JPH04136807A - 落射照明装置 - Google Patents
落射照明装置Info
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- JPH04136807A JPH04136807A JP25710590A JP25710590A JPH04136807A JP H04136807 A JPH04136807 A JP H04136807A JP 25710590 A JP25710590 A JP 25710590A JP 25710590 A JP25710590 A JP 25710590A JP H04136807 A JPH04136807 A JP H04136807A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 60
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
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- 238000001446 dark-field microscopy Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
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- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は無限遠補正観察光学系を備えた顕微鏡システム
の落射照明装置に関する。
の落射照明装置に関する。
従来、観察光学系中に検鏡内容に応じたアタッチメント
や各種光学部祠が介在する顕微鏡システムでは、それら
光学部材によって倍率や結像特性に影響が出ないように
無限遠補正観察光学系が用いられている。
や各種光学部祠が介在する顕微鏡システムでは、それら
光学部材によって倍率や結像特性に影響が出ないように
無限遠補正観察光学系が用いられている。
第9図は無限遠補正観察光学系を備えた顕微鏡システム
の落射照明装置を示す図である。同図に示す1は対物レ
ンズ鏡筒であって、顕微鏡のレボルバ−2に取付けられ
ている。鏡筒1内の中心部には無限遠補正観察光学系の
一部を構成する対物レンズ3が設、けられ、この対物レ
ンズ3の先端部外周にリング状集光ミラー4が配置され
ている。
の落射照明装置を示す図である。同図に示す1は対物レ
ンズ鏡筒であって、顕微鏡のレボルバ−2に取付けられ
ている。鏡筒1内の中心部には無限遠補正観察光学系の
一部を構成する対物レンズ3が設、けられ、この対物レ
ンズ3の先端部外周にリング状集光ミラー4が配置され
ている。
対物レンズ3の上方には照明光を集光ミラー4へ偏向さ
せるリング状穴あきミラー5が配置され、この穴あきミ
ラー5の中心部に観察光軸と同軸に遮光筒6が配置され
ている。遮光筒6は観察光路内にリング状照明光が混入
するのを防止するように配置される。また、光源7を発
した光は照明レンズ8〜10で平行光束の照明光となっ
て穴あきミラー5に入射するようになっている。また、
上記したアタッチメントやハーフミラ−等の光学部材は
対物レンズ3と遮光筒6との間に介在されるため、その
間は十分な距離がとられており、照明用光路と観察光路
とを分離するための遮光筒]2が設けられている。
せるリング状穴あきミラー5が配置され、この穴あきミ
ラー5の中心部に観察光軸と同軸に遮光筒6が配置され
ている。遮光筒6は観察光路内にリング状照明光が混入
するのを防止するように配置される。また、光源7を発
した光は照明レンズ8〜10で平行光束の照明光となっ
て穴あきミラー5に入射するようになっている。また、
上記したアタッチメントやハーフミラ−等の光学部材は
対物レンズ3と遮光筒6との間に介在されるため、その
間は十分な距離がとられており、照明用光路と観察光路
とを分離するための遮光筒]2が設けられている。
この様な落射照明装置において、光源7を発した照明光
は照明レンズ8〜10によって平行照明光となって穴あ
きミラー5に入射する。そして、穴あきミラー5で反射
されたリング状照明光が照明光路を通ってリング状レン
ズ4に入射して、物体面O上に集光せしめられる。物体
面Oを発した光は対物レンズ3.遮光筒6を通って図示
しない結像レンズに入射される。物体面Oを発した光は
、遮光筒6を通過するとき、遮光筒6内に設けられた絞
り11によって遮光筒6内でのフレアの発生が防止され
る。
は照明レンズ8〜10によって平行照明光となって穴あ
きミラー5に入射する。そして、穴あきミラー5で反射
されたリング状照明光が照明光路を通ってリング状レン
ズ4に入射して、物体面O上に集光せしめられる。物体
面Oを発した光は対物レンズ3.遮光筒6を通って図示
しない結像レンズに入射される。物体面Oを発した光は
、遮光筒6を通過するとき、遮光筒6内に設けられた絞
り11によって遮光筒6内でのフレアの発生が防止され
る。
しかしながら、上述した落射照明装置は、対物レンズ3
の解像度を上げるために開口数を大きくしたり、または
観察光学系内にアタッチメント等を介在させるために対
物レンズと絞り11との間の距離が長くなることから観
察視野周辺の光量不足が発生するという問題かあった。
の解像度を上げるために開口数を大きくしたり、または
観察光学系内にアタッチメント等を介在させるために対
物レンズと絞り11との間の距離が長くなることから観
察視野周辺の光量不足が発生するという問題かあった。
この問題を第10図を参照して説明する。尚、同図は物
体面0から遮光筒6の絞り11までの間の無限遠補正観
察光学系を模式的に示したものである。
体面0から遮光筒6の絞り11までの間の無限遠補正観
察光学系を模式的に示したものである。
この無限遠補正観察光学系において、観察視野中心P1
を発した光線は、シ1〜シ3の様に光軸と平行に進むが
、観察視野周辺P2を発した光線は、ν4〜シロの様に
光軸に対して斜めに進む。
を発した光線は、シ1〜シ3の様に光軸と平行に進むが
、観察視野周辺P2を発した光線は、ν4〜シロの様に
光軸に対して斜めに進む。
このため、途中に絞り11かあると、観察視野中心の光
線すべて通過するか、観察視野周辺の光線は絞り11て
カットされる可能性があり、視野周辺に向かう程に光量
の減衰量が増加して像が暗くなる。そして、絞り位置が
aからbのように遠ざかるに従ってその傾向が一層強ま
る。また、対物レンズの開口数が大きくなるときも同様
の光量不足が生じる。
線すべて通過するか、観察視野周辺の光線は絞り11て
カットされる可能性があり、視野周辺に向かう程に光量
の減衰量が増加して像が暗くなる。そして、絞り位置が
aからbのように遠ざかるに従ってその傾向が一層強ま
る。また、対物レンズの開口数が大きくなるときも同様
の光量不足が生じる。
なお、この様な光量不足は観察光路を太くすればある程
度解消されるが、従来の落射照明装置の光学系は観察光
路内への照明光の混入を防止するためにリング状照明光
路と観察光路とを遮光筒]2にて分離する構成となって
いるため、観察光路の幅が制限されてしまい、観察光路
を太くするのは困難であった。
度解消されるが、従来の落射照明装置の光学系は観察光
路内への照明光の混入を防止するためにリング状照明光
路と観察光路とを遮光筒]2にて分離する構成となって
いるため、観察光路の幅が制限されてしまい、観察光路
を太くするのは困難であった。
本発明は以上のような実情に鑑みてなされたちので、無
限遠補正観察光学系による観察視野周辺の光量不足を防
止でき、明るくムラの少ない落射照明を行うことができ
、しかも他の顕微鏡システムとの互換性に優れた落射照
明装置を提供することを目的とする。
限遠補正観察光学系による観察視野周辺の光量不足を防
止でき、明るくムラの少ない落射照明を行うことができ
、しかも他の顕微鏡システムとの互換性に優れた落射照
明装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明に係る落射照明装置は
、顕微鏡のレボルバ−に取イ・1けられた対物レンズが
無限遠補正観察光学系の一部を構成し、該対物レンズを
囲繞して照明用光路が設けられ、該照明用光路によって
導かれた照明光で前記対物レンズの観察視野を照明する
落射照明装置において、前記レボルバ−内であって前記
照明用光路の端部開口と対向する位置に、前記照明光の
光源となる環状光源を設けた構成とした。
、顕微鏡のレボルバ−に取イ・1けられた対物レンズが
無限遠補正観察光学系の一部を構成し、該対物レンズを
囲繞して照明用光路が設けられ、該照明用光路によって
導かれた照明光で前記対物レンズの観察視野を照明する
落射照明装置において、前記レボルバ−内であって前記
照明用光路の端部開口と対向する位置に、前記照明光の
光源となる環状光源を設けた構成とした。
本発明によれば、照明用の光源をレボルバ−内にリング
状に設けたので、照明用光路と観察用光路とを分離する
遮光筒の長さを短縮化することができ、周辺光量不足を
抑えることができ、しかもシステム性を損なうことなく
、種々の検鏡に対応できる。
状に設けたので、照明用光路と観察用光路とを分離する
遮光筒の長さを短縮化することができ、周辺光量不足を
抑えることができ、しかもシステム性を損なうことなく
、種々の検鏡に対応できる。
以下、本発明の実施例について説明する。
第1図は本発明の第1実施例を示す図である。
本実施例は、顕微鏡本体20に着脱自在に取付けられる
レボルバ−21内に後述するリング状光源が設けられて
いる。レボルバ−21の固定側22は、アリ溝等によっ
て顕微鏡本体20に着脱自在に取付けられていて、観察
光学系の光軸と同軸の円筒空間が形成されている。また
、レボルバ−21の可動側23に、対物レンズ鏡筒24
が着脱自在に取付けられている。対物レンズ鏡筒24内
には、観察光軸と同心的に対物レンズ25が配置され、
その周囲に照明用光路26が形成されている。対物レン
ズ鏡筒24の取付は側であって鏡筒開口と対物レンズ2
5外周とから形成されるリング状開口に、照明光を平行
光束に変換するリング状レンズ27が設けられている。
レボルバ−21内に後述するリング状光源が設けられて
いる。レボルバ−21の固定側22は、アリ溝等によっ
て顕微鏡本体20に着脱自在に取付けられていて、観察
光学系の光軸と同軸の円筒空間が形成されている。また
、レボルバ−21の可動側23に、対物レンズ鏡筒24
が着脱自在に取付けられている。対物レンズ鏡筒24内
には、観察光軸と同心的に対物レンズ25が配置され、
その周囲に照明用光路26が形成されている。対物レン
ズ鏡筒24の取付は側であって鏡筒開口と対物レンズ2
5外周とから形成されるリング状開口に、照明光を平行
光束に変換するリング状レンズ27が設けられている。
さらに、このリング状レンズ27の出射側にフロスト2
8が取外し可能に配置されている。このフロスト28は
、ドーナツ状をなし照明ムラを減少させる機能を有する
。また、対物レンズ鏡筒24の先端部には、照明用光路
26を通って導かれた照明光を物体O上に集光させるリ
ング状集光レンズ29が配置されている。対物レンズ鏡
筒24はレボルバ−の可動側23と共に回転して図示の
如く配置される。
8が取外し可能に配置されている。このフロスト28は
、ドーナツ状をなし照明ムラを減少させる機能を有する
。また、対物レンズ鏡筒24の先端部には、照明用光路
26を通って導かれた照明光を物体O上に集光させるリ
ング状集光レンズ29が配置されている。対物レンズ鏡
筒24はレボルバ−の可動側23と共に回転して図示の
如く配置される。
レボルバ−の固定側22には、その円筒空間開口部周辺
であって照明用光路25のリング状開口と対向する位置
に上記リング状光源30が設けられている。
であって照明用光路25のリング状開口と対向する位置
に上記リング状光源30が設けられている。
この様に構成された本実施例においては、対物レンズ2
5の上に極めて近接してリング状光源30が配置され、
リング状光源30から発した照明光はリング状レンズ2
7に入射する。ここで、照明光が観察用光路へ混入する
のを防止するための遮光筒が必要となる距離は、本実施
例ではリング状光源30から対物レンズ先端までの極め
て短い距離となる。リング状レンズ27に入射した照明
光は平行光に変換された後、フロスト28を介してリン
グ状集光レンズ29へ入射する。そして、リング状集光
レンズ29によって物体O上に集光せしめられた照明光
によって照明される。
5の上に極めて近接してリング状光源30が配置され、
リング状光源30から発した照明光はリング状レンズ2
7に入射する。ここで、照明光が観察用光路へ混入する
のを防止するための遮光筒が必要となる距離は、本実施
例ではリング状光源30から対物レンズ先端までの極め
て短い距離となる。リング状レンズ27に入射した照明
光は平行光に変換された後、フロスト28を介してリン
グ状集光レンズ29へ入射する。そして、リング状集光
レンズ29によって物体O上に集光せしめられた照明光
によって照明される。
この様に本実施例によれば、リング状光源30をレボル
バ−21内に設けたので、照明光源(リング状光源30
)を対物レンズ25に極めて近接させて配置できて、照
明用光路と観察用光路とを分離するための遮光筒の長さ
を従来のものに比べて大幅に短縮化することができ、遮
光筒による観察光学系の周辺光量不足を有効に防止する
ことができる。また、レボルバ−21を交換したとして
も、遮光筒は顕微鏡本体20にはないので、周辺光量の
不足は最小限に抑えられる。この様な落射照明装置を用
いれば理想的な顕微鏡システムを構成することができ、
各種検鏡時において最高の性能を発揮させることができ
る。特に、暗視野検鏡時には、明るくムラの少ない落射
暗視野照明を行うことかできる。
バ−21内に設けたので、照明光源(リング状光源30
)を対物レンズ25に極めて近接させて配置できて、照
明用光路と観察用光路とを分離するための遮光筒の長さ
を従来のものに比べて大幅に短縮化することができ、遮
光筒による観察光学系の周辺光量不足を有効に防止する
ことができる。また、レボルバ−21を交換したとして
も、遮光筒は顕微鏡本体20にはないので、周辺光量の
不足は最小限に抑えられる。この様な落射照明装置を用
いれば理想的な顕微鏡システムを構成することができ、
各種検鏡時において最高の性能を発揮させることができ
る。特に、暗視野検鏡時には、明るくムラの少ない落射
暗視野照明を行うことかできる。
次に本発明の第2実施例を第2図および第3図を参照し
て説明する。
て説明する。
本実施例は、微分干渉検鏡に用いられるノマルスキープ
□リズムを挿入するためのスペースをレボルバ−の固定
側内に形成した例である。顕微鏡本体20に着脱自在に
取付けられたレボルバ−の固定側31内の観察光路空間
に、スライダー設置スペース32が形成されている。ス
ライダー設置スペース32と対物レンズ鏡筒24との間
は遮光筒33によって観察用光路と照明用光路とが分離
されている。
□リズムを挿入するためのスペースをレボルバ−の固定
側内に形成した例である。顕微鏡本体20に着脱自在に
取付けられたレボルバ−の固定側31内の観察光路空間
に、スライダー設置スペース32が形成されている。ス
ライダー設置スペース32と対物レンズ鏡筒24との間
は遮光筒33によって観察用光路と照明用光路とが分離
されている。
第3図(a)(b)はスペース32に挿脱自在に設けら
れるスライダー34a、34bを示す図である。スライ
ダー34aはリング状光源35が内蔵されており、スペ
ース32に挿入した状態において、リング状光源35が
照明光路上に配置される。スライダー34bはノマルス
キープリズム36が内蔵されていて、スペース32に挿
入した状態において、ノマルスキープリズム36が観察
光軸上に配置される。この様な両スライダー34a、3
4bの外形を同一形状とすることによりスペース32を
共用できる。
れるスライダー34a、34bを示す図である。スライ
ダー34aはリング状光源35が内蔵されており、スペ
ース32に挿入した状態において、リング状光源35が
照明光路上に配置される。スライダー34bはノマルス
キープリズム36が内蔵されていて、スペース32に挿
入した状態において、ノマルスキープリズム36が観察
光軸上に配置される。この様な両スライダー34a、3
4bの外形を同一形状とすることによりスペース32を
共用できる。
ここで、微分干渉検鏡と暗視野検鏡は同時検鏡しないた
め、微分干渉検鏡時にはノマルスキープリズムスライダ
ー34をスペース32へ挿入し、暗視野検鏡時にはスラ
イダー33をスペース32へ挿入する。
め、微分干渉検鏡時にはノマルスキープリズムスライダ
ー34をスペース32へ挿入し、暗視野検鏡時にはスラ
イダー33をスペース32へ挿入する。
この様に本実施例によれば、従来に比べて観察光学系の
周辺光量不足を防止することができると共に、レボルバ
−21の固定側31に形成したスペース32を暗視野検
鏡用スライダー34aとノマルスキープリズムスライダ
ー34bとで共用するようにしたので、固定側31の内
部にリング状光源を設けるのに比べて製作が容品で安価
にできるという利点がある。また、他の特殊検鏡のため
のアタッチメントとの互換性を保つことができる。
周辺光量不足を防止することができると共に、レボルバ
−21の固定側31に形成したスペース32を暗視野検
鏡用スライダー34aとノマルスキープリズムスライダ
ー34bとで共用するようにしたので、固定側31の内
部にリング状光源を設けるのに比べて製作が容品で安価
にできるという利点がある。また、他の特殊検鏡のため
のアタッチメントとの互換性を保つことができる。
次に本発明の第3実施例について第4図及び第5図を参
照して説明する。
照して説明する。
本実施例は、基本的な構成は第1実施例で説明した構成
と同じであり、特に異なる点はリング状光源を第5図(
a)に示すポイント状光源に代えたこと、及びリング状
レンズを第5図(b)に示すマイクロレンズに代えたこ
とである。ポイント状光源40は、観察用光路と路間−
径の開口の周囲に複数の点光源4]を等間隔で配置した
ものである。
と同じであり、特に異なる点はリング状光源を第5図(
a)に示すポイント状光源に代えたこと、及びリング状
レンズを第5図(b)に示すマイクロレンズに代えたこ
とである。ポイント状光源40は、観察用光路と路間−
径の開口の周囲に複数の点光源4]を等間隔で配置した
ものである。
この様な本実施例によっても第1実施例と同様に周辺光
量の不足を防止することができる。また、リング状レン
ズはレンズ自体にメリジオナル方向にはレンズ効果があ
るがサジタル方向にはないため、サジタル方向の光がフ
レア等の原因になることが考えられるが、本実施例では
マイクロレンズ42を用いているのでメリジオナル、サ
ジタル両方向にレンズ効果を得ることができ照明光を有
効に使用することができる。
量の不足を防止することができる。また、リング状レン
ズはレンズ自体にメリジオナル方向にはレンズ効果があ
るがサジタル方向にはないため、サジタル方向の光がフ
レア等の原因になることが考えられるが、本実施例では
マイクロレンズ42を用いているのでメリジオナル、サ
ジタル両方向にレンズ効果を得ることができ照明光を有
効に使用することができる。
本発明の第4実施例を第6図及び第7図に示す。
本実施例は、対物レンズ25の外周に第7図に示す環状
スリット50を外挿して、環状スリット50を照明用光
路26中に挿入している。
スリット50を外挿して、環状スリット50を照明用光
路26中に挿入している。
この様な本実施例によれば、環状スリット50によって
リング状レンズ28のサジタル方向の光がカットされる
ので、サジタル方向の光によってフレアが発生するとい
ったことが防止される。
リング状レンズ28のサジタル方向の光がカットされる
ので、サジタル方向の光によってフレアが発生するとい
ったことが防止される。
次に本発明の第5実施例を第8図に示す。
本実施例は、レボルバ−21の顕微鏡本体への固定側5
1に、リング状光源52、リング状レンズ53、フロス
ト54が設けられている。
1に、リング状光源52、リング状レンズ53、フロス
ト54が設けられている。
この様な本実施例によれば、遮光筒の長さを極力短くで
き、周辺光量の減少を防止できて、明るくラムの少ない
落射照明を行うことができる。また、対物レンズ鏡筒の
中にリング状レンズやフロストを入れなくても良い構成
となるため、通常の対物レンズを用いることができる。
き、周辺光量の減少を防止できて、明るくラムの少ない
落射照明を行うことができる。また、対物レンズ鏡筒の
中にリング状レンズやフロストを入れなくても良い構成
となるため、通常の対物レンズを用いることができる。
以上詳記したように本発明によれば、無限遠補正観察光
学系による観察視野周辺の光量不足を大幅に防止でき、
明るくムラの少ない落射照明を行うことができ、しかも
他の顕微鏡システムとの互換性に優れた落射照明装置を
提供できる。
学系による観察視野周辺の光量不足を大幅に防止でき、
明るくムラの少ない落射照明を行うことができ、しかも
他の顕微鏡システムとの互換性に優れた落射照明装置を
提供できる。
第1図は第1実施例の構成図、第2図は第2実施例の構
成図、第3図(a)はリング状光源が内蔵されたスライ
ダーの断面図、第3図(b)はノマルスキープリズムが
内蔵されたスライダーの断面図、第4図は第3実施例の
構成図、第5図(a)はポイント状光源の平面図、第5
図(b)はマイクロレンズを示す図、第6図は第4実施
例の構成図、第7図は環状スリットの平面図、第8図は
第5実施例の構成図、第9図は従来の落射照明装置の構
成図、第10図は周辺光量減少を説明するための図であ
る。 20・・顕微鏡本体、21・・レボルバ−22・・・レ
ボルバ−固定側、23・・・レボルバ−可動側、24・
・・対物レンズ鏡筒、25・・・対物レンズ、26・・
・照明用光路、27・・・リング状レンズ、28・・・
フロスト、29・・・リング状集光ミラー 30・・・
リング状光源。 c′J d C) L LL !−μ)−リ LnLr>
成図、第3図(a)はリング状光源が内蔵されたスライ
ダーの断面図、第3図(b)はノマルスキープリズムが
内蔵されたスライダーの断面図、第4図は第3実施例の
構成図、第5図(a)はポイント状光源の平面図、第5
図(b)はマイクロレンズを示す図、第6図は第4実施
例の構成図、第7図は環状スリットの平面図、第8図は
第5実施例の構成図、第9図は従来の落射照明装置の構
成図、第10図は周辺光量減少を説明するための図であ
る。 20・・顕微鏡本体、21・・レボルバ−22・・・レ
ボルバ−固定側、23・・・レボルバ−可動側、24・
・・対物レンズ鏡筒、25・・・対物レンズ、26・・
・照明用光路、27・・・リング状レンズ、28・・・
フロスト、29・・・リング状集光ミラー 30・・・
リング状光源。 c′J d C) L LL !−μ)−リ LnLr>
Claims (1)
- 顕微鏡のレボルバーに取付けられた対物レンズが無限
遠補正観察光学系の一部を構成し、該対物レンズを囲繞
して照明用光路が設けられ、該照明用光路によって導か
れた照明光で前記対物レンズの観察視野を照明する落射
照明装置において、前記レボルバー内であって前記照明
用光路の端部開口と対向する位置に、前記照明光の光源
となる環状光源を設けたことを特徴とする落射照明装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02257105A JP3080393B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 落射照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02257105A JP3080393B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 落射照明装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04136807A true JPH04136807A (ja) | 1992-05-11 |
JP3080393B2 JP3080393B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=17301805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02257105A Expired - Lifetime JP3080393B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 落射照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3080393B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001154103A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Mitsutoyo Corp | 光学器械の照明装置 |
JP2002202459A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Yoshihiro Ota | 暗視野落射顕微鏡 |
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