JPH04138385A - Ｉｃテスタのセンシング回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業−にの利用分野］ この発明は、グランド電位の変動による影響を除去する
ＩＣテスタのセンシング回路についてのものである。

［従来の技術］ ＩＣテスタでは、５１６列測定の個数を増加させること
によって、時間当りの測定個数を増加させ、試験コスト
の低下を図っている。しかし、被測定物（以下、］）　
ｔＪ　Ｔという。）の動作電流がこれに比例して増え、
Ｉ）ｔＪ　Ｔ間のグランド電位が変動し、測定に悪影響
を及ぼしている。

ＩＣテスタでは、Ｄ　ＩＪ　Ｔと直接電気的な−ｒンタ
ーフェースをとるテストステーションが通常計測器や電
源装置を含む本体架と分離されている。このため、正確
なりＣ電圧をＤＵＴに与えるにはケルビン接続などが用
いられる。ケルビン接続は、ＤＵＴの電位をセンシング
することによって、途中の電圧篩Ｆを予め補償するよう
に供給側を制御するので、複数のＤＵＴに同時に正確な
電位を与えるためには、それぞれ独立なセンシング系を
備えた電源でＩ）　Ｕ　Ｔを駆動する。

このようなセンシングは、ＤＣＷＬ圧精度を必要とする
Ｒ１測系や、ピンカードのレベル電源についても必要と
なるので、このままでは極めて柔軟性に乏しいか、コス
ト高の装置になってしまう。このため、現行の装置では
、ホット側だけに個別のセンシング系を使用し、接地側
は共通のセンシンク系とし７ている。しかし、Ｄ　Ｕ　
Ｔの並列測定ａｒｑ数の増加に伴い、ＤＵＴ間のグラン
ド電位の違いち人きくな−１）ており、従来の共通のセ
ンシング系による手段では、正確な電位をそれぞれのＤ
　Ｕ　’１”にｊ７、えることが困難になっている。

これらの関係を第３図により説明する。第３図の１０は
接地線、２１は本体側、２２はテストステーション側で
ある。

第：３図（’）　Ｄ　Ｕ　Ｔ　１〜１．）　Ｕ　ＴＨニ
はそれぞれ１１〜ＩＮの電流が流れている。電流■、〜
ＩＮはインピーダンスＺ、〜ＺＮ、　　’Ｚ、ｏを通っ
て、本体側２１に戻っていく。プログラマブル電’ｉ！
ｆ、　Ｐ　１〜ＰＮは、センス、〜センス８、センス。

を用いてＤ　Ｕ　’ｌ’　、〜Ｄ　Ｕ　Ｔ　Ｎに正しい
電位を与えている。Ｄ　Ｕ　Ｔ、〜Ｔ、）　ＩＪ丁、の
接地側のセンスはセンス。だけなので、６１点は正しい
電位に保たれるが、Ｇ、、・０８点はＺＩ＝ＺＮ−１＝
ＺＮ、　ＺＣ＝Ｏ１Ｉ　１＝　Ｉ　Ｎ−１＝　Ｉ　Ｎが
成立しない限り、正しい電位にならない。

・ｒンビーダンスＺ１〜ＺＮ、ＺＣが無視できるほど小
さいか、または電流■、〜■８が小さくてインピーダン
スＺ１〜ＺＮ、ＺＣによる電圧降下が無視できる場合に
は、Ｇ　Ｈ−５，０８点の電位は０１点とほぼ同じと考
えてよい。しかし、ＤＵＴの数が多くなると、実装する
物理的スペースも大きくなり、Ｚ１≠Ｚ　Ｓ−＋、ＺＮ
となり、Ｚｃを流れる電流が大きくなるので、」二の条
件が成立し、なくなる。

次に、プログラマブル電源がそれぞれ独自の接地センス
系をもつ従来回路を第４図により説明する。第４図の２
３は本体側、２４はテストステーション側である。

第４図では、Ｓｌ、（］１間の電位差と、ＳＮ１、ＧＮ
、−１間及びＳＮ、０Ｍ間の電位差は等しくなるが、Ｇ
、・ａ、−、・０８点の電位そのものは第１図の場合と
同じで等し、くない。

［発明が解決しようどする課題］ 実際の装置では、ＤＣ電圧を測定したり、ＤＵＴに対し
て、ピンカードからレベルを加えることがあるが、この
ような場合でも、それぞれの測定やレベル出力はＤ　Ｕ
　Ｔ、〜Ｉ）　Ｕ　Ｔ、よりセンスした電位に対して行
わなければならない。すなわち、すべての測定系、！源
等は、これらの接地センス系にアクセスする構造（マト
リックススイッヂのようなもの）となっていなけ扛ばな
らない。これはコスト的には高いものとなるし、接地セ
ンス線を固定的にｎ１測系、電源等に割付けてしまえば
、柔軟性の乏しい装置になる。

第：３図では、Ｇ、〜ＧＮ点の電位が違うので、共通の
接地センシングを用いることができないが、６１〜（３
Ｎを同電位にする回路をイ」加すれば、従来の手段をそ
のまま利用できる。

この発明は、第３図にＧ、〜ＧＮを同電位にする回路を
追加し、それぞれに正しい電位を与えることができるＩ
Ｃテスタのセンシング回路の提供を目的とする。

［ｎ題を解決するための手段］ この目的を達成するため、この発明では、複数（’）　
Ｄ　Ｕ　’Ｌ”　＋　〜Ｄ　Ｕ　ＴＮ（’）各接地点Ｇ
、〜ＧＮをそれぞれ入力とし、接地点０１〜ＧＮに接続
される複数のインピーダンスＺ、〜ＺＮをそれぞれ出力
に接続す一 る複数の増幅器Ａ１〜ＡＮと、インピーダンスＺ１〜Ｚ
Ｎにそれぞれ並列に接続される複数のバイパスコンデン
サＣ１〜ＣＮとを備える。

［作用］ Ｉ）　Ｕ　Ｔ　、〜ｌ）　Ｕ　ＴＮに流れる電流は、共
通の接地線１０に戻っていくので、その経路に存在する
インピーダンスによって、Ｇ、〜ＧＮ点の電位が異なる
。同電位にするには、■１〜■８を別な電源に戻るよう
に接続し、その電源をＧ、〜ＧＮが同電位となるように
制御してやればよい。

次に、この発明によるＩＣテスタのセンシング回路の構
成を第１図により説明する。第１図の１１は本体側、１
２はステーション側である。

第１図のＡ１〜ＡＮはＧ、〜ＧＮ点の電位をセンシング
し、Ｒ点と同じように制御するための増幅器である。

ＤＵＴ、〜ＤＵＴＮの接地側は、直接接地線１０には接
続しないで、これを増幅器Ａ１〜ＡＮの出力に接続する
。これにより、Ｄ　Ｕ　’Ｉ’　、〜ＤＵＴ、の接地側
は接地線１０から浮いてしまうので、パイパスコンデン
サＣ１〜ＣＮを挿入する。

センス。は回路が追従する範囲であれば、どこに接地し
てもよいが、ステーション−にの接地点がよい。このよ
うにすると、Ｇ、〜ＧＮ点の電位はＲ点と等しくなるの
で、接地側のセンシングは１点でよいことになる。

第１−図が第３図、第４図と違う部分は、増幅器Ａ、−
ＡＮと、Ｄ　Ｕ　’ｌ’　、〜Ｄ　Ｕ　Ｔ　Ｎの接地側
の配線の変更、バイパスコンデンサＣ１〜ＣＮの追加で
ある。

増幅器Δ１〜ＡＮの動作範囲は、１１・Ｚ、〜■８・Ｚ
Ｎの電圧降下を吸収できる範囲であるが、Ｚ。

〜ＺＮけ小さいので大きくする必要はない。

したがって、増幅器Ａ１〜ＡＮには高い電圧を与えたり
、大きな電力を扱える機能は必要でなく、また、従来回
路に増設するだけなので、装置全体を大きく変更する必
要がない。

第１図では、増幅器Ａ１〜ＡＮをＤＵＴ、〜ＤＵ゛■゛
８に対し、それぞれ１個使用しているが、ＤＵ′１′１
個当りの電流が少ない場合には、■、・７１〜２Ｎ−２
，がそれぞれ小さくなるので、数個をまとめてセンシン
グしてもよい。

次に、第１−図の実施例回路の構成を第２図により説明
する。第２図では、３個のＤＵＴを１組とし゛Ｃセンシ
ングしている。この場合は、■、〜■８が少なく、Ｚ１
〜ＺＮによる電圧降下の違いが３個程度なら無視できる
という条件が必要である。これにより、増幅器の数を減
らすことができる。

以」二のように、第１図、第２図によれば、従来装置を
大きく変更することなく、複数のＤ　Ｕ　Ｔに正確な電
位を与えることができる。

［発明の効果］ この発明によれば、増幅器Ａ１〜ＡＮとバイパスコンデ
ンサＣ３〜ＣＮを追加しているので、複数のＤＵＴを１
台のステーション」二で並列に試験するＩＣテスタでは
、次のような効果がある。

（ア）並列に試験するＤＵＴが増えても、それぞれに正
しい電位を与えることができる。

（イ）従来回路を大幅に変更していないので、コストア
ップを抑えることができる。

（つ）ユーザに与える負担（例えばプログラムの変更や
、大幅なＩ）　Ｕ　’Ｌ’への接続変更）を最小限の範
囲にどどめることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による１ｃテスタのセンシング回路の
構成図、第２図は第１図の実施例の回路図、第３図は従
来技術によるセンシング回路の構成図、第４図は従来技
術による他のセンシング回路の構成図である。 １０・・・・・・接地線、ｉ　ｌ・・団・本体側、１２
・・・・・・テストステーション側、Ａ１〜ＡＮ・・・
・・・増幅器、ｃ１〜Ｃ８・・−・・・バイパスコンデ
ンサ。 代理人　　弁理士　　小　俣　欽　司

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数のＤＵＴ＿１〜ＤＵＴ＿Ｎの各接地点Ｇ＿１〜
   Ｇ＿Ｎをそれぞれ入力とし、前記接地点Ｇ＿１〜Ｇ＿Ｎ
   に接続される複数のインピーダンスＺ＿１〜Ｚ＿Ｎをそ
   れぞれ出力に接続する複数の増幅器Ａ＿１〜Ａ＿Ｎと、 前記インピーダンスＺ＿１〜Ｚ＿Ｎにそれぞれ並列に接
   続される複数のバイパスコンデンサＣ＿１〜Ｃ＿Ｎとを
   備えることを特徴とするＩＣテスタのセンシング回路。