JPH04141599A - 部分メツキ方法及びその装置 - Google Patents
部分メツキ方法及びその装置Info
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- JPH04141599A JPH04141599A JP26188190A JP26188190A JPH04141599A JP H04141599 A JPH04141599 A JP H04141599A JP 26188190 A JP26188190 A JP 26188190A JP 26188190 A JP26188190 A JP 26188190A JP H04141599 A JPH04141599 A JP H04141599A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing the conductive pattern
- H05K3/241—Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
A産業上の利用分野
本発明は部分メッキ方法及びその装置に関し、例えば配
線基板上の一部に部分メッキ処理を施す際に適用して好
適なものである。
線基板上の一部に部分メッキ処理を施す際に適用して好
適なものである。
B発明の概要
本発明は、部分メッキ方法及びその装置において、所定
の流路内にメッキ液を循環させると共に、流路の一部に
形成された開口において、当該メッキ液を被メッキ対象
としての金属表面に接触させることにより、−段と簡易
な方法によって部分メッキ処理を施すことができる。
の流路内にメッキ液を循環させると共に、流路の一部に
形成された開口において、当該メッキ液を被メッキ対象
としての金属表面に接触させることにより、−段と簡易
な方法によって部分メッキ処理を施すことができる。
C従来の技術
従来、例えば小型モータの配線基板においては、銅張積
層板をエツチング処理することにより、所定の配線パタ
ーン及びランド部を表面に形成したものが用いられてい
る。
層板をエツチング処理することにより、所定の配線パタ
ーン及びランド部を表面に形成したものが用いられてい
る。
この配線パターン及びランド部においては、例えば表面
に防錆処理を施すことにより一段と耐経年変化特性を向
上し得るようになされている。
に防錆処理を施すことにより一段と耐経年変化特性を向
上し得るようになされている。
D発明が解決しようとする課題
ところが銅箔でなる配線パターン及びランド部の表面に
防錆処理を施すと、この部分に例えば電子部品のリード
を接触させるだけで電気的に導通させることが困難にな
る問題があった。
防錆処理を施すと、この部分に例えば電子部品のリード
を接触させるだけで電気的に導通させることが困難にな
る問題があった。
また当該配線パターン及びランド部をICのワイヤボン
ディング用として用いることが困難な問題があった。
ディング用として用いることが困難な問題があった。
この問題を解決するための一つの方法として、銅箔でな
る配線パターン及びランド部の所定部分にメッキ処理を
施す方法が考えられている。
る配線パターン及びランド部の所定部分にメッキ処理を
施す方法が考えられている。
すなわち第4図に示すように、基材2上に絶縁層3を形
成した基板4上に銅箔層6を形成した銅張積層板7(第
4図(A))の表面にメッキ用レジスト9を塗布しく第
4図(B))、この状態においてメッキ処理を施すこと
により、メッキ用レジストが塗布されていない部分にメ
ッキ層10を形成する(第4図(C))。
成した基板4上に銅箔層6を形成した銅張積層板7(第
4図(A))の表面にメッキ用レジスト9を塗布しく第
4図(B))、この状態においてメッキ処理を施すこと
により、メッキ用レジストが塗布されていない部分にメ
ッキ層10を形成する(第4図(C))。
この後、メッキ層10が形成された部分においてエツチ
ング処理することより、第4図(D)に示すようにメッ
キ層10形成部を所定のパターンに形成し、メッキ用レ
ジスト9を除去する。
ング処理することより、第4図(D)に示すようにメッ
キ層10形成部を所定のパターンに形成し、メッキ用レ
ジスト9を除去する。
か(して第4図(E)に示すように銅箔層6の表面に所
定のパターンにメッキ層lOが形成され、当該メッキ層
10を含む所定のパターン上にレジスト12を塗布した
後(第4@(F))、エツチング処理しく第4図(G)
)、さらにレジスト12を除去することにより第4図(
H)に示すようにメッキ層10及び銅箔層6でなるラン
ド部14及び銅箔層6でなる所定パターンの配線パター
ン15が形成される。
定のパターンにメッキ層lOが形成され、当該メッキ層
10を含む所定のパターン上にレジスト12を塗布した
後(第4@(F))、エツチング処理しく第4図(G)
)、さらにレジスト12を除去することにより第4図(
H)に示すようにメッキ層10及び銅箔層6でなるラン
ド部14及び銅箔層6でなる所定パターンの配線パター
ン15が形成される。
かくしてこの表面にソルダレジスト17を塗布すること
により所望とする配線基板19を得る。
により所望とする配線基板19を得る。
ところがこのようにして−度メッキ層10を所定のパタ
ーンに形成した後、全体をエツチング処理する工程にお
いては、メッキ層10を所定のパターンにエツチング処
理する分、工程が煩雑になると共に、メッキ層10のパ
ターン及び銅箔6のパターンに形成ずれが生じることを
避は得ない問題があり、所定パターンに形成された銅箔
層表面の一部にメッキ層を形成する方法としては未だ不
十分であった。
ーンに形成した後、全体をエツチング処理する工程にお
いては、メッキ層10を所定のパターンにエツチング処
理する分、工程が煩雑になると共に、メッキ層10のパ
ターン及び銅箔6のパターンに形成ずれが生じることを
避は得ない問題があり、所定パターンに形成された銅箔
層表面の一部にメッキ層を形成する方法としては未だ不
十分であった。
またこれに対してメッキ層を形成しようとする部分を銅
箔パターンを用いた短絡線によって接続し、電解メッキ
時において銅箔パターンの一部にプローブを当接する方
法が考えられる。
箔パターンを用いた短絡線によって接続し、電解メッキ
時において銅箔パターンの一部にプローブを当接する方
法が考えられる。
ところがこのような方法によると、メッキ処理後におい
て短絡線を除去する工程が必要となり、この分メッキ工
程が煩雑化する問題があった。
て短絡線を除去する工程が必要となり、この分メッキ工
程が煩雑化する問題があった。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、−段と簡
易な方法によって必要な部分だけに部分メッキ処理を施
すことができる部分メッキ方法及びその装置を提案しよ
うとするものである。
易な方法によって必要な部分だけに部分メッキ処理を施
すことができる部分メッキ方法及びその装置を提案しよ
うとするものである。
EIK題を解決するための手段
かかる課題を解決するため第1の発明においては、金属
表面46の一部にメッキ層を形成する部分メッキ方法に
おいて、所定の流路36.52.48.53を循環する
メッキ液を、金属表面46の一部に接触させ、当該金属
表面46の一部にメッキ層を形成するようにする。
表面46の一部にメッキ層を形成する部分メッキ方法に
おいて、所定の流路36.52.48.53を循環する
メッキ液を、金属表面46の一部に接触させ、当該金属
表面46の一部にメッキ層を形成するようにする。
また第2の発明においては、金属表面46の一部にメッ
キ層を形成する部分メッキ装置20において、アノード
電極54及びカソード電極43を有するメッキ液循環用
の筒状部材41.42と、筒状部材41.42の一部に
形成された開口39とを備え、開口39に金属表面46
を当接し、当該金属表面46の当接部分にメッキ液23
を接触させ、金属表面46の一部にメッキ層を形成する
ようにする。
キ層を形成する部分メッキ装置20において、アノード
電極54及びカソード電極43を有するメッキ液循環用
の筒状部材41.42と、筒状部材41.42の一部に
形成された開口39とを備え、開口39に金属表面46
を当接し、当該金属表面46の当接部分にメッキ液23
を接触させ、金属表面46の一部にメッキ層を形成する
ようにする。
F作用
メッキ液を循環させるようになされた流路の一部に開口
39を形成し、当該開口39を外部からふさぐようにし
て被メッキ対象としての金属表面46を当接し、当該金
属表面46にメッキ液23を接触させることにより、当
該金属表面46の接触部分にメッキ層を形成することが
できる。
39を形成し、当該開口39を外部からふさぐようにし
て被メッキ対象としての金属表面46を当接し、当該金
属表面46にメッキ液23を接触させることにより、当
該金属表面46の接触部分にメッキ層を形成することが
できる。
G実施例
以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
第1図において20は全体として部分メッキ装置を示し
、液槽22内にメッキ液23が溜められており、当該メ
ッキ液23はヒータ24によって所定温度に加熱されて
いる。
、液槽22内にメッキ液23が溜められており、当該メ
ッキ液23はヒータ24によって所定温度に加熱されて
いる。
このヒータ24は電源26の温度調節部に接続された電
熱線27及び水28を封止してなり、電熱線27によっ
て水28を加熱することにより当該水28を介してメッ
キ液23を加熱し得るようになされている。
熱線27及び水28を封止してなり、電熱線27によっ
て水28を加熱することにより当該水28を介してメッ
キ液23を加熱し得るようになされている。
また所定温度に加熱されたメッキ液23は弁31.32
及びポンプ34によって流路管36に送り込まれるよう
になされている。
及びポンプ34によって流路管36に送り込まれるよう
になされている。
この流路管36の先端部は液層22の下側部に設けられ
た円筒形状の部分メッキ用治具38の内部に固定され、
これにより当該流路管36内を流れるメッキ液が部分メ
ッキ用治具38の先端開口部39に送出される。
た円筒形状の部分メッキ用治具38の内部に固定され、
これにより当該流路管36内を流れるメッキ液が部分メ
ッキ用治具38の先端開口部39に送出される。
この部分メッキ用治具38は第2図に示すようにテフロ
ンコーティングによって絶縁層を表面に形成した外部円
筒部材41及び流路管36の先端部に同様にしてテフロ
ンコーディングによって絶縁層を表面に形成した内部円
筒部材42による二重円筒構造でなり、外部円筒部材4
1の外周には電源26のマイナス端子に接続されている
円筒形状のカソード電極43が形成されている。
ンコーティングによって絶縁層を表面に形成した外部円
筒部材41及び流路管36の先端部に同様にしてテフロ
ンコーディングによって絶縁層を表面に形成した内部円
筒部材42による二重円筒構造でなり、外部円筒部材4
1の外周には電源26のマイナス端子に接続されている
円筒形状のカソード電極43が形成されている。
このカソード電極43の先端部は部分メッキ用治具38
を構成する外部円筒部材41及び内部円筒部材42より
も突設しており、当該部分メッキ用治具38を被メッキ
対象としての配線基板45の所定位置に当接した際にカ
ソード電極43だけが配線基板45の表面(すなわち配
線パターン及びランド部を形成する銅箔層46)に接触
するようになされており、この状態において内部円筒部
材42の先端部及び配線基板の表面間に所定の間隙48
が生じるようになされている。
を構成する外部円筒部材41及び内部円筒部材42より
も突設しており、当該部分メッキ用治具38を被メッキ
対象としての配線基板45の所定位置に当接した際にカ
ソード電極43だけが配線基板45の表面(すなわち配
線パターン及びランド部を形成する銅箔層46)に接触
するようになされており、この状態において内部円筒部
材42の先端部及び配線基板の表面間に所定の間隙48
が生じるようになされている。
またこのカソード電極43の周端部にはパツキン51が
設けられており、部分メッキ用治具38を配線基板45
の表面に当接した際に、当該部分メッキ用治具38の内
部を流れるメッキ液23が外部に漏れないようになされ
ている。
設けられており、部分メッキ用治具38を配線基板45
の表面に当接した際に、当該部分メッキ用治具38の内
部を流れるメッキ液23が外部に漏れないようになされ
ている。
従ってこの状態において弁31.32及びポンプ34に
よって液層22内のメッキ液23が部分メッキ用治具3
8の内部円筒部材42の内部側流路52に送り込まれる
と、このメッキ液23は内部円筒部材42の先端部及び
配線基板45間の間隙48を介して内部円筒部材42及
び外部円筒部材41間に形成されている外部側流路53
を介して液層22内に再び還元されるようになされてい
る。
よって液層22内のメッキ液23が部分メッキ用治具3
8の内部円筒部材42の内部側流路52に送り込まれる
と、このメッキ液23は内部円筒部材42の先端部及び
配線基板45間の間隙48を介して内部円筒部材42及
び外部円筒部材41間に形成されている外部側流路53
を介して液層22内に再び還元されるようになされてい
る。
ここで部分メッキ用治具38の内部円筒部材42の内部
には第3図に示すように綱目状のアノード電極54が設
けられ、電源26のプラス端子に接続されている。
には第3図に示すように綱目状のアノード電極54が設
けられ、電源26のプラス端子に接続されている。
従って当該部分メッキ用治具38の先端開口部39を配
線基板45の表面銅箔層46に当接した際にカソード電
極43がメッキ処理をしようとする銅箔層46に接触す
ることにより当該銅箔層46がカソード電極43と同電
位となり、さらにアノード電極54を介して流入するメ
ッキ液23が当該銅箔層46に接触することによりこれ
を電解メッキ処理することができる。
線基板45の表面銅箔層46に当接した際にカソード電
極43がメッキ処理をしようとする銅箔層46に接触す
ることにより当該銅箔層46がカソード電極43と同電
位となり、さらにアノード電極54を介して流入するメ
ッキ液23が当該銅箔層46に接触することによりこれ
を電解メッキ処理することができる。
以上の構成において、部分メッキ装置20は配線基板4
5の部分メッキ処理をしようとする表面部分(すなわち
部分メッキ処理をしようとする銅箔層46)に部分メッ
キ用治具38の先端開口部39を当接すると共に、弁3
1及び32をそれぞれ開くことにより液槽22内のメッ
キ液23を流路管36を介して部分メッキ用治具38に
送出する。
5の部分メッキ処理をしようとする表面部分(すなわち
部分メッキ処理をしようとする銅箔層46)に部分メッ
キ用治具38の先端開口部39を当接すると共に、弁3
1及び32をそれぞれ開くことにより液槽22内のメッ
キ液23を流路管36を介して部分メッキ用治具38に
送出する。
このとき電源26によって部分メッキ用治具38のアノ
ード電極54及びカソード電極43に所定電圧を印加す
ることにより、カソード電極43に接触している配線基
板45上の銅箔層46及γメッキ液23に所定の電位差
を生じさ(、これ(より当該銅箔層46のうちのカソー
ド電極43゜同電位かつメッキ液23が接触している部
分に1解メッキ処理を施すことができる。
ード電極54及びカソード電極43に所定電圧を印加す
ることにより、カソード電極43に接触している配線基
板45上の銅箔層46及γメッキ液23に所定の電位差
を生じさ(、これ(より当該銅箔層46のうちのカソー
ド電極43゜同電位かつメッキ液23が接触している部
分に1解メッキ処理を施すことができる。
これに対してメッキ処理を停止する場合は、〕31及び
32を閉じることによりメッキ液23&:ポンプ34及
びバキューム弁35を介して112内に還元し、部分メ
ッキ川沿JI3Bにこれを創出させないようにするわ このようにして弁31及び32を開閉操作すZことによ
りメッキ液23を部分メッキ用治具3εに送出又は送出
停止させることができ、これにJり部分メッキ処理を実
行又は停止させることがズきる。
32を閉じることによりメッキ液23&:ポンプ34及
びバキューム弁35を介して112内に還元し、部分メ
ッキ川沿JI3Bにこれを創出させないようにするわ このようにして弁31及び32を開閉操作すZことによ
りメッキ液23を部分メッキ用治具3εに送出又は送出
停止させることができ、これにJり部分メッキ処理を実
行又は停止させることがズきる。
か(して配線基板45の表面において配線パターン及び
ランド部を形成する銅箔層46に対し7部分メッキ処理
を施すことができる。
ランド部を形成する銅箔層46に対し7部分メッキ処理
を施すことができる。
以上の構成によれば、部分メッキ装R2Oをバいるよう
にしたことより、従来のようにメッキ層を所定のパター
ンにエツチング処理したり、又は銅箔を用いて短絡線を
形成するような煩鉾な工程を実行することなく一段と簡
易な方法によって配線基板45上の配線パターン又はラ
ンド部の一部に部分メッキ処理を施すことができる。
にしたことより、従来のようにメッキ層を所定のパター
ンにエツチング処理したり、又は銅箔を用いて短絡線を
形成するような煩鉾な工程を実行することなく一段と簡
易な方法によって配線基板45上の配線パターン又はラ
ンド部の一部に部分メッキ処理を施すことができる。
因にメッキ処理を糺うす部分だけにメッキ液を接触させ
るようにしたことにより、従来のように配線基板全体を
メッキ液の申に浸漬する方法に比して、メッキ処理を施
さない部分へのメッキ液の付着を少なくすることがてき
、これによりメッキ液の消費髪を一段と少なくすること
ができる。
るようにしたことにより、従来のように配線基板全体を
メッキ液の申に浸漬する方法に比して、メッキ処理を施
さない部分へのメッキ液の付着を少なくすることがてき
、これによりメッキ液の消費髪を一段と少なくすること
ができる。
またメッキ装W20において部分メッキ用沿興38にメ
ッキ液23を循環させるようにしたことにより、メッキ
液温度及び金属イオン量を一段と安定させてメッキ処理
することができ、これにより一段と均一かつ確実にメッ
キ層を形成することができる。
ッキ液23を循環させるようにしたことにより、メッキ
液温度及び金属イオン量を一段と安定させてメッキ処理
することができ、これにより一段と均一かつ確実にメッ
キ層を形成することができる。
なお上述の実施例においては、外部電源を用いた電解メ
ッキ処理に本発明を適用した場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、たとえば外部電源を用いない無電
解置換メッキ処理等においても本発明を適用することが
できる。
ッキ処理に本発明を適用した場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、たとえば外部電源を用いない無電
解置換メッキ処理等においても本発明を適用することが
できる。
また上述の実施例においては、部分メッキ用治具として
二重I1.造の筒状部材を用いた場合について述べたが
、本発明はこれに限らず、例えば−本の筒状部材を途中
で折り返し、当該折り返し部分に開口を設けてこの開口
に被メッキ金属表面を当接するようにしても良い。
二重I1.造の筒状部材を用いた場合について述べたが
、本発明はこれに限らず、例えば−本の筒状部材を途中
で折り返し、当該折り返し部分に開口を設けてこの開口
に被メッキ金属表面を当接するようにしても良い。
また上述の実施例においては、部分メッキ用沿兵の筒状
部材として円筒部材を用いた場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、断面多角形形状の種々の筒状部材
を用いても良い。
部材として円筒部材を用いた場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、断面多角形形状の種々の筒状部材
を用いても良い。
また上述の実施例においては、銅箔てなる配線パターン
及び又はランド部にメッキ処理を施す場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、他の種々の朧電層でなる
配線基板上の配線パターン及び又はランド部に部分メッ
キを施す場合に本発明を適用することがてきる。
及び又はランド部にメッキ処理を施す場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、他の種々の朧電層でなる
配線基板上の配線パターン及び又はランド部に部分メッ
キを施す場合に本発明を適用することがてきる。
さらに上述の実施例においては、本発明を配線基板の表
面に形成された配線パターン及び又はランド部に対して
部分メッキ処理を施す場合について述べたが、本発明は
これに限らず、他の種々の金属面に部分メッキ処理を施
す場合に広く適用することができる。
面に形成された配線パターン及び又はランド部に対して
部分メッキ処理を施す場合について述べたが、本発明は
これに限らず、他の種々の金属面に部分メッキ処理を施
す場合に広く適用することができる。
H発明の勤先
上述のように本発明によれば、所定の流路内にメッキ液
を循環させ、5咳流路の一部に形成された関口において
、当該開口に外部から当接した金S表面にメッキ液を接
触させるようにしたことにより、−段と簡めな方法によ
って5酋金属表面の接触部分にメッキ層を形成すること
ができる部分メッキ方法及びその装置を実現できる。
を循環させ、5咳流路の一部に形成された関口において
、当該開口に外部から当接した金S表面にメッキ液を接
触させるようにしたことにより、−段と簡めな方法によ
って5酋金属表面の接触部分にメッキ層を形成すること
ができる部分メッキ方法及びその装置を実現できる。
第1図は本発明による部分メッキ装置の一実施例を示す
路線的断面図、第2図はその部分メッキ用沿其の詳細構
成を示す拡大断面図、第3図は部分メッキ用治具のアノ
・−ド電極を示す底面図、第4図は従来のメッキ方法を
示す断面図である。 20・・・・・・部分メッキ装置、22・・・・・・液
槽、23・・・・・・メッキ液、31.32・・・・・
・弁、34−−−−−・ポンプ、36−−−−−−流路
管、3 B −−−−−一部分メッキ用治具、41−−
−−−−外部円筒部材、42・・・・・・内部円筒部材
、43・・・・・・カソード電極、45・・・・・・配
線基板、46・・・・・・銅箔層、54−−−−・・ア
ノード電極。
路線的断面図、第2図はその部分メッキ用沿其の詳細構
成を示す拡大断面図、第3図は部分メッキ用治具のアノ
・−ド電極を示す底面図、第4図は従来のメッキ方法を
示す断面図である。 20・・・・・・部分メッキ装置、22・・・・・・液
槽、23・・・・・・メッキ液、31.32・・・・・
・弁、34−−−−−・ポンプ、36−−−−−−流路
管、3 B −−−−−一部分メッキ用治具、41−−
−−−−外部円筒部材、42・・・・・・内部円筒部材
、43・・・・・・カソード電極、45・・・・・・配
線基板、46・・・・・・銅箔層、54−−−−・・ア
ノード電極。
Claims (2)
- (1)金属表面の一部にメッキ層を形成する部分メッキ
方法において、 所定の流路を循環するメッキ液を、上記金属表面の一部
に接触させ、当該金属表面の一部にメッキ層を形成する
ようにした ことを特徴とする部分メッキ方法。 - (2)金属表面の一部にメッキ層を形成する部分メッキ
装置において、 アノード電極及びカソード電極を有するメッキ液循環用
の筒状部材と、 上記筒状部材の一部に形成された開口と を具え、上記開口に上記金属表面を当接し、当該金属表
面の当接部分に上記メッキ液を接触させ、上記金属表面
の一部にメッキ層を形成するようにした ことを特徴とする部分メッキ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26188190A JPH04141599A (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 | 部分メツキ方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26188190A JPH04141599A (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 | 部分メツキ方法及びその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04141599A true JPH04141599A (ja) | 1992-05-15 |
Family
ID=17368063
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26188190A Pending JPH04141599A (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 | 部分メツキ方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04141599A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030083905A (ko) * | 2002-04-23 | 2003-11-01 | (주)에스티디 | 순금속 또는 금속 합금의 표면 또는 절단면에 대한 부분도금 방법 및 부분 도금 장치 |
JP2007118569A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-05-17 | Sony Corp | 賦型の製造方法およびレンズシートの製造方法 |
WO2014188897A1 (ja) * | 2013-05-20 | 2014-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板の処理方法及びテンプレート |
-
1990
- 1990-09-29 JP JP26188190A patent/JPH04141599A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030083905A (ko) * | 2002-04-23 | 2003-11-01 | (주)에스티디 | 순금속 또는 금속 합금의 표면 또는 절단면에 대한 부분도금 방법 및 부분 도금 장치 |
JP2007118569A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-05-17 | Sony Corp | 賦型の製造方法およびレンズシートの製造方法 |
WO2014188897A1 (ja) * | 2013-05-20 | 2014-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板の処理方法及びテンプレート |
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