JPH04138385A - Icテスタのセンシング回路 - Google Patents
Icテスタのセンシング回路Info
- Publication number
- JPH04138385A JPH04138385A JP2260248A JP26024890A JPH04138385A JP H04138385 A JPH04138385 A JP H04138385A JP 2260248 A JP2260248 A JP 2260248A JP 26024890 A JP26024890 A JP 26024890A JP H04138385 A JPH04138385 A JP H04138385A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grounding
- amplifiers
- duts
- potentials
- points
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 9
- 101100444142 Neurospora crassa (strain ATCC 24698 / 74-OR23-1A / CBS 708.71 / DSM 1257 / FGSC 987) dut-1 gene Proteins 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract 2
- 101100117775 Arabidopsis thaliana DUT gene Proteins 0.000 abstract 1
- 101150091805 DUT1 gene Proteins 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業−にの利用分野]
この発明は、グランド電位の変動による影響を除去する
ICテスタのセンシング回路についてのものである。
ICテスタのセンシング回路についてのものである。
[従来の技術]
ICテスタでは、516列測定の個数を増加させること
によって、時間当りの測定個数を増加させ、試験コスト
の低下を図っている。しかし、被測定物(以下、])
tJ Tという。)の動作電流がこれに比例して増え、
I)tJ T間のグランド電位が変動し、測定に悪影響
を及ぼしている。
によって、時間当りの測定個数を増加させ、試験コスト
の低下を図っている。しかし、被測定物(以下、])
tJ Tという。)の動作電流がこれに比例して増え、
I)tJ T間のグランド電位が変動し、測定に悪影響
を及ぼしている。
ICテスタでは、D IJ Tと直接電気的な−rンタ
ーフェースをとるテストステーションが通常計測器や電
源装置を含む本体架と分離されている。このため、正確
なりC電圧をDUTに与えるにはケルビン接続などが用
いられる。ケルビン接続は、DUTの電位をセンシング
することによって、途中の電圧篩Fを予め補償するよう
に供給側を制御するので、複数のDUTに同時に正確な
電位を与えるためには、それぞれ独立なセンシング系を
備えた電源でI) U Tを駆動する。
ーフェースをとるテストステーションが通常計測器や電
源装置を含む本体架と分離されている。このため、正確
なりC電圧をDUTに与えるにはケルビン接続などが用
いられる。ケルビン接続は、DUTの電位をセンシング
することによって、途中の電圧篩Fを予め補償するよう
に供給側を制御するので、複数のDUTに同時に正確な
電位を与えるためには、それぞれ独立なセンシング系を
備えた電源でI) U Tを駆動する。
このようなセンシングは、DCWL圧精度を必要とする
R1測系や、ピンカードのレベル電源についても必要と
なるので、このままでは極めて柔軟性に乏しいか、コス
ト高の装置になってしまう。このため、現行の装置では
、ホット側だけに個別のセンシング系を使用し、接地側
は共通のセンシンク系とし7ている。しかし、D U
Tの並列測定arq数の増加に伴い、DUT間のグラン
ド電位の違いち人きくな−1)ており、従来の共通のセ
ンシング系による手段では、正確な電位をそれぞれのD
U ’1”にj7、えることが困難になっている。
R1測系や、ピンカードのレベル電源についても必要と
なるので、このままでは極めて柔軟性に乏しいか、コス
ト高の装置になってしまう。このため、現行の装置では
、ホット側だけに個別のセンシング系を使用し、接地側
は共通のセンシンク系とし7ている。しかし、D U
Tの並列測定arq数の増加に伴い、DUT間のグラン
ド電位の違いち人きくな−1)ており、従来の共通のセ
ンシング系による手段では、正確な電位をそれぞれのD
U ’1”にj7、えることが困難になっている。
これらの関係を第3図により説明する。第3図の10は
接地線、21は本体側、22はテストステーション側で
ある。
接地線、21は本体側、22はテストステーション側で
ある。
第:3図(’) D U T 1〜1.) U THニ
はそれぞれ11〜INの電流が流れている。電流■、〜
INはインピーダンスZ、〜ZN、 ’Z、oを通っ
て、本体側21に戻っていく。プログラマブル電’i!
f、 P 1〜PNは、センス、〜センス8、センス。
はそれぞれ11〜INの電流が流れている。電流■、〜
INはインピーダンスZ、〜ZN、 ’Z、oを通っ
て、本体側21に戻っていく。プログラマブル電’i!
f、 P 1〜PNは、センス、〜センス8、センス。
を用いてD U ’l’ 、〜D U T Nに正しい
電位を与えている。D U T、〜T、) IJ丁、の
接地側のセンスはセンス。だけなので、61点は正しい
電位に保たれるが、G、、・08点はZI=ZN−1=
ZN、 ZC=O1I 1= I N−1= I Nが
成立しない限り、正しい電位にならない。
電位を与えている。D U T、〜T、) IJ丁、の
接地側のセンスはセンス。だけなので、61点は正しい
電位に保たれるが、G、、・08点はZI=ZN−1=
ZN、 ZC=O1I 1= I N−1= I Nが
成立しない限り、正しい電位にならない。
・rンビーダンスZ1〜ZN、ZCが無視できるほど小
さいか、または電流■、〜■8が小さくてインピーダン
スZ1〜ZN、ZCによる電圧降下が無視できる場合に
は、G H−5,08点の電位は01点とほぼ同じと考
えてよい。しかし、DUTの数が多くなると、実装する
物理的スペースも大きくなり、Z1≠Z S−+、ZN
となり、Zcを流れる電流が大きくなるので、」二の条
件が成立し、なくなる。
さいか、または電流■、〜■8が小さくてインピーダン
スZ1〜ZN、ZCによる電圧降下が無視できる場合に
は、G H−5,08点の電位は01点とほぼ同じと考
えてよい。しかし、DUTの数が多くなると、実装する
物理的スペースも大きくなり、Z1≠Z S−+、ZN
となり、Zcを流れる電流が大きくなるので、」二の条
件が成立し、なくなる。
次に、プログラマブル電源がそれぞれ独自の接地センス
系をもつ従来回路を第4図により説明する。第4図の2
3は本体側、24はテストステーション側である。
系をもつ従来回路を第4図により説明する。第4図の2
3は本体側、24はテストステーション側である。
第4図では、Sl、(]1間の電位差と、SN1、GN
、−1間及びSN、0M間の電位差は等しくなるが、G
、・a、−、・08点の電位そのものは第1図の場合と
同じで等し、くない。
、−1間及びSN、0M間の電位差は等しくなるが、G
、・a、−、・08点の電位そのものは第1図の場合と
同じで等し、くない。
[発明が解決しようどする課題]
実際の装置では、DC電圧を測定したり、DUTに対し
て、ピンカードからレベルを加えることがあるが、この
ような場合でも、それぞれの測定やレベル出力はD U
T、〜I) U T、よりセンスした電位に対して行
わなければならない。すなわち、すべての測定系、!源
等は、これらの接地センス系にアクセスする構造(マト
リックススイッヂのようなもの)となっていなけ扛ばな
らない。これはコスト的には高いものとなるし、接地セ
ンス線を固定的にn1測系、電源等に割付けてしまえば
、柔軟性の乏しい装置になる。
て、ピンカードからレベルを加えることがあるが、この
ような場合でも、それぞれの測定やレベル出力はD U
T、〜I) U T、よりセンスした電位に対して行
わなければならない。すなわち、すべての測定系、!源
等は、これらの接地センス系にアクセスする構造(マト
リックススイッヂのようなもの)となっていなけ扛ばな
らない。これはコスト的には高いものとなるし、接地セ
ンス線を固定的にn1測系、電源等に割付けてしまえば
、柔軟性の乏しい装置になる。
第:3図では、G、〜GN点の電位が違うので、共通の
接地センシングを用いることができないが、61〜(3
Nを同電位にする回路をイ」加すれば、従来の手段をそ
のまま利用できる。
接地センシングを用いることができないが、61〜(3
Nを同電位にする回路をイ」加すれば、従来の手段をそ
のまま利用できる。
この発明は、第3図にG、〜GNを同電位にする回路を
追加し、それぞれに正しい電位を与えることができるI
Cテスタのセンシング回路の提供を目的とする。
追加し、それぞれに正しい電位を与えることができるI
Cテスタのセンシング回路の提供を目的とする。
[n題を解決するための手段]
この目的を達成するため、この発明では、複数(’)
D U ’L” + 〜D U TN(’)各接地点G
、〜GNをそれぞれ入力とし、接地点01〜GNに接続
される複数のインピーダンスZ、〜ZNをそれぞれ出力
に接続す一 る複数の増幅器A1〜ANと、インピーダンスZ1〜Z
Nにそれぞれ並列に接続される複数のバイパスコンデン
サC1〜CNとを備える。
D U ’L” + 〜D U TN(’)各接地点G
、〜GNをそれぞれ入力とし、接地点01〜GNに接続
される複数のインピーダンスZ、〜ZNをそれぞれ出力
に接続す一 る複数の増幅器A1〜ANと、インピーダンスZ1〜Z
Nにそれぞれ並列に接続される複数のバイパスコンデン
サC1〜CNとを備える。
[作用]
I) U T 、〜l) U TNに流れる電流は、共
通の接地線10に戻っていくので、その経路に存在する
インピーダンスによって、G、〜GN点の電位が異なる
。同電位にするには、■1〜■8を別な電源に戻るよう
に接続し、その電源をG、〜GNが同電位となるように
制御してやればよい。
通の接地線10に戻っていくので、その経路に存在する
インピーダンスによって、G、〜GN点の電位が異なる
。同電位にするには、■1〜■8を別な電源に戻るよう
に接続し、その電源をG、〜GNが同電位となるように
制御してやればよい。
次に、この発明によるICテスタのセンシング回路の構
成を第1図により説明する。第1図の11は本体側、1
2はステーション側である。
成を第1図により説明する。第1図の11は本体側、1
2はステーション側である。
第1図のA1〜ANはG、〜GN点の電位をセンシング
し、R点と同じように制御するための増幅器である。
し、R点と同じように制御するための増幅器である。
DUT、〜DUTNの接地側は、直接接地線10には接
続しないで、これを増幅器A1〜ANの出力に接続する
。これにより、D U ’I’ 、〜DUT、の接地側
は接地線10から浮いてしまうので、パイパスコンデン
サC1〜CNを挿入する。
続しないで、これを増幅器A1〜ANの出力に接続する
。これにより、D U ’I’ 、〜DUT、の接地側
は接地線10から浮いてしまうので、パイパスコンデン
サC1〜CNを挿入する。
センス。は回路が追従する範囲であれば、どこに接地し
てもよいが、ステーション−にの接地点がよい。このよ
うにすると、G、〜GN点の電位はR点と等しくなるの
で、接地側のセンシングは1点でよいことになる。
てもよいが、ステーション−にの接地点がよい。このよ
うにすると、G、〜GN点の電位はR点と等しくなるの
で、接地側のセンシングは1点でよいことになる。
第1−図が第3図、第4図と違う部分は、増幅器A、−
ANと、D U ’l’ 、〜D U T Nの接地側
の配線の変更、バイパスコンデンサC1〜CNの追加で
ある。
ANと、D U ’l’ 、〜D U T Nの接地側
の配線の変更、バイパスコンデンサC1〜CNの追加で
ある。
増幅器Δ1〜ANの動作範囲は、11・Z、〜■8・Z
Nの電圧降下を吸収できる範囲であるが、Z。
Nの電圧降下を吸収できる範囲であるが、Z。
〜ZNけ小さいので大きくする必要はない。
したがって、増幅器A1〜ANには高い電圧を与えたり
、大きな電力を扱える機能は必要でなく、また、従来回
路に増設するだけなので、装置全体を大きく変更する必
要がない。
、大きな電力を扱える機能は必要でなく、また、従来回
路に増設するだけなので、装置全体を大きく変更する必
要がない。
第1図では、増幅器A1〜ANをDUT、〜DU゛■゛
8に対し、それぞれ1個使用しているが、DU′1′1
個当りの電流が少ない場合には、■、・71〜2N−2
,がそれぞれ小さくなるので、数個をまとめてセンシン
グしてもよい。
8に対し、それぞれ1個使用しているが、DU′1′1
個当りの電流が少ない場合には、■、・71〜2N−2
,がそれぞれ小さくなるので、数個をまとめてセンシン
グしてもよい。
次に、第1−図の実施例回路の構成を第2図により説明
する。第2図では、3個のDUTを1組とし゛Cセンシ
ングしている。この場合は、■、〜■8が少なく、Z1
〜ZNによる電圧降下の違いが3個程度なら無視できる
という条件が必要である。これにより、増幅器の数を減
らすことができる。
する。第2図では、3個のDUTを1組とし゛Cセンシ
ングしている。この場合は、■、〜■8が少なく、Z1
〜ZNによる電圧降下の違いが3個程度なら無視できる
という条件が必要である。これにより、増幅器の数を減
らすことができる。
以」二のように、第1図、第2図によれば、従来装置を
大きく変更することなく、複数のD U Tに正確な電
位を与えることができる。
大きく変更することなく、複数のD U Tに正確な電
位を与えることができる。
[発明の効果]
この発明によれば、増幅器A1〜ANとバイパスコンデ
ンサC3〜CNを追加しているので、複数のDUTを1
台のステーション」二で並列に試験するICテスタでは
、次のような効果がある。
ンサC3〜CNを追加しているので、複数のDUTを1
台のステーション」二で並列に試験するICテスタでは
、次のような効果がある。
(ア)並列に試験するDUTが増えても、それぞれに正
しい電位を与えることができる。
しい電位を与えることができる。
(イ)従来回路を大幅に変更していないので、コストア
ップを抑えることができる。
ップを抑えることができる。
(つ)ユーザに与える負担(例えばプログラムの変更や
、大幅なI) U ’L’への接続変更)を最小限の範
囲にどどめることができる。
、大幅なI) U ’L’への接続変更)を最小限の範
囲にどどめることができる。
第1図はこの発明による1cテスタのセンシング回路の
構成図、第2図は第1図の実施例の回路図、第3図は従
来技術によるセンシング回路の構成図、第4図は従来技
術による他のセンシング回路の構成図である。 10・・・・・・接地線、i l・・団・本体側、12
・・・・・・テストステーション側、A1〜AN・・・
・・・増幅器、c1〜C8・・−・・・バイパスコンデ
ンサ。 代理人 弁理士 小 俣 欽 司
構成図、第2図は第1図の実施例の回路図、第3図は従
来技術によるセンシング回路の構成図、第4図は従来技
術による他のセンシング回路の構成図である。 10・・・・・・接地線、i l・・団・本体側、12
・・・・・・テストステーション側、A1〜AN・・・
・・・増幅器、c1〜C8・・−・・・バイパスコンデ
ンサ。 代理人 弁理士 小 俣 欽 司
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、複数のDUT_1〜DUT_Nの各接地点G_1〜
G_Nをそれぞれ入力とし、前記接地点G_1〜G_N
に接続される複数のインピーダンスZ_1〜Z_Nをそ
れぞれ出力に接続する複数の増幅器A_1〜A_Nと、 前記インピーダンスZ_1〜Z_Nにそれぞれ並列に接
続される複数のバイパスコンデンサC_1〜C_Nとを
備えることを特徴とするICテスタのセンシング回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2260248A JPH04138385A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Icテスタのセンシング回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2260248A JPH04138385A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Icテスタのセンシング回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04138385A true JPH04138385A (ja) | 1992-05-12 |
Family
ID=17345412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2260248A Pending JPH04138385A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Icテスタのセンシング回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04138385A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10059142B4 (de) * | 1999-11-30 | 2004-05-19 | Ando Electric Co., Ltd., Kawasaki | Strombegrenzungsapparat |
WO2018112452A1 (en) | 2016-12-16 | 2018-06-21 | Abb Schweiz Ag | Compensation for ground return differences |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP2260248A patent/JPH04138385A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10059142B4 (de) * | 1999-11-30 | 2004-05-19 | Ando Electric Co., Ltd., Kawasaki | Strombegrenzungsapparat |
WO2018112452A1 (en) | 2016-12-16 | 2018-06-21 | Abb Schweiz Ag | Compensation for ground return differences |
CN110383088A (zh) * | 2016-12-16 | 2019-10-25 | Abb瑞士股份有限公司 | 对接地返回差异的补偿 |
JP2020514768A (ja) * | 2016-12-16 | 2020-05-21 | アーベーベー・シュバイツ・アーゲー | グランドリターンの差異についての補償 |
EP3555646A4 (en) * | 2016-12-16 | 2021-01-13 | ABB Schweiz AG | COMPENSATION OF DIFFERENCES IN EARTH |
JP2022133430A (ja) * | 2016-12-16 | 2022-09-13 | アーベーベー・シュバイツ・アーゲー | グランドリターンの差異についての補償 |
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