JPH04130253A - Ｘ線分光検出部構造 - Google Patents
Ｘ線分光検出部構造Info
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- JPH04130253A JPH04130253A JP2252947A JP25294790A JPH04130253A JP H04130253 A JPH04130253 A JP H04130253A JP 2252947 A JP2252947 A JP 2252947A JP 25294790 A JP25294790 A JP 25294790A JP H04130253 A JPH04130253 A JP H04130253A
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 41
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 42
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、蛍光Ｘ線分析装置や電子線マイクロアナライ
ザ等において、試料から発生する特性Ｘ線もしくは蛍光
Ｘ線を分光して検出する分光検出部の構造に関する。
ザ等において、試料から発生する特性Ｘ線もしくは蛍光
Ｘ線を分光して検出する分光検出部の構造に関する。
（ロ）従来の技術
蛍光Ｘ線分析装置は、第４図に示すように、試料台２１
と、この試料台２１上の試料Ｓに励起Ｘ線を照射するＸ
線管２２と、試料Ｓから放射される蛍光Ｘ線を受ける分
光検出部２３とを備え、分光検出部２３は、分光結晶２
４と、検出器２５とで構成されている。分光検出部２３
において、分光結晶２４は、試料Ｓからの蛍光Ｘ線を分
光して目的の元素のＸ線を選別し、検出器２５は、分光
結晶２４で選別されたＸ線を検出する。
と、この試料台２１上の試料Ｓに励起Ｘ線を照射するＸ
線管２２と、試料Ｓから放射される蛍光Ｘ線を受ける分
光検出部２３とを備え、分光検出部２３は、分光結晶２
４と、検出器２５とで構成されている。分光検出部２３
において、分光結晶２４は、試料Ｓからの蛍光Ｘ線を分
光して目的の元素のＸ線を選別し、検出器２５は、分光
結晶２４で選別されたＸ線を検出する。
励起Ｘ線のスペクトルが固定される装置では、一つの分
光検出部２３で単一の元素が測定されるのであって、試
料台２１の周りには、第５図に示すように、このような
分光検出部２３が多数、放射状に配置され、これら分光
検出部２３．・・・により同時に多元素が測定される。
光検出部２３で単一の元素が測定されるのであって、試
料台２１の周りには、第５図に示すように、このような
分光検出部２３が多数、放射状に配置され、これら分光
検出部２３．・・・により同時に多元素が測定される。
ところで、従来装置の分光検出部２３では、プレートや
アームにより分光結晶２４や検出器２５が所要の位置に
支持されている。その構造を第６図および第７図に示す
。
アームにより分光結晶２４や検出器２５が所要の位置に
支持されている。その構造を第６図および第７図に示す
。
従来の分光検出部２３には、２枚一対のプレー）２６．
２７があり、各プレート２６．２７の内側にそれぞれホ
ルダ２８．２９を介して分光結晶２４もしくは検出器２
５が取り付けられている。これらプレート２６．２７は
、図示省略したアームにより支持されている。３０，３
１はガイドである。
２７があり、各プレート２６．２７の内側にそれぞれホ
ルダ２８．２９を介して分光結晶２４もしくは検出器２
５が取り付けられている。これらプレート２６．２７は
、図示省略したアームにより支持されている。３０，３
１はガイドである。
（ハ）発明が解決しようとする課題
上記の各分光検出部２３において、分光結晶２４や検出
器２５は、それ自体大きなスペースを占有するものでは
なく、またその支持高さも、分光検出部２３毎に異なる
高さに設定しうるのであるが、従来の分光検出部２３で
は、分光結晶２４や検出器２５の両側にプレート２６．
２７があり、これらプレート２６．２７が上下方向にも
大きく広がっているので、このプレート２６．２７の一
部が隣合う分光検出部２３との間で、引っ掛かる等の干
渉が生じるおそれがあり、各分光検出部２３毎に上下に
大きなスペースを確保する必要がある。
器２５は、それ自体大きなスペースを占有するものでは
なく、またその支持高さも、分光検出部２３毎に異なる
高さに設定しうるのであるが、従来の分光検出部２３で
は、分光結晶２４や検出器２５の両側にプレート２６．
２７があり、これらプレート２６．２７が上下方向にも
大きく広がっているので、このプレート２６．２７の一
部が隣合う分光検出部２３との間で、引っ掛かる等の干
渉が生じるおそれがあり、各分光検出部２３毎に上下に
大きなスペースを確保する必要がある。
そのため、試料台２１の周りには、平面的に見て、全く
重なりのない状態で分光検出部２３を配置しなければな
らず、分光検出部２３の配置数が少数に限定され、同時
に測定しうる元素の数を増やすことができない。
重なりのない状態で分光検出部２３を配置しなければな
らず、分光検出部２３の配置数が少数に限定され、同時
に測定しうる元素の数を増やすことができない。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであって
、分光結晶と検出器との支持機構を簡略化して、その所
要スペースを必要最少限に縮小し、試料台の周りに多数
の分光検出部を配置しうるようにすることを課題とする
。
、分光結晶と検出器との支持機構を簡略化して、その所
要スペースを必要最少限に縮小し、試料台の周りに多数
の分光検出部を配置しうるようにすることを課題とする
。
（ニ）課題を解決するための手段
本発明は、上記の課題を達成するために、試料からのＸ
線を受ける分光結晶と、この分光結晶で分光されたＸ線
を検出する検出器とを含むＸ線分光検出部の構造であっ
て、検出領域の上下に配設された一対の支持板と、これ
ら支持板間に上下に張設された線状体とを備え、線状体
は、分光結晶および検出器のそれぞれに複数本が対応し
、分光結晶および検出器は、それぞれ対応する複数本の
線状体の中途部に取付部材を介して傾斜自在に取り付け
られている構成とした。
線を受ける分光結晶と、この分光結晶で分光されたＸ線
を検出する検出器とを含むＸ線分光検出部の構造であっ
て、検出領域の上下に配設された一対の支持板と、これ
ら支持板間に上下に張設された線状体とを備え、線状体
は、分光結晶および検出器のそれぞれに複数本が対応し
、分光結晶および検出器は、それぞれ対応する複数本の
線状体の中途部に取付部材を介して傾斜自在に取り付け
られている構成とした。
（ホ）作用
上記の構成において、分光結晶や検出器の支持部材であ
る線状体は、平面的に見て、はとんどスペースをとらず
、線状体そのものが、隣合う分光検出部との間で引っ掛
かり等の干渉を生じることがない。
る線状体は、平面的に見て、はとんどスペースをとらず
、線状体そのものが、隣合う分光検出部との間で引っ掛
かり等の干渉を生じることがない。
また、各分光検出部の分光結晶や検出器は、その支持高
さ位置でそれぞれの大きさに応じたスペースを占有する
だけで、その上下には空間的に余裕があり、ここに隣合
う分光検出部の分光結晶や検出器を位置させることで、
平面的に見ると、分光結晶もしくはその取付部材どうし
が一部重なり合うような狭い配置ピッチで、多数の分光
検出部の配置が可能になる。
さ位置でそれぞれの大きさに応じたスペースを占有する
だけで、その上下には空間的に余裕があり、ここに隣合
う分光検出部の分光結晶や検出器を位置させることで、
平面的に見ると、分光結晶もしくはその取付部材どうし
が一部重なり合うような狭い配置ピッチで、多数の分光
検出部の配置が可能になる。
（へ）実施例
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図ないし第３図は本発明の一実施例に係り、第１図
はＸ線分光検出部全体の縦断側面図、第２図はその要部
の拡大側面図、第３図は第２図の平面図である。
はＸ線分光検出部全体の縦断側面図、第２図はその要部
の拡大側面図、第３図は第２図の平面図である。
これらの図に示すように、この実施例のＸ線分光検出部
は、分光結晶ｌと、検出器２と、上下−対の支持板３．
４と、線状体５．．５．．５ａ、５．（５と総称）とを
含む。
は、分光結晶ｌと、検出器２と、上下−対の支持板３．
４と、線状体５．．５．．５ａ、５．（５と総称）とを
含む。
支持板３，４は、円盤状で、Ｘ線検出領域の上下に配設
されている。
されている。
線状体５は、分光結晶１および検出器２を支持するため
のもので、一対の支持板３．４間に上下方向に張設され
ている。この例では、線状体５は細い金属棒で構成され
、その線状体５が各分光検出部毎に４本ずつ、試料位置
を中心とする半径線上に一列に配列されている。図面に
は、一つの分光検出部の対応する４本の線状体５．．５
１，５．．５４の組を示しているが、このような線状体
５Ｉ、５宜。
のもので、一対の支持板３．４間に上下方向に張設され
ている。この例では、線状体５は細い金属棒で構成され
、その線状体５が各分光検出部毎に４本ずつ、試料位置
を中心とする半径線上に一列に配列されている。図面に
は、一つの分光検出部の対応する４本の線状体５．．５
１，５．．５４の組を示しているが、このような線状体
５Ｉ、５宜。
５、．５．の組は、試料位置を中心に放射状に多数設け
られる。
られる。
一つの分光検出部に含まれる４本の線状体５１５．．５
１．５４のうち、試料寄りの２本５．．５．が分光結晶
ｌに対応し、これら２本の線状体５．．５゜の中途部に
は、クランプ６およびホルダ７を介して分光結晶ｌが支
持されている。クランプ６は線状体５に嵌着するもので
あり、ホルダ７にはクランプ６が傾斜自在に枢着されて
いる。また、外周側の２本５３＋ ５４は検出器２に対
応し、これら２本の線状体５３＋ ５ 、には、前記と
同様のクランプ８およびホルダ９を介して検出器２が支
持されている。
１．５４のうち、試料寄りの２本５．．５．が分光結晶
ｌに対応し、これら２本の線状体５．．５゜の中途部に
は、クランプ６およびホルダ７を介して分光結晶ｌが支
持されている。クランプ６は線状体５に嵌着するもので
あり、ホルダ７にはクランプ６が傾斜自在に枢着されて
いる。また、外周側の２本５３＋ ５４は検出器２に対
応し、これら２本の線状体５３＋ ５ 、には、前記と
同様のクランプ８およびホルダ９を介して検出器２が支
持されている。
分光結晶ｌおよび検出器２にそれぞれ対応する２本の線
状体５、．５ 、（５、、５、）のうち、一方の線状体
５＋（５４）は、上下に位置調節可能で、この−方の線
状体５．（５４）の上下位置を変えることで、分光結晶
１もしくは検出器２の傾斜姿勢が変化するようになって
いる。前記一方の線状体５．（５４）は、上下の支持板
３．４に対して回転しないが上下動可能で、一端に雄ね
じ部５ａがあり、この雄ねじ部５ａに雌ねじ体ｌＯが螺
合し、雌ねじ体１０は、ウオームギア１１およびウオー
ムホイール１２のような伝動手段により回転駆動される
。
状体５、．５ 、（５、、５、）のうち、一方の線状体
５＋（５４）は、上下に位置調節可能で、この−方の線
状体５．（５４）の上下位置を変えることで、分光結晶
１もしくは検出器２の傾斜姿勢が変化するようになって
いる。前記一方の線状体５．（５４）は、上下の支持板
３．４に対して回転しないが上下動可能で、一端に雄ね
じ部５ａがあり、この雄ねじ部５ａに雌ねじ体ｌＯが螺
合し、雌ねじ体１０は、ウオームギア１１およびウオー
ムホイール１２のような伝動手段により回転駆動される
。
上記の構成において、各分光検出部を構成する分光結晶
１と検出器２とは、対応する線状体５の中途部にクラン
プ６．８およびホルダ７．９を介して取り付けられる。
１と検出器２とは、対応する線状体５の中途部にクラン
プ６．８およびホルダ７．９を介して取り付けられる。
この場合、分光検出部に対応する線状体５Ｉ、５、．５
３．５．の組は、試料位置の周りに比較的狭いピッチで
設けられているから、今仮に、分光結晶１や検出器２を
同じ高さ位置に取り付けたとすると、隣合う分光検出部
の間で、分光結晶１やそのホルダ７が引っ掛かる等の干
渉が生じることになる。
３．５．の組は、試料位置の周りに比較的狭いピッチで
設けられているから、今仮に、分光結晶１や検出器２を
同じ高さ位置に取り付けたとすると、隣合う分光検出部
の間で、分光結晶１やそのホルダ７が引っ掛かる等の干
渉が生じることになる。
しかしながら、分光結晶１や検出器２は、その取付高さ
位置でその自体の大きさに応じたスペースを占有するだ
けで、その上下には空間的に余裕がある。そこで、隣合
う分光検出部との間では、分光結晶ｌおよび検出器２の
取付高さが異なった高さに設定され、分光結晶１等の高
さ位置が上下に振り分けられる。
位置でその自体の大きさに応じたスペースを占有するだ
けで、その上下には空間的に余裕がある。そこで、隣合
う分光検出部との間では、分光結晶ｌおよび検出器２の
取付高さが異なった高さに設定され、分光結晶１等の高
さ位置が上下に振り分けられる。
これで、分光結晶１や検出器２の上方もしくは下方に、
隣合う分光検出部の分光結晶ｌや検出器２が位置するこ
とになって、その間に引っ掛かり等の干渉もなく、平面
的に見ると、隣合う分光結晶ｌやそのホルダ２等が上下
に一部重なり合った形で配置されることになる。
隣合う分光検出部の分光結晶ｌや検出器２が位置するこ
とになって、その間に引っ掛かり等の干渉もなく、平面
的に見ると、隣合う分光結晶ｌやそのホルダ２等が上下
に一部重なり合った形で配置されることになる。
各分光検出部の分光結晶１および検出器２の支持高さが
決まると、次には、分光結晶ｌや検出器２に対応する線
状体５のうち、可動の線状体５．。
決まると、次には、分光結晶ｌや検出器２に対応する線
状体５のうち、可動の線状体５．。
５４を上下に動かすことで、分光結晶ｌや検出器２の傾
斜角度が調整される。
斜角度が調整される。
なお、図示の実施例では、金属棒からなる線状体５を示
したが、線状体としてはワイヤも使用可能で、その場合
は、プーリやドラムによりワイヤを巻き上げ巻き戻して
その上下位置を調整するようにすればよい。
したが、線状体としてはワイヤも使用可能で、その場合
は、プーリやドラムによりワイヤを巻き上げ巻き戻して
その上下位置を調整するようにすればよい。
（ト）発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、各分光検出部を構
成する分光結晶や検出器の支持位置の上下に空間的な余
裕ができるから、ここに隣合う分光検出部の分光結晶や
検出器を位置させることができ、これによって、平面的
に見ると、分光結晶やその取付部材どうしが一部重なり
合うような狭い配置ピッチで、多数の分光検出部を試料
の周りに配置することができ、これによって、同時に測
定しうる元素数を増大させることができる。
成する分光結晶や検出器の支持位置の上下に空間的な余
裕ができるから、ここに隣合う分光検出部の分光結晶や
検出器を位置させることができ、これによって、平面的
に見ると、分光結晶やその取付部材どうしが一部重なり
合うような狭い配置ピッチで、多数の分光検出部を試料
の周りに配置することができ、これによって、同時に測
定しうる元素数を増大させることができる。
第１図ないし第３図は本発明の一実施例に係り、第１図
はＸ線分光検出部全体の縦断側面図、第２図はその要部
の拡大側面図、第３図は第２図の平面図である。 第４図は蛍光Ｘ線分析装置の概略側面図、第５図はその
横断平面図、第６図は従来の分光検出部の側面図、第７
図はその平面図である。 ■・・・分光結晶、２・・・検出器、３．４・・・支持
板、５ （５、、５、、５、、５、）−・・線状体、６
、８ ・・・クランプ、７．９・・・ホルダ。
はＸ線分光検出部全体の縦断側面図、第２図はその要部
の拡大側面図、第３図は第２図の平面図である。 第４図は蛍光Ｘ線分析装置の概略側面図、第５図はその
横断平面図、第６図は従来の分光検出部の側面図、第７
図はその平面図である。 ■・・・分光結晶、２・・・検出器、３．４・・・支持
板、５ （５、、５、、５、、５、）−・・線状体、６
、８ ・・・クランプ、７．９・・・ホルダ。
Claims (1)
- （１）試料からのＸ線を受ける分光結晶と、この分光結
晶で分光されたＸ線を検出する検出器とを含むＸ線分光
検出部の構造であって、 検出領域の上下に配設された一対の支持板と、これら支
持板間に上下に張設された線状体とを備え、 線状体は、分光結晶および検出器のそれぞれに複数本が
対応し、 分光結晶および検出器は、それぞれ対応する複数本の線
状体の中途部に取付部材を介して傾斜自在に取り付けら
れている、 ことを特徴とするＸ線分光検出部構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252947A JPH04130253A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Ｘ線分光検出部構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252947A JPH04130253A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Ｘ線分光検出部構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130253A true JPH04130253A (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=17244375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2252947A Pending JPH04130253A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Ｘ線分光検出部構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04130253A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190125656A (ko) * | 2018-04-30 | 2019-11-07 | 주식회사 쎄크 | 엑스레이 검사장치 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP2252947A patent/JPH04130253A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190125656A (ko) * | 2018-04-30 | 2019-11-07 | 주식회사 쎄크 | 엑스레이 검사장치 |
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