JPH04143654A - 超音波探触子の走査装置 - Google Patents
超音波探触子の走査装置Info
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- JPH04143654A JPH04143654A JP2267858A JP26785890A JPH04143654A JP H04143654 A JPH04143654 A JP H04143654A JP 2267858 A JP2267858 A JP 2267858A JP 26785890 A JP26785890 A JP 26785890A JP H04143654 A JPH04143654 A JP H04143654A
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- probe
- axis
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- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 25
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超音波を用いた検査装置に係り、特に被検査
体の任意の面に対して、超音波探触子を非接触で一定の
角度および一定の距離を保ちながら、自動的に検査を行
うに好適な超音波検査装置の超音波探触子の走査装置に
関する。
体の任意の面に対して、超音波探触子を非接触で一定の
角度および一定の距離を保ちながら、自動的に検査を行
うに好適な超音波検査装置の超音波探触子の走査装置に
関する。
従来の超音波探触子の走査装置の一例としては、昭和6
3年2月に日本非破壊検査協会により発行された春季大
会講演会概要集の第152頁から第153頁の「曲面形
状物体用自動超音波探傷装置の開発」に記載されたもの
が知られている。これによれば、超音波探触子の走査装
置は、X、Y。
3年2月に日本非破壊検査協会により発行された春季大
会講演会概要集の第152頁から第153頁の「曲面形
状物体用自動超音波探傷装置の開発」に記載されたもの
が知られている。これによれば、超音波探触子の走査装
置は、X、Y。
Z軸方向に駆動できる装置と、このZ軸回りに回転する
θ軸と、このθ軸に対して揺動するα軸を含んでなり、
このα軸の先端に超音波探触子を取付けた構成となって
いる。
θ軸と、このθ軸に対して揺動するα軸を含んでなり、
このα軸の先端に超音波探触子を取付けた構成となって
いる。
このような走査装置により、曲面を含んでなる被検査体
を走査するに当っては、先づレーザ距離計等によって被
検査体の形状を計測し、これに基づいて超音波探触子を
走査するようにしている。
を走査するに当っては、先づレーザ距離計等によって被
検査体の形状を計測し、これに基づいて超音波探触子を
走査するようにしている。
上記の従来技術は、被検査体の曲面形状をあらかじめレ
ーザ距離計等で測定し、このデータをもとに検査面に対
する超音波探触子の姿勢と距離を制御している。
ーザ距離計等で測定し、このデータをもとに検査面に対
する超音波探触子の姿勢と距離を制御している。
この姿勢制御は、θ軸とα軸との2軸によっている。そ
のため、x、y、z軸を制御して超音波探触子の中心軸
を検査点に合わせた後、その姿勢を調整しようとすると
、α軸を動かすことになる。
のため、x、y、z軸を制御して超音波探触子の中心軸
を検査点に合わせた後、その姿勢を調整しようとすると
、α軸を動かすことになる。
しかし、α軸を動かすと、超音波探触子の中心軸が検査
点から外れてしまい、この外れを補うために、再びx、
y、z軸等のすべての軸を協調制御しなければならず、
姿勢制御が複雑であるという問題があった。
点から外れてしまい、この外れを補うために、再びx、
y、z軸等のすべての軸を協調制御しなければならず、
姿勢制御が複雑であるという問題があった。
本発明の目的は、探傷走査における探触子の姿勢制御を
簡単にすることができる超音波接触子の走査装置を提供
することにある。
簡単にすることができる超音波接触子の走査装置を提供
することにある。
本発明の走査装置は、上記目的を達成するために、支持
金具の先端部に取付けられた円弧状の軌道と、この軌道
に沿って摺動可能に係合された同一曲率中心を有する円
弧状のガイドレールと、このガイドレールに沿って摺動
可能に係合されたスライダと、このスライダに上記円弧
の曲率中心に向けて取付けられた超音波探触子とを含ん
でなる。
金具の先端部に取付けられた円弧状の軌道と、この軌道
に沿って摺動可能に係合された同一曲率中心を有する円
弧状のガイドレールと、このガイドレールに沿って摺動
可能に係合されたスライダと、このスライダに上記円弧
の曲率中心に向けて取付けられた超音波探触子とを含ん
でなる。
本発明によれば超音波探触子が取り付けられたスライダ
は、円弧状のガイドレールの端から他の端まで同心円上
を移動できる。従って超音波探触子の中心軸は常に上記
円弧の曲率中心を通る。この曲率中心と被検査体上の検
査点とを一致させるように、走査装置を支持している支
持金具をX。
は、円弧状のガイドレールの端から他の端まで同心円上
を移動できる。従って超音波探触子の中心軸は常に上記
円弧の曲率中心を通る。この曲率中心と被検査体上の検
査点とを一致させるように、走査装置を支持している支
持金具をX。
Y、Z軸方向に操作する。つぎにθ軸の旋回とスライダ
の移動操作で超音波探触子の中心軸を検査点における曲
面の法線又は希望の入射角に一致させる。このように、
θ軸又はスライダを移動操作しても、超音波探触子の中
心軸は検査点から外れないので、x、y、z軸を繰返し
操作する必要がなくなり、姿勢制御が極めて簡単になる
のである。
の移動操作で超音波探触子の中心軸を検査点における曲
面の法線又は希望の入射角に一致させる。このように、
θ軸又はスライダを移動操作しても、超音波探触子の中
心軸は検査点から外れないので、x、y、z軸を繰返し
操作する必要がなくなり、姿勢制御が極めて簡単になる
のである。
しかも、ガイドレールは、円弧状の軌道の端から他の端
までの動作範囲を移動できる。したがって、超音波探触
子の動作範囲はスライダの動作範囲とガイドレールの動
作範囲を加算した動作を得ることができ、被検査体の検
査範囲を拡大できる。
までの動作範囲を移動できる。したがって、超音波探触
子の動作範囲はスライダの動作範囲とガイドレールの動
作範囲を加算した動作を得ることができ、被検査体の検
査範囲を拡大できる。
また、上記走査装置を基本構成とする装置を同心円状に
2段に重ね、各々を直交させて連結し、下段のスライダ
に超音波探触子を取り付けた構成とすれば、θ軸を操作
することなく、上下のスライダを操作することにより、
超音波探触子の姿勢を制御できる。これによれば、周囲
の条件により走査装置全体をθ軸回りに回転できない場
合に有効である。
2段に重ね、各々を直交させて連結し、下段のスライダ
に超音波探触子を取り付けた構成とすれば、θ軸を操作
することなく、上下のスライダを操作することにより、
超音波探触子の姿勢を制御できる。これによれば、周囲
の条件により走査装置全体をθ軸回りに回転できない場
合に有効である。
以下、図面に基づいて本発明に係る実施例を説明する。
第1図は本発明に係る一実施例の透視図、第2図は第1
図の■−■矢視の側面図である。
図の■−■矢視の側面図である。
支持金具13の基部には4個の取付孔が開孔したベース
10が設けられ、このベース10は駆動装置(図示せず
)のx、y、z軸およびこのZ軸の周りに回動できるθ
軸とを備えた装置の先端に取付けられている。支持金具
13の先端は円弧状の軌道2の中央上部に固定されてい
る。この軌道2の内周面にVガイド溝14が形成されて
いる。
10が設けられ、このベース10は駆動装置(図示せず
)のx、y、z軸およびこのZ軸の周りに回動できるθ
軸とを備えた装置の先端に取付けられている。支持金具
13の先端は円弧状の軌道2の中央上部に固定されてい
る。この軌道2の内周面にVガイド溝14が形成されて
いる。
このVガイド溝14には円弧状のガイドレール3の外周
面に6設したVガイド15が摺動可能に嵌挿されている
。
面に6設したVガイド15が摺動可能に嵌挿されている
。
ガイドレール3の幅方向の両側には、Vガイド7とラッ
ク5とが全長にわたって設けられている。
ク5とが全長にわたって設けられている。
このガイドレール3を囲むように下側からU字状のスラ
イダ4が設けられている。
イダ4が設けられている。
このスライダ4の両側枠の一方に複数の案内ローラ8が
設けられている。この案内ローラ8は前記Vガイド7を
上下から挟んで設けられている。
設けられている。この案内ローラ8は前記Vガイド7を
上下から挟んで設けられている。
スライダ4の反対側の側枠には上記ラック5と噛合って
回転できるピニオン9が軸支されている。
回転できるピニオン9が軸支されている。
上記ピニオン9は回転軸12を介してモータ6に連結さ
れている。またスライダ4の下面に、円筒状のホルダ1
1が取付けられ、このホルダ11の先端には超音波探触
子1が設けられている。この超音波探触子1の中心軸1
6は上記ガイドレール3の曲率中心0と交叉するように
設けられている。
れている。またスライダ4の下面に、円筒状のホルダ1
1が取付けられ、このホルダ11の先端には超音波探触
子1が設けられている。この超音波探触子1の中心軸1
6は上記ガイドレール3の曲率中心0と交叉するように
設けられている。
このように構成される実施例の動作について第3図を用
いて説明する。第3図は第2図の■−■矢視による動作
説明図である。ベース10は第1図のZ軸(垂直方向の
軸)およびこのZ軸の周りに回動できるθ軸の先端に固
定される。
いて説明する。第3図は第2図の■−■矢視による動作
説明図である。ベース10は第1図のZ軸(垂直方向の
軸)およびこのZ軸の周りに回動できるθ軸の先端に固
定される。
いま、被検膏体Q上の検査点Pを検査するものとする。
まず、検査点Pと支持金具13の中心軸16とを一致さ
せる。この位置では超音波による検査面に対して直角方
向からの検査ができない。
せる。この位置では超音波による検査面に対して直角方
向からの検査ができない。
そこで、ガイドレール3とスライダ4を移動して、超音
波探触子1の中心線が検査点Pにおける法線P−A、と
一致する2αまで移動する。この移動によっても、超音
波探触子1の中心線は検査点Pから外れることがないの
で、容易に姿勢を合わせることかできる。
波探触子1の中心線が検査点Pにおける法線P−A、と
一致する2αまで移動する。この移動によっても、超音
波探触子1の中心線は検査点Pから外れることがないの
で、容易に姿勢を合わせることかできる。
ここで検査点Pと超音波探触子1との間に油、水などの
液体を導入すれば、検査点Pの探傷ができる。検査点P
における法線がP−A、であるならば、ガイドレール3
は摺動させることなくスライダ4だけをα1だけ移動す
ればよい。
液体を導入すれば、検査点Pの探傷ができる。検査点P
における法線がP−A、であるならば、ガイドレール3
は摺動させることなくスライダ4だけをα1だけ移動す
ればよい。
また、被検査体Qが半球面である場合には、θ軸を旋回
しながらスライダ4の運動とを組合せて探傷する。その
他の曲面であっても、検査点Pにおける法線と中心軸1
6とを一致させて走査する。
しながらスライダ4の運動とを組合せて探傷する。その
他の曲面であっても、検査点Pにおける法線と中心軸1
6とを一致させて走査する。
また、上記実施例の走査装置を2段に連結すれば、さら
に姿勢制御が容易になる。つまり、1つの走査装置の超
音波探触子1に代えて、他の走査装置のベース10を取
付け、かつこれらのガイドレール3を直交させて構成す
る。これによれば、θ軸を回転動作させなくても、各々
のスライダ4を組合せて制御すれば、θ軸を駆動したと
きと同様の作用、効果を示す。
に姿勢制御が容易になる。つまり、1つの走査装置の超
音波探触子1に代えて、他の走査装置のベース10を取
付け、かつこれらのガイドレール3を直交させて構成す
る。これによれば、θ軸を回転動作させなくても、各々
のスライダ4を組合せて制御すれば、θ軸を駆動したと
きと同様の作用、効果を示す。
特に被検査体Qや周囲の障害物によって、θ軸を旋回で
きない場合に有効である。
きない場合に有効である。
第4図は、本発明の他の実施例の側面図である。
本実施例は、ガイドレール3の走行をモータ2゜のコン
トロールによって自動化したものである。
トロールによって自動化したものである。
すなわち、ガイドレール3の中央の上部にラック23を
設け、このラック23に噛み合うピニオン22を軌道2
に回転自由に取り付け、このピニオン22を軸21を介
してモータ20により駆動するようにしたのである。な
お第2図に示したものと同一符号を付した部品等は同一
の機能・構成を有するものであるから説明を省略する。
設け、このラック23に噛み合うピニオン22を軌道2
に回転自由に取り付け、このピニオン22を軸21を介
してモータ20により駆動するようにしたのである。な
お第2図に示したものと同一符号を付した部品等は同一
の機能・構成を有するものであるから説明を省略する。
第5図は本発明の更に他の実施例の正面図である。この
実施例は支持金具13をバーズ1o側の基部13Aと軌
道2側の先端部13Bとに分割し、これらの間に軌道2
と直交する方向にピン3゜(六角頭付ボルト)を介装し
、反対側はナツト(図示せず)によって固定したもので
ある。これによればピン30の軸を中心にして、ガイド
レール3を揺動でき、中心軸16を例えば±P′の位1
i(A4軸)迄移動させることができる。
実施例は支持金具13をバーズ1o側の基部13Aと軌
道2側の先端部13Bとに分割し、これらの間に軌道2
と直交する方向にピン3゜(六角頭付ボルト)を介装し
、反対側はナツト(図示せず)によって固定したもので
ある。これによればピン30の軸を中心にして、ガイド
レール3を揺動でき、中心軸16を例えば±P′の位1
i(A4軸)迄移動させることができる。
したがって、本実施例によれば、さらに走査範囲を拡大
できる。
できる。
本発明によれば、円弧状のガイドレールに沿って摺動す
る超音波探触子を設けたので、この超音波探触子の中心
線が上記円弧の曲率中心を常に通る。この曲率中心に検
査点を置けば、θ軸とスライダ位置を調整して超音波探
触子を移動させるだけで、上記中心軸を検査点における
法線又は希望の入射角と一致させることができる。
る超音波探触子を設けたので、この超音波探触子の中心
線が上記円弧の曲率中心を常に通る。この曲率中心に検
査点を置けば、θ軸とスライダ位置を調整して超音波探
触子を移動させるだけで、上記中心軸を検査点における
法線又は希望の入射角と一致させることができる。
特に、ガイドレールを円弧状の軌道の端から他の端まで
移動できるようにしたことから、超音波探触子の摺動範
囲を拡大でき、姿勢制御の範囲を拡大できる。
移動できるようにしたことから、超音波探触子の摺動範
囲を拡大でき、姿勢制御の範囲を拡大できる。
第1図は本発明に係る一実施例の透視図、第2図は第1
図のn−n矢視の側面図、第3図は第2図の■−■矢視
による動作説明図、第4図は本発明の他の実施例の側面
図、第5図は本発明の更に他の実施例の正面図である。 1・・・超音波探触子、10・・・ベース、2・・・軌
道、 3・・・ガイドレール、 4・・・スライダ、 5・・・ラック、 6・・・モータ、 7・・・vガイド、 8・・案内ローラ、 9・・・ピニオン、 1・・・ホルダ、 2・・・回転軸、 3・・支持金具、 4・・・Vガイド溝、 5・・・Vガイド、 6・・中心軸、 0・・・曲率中心、 P・・・検査点。
図のn−n矢視の側面図、第3図は第2図の■−■矢視
による動作説明図、第4図は本発明の他の実施例の側面
図、第5図は本発明の更に他の実施例の正面図である。 1・・・超音波探触子、10・・・ベース、2・・・軌
道、 3・・・ガイドレール、 4・・・スライダ、 5・・・ラック、 6・・・モータ、 7・・・vガイド、 8・・案内ローラ、 9・・・ピニオン、 1・・・ホルダ、 2・・・回転軸、 3・・支持金具、 4・・・Vガイド溝、 5・・・Vガイド、 6・・中心軸、 0・・・曲率中心、 P・・・検査点。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、支持金具の先端部に取付けられた円弧状の軌道と、
この軌道に沿って摺動可能に係合された同一曲率中心を
有する円弧状のガイドレールと、このガイドレールに沿
って摺動可能に係合されたスライダと、このスライダに
上記円弧の曲率中心に向けて取付けられた超音波探触子
とを含んでなる超音波探触子の走査装置。 2、支持金具の先端部に取付けられた円弧状の第1の軌
道と、この第1の軌道に沿って摺動可能に係合された同
一円弧状の第1のガイドレールと、この第1のガイドレ
ールに沿って摺動可能に係合された第1のスライダと、
この第1のスライダに取付けられ、上記第1のガイドレ
ールと直交する向に取付けられた同一曲率中心の円弧状
の第2の軌道と、この第2の軌道に沿って摺動可能に係
合された同一円弧状の第2ガイドレールと、この第2の
ガイドレールに沿って摺動可能に係合された第2のスラ
イダと、この第2スライダに上記円弧の曲率中心に向け
て取付けられた超音波探触子とからなる超音波探触子の
走査装置。3、上記支持金具が基部とこの基部にピンを
介して扇形に回動できる先端部とから成ることを特徴と
する請求項第1項又は第2項記載の超音波探触子の走査
装置。 4、上記スライダを走行させる走行手段を備え、この走
行手段は上記ガイドレールの長手方向に延在して設けた
ラックと、上記スライダに回転自由に支持され上記ラッ
クに噛合されたピニオンと、このピニオンを回転駆動す
るモータとを含んでなる請求項第1項、第2項、第3項
のいずれか一つに記載の超音波探触子の走査装置。 5、上記ガイドレールが長手方向に延在する一対のVガ
イドを備え、このVガイドを挾む如く転接する複数の案
内ローラと係合し、この案内ローラがスライダに回転自
由に設けられている請求項第1項、第2項、第3項、第
4項のいずれか一つに記載の超音波探触子の走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2267858A JPH04143654A (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | 超音波探触子の走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2267858A JPH04143654A (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | 超音波探触子の走査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04143654A true JPH04143654A (ja) | 1992-05-18 |
Family
ID=17450615
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2267858A Pending JPH04143654A (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | 超音波探触子の走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04143654A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104296977A (zh) * | 2014-09-17 | 2015-01-21 | 浙江工业大学 | 一种带圆形轨道的液压泵运行状态测试装置 |
US10622255B2 (en) | 2002-03-12 | 2020-04-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Substrate dividing method |
CN112986387A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-06-18 | 寿光市人民医院 | 一种超声波计量仪 |
-
1990
- 1990-10-05 JP JP2267858A patent/JPH04143654A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10622255B2 (en) | 2002-03-12 | 2020-04-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Substrate dividing method |
CN104296977A (zh) * | 2014-09-17 | 2015-01-21 | 浙江工业大学 | 一种带圆形轨道的液压泵运行状态测试装置 |
CN112986387A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-06-18 | 寿光市人民医院 | 一种超声波计量仪 |
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