3.14.15.16,21.22は光ファイバ、 17.18.23は発光素子、 19.10.24は受光素子である。
ダの斜視図、第2図は本実施例における回転角と通過光
量の関係を示すグラフ、第3図は従来のスリット式エン
コーダの斜視図、第4図は従来の抵抗式エンコーダの斜
視図である。 lは発光素子、 2は受光素子、 3はスリット板、 4は回転軸、 5は摺動子、 6は抵抗体、 7.8.9は端子、 10、IIは偏光フィルタ、 12は遣光部、 +3.14.15.16,21.22は光ファイバ、 17.18.23は発光素子、 19.10.24は受光素子である。
Claims (1)
- 第一の偏光フィルタが回転軸に垂直に固定されると共
に第二の偏光フィルタが第一の偏光フィルタに対し平行
に重ね合わせて設置され、第一の偏光フィルタの外周部
分に半回転分の光を遮る遮光部が取り付けられ、また、
第二の偏光フィルタには回転軸を通る直線を境にして4
5度の角度を成す2方向の偏光面が区分して形成され、
更に第一、第二の偏光フィルタを間に挟んで第一、第二
の光ファイバの一端が正対させられると共に第三、第四
の光ファイバの一端が正対させられ、更に前記遮光部を
間に挟んで第五、第六の光ファイバの一端が正対させら
れ、第一、第三、第五の光ファイバの他端には発光素子
がそれぞれ接続される一方、第二、第四、第六の光ファ
イバの他端には受光素子がそれぞれ接続され、また、第
一、第二の光ファイバと第三、第四の光ファイバとは回
転軸に関して対称に配置されることをことを特徴とする
防爆型光学式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27539490A JPH04152209A (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | 防爆型光学式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27539490A JPH04152209A (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | 防爆型光学式エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04152209A true JPH04152209A (ja) | 1992-05-26 |
Family
ID=17554891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27539490A Pending JPH04152209A (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | 防爆型光学式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04152209A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6082808A (ja) * | 1983-10-13 | 1985-05-11 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 角度検出装置 |
-
1990
- 1990-10-16 JP JP27539490A patent/JPH04152209A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6082808A (ja) * | 1983-10-13 | 1985-05-11 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 角度検出装置 |
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