JPH04132917A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH04132917A JPH04132917A JP25621090A JP25621090A JPH04132917A JP H04132917 A JPH04132917 A JP H04132917A JP 25621090 A JP25621090 A JP 25621090A JP 25621090 A JP25621090 A JP 25621090A JP H04132917 A JPH04132917 A JP H04132917A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、圧電素子を複数積層して微小な圧力変化を測
定するための圧力センサに関する。
定するための圧力センサに関する。
[従来の技術]
従来より、微小な圧力変化を測定するために複数の環状
圧電素子を備えた主体金具内に収納保持した圧力センサ
が存在する。
圧電素子を備えた主体金具内に収納保持した圧力センサ
が存在する。
この圧力センサは、円環状の陽極電極、圧電素子、円環
状の陰極電極、圧電素子の順に、圧電素子と電極とが交
互に複数積層されている。
状の陰極電極、圧電素子の順に、圧電素子と電極とが交
互に複数積層されている。
そして、複数の陽極電極同士の電気的な接続は、これら
の電極間に連結片を配して、電極と連結片とを半田付け
により接合することによってなされていた。同様に複数
の陰極電極同士の電気的な接続もなされていた。
の電極間に連結片を配して、電極と連結片とを半田付け
により接合することによってなされていた。同様に複数
の陰極電極同士の電気的な接続もなされていた。
[発明が解決しようとする課題]
ところが、従来技術においては、各電極間の電気的な接
続を半田付けによって行われているので、製造工数が多
いという課題があった。
続を半田付けによって行われているので、製造工数が多
いという課題があった。
本発明は、半田付けをすることなく電極同士の電気的な
接続を行える圧力センサの提供を目的とする。
接続を行える圧力センサの提供を目的とする。
[課題を解決するための手段]
本発明の圧力センサは、環状の圧電素子と、この圧電素
子の一方側に重ねられる環状の第1電極板と、この第1
電極板と極性が異なるとともに、前記圧電素子の他方側
に重ねられる環状の第2電極板とを複数積層してなる圧
力センサにおいて、前記複数の第1を極板または前記複
数の第2電極板は、1枚のプレートにより形成されてい
る技術手段を採用した。
子の一方側に重ねられる環状の第1電極板と、この第1
電極板と極性が異なるとともに、前記圧電素子の他方側
に重ねられる環状の第2電極板とを複数積層してなる圧
力センサにおいて、前記複数の第1を極板または前記複
数の第2電極板は、1枚のプレートにより形成されてい
る技術手段を採用した。
[作用コ
複数の第1電極板または複数の第2電極板を1枚のプレ
ートにより形成することによって、複数の第1電極板同
士または複数の第2電極板同士の電気的な接続に半田付
けが不要となる。
ートにより形成することによって、複数の第1電極板同
士または複数の第2電極板同士の電気的な接続に半田付
けが不要となる。
[発明の効果コ
半田付けが不要となるので、製造工数を軽減できる。
[実施例]
本発明の圧力センサを第1図ないし第3図に示す一実施
例に基づき説明する。
例に基づき説明する。
第1図は圧電素子内蔵型圧力センサの分解図でである。
圧電素子内蔵型圧力センサ1は、主体金具2、押え金3
、圧電素子群4、陽極電極5、陽極側接続コード6、陰
極電極7、陰極側接続コード8および受は金9を備え、
微小な圧力変化を測定するものである。
、圧電素子群4、陽極電極5、陽極側接続コード6、陰
極電極7、陰極側接続コード8および受は金9を備え、
微小な圧力変化を測定するものである。
主体金具2は、ステンレス板または防錆メツキを施した
軟鋼板等の比較的に薄い導電性金属プレートをプレス成
形機により深絞り加工することによって、円環状の底壁
21および筒状の外側壁22が形成されている。
軟鋼板等の比較的に薄い導電性金属プレートをプレス成
形機により深絞り加工することによって、円環状の底壁
21および筒状の外側壁22が形成されている。
底壁21の内周端には、陽極側接続コード6および陰極
側接続コード8を主体金具2の中央付近に位置させる保
持部23が一体的に形成されている。
側接続コード8を主体金具2の中央付近に位置させる保
持部23が一体的に形成されている。
この保持部23は、かしめにより曲げられることによっ
て陽極側接続コード6および陰極側接続コード8を収容
保持する。
て陽極側接続コード6および陰極側接続コード8を収容
保持する。
外側壁22は、底壁21の外周端より直交方向に延長さ
れている。この外側壁22の内周には、押え金3、圧電
素子群4、陽極電極5、陰極電極7および受は金9が嵌
め合わされている。また、外側壁22の開放端部は、か
しめにより折り曲げられると、圧電素子群4、陽極電極
5、陰極電極7および受は金9を押え金3に押さえ付け
て主体金具2内に固定する。
れている。この外側壁22の内周には、押え金3、圧電
素子群4、陽極電極5、陰極電極7および受は金9が嵌
め合わされている。また、外側壁22の開放端部は、か
しめにより折り曲げられると、圧電素子群4、陽極電極
5、陰極電極7および受は金9を押え金3に押さえ付け
て主体金具2内に固定する。
押え金3は、円環状を呈し、ステンレス鋼または銅系の
主体金具2より厚い金属プレートである。
主体金具2より厚い金属プレートである。
圧電素子群4は、複数の圧電素子41〜46からなる。
これらの圧電素子41〜46は、チタン酸ジルコン酸鉛
等の圧電セラミックで焼結により円環状に形成されてお
り、加えられた圧力に応じた起電力をそれぞれ発生する
。
等の圧電セラミックで焼結により円環状に形成されてお
り、加えられた圧力に応じた起電力をそれぞれ発生する
。
圧電素子41.43.45は、一方便の面(第1図にお
いて図示上端面)が陰極側面とされ、他方側の面(第1
図において図示下端面)が陽極側面とされている。圧電
素子42.44.46は、一方便の面(第1図において
図示上端面)が陽極側面とされ、他方側の面(第1図に
おいて図示下端面)が陰極側面とされている。
いて図示上端面)が陰極側面とされ、他方側の面(第1
図において図示下端面)が陽極側面とされている。圧電
素子42.44.46は、一方便の面(第1図において
図示上端面)が陽極側面とされ、他方側の面(第1図に
おいて図示下端面)が陰極側面とされている。
陽極電極板5は、ステンレス鋼またはリン青銅等の銅系
の等の比較的に薄い導電性金属プレート(板厚: t
= 0.1m ) 50をプレス成形機により打ち抜き
加工することによって、第2図に示すように、複数の第
1電極板51〜53および連結片55.56を形成して
いる。複数の第1電極板51〜53は、円環状に形成さ
れている。
の等の比較的に薄い導電性金属プレート(板厚: t
= 0.1m ) 50をプレス成形機により打ち抜き
加工することによって、第2図に示すように、複数の第
1電極板51〜53および連結片55.56を形成して
いる。複数の第1電極板51〜53は、円環状に形成さ
れている。
第1電極板51は、連結片55に対して90°だけ折り
曲げられている。さらに、第1電極板51は、方便の面
(第1図において図示上端面)が圧電素子41の陽極側
面に重ねられ、他方側の面(第1図において図示下端面
)が圧電素子42の陽極側面に重ねられている。
曲げられている。さらに、第1電極板51は、方便の面
(第1図において図示上端面)が圧電素子41の陽極側
面に重ねられ、他方側の面(第1図において図示下端面
)が圧電素子42の陽極側面に重ねられている。
第1電極板52は、連結片55.56に対して90°だ
け折り曲げられて、第1電極板51と並行して配設され
ている。この第1電極板52は、一方便の面(第1図に
おいて図示上端面)が圧電素子43の陽極側面に重ねら
れ、他方側の面(第1図において図示下端面)が圧電素
子44の陽極側面に重ねられている。
け折り曲げられて、第1電極板51と並行して配設され
ている。この第1電極板52は、一方便の面(第1図に
おいて図示上端面)が圧電素子43の陽極側面に重ねら
れ、他方側の面(第1図において図示下端面)が圧電素
子44の陽極側面に重ねられている。
第1電極板53は、連結片56に対して90°だけ折り
曲げられ、第1電極板51と並行して配設されている。
曲げられ、第1電極板51と並行して配設されている。
この第1電極板53は、一方側の面(第1図において図
示上端面)が圧電素子45の陽極側面に重ねられ、他方
側の面(第1図において図示下端面)が圧電素子46の
陽極側面に重ねられている。
示上端面)が圧電素子45の陽極側面に重ねられ、他方
側の面(第1図において図示下端面)が圧電素子46の
陽極側面に重ねられている。
また、第1電極板53の内周部には、陽極側接続コード
6を主体金具2の中央付近に位置させる保持部58が一
体的に形成されている。この保持部58は、かしめによ
り曲げられることによって陽極側接続コード6を収容保
持する。
6を主体金具2の中央付近に位置させる保持部58が一
体的に形成されている。この保持部58は、かしめによ
り曲げられることによって陽極側接続コード6を収容保
持する。
連結片55は第1電極板51.52の外周端部同士を繋
ぎ、連結片56は第1電極板52.53の外周端部同士
を繋いでいる。また、連結片55は、第1図に示すよう
に、連結片56に対して90°ずれた位置に設けられて
いる。
ぎ、連結片56は第1電極板52.53の外周端部同士
を繋いでいる。また、連結片55は、第1図に示すよう
に、連結片56に対して90°ずれた位置に設けられて
いる。
陽極側接続コード6は、陽極電極5の第1電極板53に
形成された保持部58にかしめにより接続された陽極側
リード線61、この陽極側リード線61を被覆する絶縁
部材製の陽極側ケーブル62を有する。
形成された保持部58にかしめにより接続された陽極側
リード線61、この陽極側リード線61を被覆する絶縁
部材製の陽極側ケーブル62を有する。
陰極電極板7は、ステンレス鋼またはリン青銅等の銅系
の等の比較的に薄い導電性金属プレート(板厚: t
= 0.1m > 70をプレス成形機により打ち抜き
加工することによって第3図に示すように、複数の第2
電極板11〜14および連結片75〜77を形成してい
る。複数の第2電極板71〜74は、円環状に形成され
ている。
の等の比較的に薄い導電性金属プレート(板厚: t
= 0.1m > 70をプレス成形機により打ち抜き
加工することによって第3図に示すように、複数の第2
電極板11〜14および連結片75〜77を形成してい
る。複数の第2電極板71〜74は、円環状に形成され
ている。
第2電極板71は、連結片75に対して90°だけ折り
曲げられている。さらに、第2電極板71は、圧電素子
41の陰極側面に重ねられている。また、第2電極板7
1の内周部には、陰極側接続コード8を主体金具2の中
央付近に位置させる保持部78が一体的に形成されてい
る。この保持部78は、かしめにより曲げられることに
よって陰極側接続コード8を収容保持する。
曲げられている。さらに、第2電極板71は、圧電素子
41の陰極側面に重ねられている。また、第2電極板7
1の内周部には、陰極側接続コード8を主体金具2の中
央付近に位置させる保持部78が一体的に形成されてい
る。この保持部78は、かしめにより曲げられることに
よって陰極側接続コード8を収容保持する。
第2電極板72は、連結片75.76に対して90°だ
け折り曲げられて、第2電極板71と並行して配設され
ている。この第2電極板72は、一方側の面(第1図に
おいて図示上端面)が圧電素子42の陰極側面に重ねら
れ、他方側の面(第1図において図示下端面)が圧電素
子43の陰極側面に重ねられている。
け折り曲げられて、第2電極板71と並行して配設され
ている。この第2電極板72は、一方側の面(第1図に
おいて図示上端面)が圧電素子42の陰極側面に重ねら
れ、他方側の面(第1図において図示下端面)が圧電素
子43の陰極側面に重ねられている。
第2電極板73は、連結片76.77に対して90’だ
け折り曲げられ、第2電極板72と並行して配設されて
いる。この第2電極板73は、一方側の面(第1図にお
いて図示上端面)が圧電素子44の陰極側面に重ねられ
、他方側の面(第1図において図示下端面)が圧電素子
45の陰極側面に重ねられている。
け折り曲げられ、第2電極板72と並行して配設されて
いる。この第2電極板73は、一方側の面(第1図にお
いて図示上端面)が圧電素子44の陰極側面に重ねられ
、他方側の面(第1図において図示下端面)が圧電素子
45の陰極側面に重ねられている。
第2電極板74は、連結片77に対して90”だけ折り
曲げられ、第2電極板73と並行して配設されている。
曲げられ、第2電極板73と並行して配設されている。
この第2電極板74は、圧電素子46の陰極側面に重ね
られている。
られている。
連結片15は第2電極板γ1.12の外周端部同士を繋
ぎ、連結片76は第2電極板72.73の外周端部同士
を繋ぎ、連結片77は第2電極板73.74の外周端部
同士を繋いでいる。また、連結片75.77は、第1図
に示すように、連結片76に対して90°ずれた位置に
設けられている。
ぎ、連結片76は第2電極板72.73の外周端部同士
を繋ぎ、連結片77は第2電極板73.74の外周端部
同士を繋いでいる。また、連結片75.77は、第1図
に示すように、連結片76に対して90°ずれた位置に
設けられている。
陰極側接続コード8は、陰極電極7の第2を極板71に
形成された保持部78にかしめにより接続された陰極側
リード線81、この陰極側リード線81を被覆する絶縁
部材製の陰極側ケーブル82を有する。
形成された保持部78にかしめにより接続された陰極側
リード線81、この陰極側リード線81を被覆する絶縁
部材製の陰極側ケーブル82を有する。
受は金9は、円環状を呈し、主体金具2の外側壁22の
開放端部が折り曲げられると、その外側壁22の開放端
部に押え込まれて、圧電素子群4、陽極電極5、陰極電
極7を主体金具2内に固定する。
開放端部が折り曲げられると、その外側壁22の開放端
部に押え込まれて、圧電素子群4、陽極電極5、陰極電
極7を主体金具2内に固定する。
本実施例の圧電素子内蔵型圧力センサ1の組み付は方法
を第1図ないし第3図に基づき説明する。
を第1図ないし第3図に基づき説明する。
プレス成形機による深絞り加工によって主体金具2を形
成し、さらに圧電素子41〜46、押え金3および受は
金9を所定の形状に形成する。
成し、さらに圧電素子41〜46、押え金3および受は
金9を所定の形状に形成する。
また、プレス成形機による打ち抜き加工によって、ステ
ンレス鋼またはリン青銅等の銅系の等の比較的に薄い導
電性金属プレート50.70に、第2図および第3図に
示すように、複数の第1電極板51〜53および連結片
55.56を有する陽極電極5、および複数の第2電極
板71〜74および連結片75〜77を有する陰極電極
7を形成する。
ンレス鋼またはリン青銅等の銅系の等の比較的に薄い導
電性金属プレート50.70に、第2図および第3図に
示すように、複数の第1電極板51〜53および連結片
55.56を有する陽極電極5、および複数の第2電極
板71〜74および連結片75〜77を有する陰極電極
7を形成する。
そして、第1電極板51〜53を連結片55.56に対
して90”折り曲げ、第2電極板71〜14を連結片7
5〜77に対して90°折り曲げて、第1図に示すよう
に、各第1電極板51〜53および各第2電極板71〜
74を並行させる。
して90”折り曲げ、第2電極板71〜14を連結片7
5〜77に対して90°折り曲げて、第1図に示すよう
に、各第1電極板51〜53および各第2電極板71〜
74を並行させる。
また、主体金具2の底壁21に形成された保持部23、
および第1電極板53および第2電極板71の内周端に
形成された保持部58.78を、底壁21、および第1
電極板53および第2電極板71に対して90゜折り曲
げる6そして、第1電極板53および第2電極板71の
保持部58.78にそれぞれ陽極側接続コード6および
陰極側接続コード8を挿入した後に、保持部58.18
をかしめることによって、陽極電極5および陰極電極7
と陽極側接続コード6および陰極側接続コード8との電
気的な接続を行う。
および第1電極板53および第2電極板71の内周端に
形成された保持部58.78を、底壁21、および第1
電極板53および第2電極板71に対して90゜折り曲
げる6そして、第1電極板53および第2電極板71の
保持部58.78にそれぞれ陽極側接続コード6および
陰極側接続コード8を挿入した後に、保持部58.18
をかしめることによって、陽極電極5および陰極電極7
と陽極側接続コード6および陰極側接続コード8との電
気的な接続を行う。
なお、第1電極板51〜53同士および第2電極板71
〜74同士の電気的な接続は、これらが1枚の導電性金
属プレート50.70により連結片55.56および連
結片75〜77とともに一体的に形成されているので、
半田付は等の溶接を行わなくとも確実になされている。
〜74同士の電気的な接続は、これらが1枚の導電性金
属プレート50.70により連結片55.56および連
結片75〜77とともに一体的に形成されているので、
半田付は等の溶接を行わなくとも確実になされている。
すなわち、半田付は等の溶接を行わなくとも確実に第1
電極板51〜53同士および第2電極板71〜74同士
の電気的な接続を行うことができるので、製造工数を減
少できる。なお、第1電極板および第2電極板の積層数
が増加すれば増加するほどその効果は大となる。
電極板51〜53同士および第2電極板71〜74同士
の電気的な接続を行うことができるので、製造工数を減
少できる。なお、第1電極板および第2電極板の積層数
が増加すれば増加するほどその効果は大となる。
そして、圧電素子41〜46の陽極側面に陽極電極5の
第1電極板51〜53を配設し、圧電素子41〜46の
陰極側面に陰極電極7の第2電極板71〜74を配設す
る。その後、押え金3と、圧電素子群4、陽極電極5お
よび陰極電極7からなる積層体と、受は金9を主体金具
2内に収容し、陽極側接続コード6および陰極側接続コ
ード8を主体金具2の底壁21の開口より取り出す。そ
して、主体金具2の外側壁22の開放側端部をかしめに
より内側に折り曲げて押え金3と受は金9との間に圧電
素子群4、陽極電極5および陰極電極7からなる積層体
を挟み込んで主体金具2内に固定する。さらに、主体金
具2の底壁21の開口より取り出した陽極側接続コード
6および陰極側接続コード8を主体金具2の底壁21の
保持部23をかしめることによって、陽極側接続コード
6および陰極側接続コード8を主体金具2に固定して一
体化させる。
第1電極板51〜53を配設し、圧電素子41〜46の
陰極側面に陰極電極7の第2電極板71〜74を配設す
る。その後、押え金3と、圧電素子群4、陽極電極5お
よび陰極電極7からなる積層体と、受は金9を主体金具
2内に収容し、陽極側接続コード6および陰極側接続コ
ード8を主体金具2の底壁21の開口より取り出す。そ
して、主体金具2の外側壁22の開放側端部をかしめに
より内側に折り曲げて押え金3と受は金9との間に圧電
素子群4、陽極電極5および陰極電極7からなる積層体
を挟み込んで主体金具2内に固定する。さらに、主体金
具2の底壁21の開口より取り出した陽極側接続コード
6および陰極側接続コード8を主体金具2の底壁21の
保持部23をかしめることによって、陽極側接続コード
6および陰極側接続コード8を主体金具2に固定して一
体化させる。
この結果、陽極側接続コード6および陰極側接続コード
8が分離することを防止でき、さらに陽極側接続コード
6および陰極側接続コード8を主体金具2に固定する保
持具を新たに設ける必要がないので、部品点数を減少さ
せることができる。
8が分離することを防止でき、さらに陽極側接続コード
6および陰極側接続コード8を主体金具2に固定する保
持具を新たに設ける必要がないので、部品点数を減少さ
せることができる。
(変形例)
本実施例では、陽極電極と陰極電極との両方を1枚のプ
レートで形成したが、陽極電極または陰極電極のどちら
か一方のみを1枚のプレートで形成しても良い。
レートで形成したが、陽極電極または陰極電極のどちら
か一方のみを1枚のプレートで形成しても良い。
本実施例では、圧電素子を6個積層した圧力センサを用
いたが、圧電素子を2〜5個積層した圧力センサや、圧
電素子を7個以上積層した圧力センサを用いても良い、
但し、圧電素子を2個積層した圧力センサの場合は、最
も外側となる陽極電極または陰極電極同士の電気的な接
続を主体金具により行うことも可能なため、圧電素子は
3個以上が望ましい。
いたが、圧電素子を2〜5個積層した圧力センサや、圧
電素子を7個以上積層した圧力センサを用いても良い、
但し、圧電素子を2個積層した圧力センサの場合は、最
も外側となる陽極電極または陰極電極同士の電気的な接
続を主体金具により行うことも可能なため、圧電素子は
3個以上が望ましい。
第1図ないし第3図は本発明の一実施例を示す。
第1図は圧電素子内蔵型圧力センサの分解図、第2図は
陽極電極の展開図、第3図は陰極電極の展開図である。 図中 1・・・圧電素子内蔵型圧力センサ 41〜46・・・
複数の圧電素子 50.70・・・導電性金属プレート
51〜53・・・複数の第1電極板 71〜74・・
・複数の第2電極板
陽極電極の展開図、第3図は陰極電極の展開図である。 図中 1・・・圧電素子内蔵型圧力センサ 41〜46・・・
複数の圧電素子 50.70・・・導電性金属プレート
51〜53・・・複数の第1電極板 71〜74・・
・複数の第2電極板
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)環状の圧電素子と、 この圧電素子の一方側に重ねられる環状の第1電極板と
、 この第1電極板と極性が異なるとともに、前記圧電素子
の他方側に重ねられる環状の第2電極板と を複数積層してなる圧力センサにおいて、 前記複数の第1電極板または前記複数の第2電極板は、
1枚のプレートにより形成されていることを特徴とする
圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25621090A JPH04132917A (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25621090A JPH04132917A (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04132917A true JPH04132917A (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=17289455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25621090A Pending JPH04132917A (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04132917A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009288144A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電素子、圧電センサ、圧電素子の製造方法、金属箔電極部材 |
JP2013148562A (ja) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電素子およびその製造方法、ならびに圧電センサ |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP25621090A patent/JPH04132917A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009288144A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電素子、圧電センサ、圧電素子の製造方法、金属箔電極部材 |
JP2013148562A (ja) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電素子およびその製造方法、ならびに圧電センサ |
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