JPH04136717A - 変位検出装置 - Google Patents
変位検出装置Info
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- JPH04136717A JPH04136717A JP25889490A JP25889490A JPH04136717A JP H04136717 A JPH04136717 A JP H04136717A JP 25889490 A JP25889490 A JP 25889490A JP 25889490 A JP25889490 A JP 25889490A JP H04136717 A JPH04136717 A JP H04136717A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 100
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 75
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、位置や角度の変位検出のために用いられる変
位検出装置に関する。
位検出装置に関する。
(従来の技術)
従来の変位検出装置の3例を図面を用いて説明する。
先ず、従来における第1の変位検出装置を説明する。第
4図は、その第1の変位検出装置の構成図であり、光学
式直線変位検出器びその検出回路から成る。第5図は、
その第1の変位検出装置の動作を説明するためのタイミ
ング図である。第4図において、可動体、(図示せず)
にピッチPの第1の格子14を設けたメインスケールエ
3が固定されている。また、固定部材(図示せず)に第
2の格子15を設けたインデックススケール16と、光
源11及びコリメータレンズ12で構成された発光手段
と、受光素子17及び増幅回路18A 、 18Bで構
成された光電変換手段とを有するスライタ(図示せず)
が固定されている。そこで、第1の格子14と第2の格
子15との相対移動によって生ずる光量変化が、光電変
換手段によりアナログ信号に光電変換される。第4図に
示すような変位検出装置では、一般にメインスケール1
3に設けられた第1の格子14に対して、インデックス
スケール16に設けられた第2の格子15の位相は、第
1の格子のピッチを360°とすると0°、90°、1
80°、270゜の区分けが施されている。増幅回路1
8A、18Bは、メインスケール13の変位量2に対応
じて、はぼ正弦値SIN (2yr Z/P) 、余弦
値(:O5(2πZ/P)に近似した2相のアナログ信
号V3.VCを出力する。アナログ/デジタル(A/D
)変換器19八、19Bは、第5図に示すような外部シ
ステム31からの検出値要求信号DRQのタイミングて
アナログ信号vs、VCをそれぞれサンプルし、デジタ
ル信号Ds、Dcに変換して、マイクロコンピュータ2
1P、に出力する。一般に、工作機械などの制御装置で
は、検出値要求信号DRQはある一定の周期−TC)’
Cである。
4図は、その第1の変位検出装置の構成図であり、光学
式直線変位検出器びその検出回路から成る。第5図は、
その第1の変位検出装置の動作を説明するためのタイミ
ング図である。第4図において、可動体、(図示せず)
にピッチPの第1の格子14を設けたメインスケールエ
3が固定されている。また、固定部材(図示せず)に第
2の格子15を設けたインデックススケール16と、光
源11及びコリメータレンズ12で構成された発光手段
と、受光素子17及び増幅回路18A 、 18Bで構
成された光電変換手段とを有するスライタ(図示せず)
が固定されている。そこで、第1の格子14と第2の格
子15との相対移動によって生ずる光量変化が、光電変
換手段によりアナログ信号に光電変換される。第4図に
示すような変位検出装置では、一般にメインスケール1
3に設けられた第1の格子14に対して、インデックス
スケール16に設けられた第2の格子15の位相は、第
1の格子のピッチを360°とすると0°、90°、1
80°、270゜の区分けが施されている。増幅回路1
8A、18Bは、メインスケール13の変位量2に対応
じて、はぼ正弦値SIN (2yr Z/P) 、余弦
値(:O5(2πZ/P)に近似した2相のアナログ信
号V3.VCを出力する。アナログ/デジタル(A/D
)変換器19八、19Bは、第5図に示すような外部シ
ステム31からの検出値要求信号DRQのタイミングて
アナログ信号vs、VCをそれぞれサンプルし、デジタ
ル信号Ds、Dcに変換して、マイクロコンピュータ2
1P、に出力する。一般に、工作機械などの制御装置で
は、検出値要求信号DRQはある一定の周期−TC)’
Cである。
第6図は、従来の第1の変位検出装置のマイクロコンピ
ュータ2IP、が行なう処理を示すフローチャートであ
る。そこでマイクロコンピュータ21P1は、検出値要
求信号DRQが入力されると(ステップ561)、前回
の検出値要求信号DRQによって検出された変位検出値
P6をシリアル・コミュニケーション・インターフェー
ス22に出力する(ステップ562)、シリアル・コミ
ュニケーション・インターフェース22は、マイクロコ
ンピュータ21Pから出力された変位検出値P、を第5
図に示すタイミングでシリアルデータTXDとして外部
システム31に出力する。その後、アナログ/デジタル
変換器19A、19Bのそれぞれが増幅回路18A、1
8Bからの2相のアナログ信号Vs、Voをサンプルし
てデジタル信号Os、DCに変換し、マイクロコンピュ
ータ21Plはその変換の終了を認識すると(ステップ
563)、内挿処理を始める(ステップ564)。この
内挿処理ではアナログ/デジタル変換器19A49Bか
らの2相の信号DS、DCを基にしてアークタンジェン
ト計算をして、ピッチPの範囲内の位置を0〜255の
数値の絶対変位で表す変位データP、を算出する。次に
、(L1式の判定処理を行ない、第1の格子14のピッ
チPを越える範囲の変位データpuを算出する。
ュータ2IP、が行なう処理を示すフローチャートであ
る。そこでマイクロコンピュータ21P1は、検出値要
求信号DRQが入力されると(ステップ561)、前回
の検出値要求信号DRQによって検出された変位検出値
P6をシリアル・コミュニケーション・インターフェー
ス22に出力する(ステップ562)、シリアル・コミ
ュニケーション・インターフェース22は、マイクロコ
ンピュータ21Pから出力された変位検出値P、を第5
図に示すタイミングでシリアルデータTXDとして外部
システム31に出力する。その後、アナログ/デジタル
変換器19A、19Bのそれぞれが増幅回路18A、1
8Bからの2相のアナログ信号Vs、Voをサンプルし
てデジタル信号Os、DCに変換し、マイクロコンピュ
ータ21Plはその変換の終了を認識すると(ステップ
563)、内挿処理を始める(ステップ564)。この
内挿処理ではアナログ/デジタル変換器19A49Bか
らの2相の信号DS、DCを基にしてアークタンジェン
ト計算をして、ピッチPの範囲内の位置を0〜255の
数値の絶対変位で表す変位データP、を算出する。次に
、(L1式の判定処理を行ない、第1の格子14のピッ
チPを越える範囲の変位データpuを算出する。
更に、(2)式の計算を行なうことで、はぼメインスケ
ール13の長さまで変位検出値P、を検出することがで
きる。
ール13の長さまで変位検出値P、を検出することがで
きる。
Pa−Pu*2564PL
算出が終了すると、再び検出値要求信号DRQが入力さ
れるのを待つ(ステップ561)。
れるのを待つ(ステップ561)。
次に、従来の第2の変位検出装置の説明をする。この従
来の変位検出装置は、装置構成は第4図に示すものと同
しであるが、マイクロコンピュータ21P1の内部処理
が異なる例である。マイクロコンピュータZIP、が行
なう処理以外は第1の変位検出装置と同様であるので説
明は省略する。
来の変位検出装置は、装置構成は第4図に示すものと同
しであるが、マイクロコンピュータ21P1の内部処理
が異なる例である。マイクロコンピュータZIP、が行
なう処理以外は第1の変位検出装置と同様であるので説
明は省略する。
第7図は、その第2の変位検出装置の動作を説明するタ
イミング図である。第8図は、その変位検出装置におけ
るマイクロコンピュータ21P、か行なう処理を示すフ
ローチャートである。そこで、マイクロコンピュータ2
IP、は、検出値要求信号DRQが入力されると(ステ
ップ581)、アナログ/デジタル変換器19A、19
Bのそれぞれが、増幅回路18A。
イミング図である。第8図は、その変位検出装置におけ
るマイクロコンピュータ21P、か行なう処理を示すフ
ローチャートである。そこで、マイクロコンピュータ2
IP、は、検出値要求信号DRQが入力されると(ステ
ップ581)、アナログ/デジタル変換器19A、19
Bのそれぞれが、増幅回路18A。
18Bからの2相のアナログ信号Vs、VCをサンプル
してデジタル信号Ds、Dcに変換し、マイクロコンピ
ュータ21P1はその変換の終了を認識すると(ステッ
プ582)、内挿処理を始める(ステップ583)。
してデジタル信号Ds、Dcに変換し、マイクロコンピ
ュータ21P1はその変換の終了を認識すると(ステッ
プ582)、内挿処理を始める(ステップ583)。
この内挿処理ではアナログ/デジタル変換器19八19
Bからの2相の信号Ds、DCを基にして、アークタン
ジェント計算をし、ピッチPの範囲内の位置を0〜25
5の数値の絶対変位で表す変位データPLを算出する。
Bからの2相の信号Ds、DCを基にして、アークタン
ジェント計算をし、ピッチPの範囲内の位置を0〜25
5の数値の絶対変位で表す変位データPLを算出する。
次に(1)式の判定処理を行ない、第1の格子14のピ
ッチPを越える範囲の変位データPUを算出する。更に
、(2)式の計算を行ない、変位検出値P、をシリアル
・コミュニケーション・インターフェース22に出力す
る(ステップ584)。シリアル・コミュニケーション
・インターフェース22は、第7図に示すタイミングて
シリアルデータTXDとして外部システム31に出力す
る。変位検出値P8の出力の後、再び検出値要求信号D
RQが入力されるのを待つ(ステップ581)。
ッチPを越える範囲の変位データPUを算出する。更に
、(2)式の計算を行ない、変位検出値P、をシリアル
・コミュニケーション・インターフェース22に出力す
る(ステップ584)。シリアル・コミュニケーション
・インターフェース22は、第7図に示すタイミングて
シリアルデータTXDとして外部システム31に出力す
る。変位検出値P8の出力の後、再び検出値要求信号D
RQが入力されるのを待つ(ステップ581)。
更に、従来の第3の変位検出装置の説明をする。第9図
は、従来の変位検出装置の第3の例を示す構成図である
。マイクロコンピュータ21P2に係る処理以外は第1
の従来技術と同様であるので説明を省略し、マイクロコ
ンピュータ21P2のff131のみを以下に説明する
。第1O図は、その第3の変位検出装置の動作を説明す
るタイミング図である。第11図は、その変位検出装置
が行なう処理を示すフローチャートである。マイクロコ
ンピュータ21P2は、アナログ/デジタル変換開始信
号C0NVをアナログ/デジタル変換器19A、19B
のそれぞれに出力する(ステップ5ill)。アナログ
/デジタル変換器19A、19Bは、アナログ/デジタ
ル変換開始信号C0NVか入力されると、それぞれ増幅
回路18A、18Bからの2相のアナログ信号V、、V
Cをサンプルし、デジタル信号り、、Doに変換してマ
イクロコンピュータ21P2に出力する。マイクロコン
ピュータ21P2は、その間アナログ/デジタル変換器
19A、19Bによる変換か終了するのを待ち(ステッ
プ5112) 、変換か終了しデジタル信号り、、DC
か送られてくると内挿処理を始める(ステップ5113
)。内挿処理では、アナログ/デジタル変換器19A、
19Bからの2相のデジタル信号Ds、D、を基にして
アークタンジェント計算をし、ピッチPの範囲内の位置
をO〜255の絶対変位で表す変位データPLを算出す
る。次に、(1)式の判定処理を行ない、第1の格子1
4のピッチPを越える範囲の変位データPUを算出する
。更に、(2)式の計算を行ない変位検出値P8を算出
する。算出の後、再びアナログ/デジタル変換開始信号
C0NVをアナログ/デジタル変換器19A、1!18
に出力する(ステップ5tu)。マイクロコンピュータ
21P2は、このループ処理の間に検出値要求信号DR
Qか入力されると第11図に示すように検出値要求割り
込み処理に入り、その直前に検出した変位検出値P、を
シリアル・コミュニケーション・インターフェース22
に出力する(ステップ5114)。割り込み処理を終了
したらステップ5ill〜5113のループ処理に戻る
。
は、従来の変位検出装置の第3の例を示す構成図である
。マイクロコンピュータ21P2に係る処理以外は第1
の従来技術と同様であるので説明を省略し、マイクロコ
ンピュータ21P2のff131のみを以下に説明する
。第1O図は、その第3の変位検出装置の動作を説明す
るタイミング図である。第11図は、その変位検出装置
が行なう処理を示すフローチャートである。マイクロコ
ンピュータ21P2は、アナログ/デジタル変換開始信
号C0NVをアナログ/デジタル変換器19A、19B
のそれぞれに出力する(ステップ5ill)。アナログ
/デジタル変換器19A、19Bは、アナログ/デジタ
ル変換開始信号C0NVか入力されると、それぞれ増幅
回路18A、18Bからの2相のアナログ信号V、、V
Cをサンプルし、デジタル信号り、、Doに変換してマ
イクロコンピュータ21P2に出力する。マイクロコン
ピュータ21P2は、その間アナログ/デジタル変換器
19A、19Bによる変換か終了するのを待ち(ステッ
プ5112) 、変換か終了しデジタル信号り、、DC
か送られてくると内挿処理を始める(ステップ5113
)。内挿処理では、アナログ/デジタル変換器19A、
19Bからの2相のデジタル信号Ds、D、を基にして
アークタンジェント計算をし、ピッチPの範囲内の位置
をO〜255の絶対変位で表す変位データPLを算出す
る。次に、(1)式の判定処理を行ない、第1の格子1
4のピッチPを越える範囲の変位データPUを算出する
。更に、(2)式の計算を行ない変位検出値P8を算出
する。算出の後、再びアナログ/デジタル変換開始信号
C0NVをアナログ/デジタル変換器19A、1!18
に出力する(ステップ5tu)。マイクロコンピュータ
21P2は、このループ処理の間に検出値要求信号DR
Qか入力されると第11図に示すように検出値要求割り
込み処理に入り、その直前に検出した変位検出値P、を
シリアル・コミュニケーション・インターフェース22
に出力する(ステップ5114)。割り込み処理を終了
したらステップ5ill〜5113のループ処理に戻る
。
(発明が解決しようとする課題)
ところが、上述した従来の第1の変位検出装置では、外
部システム31から変位検出値か要求されると直ちに変
位検出値paを出力するので外部システム31の待ち時
間は最小となるが、変位検出値PRは検出値要求信号D
RQに対しての周期TCYC前の古い変位データである
。また従来の第2の変位検出装置では、変位検出値を要
求した時間とアナログ/デジタル変換器がサンプルする
時間とは同時であるが、外部システム31が変位検出値
が要求してからマイクロコンピュータ21P1か変位検
出値P。
部システム31から変位検出値か要求されると直ちに変
位検出値paを出力するので外部システム31の待ち時
間は最小となるが、変位検出値PRは検出値要求信号D
RQに対しての周期TCYC前の古い変位データである
。また従来の第2の変位検出装置では、変位検出値を要
求した時間とアナログ/デジタル変換器がサンプルする
時間とは同時であるが、外部システム31が変位検出値
が要求してからマイクロコンピュータ21P1か変位検
出値P。
を出力するまでに第7図に示すようにアナログ/デジタ
ル変換及び内挿処理に費やす時間TCNVだけかかり、
外部システム31はその分が待ち時間となり無駄となる
。更に、従来の第3の変位検出装置では、第1のものと
同じく外部システム31から変位検出値か要求されると
直ちに変位検出値P、を出力するので外部システムの3
1待ち時間は最小となるが、アナログ/デジタル変換器
かサンプルする時間から外部システム31が変位検出値
を要求するまでの時間は、第10図に示すTRI 、T
R2のように一定ではなく、アナログ/デジタル変換及
び内挿に費やす時間TCNVよりも長くなる。以上のよ
うに従来の変位検出装置では、それぞれについて一長一
短の問題点があった。
ル変換及び内挿処理に費やす時間TCNVだけかかり、
外部システム31はその分が待ち時間となり無駄となる
。更に、従来の第3の変位検出装置では、第1のものと
同じく外部システム31から変位検出値か要求されると
直ちに変位検出値P、を出力するので外部システムの3
1待ち時間は最小となるが、アナログ/デジタル変換器
かサンプルする時間から外部システム31が変位検出値
を要求するまでの時間は、第10図に示すTRI 、T
R2のように一定ではなく、アナログ/デジタル変換及
び内挿に費やす時間TCNVよりも長くなる。以上のよ
うに従来の変位検出装置では、それぞれについて一長一
短の問題点があった。
本発明は上述のような事情から成されたものであり、本
発明の目的は、外部システムが変位検出値を要求すると
直ちに変位検出値を出力することができ、しかも要求さ
れた時点に最も時間的に近い時点の変位データを常に出
力することができる変位検出装置を提供することにある
。
発明の目的は、外部システムが変位検出値を要求すると
直ちに変位検出値を出力することができ、しかも要求さ
れた時点に最も時間的に近い時点の変位データを常に出
力することができる変位検出装置を提供することにある
。
(課題を解決するための手段)
木発明は位置や角度の変位検出のために用いられる変位
検出装置に関するものであり、本発明の上記目的は、外
部からの周期的な検出値要求信号に応じて、変位検出対
象のアナログ変位量を抽出してデジタル値に変換し前記
外部へ出力する処理手段を有する変位検出装置において
、前記検出値要求信号を入力する直前に前記処理手段に
おける処理が終了するように、前記検出値要求信号の入
力時点から所定時間を計時した後に前記処理手段に処理
起動を与える計時手段を具備することにより達成される
。
検出装置に関するものであり、本発明の上記目的は、外
部からの周期的な検出値要求信号に応じて、変位検出対
象のアナログ変位量を抽出してデジタル値に変換し前記
外部へ出力する処理手段を有する変位検出装置において
、前記検出値要求信号を入力する直前に前記処理手段に
おける処理が終了するように、前記検出値要求信号の入
力時点から所定時間を計時した後に前記処理手段に処理
起動を与える計時手段を具備することにより達成される
。
(作用)
木発明にあっては、計時手段が、外部システムからの検
出値要求信号の一周期時間からアナログ/デジタル変換
処理に要する時間を差引いた時間を計時した後、処理手
段に起動を与えて変換処理を行なわせているので、この
起動から次の検出値要求信号までにアナログ/デジタル
変換が終了し、検出値要求信号が入力されると直ちに変
位検出値か出力され、しかも検出値要求信号を入力した
時点に最も時間的に近い時点の変位データが常に出力さ
れる。
出値要求信号の一周期時間からアナログ/デジタル変換
処理に要する時間を差引いた時間を計時した後、処理手
段に起動を与えて変換処理を行なわせているので、この
起動から次の検出値要求信号までにアナログ/デジタル
変換が終了し、検出値要求信号が入力されると直ちに変
位検出値か出力され、しかも検出値要求信号を入力した
時点に最も時間的に近い時点の変位データが常に出力さ
れる。
(実施例)
第1図は、本発明の変位検出装置の一実施例の構成図で
あり、光学式直線変位検出器とその検出回路から成る。
あり、光学式直線変位検出器とその検出回路から成る。
マイクロコンピュータ21にタイマ41及びEEPRO
M42か接続されていること以外の構成は第9図に示す
従来例と同様である。第2図は、本発明の変位検出装置
の動作を説明するタイミング図である。第3図は、本発
明におけるマイクロコンピュータ21が行なう処理を示
すフローチャートである。マイクロコンピュータ21に
係わる処理以外は従来の第3の変位検出装置と同様であ
るので説明は省略し、マイクロコンピュータ21の処理
とタイマー41及びEEPROM42の機能のみを説明
する。
M42か接続されていること以外の構成は第9図に示す
従来例と同様である。第2図は、本発明の変位検出装置
の動作を説明するタイミング図である。第3図は、本発
明におけるマイクロコンピュータ21が行なう処理を示
すフローチャートである。マイクロコンピュータ21に
係わる処理以外は従来の第3の変位検出装置と同様であ
るので説明は省略し、マイクロコンピュータ21の処理
とタイマー41及びEEPROM42の機能のみを説明
する。
そこで、予めEEPROM42には検出値要求信号DR
Qの周期Tcycからアナログ/デジタル変換及び内挿
処理にかかる時間TCNVを引いた時間であるタイマデ
ータTCを記憶させておく。マイクロコンピュータ21
は、検出値要求信号DRQが入力されると(ステップ5
31)、直前に検出された変位検出値P6をシリアル・
コミュニケーション・インターフェース22に出力する
(ステップ532)。シリアル・コミュニケーション・
インターフェース22は入力した変位検出値P8をシリ
アルデータTXD として外部システム31に出力する
。マイクロコンピュータ21は、次にEEPI(0M4
2に記憶されているタイマデータTCを読み出してタイ
マ41にセットする(ステップ533)。タイマ41は
、第2図に示すように、マイクロコンピュータ2工によ
りセットされたタイマデータTCの時間だけそのセット
時から経過すると、アナログ/デジタル変換器19八、
19Bのそれぞれにアナログ/デジタル変換開始信号C
0NVを出力する。
Qの周期Tcycからアナログ/デジタル変換及び内挿
処理にかかる時間TCNVを引いた時間であるタイマデ
ータTCを記憶させておく。マイクロコンピュータ21
は、検出値要求信号DRQが入力されると(ステップ5
31)、直前に検出された変位検出値P6をシリアル・
コミュニケーション・インターフェース22に出力する
(ステップ532)。シリアル・コミュニケーション・
インターフェース22は入力した変位検出値P8をシリ
アルデータTXD として外部システム31に出力する
。マイクロコンピュータ21は、次にEEPI(0M4
2に記憶されているタイマデータTCを読み出してタイ
マ41にセットする(ステップ533)。タイマ41は
、第2図に示すように、マイクロコンピュータ2工によ
りセットされたタイマデータTCの時間だけそのセット
時から経過すると、アナログ/デジタル変換器19八、
19Bのそれぞれにアナログ/デジタル変換開始信号C
0NVを出力する。
マイクロコンピュータ21は、アナログ/デジタル変換
器19A、19Bの変換が終了するのを待ち(ステップ
534)、変換が終了すると内挿処理を始める(ステッ
プ535)。内挿処理では、アナログ/デジタル変換器
19A、19Bからの2相のデジタル信号り、、DCを
基にしてアークタンジェント計算をし、ピッチPの範囲
内の位置を0〜255の絶対変位で表す変位データPL
を算出する。次に、前述の(1)式の判定処理を行ない
、第1の格子14のピッチPを越える範囲の変位データ
PUを算出する。更に、前述の(2)式の計算を行ない
変位検出値PBを算出する。算出の後、再び検出値要求
信号DRQが入力されるのを待つ(ステップ531)。
器19A、19Bの変換が終了するのを待ち(ステップ
534)、変換が終了すると内挿処理を始める(ステッ
プ535)。内挿処理では、アナログ/デジタル変換器
19A、19Bからの2相のデジタル信号り、、DCを
基にしてアークタンジェント計算をし、ピッチPの範囲
内の位置を0〜255の絶対変位で表す変位データPL
を算出する。次に、前述の(1)式の判定処理を行ない
、第1の格子14のピッチPを越える範囲の変位データ
PUを算出する。更に、前述の(2)式の計算を行ない
変位検出値PBを算出する。算出の後、再び検出値要求
信号DRQが入力されるのを待つ(ステップ531)。
尚、上述した実施例ではEEFROM42に記憶された
タイマデータTCをその都度読み出してタイマ41にセ
ットしているが、電源投入時にシリアル・コミュニケー
ション・インターフェース22を通じて外部システム3
工より送られるタイマデータTCをマイクロコンピュー
タ21内部のRAMにセットするようにしてもよい。
タイマデータTCをその都度読み出してタイマ41にセ
ットしているが、電源投入時にシリアル・コミュニケー
ション・インターフェース22を通じて外部システム3
工より送られるタイマデータTCをマイクロコンピュー
タ21内部のRAMにセットするようにしてもよい。
また、アナログ/デジタル変換器19A、19B 、マ
イクロコンピュータ21、シリアル・コミュニケーショ
ン・インターフェース22、EEPROM42及びタイ
マ41の機能としてフリーランニングタイマをそれぞれ
内蔵したワンチップマイクロコンピュータを用いても同
様の動作を実現できる。
イクロコンピュータ21、シリアル・コミュニケーショ
ン・インターフェース22、EEPROM42及びタイ
マ41の機能としてフリーランニングタイマをそれぞれ
内蔵したワンチップマイクロコンピュータを用いても同
様の動作を実現できる。
更に、ここでは光学式直線変位検出器を用いた変位検出
装置について説明したか、その他にもレゾルバ等の回転
変位検出装置を用いた場合でも本発明は同様に実現でき
る。
装置について説明したか、その他にもレゾルバ等の回転
変位検出装置を用いた場合でも本発明は同様に実現でき
る。
(発明の効果)
以上のように本発明の変位検出装置によれば、記憶手段
に検出値要求信号の一周期からアナログ/デジタル変換
及び内挿処理に要する時間を差引いた時間を記憶させて
おき、計時手段が、外部システムからの周期的な検出値
要求信号を入力してからその時間たけ計時した後にデジ
タル変換処理に起動を与えているので、その起動から次
の検出値要求信号までの時間にアナログ/デジタル変換
と内挿処理が終了し、検出値要求信号が入力されると直
ちに変位検出値が出力でき、しかも変位検出値を要求さ
れた時点に最も時間的に近い時点の変位データを常に出
力することができる。
に検出値要求信号の一周期からアナログ/デジタル変換
及び内挿処理に要する時間を差引いた時間を記憶させて
おき、計時手段が、外部システムからの周期的な検出値
要求信号を入力してからその時間たけ計時した後にデジ
タル変換処理に起動を与えているので、その起動から次
の検出値要求信号までの時間にアナログ/デジタル変換
と内挿処理が終了し、検出値要求信号が入力されると直
ちに変位検出値が出力でき、しかも変位検出値を要求さ
れた時点に最も時間的に近い時点の変位データを常に出
力することができる。
また、本発明によれば検圧タイミングを任意に設定でき
るのて、他の変位検出装置と検出タイミングを容易に等
しくすることができ、工作機械等の多軸制御装置への応
用もできる。
るのて、他の変位検出装置と検出タイミングを容易に等
しくすることができ、工作機械等の多軸制御装置への応
用もできる。
第1図は本発明の変位検出装置における一実施例の構成
図、第2図は本発明の変位検出装置の動作を説明するタ
イミング図、第3図は第1図に示すマイクロコンピュー
タが行なう処理を示すフローチャート、第4図は従来に
おける第1及び第2の変位検出装置の構成図、第5図は
従来における第1の変位検出装置の動作を説明するタイ
ミング図、第6図は従来における第1の変位検出装置の
マイクロコンピュータが行なう処理を示すフローチャー
ト、第7図は従来における第2の変位検出装置の動作を
説明するタイミング図、第8図は従来における第2の変
位検出装置のマイクロコンピュータが行なう処理を示す
フローチャート、第9図は従来における第3の変位検出
装置の構成図、第10図は従来における第3の変位検出
装置の動作を説明するタイミング図、第11図は第9図
に示すマイクロコンピュータが行なう処理を示すフロー
チャートである。 11・・・光源、12・・・コリメータレンズ、13・
・・メインスケール、14・・・第1の格子、15・・
・第2の格子、16・・・インデックススケール、17
・・・受光素子、18A18B・・・増幅回路、19A
、19B・・・アナログ/デジタル変換回路、21.2
IP+ 、21P2・・・マイクロコンピュータ、22
・・・シリアル・コミュニケーション・インターフェー
ス、31・・・外部システム、41・・・タイマ、42
・・・EEPROM。
図、第2図は本発明の変位検出装置の動作を説明するタ
イミング図、第3図は第1図に示すマイクロコンピュー
タが行なう処理を示すフローチャート、第4図は従来に
おける第1及び第2の変位検出装置の構成図、第5図は
従来における第1の変位検出装置の動作を説明するタイ
ミング図、第6図は従来における第1の変位検出装置の
マイクロコンピュータが行なう処理を示すフローチャー
ト、第7図は従来における第2の変位検出装置の動作を
説明するタイミング図、第8図は従来における第2の変
位検出装置のマイクロコンピュータが行なう処理を示す
フローチャート、第9図は従来における第3の変位検出
装置の構成図、第10図は従来における第3の変位検出
装置の動作を説明するタイミング図、第11図は第9図
に示すマイクロコンピュータが行なう処理を示すフロー
チャートである。 11・・・光源、12・・・コリメータレンズ、13・
・・メインスケール、14・・・第1の格子、15・・
・第2の格子、16・・・インデックススケール、17
・・・受光素子、18A18B・・・増幅回路、19A
、19B・・・アナログ/デジタル変換回路、21.2
IP+ 、21P2・・・マイクロコンピュータ、22
・・・シリアル・コミュニケーション・インターフェー
ス、31・・・外部システム、41・・・タイマ、42
・・・EEPROM。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、外部からの周期的な検出値要求信号に応じて、変位
検出対象のアナログ変位量を抽出してデジタル値に変換
し前記外部へ出力する処理手段を有する変位検出装置に
おいて、前記検出値要求信号を入力する直前に前記処理
手段における処理が終了するように、前記検出値要求信
号の入力時点から所定時間を計時した後に前記処理手段
に処理起動を与える計時手段を具備するようにしたこと
を特徴とする変位検出装置。 2、前記計時手段は、前記検出値要求信号の一周期時間
から前記デジタル値への変換処理に要する時間を差し引
いた時間を前記所定時間として計時するようにした請求
項1に記載の変位検出装置。 3、前記所定時間のデータを記憶する記憶手段を有する
請求項1に記載の変位検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25889490A JP2752781B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25889490A JP2752781B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 変位検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04136717A true JPH04136717A (ja) | 1992-05-11 |
JP2752781B2 JP2752781B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=17326507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25889490A Expired - Fee Related JP2752781B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 変位検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2752781B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011013773A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | オリンパス株式会社 | 光学式変位検出装置 |
JP2020005130A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | 株式会社ミツトヨ | アナログ−デジタル変換器、アナログ−デジタル変換方法及び変位検出装置 |
JP2020170989A (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-15 | 株式会社ミツトヨ | アナログ−デジタル変換器、アナログ−デジタル変換方法及び変位検出装置 |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP25889490A patent/JP2752781B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011013773A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | オリンパス株式会社 | 光学式変位検出装置 |
JP2011033464A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Olympus Corp | 光学式変位検出装置 |
US8610050B2 (en) | 2009-07-31 | 2013-12-17 | Olympus Corporation | Optical displacement detection apparatus |
JP2020005130A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | 株式会社ミツトヨ | アナログ−デジタル変換器、アナログ−デジタル変換方法及び変位検出装置 |
JP2020170989A (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-15 | 株式会社ミツトヨ | アナログ−デジタル変換器、アナログ−デジタル変換方法及び変位検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2752781B2 (ja) | 1998-05-18 |
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Legal Events
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |