JPH04131747A - 原子吸光光度計及び分析測定方法 - Google Patents
原子吸光光度計及び分析測定方法Info
- Publication number
- JPH04131747A JPH04131747A JP25385190A JP25385190A JPH04131747A JP H04131747 A JPH04131747 A JP H04131747A JP 25385190 A JP25385190 A JP 25385190A JP 25385190 A JP25385190 A JP 25385190A JP H04131747 A JPH04131747 A JP H04131747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cuvette
- sample
- atomic absorption
- current
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 title claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 11
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 9
- 238000001479 atomic absorption spectroscopy Methods 0.000 claims description 8
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 26
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 8
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 8
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 abstract description 7
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 abstract description 2
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003705 background correction Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000005375 photometry Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910021654 trace metal Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、グラファイトキュベツトを備えたゼーマン型
フレームレス原子吸光光度計及びそれを用いて微量金属
を定量する原子吸光分析測定方法に関する。
フレームレス原子吸光光度計及びそれを用いて微量金属
を定量する原子吸光分析測定方法に関する。
近年、原子吸光光度計の原子化炉は、バーナーのフレー
ムによる加熱方式より高温が得られるものとして、大電
流によるグラファイトキュベツト加熱方式が採用される
ようになった。そのフレームレス加熱に用いられるグラ
ファイトキュベツトは１通電によって発熱する円筒体で
あって、中央に測定されるべき試料注入用の小貫通孔を
有し、注入された試料を原子蒸気化する部材である。ま
た、いわゆるゼーマン型原子吸光光度計においては、そ
の通電加熱に際し、バックグラウンド補正を行うために
、該円筒体の軸に垂直な磁場が与えられる。
ムによる加熱方式より高温が得られるものとして、大電
流によるグラファイトキュベツト加熱方式が採用される
ようになった。そのフレームレス加熱に用いられるグラ
ファイトキュベツトは１通電によって発熱する円筒体で
あって、中央に測定されるべき試料注入用の小貫通孔を
有し、注入された試料を原子蒸気化する部材である。ま
た、いわゆるゼーマン型原子吸光光度計においては、そ
の通電加熱に際し、バックグラウンド補正を行うために
、該円筒体の軸に垂直な磁場が与えられる。
このグラファイトキュベツトは、特定波長の測定光を発
する光源部と原子化炉を通過する光量を測定する測光部
との間に配置され、そのキュベツト内における測定光の
吸収量を測定することによリ、原子化された元素が定量
される。該キュベツトはおよそ円筒状で、中央に試料注
入用小貫通孔を設けたいわゆる原子化部と、その両側に
適度に張り出された電極への取付部とが一体形成され、
その両端部には通電用リング状電極が取り付けられる。
する光源部と原子化炉を通過する光量を測定する測光部
との間に配置され、そのキュベツト内における測定光の
吸収量を測定することによリ、原子化された元素が定量
される。該キュベツトはおよそ円筒状で、中央に試料注
入用小貫通孔を設けたいわゆる原子化部と、その両側に
適度に張り出された電極への取付部とが一体形成され、
その両端部には通電用リング状電極が取り付けられる。
試料中に含有される微量金属の測定は、キュベツトの上
記中央部の注入小孔から装置操作により測定用液状試料
を注入し、これを加熱乾固した後、例えば、約４００ア
ンペア程度の大電流を通じて２０００〜３０００℃にま
でキュベツトを加熱し、試料を原子蒸気化して行われる
。
記中央部の注入小孔から装置操作により測定用液状試料
を注入し、これを加熱乾固した後、例えば、約４００ア
ンペア程度の大電流を通じて２０００〜３０００℃にま
でキュベツトを加熱し、試料を原子蒸気化して行われる
。
このようなフレームレス原子吸光光度計を用いて検量線
法で測定する場合、予め各金属元素についてそれぞれの
検量線が作られ、その検量線作成と同一操作条件でそれ
ぞれの試料中の金属含量が測定される。通常、このグラ
ファイトキュベツトには、単相交流の大電流が流されて
、例えば、約３０００℃もの高温に加熱され、同時にバ
ックグラウンド補正のために外部磁場が印加されること
もある。このような測定操作においては、原子化炉は、
−回の測定ごとに約３０００℃と室温との間の急速な加
熱と冷却とが強い磁場中で行われ、その繰返し操作のた
びに、キュベツトが微妙に回転したり、振動でずれたり
するだけでなく、炉内体の消耗も進行して徐々に測定誤
差が大きくなるので、適宜、検量線をチエツクし、測定
感度ドリフトが認められたら検量線を作成しなおさねば
ならなかった。
法で測定する場合、予め各金属元素についてそれぞれの
検量線が作られ、その検量線作成と同一操作条件でそれ
ぞれの試料中の金属含量が測定される。通常、このグラ
ファイトキュベツトには、単相交流の大電流が流されて
、例えば、約３０００℃もの高温に加熱され、同時にバ
ックグラウンド補正のために外部磁場が印加されること
もある。このような測定操作においては、原子化炉は、
−回の測定ごとに約３０００℃と室温との間の急速な加
熱と冷却とが強い磁場中で行われ、その繰返し操作のた
びに、キュベツトが微妙に回転したり、振動でずれたり
するだけでなく、炉内体の消耗も進行して徐々に測定誤
差が大きくなるので、適宜、検量線をチエツクし、測定
感度ドリフトが認められたら検量線を作成しなおさねば
ならなかった。
更に、繰返しの測定操作において、しばしば試料の注入
操作がスムーズにできなくなり、キュベツトをセットし
なおして検量線を再作成しなければならないという不都
合があった。
操作がスムーズにできなくなり、キュベツトをセットし
なおして検量線を再作成しなければならないという不都
合があった。
従って、本発明の課題は、そのような測定感度ドリフト
が効果的に抑制される原子吸光分析方法及びその実施に
好適な装置を提供することにある。
が効果的に抑制される原子吸光分析方法及びその実施に
好適な装置を提供することにある。
また、他の課題は、測定試料の注入操作に不都合を生じ
ることのない実用的に優れた原子化炉を提供することに
ある。
ることのない実用的に優れた原子化炉を提供することに
ある。
本発明者らは、上記課題を解決し得る原子吸光光度計用
原子化部について研究を重ね、実用的に望ましい原子吸
光分析法を開発した。
原子化部について研究を重ね、実用的に望ましい原子吸
光分析法を開発した。
すなわち、本発明は、グラファイトキュベツトを備えた
フレームレス原子吸光光度計を用いて微量金属を定量す
る原子吸光分析測定方法において、キュベツトに、リプ
ル電流が全電流の１０％を超えない直流電流を通じてキ
ュベツトと試料を加熱する上記原子吸光分析測定方法を
提供するものである。
フレームレス原子吸光光度計を用いて微量金属を定量す
る原子吸光分析測定方法において、キュベツトに、リプ
ル電流が全電流の１０％を超えない直流電流を通じてキ
ュベツトと試料を加熱する上記原子吸光分析測定方法を
提供するものである。
また、そのような測定方法に好適な装置として、キュベ
ツト加熱用電源にろ波回路を持たない三相全波整流回路
が用いられる原子吸光光度計を提供する。
ツト加熱用電源にろ波回路を持たない三相全波整流回路
が用いられる原子吸光光度計を提供する。
グラファイト原子化部の加熱用電源として、他の整流回
路で得られたりプルの多い直流をろ波回路を用いて平滑
化してリプルの少ない直流としたものも使用できるが、
４００〜５００アンペアという大電流を必要とする本発
明の用途には、ろ波回路は異常に高価なものとなるので
工業的に不利であり、実用性の優れた三相全波整流回路
が有利に採用される。
路で得られたりプルの多い直流をろ波回路を用いて平滑
化してリプルの少ない直流としたものも使用できるが、
４００〜５００アンペアという大電流を必要とする本発
明の用途には、ろ波回路は異常に高価なものとなるので
工業的に不利であり、実用性の優れた三相全波整流回路
が有利に採用される。
更に、本発明の方法及び装置においては、バックグラン
ド補正に用いる外部磁場として、交流電磁石ではなく永
久磁石による直流磁場をかけることが極めて望ましいこ
とが判った。
ド補正に用いる外部磁場として、交流電磁石ではなく永
久磁石による直流磁場をかけることが極めて望ましいこ
とが判った。
本発明の方法において用いるグラファイトキュベツトは
、例えば、内径４ｎｍ〜５ ｍ 、外形７ｍ〜８■で、
長さが約３０ｍ程度の小さな円筒体であって、その中央
部に測定試料注入用の直径１〜１．５閣の貫通孔があけ
られ、該炉体の中央部の長さ７Ｉｌ１ｍ〜８ｍが原子化
部として機能するように構成されてなるものであり、そ
の筒状両端縁稜線部は面取り状円錐面に形成されている
。かかる原子化炉の両端部は、これを嵌合状に受は入れ
るそれら外形にマツチする接触内表面を持った対向する
リング状電極で保持される。
、例えば、内径４ｎｍ〜５ ｍ 、外形７ｍ〜８■で、
長さが約３０ｍ程度の小さな円筒体であって、その中央
部に測定試料注入用の直径１〜１．５閣の貫通孔があけ
られ、該炉体の中央部の長さ７Ｉｌ１ｍ〜８ｍが原子化
部として機能するように構成されてなるものであり、そ
の筒状両端縁稜線部は面取り状円錐面に形成されている
。かかる原子化炉の両端部は、これを嵌合状に受は入れ
るそれら外形にマツチする接触内表面を持った対向する
リング状電極で保持される。
このようなグラファイトキュベツトにおいて、本発明の
方法は、特に、該キュベツトを加熱するための通電とし
て、リプル電流が全電流の１０％を超えない条件の直流
で加熱することが重要であり、そのリプル電流が１０％
を超えると比較的早期に感度ドリフトが生じて測定誤差
が大きくなり、また測定操作、特に試料注入操作がスム
ーズにできなくなるという不都合が生ずるので好ましく
ない。
方法は、特に、該キュベツトを加熱するための通電とし
て、リプル電流が全電流の１０％を超えない条件の直流
で加熱することが重要であり、そのリプル電流が１０％
を超えると比較的早期に感度ドリフトが生じて測定誤差
が大きくなり、また測定操作、特に試料注入操作がスム
ーズにできなくなるという不都合が生ずるので好ましく
ない。
次に添付図面により、本発明を更に詳細に説明する。
第１図は、本発明に係る原子吸光光度計の一例の加熱電
源回路を含む説明用模式図である。加熱電源回路は、三
相全波整流回路装置で、その電源のりプル含有率は約６
％である。
源回路を含む説明用模式図である。加熱電源回路は、三
相全波整流回路装置で、その電源のりプル含有率は約６
％である。
測定においては、所定量の試料溶液を原子化炉のキュベ
ツト１の試料注入口２から入れ、電極３に小電流を通じ
てキュベツトを加熱して試料を乾固させ、次いで、この
電極に三相全波整流装置４により約４００アンペアの電
流を流して急激にキュベツトを昇温させ、原子蒸気化し
たキュベツト内の試料に、原子化炉の一端に配置した光
源５から矢印の方向に特定波長光を通過させ、他端側に
置かれた測光部６において透過ビームの吸光度を測定し
、その吸収光量から試料濃度が算出される。
ツト１の試料注入口２から入れ、電極３に小電流を通じ
てキュベツトを加熱して試料を乾固させ、次いで、この
電極に三相全波整流装置４により約４００アンペアの電
流を流して急激にキュベツトを昇温させ、原子蒸気化し
たキュベツト内の試料に、原子化炉の一端に配置した光
源５から矢印の方向に特定波長光を通過させ、他端側に
置かれた測光部６において透過ビームの吸光度を測定し
、その吸収光量から試料濃度が算出される。
本発明の測定方法によれば、試料を原子化する際のキュ
ベツトの振動や微妙な回転等の不都合が可及的に抑制さ
れ、微量金属の連続的定量をスムーズに、且つ高精度で
安定して行うことができる。
ベツトの振動や微妙な回転等の不都合が可及的に抑制さ
れ、微量金属の連続的定量をスムーズに、且つ高精度で
安定して行うことができる。
特に、キュベツトを磁場中に置くことによりそのゼーマ
ン効果を用いてバックグラウンド補正を行う、いわゆる
ゼーマン型フレームレス原子吸光光度計による測定にお
いて本発明の効果は著しく発揮される。
ン効果を用いてバックグラウンド補正を行う、いわゆる
ゼーマン型フレームレス原子吸光光度計による測定にお
いて本発明の効果は著しく発揮される。
次に、実施例により本発明の方法を更に詳細に説明する
。
。
実施例 １
第１図に示す三相全波整流回路電源を備えた原子吸光光
度計を用いて、石英ガラス中に含有される微量銅成分を
原子吸光分析した。電源のりプル含有率は、２７００℃
に加熱している時に６％であった。
度計を用いて、石英ガラス中に含有される微量銅成分を
原子吸光分析した。電源のりプル含有率は、２７００℃
に加熱している時に６％であった。
分析用試料として、銅を１０ ＰＰｂ含有し、シリカを
６％を含有するぶつ酸酸性の標準溶液について繰返し測
定を行った。測定は、２０μＱの試料をオートサンプラ
でキュベツトに注入し、通電によりキュベツトを昇温さ
せて試料を８０℃〜２００℃の温度で４０秒間乾燥し、
次いで、これを６００℃で３０秒間予備加熱して灰化さ
せた後、急激に昇温させ、２７００℃の温度に５秒加熱
して原子蒸気化した銅の吸光度を測定した。
６％を含有するぶつ酸酸性の標準溶液について繰返し測
定を行った。測定は、２０μＱの試料をオートサンプラ
でキュベツトに注入し、通電によりキュベツトを昇温さ
せて試料を８０℃〜２００℃の温度で４０秒間乾燥し、
次いで、これを６００℃で３０秒間予備加熱して灰化さ
せた後、急激に昇温させ、２７００℃の温度に５秒加熱
して原子蒸気化した銅の吸光度を測定した。
同一試料について測定を１８０回繰返し行い、２０回毎
の原子吸光分析値の平均値とそのバラツキを調べ、その
バラツキを平均値で除して得られる変動係数ｃｖ（％）
の変化を調べた。その結果、各群の分析平均値は、極め
て一定しており、また変動係数は、１８０回の測定にお
いてもすべて０．５％前後であって、１％を超えない優
れた再現性を有することが確認された。また、平均値の
ドリフトもなく、極めて安定であった。
の原子吸光分析値の平均値とそのバラツキを調べ、その
バラツキを平均値で除して得られる変動係数ｃｖ（％）
の変化を調べた。その結果、各群の分析平均値は、極め
て一定しており、また変動係数は、１８０回の測定にお
いてもすべて０．５％前後であって、１％を超えない優
れた再現性を有することが確認された。また、平均値の
ドリフトもなく、極めて安定であった。
比較例 １〜３
実施例１のキュベツト加熱用三相全波整流回路電源に代
えて、三相半波整流回路電源（リプル含有率２５％）を
備えた原子吸光光度計（比較例１）。
えて、三相半波整流回路電源（リプル含有率２５％）を
備えた原子吸光光度計（比較例１）。
単相ブリッジ整流回路電源（リプル含有率６７％）を備
えた原子吸光光度計（比較例２）及び従来の交流電源に
よる原子吸光光度計（比較例３）のそれぞれを用いて同
一試料について同様に１８０回繰返し測定して、２０回
毎の平均値に対するバラツキの変動係数ｃｖ（％）を調
べた。各２０回の平均値は、あとの群はど銅濃度が低く
測定され、最後の２０回の平均値は、最初のそれに比べ
て、いずれも７〜８％低い測定濃度が算出された。更に
変動係数はすべて３．５〜４．５％と大きく、従って、
本発明の測定方法に比べてその測定精度は遥かに低く、
再現性も劣ることが確認された。
えた原子吸光光度計（比較例２）及び従来の交流電源に
よる原子吸光光度計（比較例３）のそれぞれを用いて同
一試料について同様に１８０回繰返し測定して、２０回
毎の平均値に対するバラツキの変動係数ｃｖ（％）を調
べた。各２０回の平均値は、あとの群はど銅濃度が低く
測定され、最後の２０回の平均値は、最初のそれに比べ
て、いずれも７〜８％低い測定濃度が算出された。更に
変動係数はすべて３．５〜４．５％と大きく、従って、
本発明の測定方法に比べてその測定精度は遥かに低く、
再現性も劣ることが確認された。
本発明の測定方法によれば、石英ガラス中に含有される
微量金属不純物の測定において、例えば、銅についての
前記実施例に見られるように、測定値の標準偏差の１０
倍で定義される定量限界として、０．０１ｐｐｍを達成
することができた。また、この定量限界で１日に、従来
は４０件しか分析能力が出せなかったゼーマン型フレー
ムレス原子吸光光度計で１日当り６０件を分析できるよ
うになった。本発明の改良法及び改善された測定用吸光
光度計により、測定の安定性と信頼性が大幅に増大する
ので、本発明の実用的価値は極めて高い。
微量金属不純物の測定において、例えば、銅についての
前記実施例に見られるように、測定値の標準偏差の１０
倍で定義される定量限界として、０．０１ｐｐｍを達成
することができた。また、この定量限界で１日に、従来
は４０件しか分析能力が出せなかったゼーマン型フレー
ムレス原子吸光光度計で１日当り６０件を分析できるよ
うになった。本発明の改良法及び改善された測定用吸光
光度計により、測定の安定性と信頼性が大幅に増大する
ので、本発明の実用的価値は極めて高い。
第１図は、本発明に係る三相余波整流回路電源を備えた
原子吸光光度計の一例の加熱電源回路を含む説明用模式
図である。 図中の符号： １・・・キュベツト ２・・・試料注入口３・・・電
極 ４・・・三相余波整流回路電源
原子吸光光度計の一例の加熱電源回路を含む説明用模式
図である。 図中の符号： １・・・キュベツト ２・・・試料注入口３・・・電
極 ４・・・三相余波整流回路電源
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、グラフアイトキュベットを備えたフレームレス原子
吸光光度計を用いて微量金属を定量する原子吸光分析測
定方法において、キュベットにリプル電流が全電流の１
０％を超えない直流電流を通じてキュベットと試料を加
熱することを特徴とする上記原子吸光分析測定方法。 ２、キユベットに、その円筒軸に垂直な磁場を永久磁石
によって与える請求項１記載の測定方法。 ３、グラファイトキュベットを備えたフレームレス原子
吸光光度計において、キュベット加熱用電源として、ろ
波回路を持たない三相全波整流回路が用いられる上記原
子吸光光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25385190A JPH04131747A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 原子吸光光度計及び分析測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25385190A JPH04131747A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 原子吸光光度計及び分析測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04131747A true JPH04131747A (ja) | 1992-05-06 |
Family
ID=17257018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25385190A Pending JPH04131747A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 原子吸光光度計及び分析測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04131747A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100506812B1 (ko) * | 1998-02-05 | 2005-10-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 공정용 수산화암모늄 시료내의 극미량 금속 오염물 분석방법 |
| KR20170057368A (ko) * | 2014-09-22 | 2017-05-24 | 팬듀트 코포레이션 | 전압 부존재의 검증을 위한 시스템 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5350415A (en) * | 1976-10-18 | 1978-05-08 | Hitachi Ltd | Excitation control system for synchronous motor |
| JPS5446077A (en) * | 1977-09-20 | 1979-04-11 | Nec Corp | 3 phase alternating current voltage detection circuit |
| JPS58205082A (ja) * | 1982-05-26 | 1983-11-29 | 東レ株式会社 | タンマン式加熱炉 |
| JPH01223332A (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-06 | Inoue Japax Res Inc | 通電熱分析装置 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP25385190A patent/JPH04131747A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5350415A (en) * | 1976-10-18 | 1978-05-08 | Hitachi Ltd | Excitation control system for synchronous motor |
| JPS5446077A (en) * | 1977-09-20 | 1979-04-11 | Nec Corp | 3 phase alternating current voltage detection circuit |
| JPS58205082A (ja) * | 1982-05-26 | 1983-11-29 | 東レ株式会社 | タンマン式加熱炉 |
| JPH01223332A (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-06 | Inoue Japax Res Inc | 通電熱分析装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100506812B1 (ko) * | 1998-02-05 | 2005-10-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 공정용 수산화암모늄 시료내의 극미량 금속 오염물 분석방법 |
| KR20170057368A (ko) * | 2014-09-22 | 2017-05-24 | 팬듀트 코포레이션 | 전압 부존재의 검증을 위한 시스템 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Parsons et al. | A low-cost tungsten filament atomizer for measuring lead in blood by atomic absorption spectrometry | |
| US4407582A (en) | Method and apparatus for reduction of matric interference in electrothermal atomizer for atomic absorption spectroscopy | |
| Qian et al. | Highly sensitive determination of cadmium and lead in whole blood by electrothermal vaporization-atmospheric pressure glow discharge atomic emission spectrometry | |
| Lagesson et al. | Direct determination of lead and cadmium in blood and urine by flameless atomic absorption spectrophotometry. | |
| Becker et al. | Determination of trace elements in high-purity platinum by laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry using solution calibration | |
| Kratzer et al. | Feasibility of in situ trapping of selenium hydride in a DBD atomizer for ultrasensitive Se determination by atomic absorption spectrometry studied with a 75 Se radioactive indicator | |
| Farah et al. | Developments and applications of multielement graphite furnace atomic absorption spectrometry | |
| Majidi et al. | Improving sensitivity for CE-ICP-MS using multicapillary parallel separation | |
| US3893769A (en) | Graphite tube furnace | |
| Chartier et al. | Photothermal lens spectrometry of homogeneous fluids with incoherent white-light excitation using a cylindrical sample cell | |
| LuisaáCervera et al. | Determination of chromium by electrothermal atomic absorption spectrometry after rapid microwave-assisted digestion of sediment and botanical samples | |
| JPH04131747A (ja) | 原子吸光光度計及び分析測定方法 | |
| JPH03175341A (ja) | 半導体プロセス用薬剤の定量法および定量装置 | |
| Dougherty et al. | Instrumentation for Zeeman electrothermal atomizer laser excited atomic fluorescence spectrometry | |
| Costantini et al. | Application of ZrC-coated tubes to the determination of aluminum in serum by graphite furnace atomic absorption spectroscopy | |
| Matosek et al. | Spectrometric analysis of non-metals introduced from a graphite furnace into a microwave-induced plasma | |
| Ajayi et al. | Evaluation of automatic probe atomization for determination of elements in urine and whole blood by electrothermal atomic absorption spectrometry | |
| JPH08292154A (ja) | 原子吸光光度計および黒鉛管 | |
| Lehnert | Thermal desorption and atomic emission spectrometric determination of adsorbable organically bound elements for water analysis | |
| King et al. | A continuous-flow method for determining dissociation constants by ultraviolet spectrophotometry | |
| Black et al. | Atomic fluorescence spectrometry with continuous nebulization into a platinum furnace | |
| Torsi et al. | A new method for standardless analysis in ETA-AAS applied to the determination of lead associated with air aerosol | |
| JPH04131748A (ja) | 原子吸光光度計用原子化炉 | |
| Dhaher et al. | Candoluminescence emission for the determination of bismuth, manganese, and antimony | |
| JPH11118761A (ja) | キャピラリ電気泳動によるイオン類分析方法及び装置 |