JPH04128825A - 第二高調波発生装置 - Google Patents

第二高調波発生装置

Info

Publication number
JPH04128825A
JPH04128825A JP25107290A JP25107290A JPH04128825A JP H04128825 A JPH04128825 A JP H04128825A JP 25107290 A JP25107290 A JP 25107290A JP 25107290 A JP25107290 A JP 25107290A JP H04128825 A JPH04128825 A JP H04128825A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal
fundamental wave
harmonic
light
wavelength plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP25107290A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2828760B2 (ja
Inventor
Nobuhiro Fukushima
暢洋 福島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP25107290A priority Critical patent/JP2828760B2/ja
Publication of JPH04128825A publication Critical patent/JPH04128825A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2828760B2 publication Critical patent/JP2828760B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 第二高調波発生装置に関し、 光学系を複雑とすることなく第二高調波を効率良く発生
可能とすることを目的とし、 基本波を発生させる基本波発生手段と、該基本波発生手
段より発生した基本波を往路と復路とを繰り返し往復さ
せてその内部に閉じ込める機能を有する光共振器と、該
光共振器内に配設してあり、上記基本波を入射されて第
二高調波を発生させる非線形光学結晶とよりなる第二高
調波発生装置において、上記光共振器の内部の往路上、
上記非線形光学結晶に対して上流側の部位に、上記基本
波発生手段より出射して上記光共振器の内部に入り込ん
だ基本波の偏光を上記非線形光学結晶と位相整合する直
線偏光とすると共に、復路を通り反射して再び往路内に
入り込んだ基本波の偏光を上記非線形光学結晶と位相整
合する直線偏光とする第1の!/4波長板を設け、且つ
上記の往路上、上記非線形光学結晶に対して下流側の部
位に、上記往路より復路内に入り込んで上記非線形光学
結晶に向かう基本波の偏光を前記往路における偏光と直
交する方向の直線偏光とする第2の1/4波長板を設け
て構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は第二高調波発生装置に関する。
レーザを基本波として第二高調波を発生する装置は、光
記録の分野て記録の高密度化を可能とするものとして期
待されている。
この種の装置は、第二高調波を効率良く発生させうるも
のであることか望ましい。
〔従来の技術〕
第5図に従来の第二高調波発生装置の1例を示す。
1はレーザダイオード(以下LDという)、2はコリメ
ートレンズである。
3はファブリ・ペロー共振器であり、二つのミラー4,
5が相対向して配設され、間に非線形光学結晶であるL
 i N b O2の結晶6か配設された構成である。
結晶6は、その光学軸7か、LDIから出射した基本波
であるレーザ8の電場の方向(偏光方向)9と光軸10
とを含む面と平行となる向きに配設しである。
ここで、上記の結晶6の特性について説明する。
光が結晶6の内部を透過する時、光の電場によって物質
に分極が発生する。光が弱い場合、分極は電場に比例す
る。そのため通常は、こうした効果を考えなくてもよい
。しかし光強度か強くなってくると、分極は電場に比例
しなくなる。すなわち非線形になってくる。分極には比
例(1次)成分の他に2次、3次の成分か含まれる。2
次の成分を選択的に取り出すと、その周波数は入射光(
基本波)の倍になっている。すなわち波長を半分にする
ことが出来る。この現象を5HG(第二高調波発生)と
いう。SHGの変換効率は物質の性質(非線形光学定数
)によって異なり、入射光と高調波の位相整合により異
なり、また入射光強度の2乗に比例する。
次に位相整合について説明する。基本波か非線形光学結
晶6に入射すると第二高調波が発生するか、−船釣には
結晶のなかで基本波と高調波の屈折率か異なる。すなわ
ち基本波と高調波の速度か異なる。このため結晶内で発
生する高調波の位相か光の進行とともに基本波からずれ
、変換が妨げられる現象か起きる。これを防ぐためには
基本波と高調波の屈折率を等しくすればよい。そのよう
な条件を実現する方法として複屈折を利用することかで
きる。複屈折結晶は直交する二つの偏光に対して異なる
屈折率を与えることかできる。それぞれの光線を常光線
と異常光線とよぶ。一つの例として基本波の常光線と高
調波の異常光線の屈折率を等しくなるようにすることか
可能である。このようにすると、SHGの効率を高くす
ることかできる。これか位相整合である。このとき複屈
折のある非線形光学結晶を特定の角度に設置し、特定の
偏光を入射させる必要かある。
第1のミラー4は、基本波に対する反射率か99%、第
二高調波に対する反射率が100%のものである。
第2のミラー5は、基本波に対する反射率か99%で第
二高調波に対する反射率が0%の特性を有するものであ
る。
LDIからのレーザ8はコリメートレンズ2を通って平
行光とされ、一部かミラー4を透過して共振器3に入り
込む。
入り込んだレーザ8は、ミラー5と4で反射され、ミラ
ー4,5の間で往復する。
ミラー4,5のレーザ8に対する反射率をRとすると、
ミラー4.5の間におけるレーザ8の強度は、LDIか
ら出射した部位におけるレーザ8の強度の1/(1−R
)倍となる。Rか99%の場合は、約100倍となる。
このため、結晶6は高い変換効率で第二高調波を発生さ
せる。
ミラー5に向かって前向きに進む往路の基本波を8−1
0 とする。ミラー5で反射されて後向きに進む復路の
基本波を8−2oとする。
前向きの基本波8−toの偏光方向9−IQは前記の偏
光方向9と同してあり、結晶6は位相整合し、基本波8
−1゜か結晶6を透過するときに第二高調波発生が行わ
れ、第二高調波11−3か発生する。
この第二高調波11−0はミラー5を透過して出力され
る。
ここで、後向きの基本波8−28の偏光方向についてみ
るに、偏光方向は9−7゜て示す如くであり、上記の偏
光方向9−18と同じ方向である。
結晶6はこの後向きの基本波8−2とも位相整合し、基
本波8−2か結晶を透過するときも第二高調美奈11−
2か発生する。
この第二高調波11−2は、ミラー4て反射され、結晶
6を透過し、ミラー5を透過して出力される。
〔発明か解決しようとする課題〕
上記の第二高調波11−1と11−2ときを装置の出力
部であるミラー5の部位てみると、光路長の差異等によ
って両者間には波面にずれがあり、方か他方を打消すよ
うに作用し合うことがある。
このため、従来の装置における第二高調波の発生効率は
、第2図中線■て示す如くになり、低い。
なお、リング共振器を使用して基本波の往路の光路と復
路の光路とを分け、復路の基本波が上記の結晶を通らな
いようにすると上記の問題を解決することが出来る。
しかし、リング共振器には、製造か困難である軸外しの
反射ミラーが必要となり、また光学系が複雑となってし
まう。
本発明は光学系を複雑とすることなく、第二高長波を効
率良く発生可能とした第二高調波発生装置を提供するこ
とを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
請求項1の発明は、基本波を発生させる基本波発生手段
と、 該基本波発生手段より発生した基本波を往路と復路とを
繰り返し往復させてその内部に閉じ込める機能を有する
光共振器と、 該光共振器内に配設してあり、上記基本波を入射されて
第二高調波を発生させる非線形光学結晶とよりなる第二
高調波発生装置において、上記光共振器の内部の往路上
、上記非線形光学結晶に対して上流側の部位に、上記基
本波発生手段より出射して上記光共振器の内部に入り込
んだ基本波の偏光を上記非線形光学結晶と位相整合する
直線偏光とすると共に、復路を通り反射して再び往路内
に入り込んだ基本波の偏光を上記非線形光学結晶と位相
整合する直線偏光とする第1のl/4波長板を設け、 且つ上記の往路上、上記非線形光学結晶に対して下流側
の部位(−1上記往路より復路内に入り込んで上記非線
形光学結晶に向かう基本波の偏光を前記往路における偏
光と直交する方向の直線偏光とする第2の1/4波長板
を設けてなる構成としたものである。
請求項2の発明は、上記基本波発生手段を、上記光共振
器の内部のうち、上記第1の1/4波長板と上記非線形
光学結晶との間に設けてなる構成としたものである。
〔作用〕
請求項1の発明において、第1の1/4波長板は、往路
を進む基本波の偏光を非線形光学結晶と位相整合する状
態とする。
第2の1/4波長板は、復路を進む基本波の偏光を非線
形光学結晶と位相整合しない状態とする。
第1.第2の1/4波長板を配しても光学系は複雑とな
らない。
請求項2の発明において、基本波発生手段を光共振器内
に設けた構成は、第二光調波の発生効率を向上させる。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例になる第二高調波発生装置t
20を偏光状態の変化と併せて示す。図中、第5図に示
す構成部分と同一部分には同一符号を付す。
2Iはファブリ・ベロー共振器であり、第1゜第2のミ
ラー4,5を相対向して配設し、且つミラー4,5の間
にLiNbO2の結晶6及び第1及び第2の1/4波長
板22.23を配設してなる。ここで1/4波長とは、
後述する基本波であるレーザ8の波長の1/4の意であ
る。
LDIは、前記と同様に、これにより出射された基本波
であるレーザ8の電場の方向(偏光方向)9が垂直方向
である向きに定めである。
LDIの光軸10と偏光方向9とを含む面Sを基準の面
とする。
結晶6は、その光学軸7を、上記基準面Sと平行となる
向きに定めて配設しである。Slは光学軸7と光軸10
とを含む面である。
第1の1/4波長板22は、第1のミラー4と結晶6と
の間、即ち、後述する往路28上結晶6に対して上流側
の部位に位置して、光学軸24かLDI側からみて反時
計方向に45度傾斜した向きて配設しである。
第2の1/4波長板22は、結晶6を第2のミラー5と
の間、即ち、往路28上、結晶6に対して下流側の部位
に位置して、光学軸25かLDI側からみて時計方向に
45度傾斜した向きて配設しである。
26は第3の1/4波長板であり、第1のミラー4より
LDI側に位置しており、光学軸27は、LDI側から
みて時計方向に45度傾斜した向きに定めである。
次に、上記構成の装f120の動作について説明する。
LDIからのレーザ8はコリメートレンズ2を通って平
行光とされる。
平行光とされたレーザ8−1は、第3の1/4波長板2
6に入射し、進行方向からみて右廻り円偏光のレーザ8
−2となる。
この右廻り円偏光のレーザ8−2の一部か第1のミラー
4を透過して、共振器21内に入り込む。
共振器21内において、第1のミラー4から第2のミラ
ー5に向かう光路が往路28であり、逆に第2のミラー
5から第1のミラー4に向かう光路か復路29である。
まず往路について説明する。
右廻り円偏光のレーザ8−2は、第1の1/4波長板2
2に入射し、電場の方向が垂直であ直線偏光のレーザ8
−8となり、結晶6に入射する。
この直線偏光のレーザ8.の電場の方向は、結晶6の上
記面S1と平行である方向てあり、結晶6に対して位相
整合を満足する方向である。
このため、結晶6内で第二高調波発生が行われ、結晶6
内において、レーザ8−2の一部は、基本波であるレー
ザ8の第二高調波30に変換される。
変換されなかったレーザ8−8は偏光状態を乱されずに
結晶6を透過する。
従って、結晶6からは、レーザ8−2と第二高調波30
とが出射する。
第二高調波30は、レーザ8−2と同じ(直線偏光であ
る。
レーザ8−2及び第二高調波30は、第2のl/4波長
板23に入射する。
レーザ8−3は右廻り円偏光のレーザ8−4となる。
第2の1/4波長板23は、第二高調波3oに対しては
略1/2波長板として機能し、第二高調波30は直線偏
光の向きを90度回動された第二高調波30−3とされ
る。
第2の1/4波長板23の第二高調波3oに対する働き
は、共振器21の正常な動作を妨げない。
第二高調波30−1は、第2のミラー5を透過して、共
振器21より抜は出し、装置20から出力として取り出
される。
また基本波であるレーザ8−4は、第2のミラー5によ
って反射され、復路29に入る。
次に復路について説明する。
レーザ8−4は第2のミラー5によって反射されると、
進行方向上左廻り円偏光のレーザ8−6となる。
このレーザ8−5は第2の1/4波長板23に入射し、
今度は電場の方向か水平な直線偏光のレーザ8−6とな
って、結晶6に入射する。
レ−+t’a−@の電場の方向は上記往路のレーザ8−
3の電場の方向に対して直交する方向であり、前記面S
、に垂直な方向となって、結晶6とは位相整合条件があ
わない。
このため、結晶6内において第二高調波への変換は行わ
れず、結晶6からは第二高調波は発生しない。
結晶6からは上記のレーザ8−、だけがそのまま出射し
、第1の1/4波長板22に入射し、左廻り円偏光のレ
ーザ8−7とされる。
このレーザ8−7は第1のミラー4て反射され、再び往
路28内に入り、右廻り円偏光となり、第1の1/4波
長板22に入射し、前記と同様に直線偏光8−2となっ
て結晶6に入射し、再びその一部か第二高調波30に変
換され、第二高調波3゜が発生する。
上記のように、結晶6において、復路29を進行するレ
ーザは第二高調波に変換されず、専ら往路28を進行す
るレーザか第二高調波に変換される。
このため、上記装置20によれば、従来のように発生し
た第二高調波間における打消しは起きず第二高調波は、
第2図中、線■て示すように、従来に比べて高効率で発
生する。
また、このように往路と復路の偏光状態を変える手法は
他のSHGデバイス構成でも適用できる。
たとえば、非線形光学結晶によって基本波の偏光状態が
変化する場合であっても(非線形光学結晶の切り出し方
によって、このような場合があり得る。)結晶によって
与えられる位相差を補償する位相板を非線形光学結晶の
隣に設置すれば、上記の構成は、そのまま適用できる。
また、上記の装置20の光学系の構造は簡単である。
次に本発明の第2実施例について説明する。
第3図は本発明の第2実施例になる第二高調波発生装置
40を偏光状態の変化と併せて示す。この装置40は結
晶6及び二つの1/4波長板を組み込んだファブリ・ペ
ロー共振器41内に更にレーザダイオード1Aを配設し
た構成であり、第二高調波の発生効率を更に向上させる
ものである。
第3図中、第1図に示す構成部分と対応する部分には同
一符号を付す。
レーザダイオード1Aは両面に反射防止膜を施したもの
である。
LD1Aと第2のミラー5との間に、LD1A側から順
にコリメートレンズ42.L 1Nbosの結晶6及び
第2の1/4波長板43か配設しである。
LD1Aは電場の方向か垂直方向である直線偏光のレー
ザを両面側に出力する。
結晶6は面S1か垂直面となる向きで配設しである。
第1のミラー4側からみて、第2の1/4波長板43の
光学軸46は垂直方向から反時計方向に45度傾斜して
いる。
第1の1/4波長板45の光学軸47は垂直方向から時
計方向に45度傾斜している。
LD1Aから右方に出射したレーザ50は、結晶6内に
位相整合条件を満足した状態で入射し、第二高調波60
か発生する。
結晶6を透過したレーザ50は、第2の1/4波長板4
3で左廻り円偏光とされ、第2のミラー5て反射され、
右廻り円偏光とされ、第2の1/4波長板43で電場の
方向か水平方向である直線偏光とされ、結晶6に入射す
る。
結晶6はこの偏光に対しては位相整合条件かあわず、第
二高調波を発生しない。
結晶6を透過したレーザは、第1の1/4波長射手45
で右廻り円偏光とされ、第1のミラー4て反射されて左
廻り円偏光とされ、再度第2の1/4波長板45に入射
し、電場の方向か垂直方向である直線偏光される。
このレーザはLD1Aを透過して再び結晶6に入射する
。この場合には位相整合条件か合っているため、第二高
調波60か再び発生する。
LD1Aより左方に出射したレーザ51についての偏光
は、第3図中符号70で示す如くになる。
ミラー4からミラー5に向かう光路においては、結晶6
と位相整合せず、第二高調波は発生しない。
しかし、ミラー5て反射してミラー4に向かう光路にと
いては、偏光方向は結晶6と位相整合し、第二光調波6
1か発生する。しかし、この第二光調波は、結晶6を透
過せず、結晶6の部位で遮断され、前記の第二高調波6
0に悪影響は及ばない。
上記の装置40によれば、レーザ50の第二高調波60
への変換は第4図中線■て示すように前記の装置20の
場合に比べて更に効率良く行われる。
なお、磁気円二色性素子48をミラー4と1/4波長板
45との間に配してもよい。これはLD1Aより左方に
出射したレーザ51を吸収するためである。
上記の各実施例において、L i N b Osの結晶
6に代えて、I、 i T i 02の結晶、KNbO
,の結晶、KDPの結晶、DKDPの結晶、CDAの結
晶も使用可能である。
〔発明の効果〕
以上説明した様に、請求項1の発明によれば、往路で発
生して取り出される第二高調波に悪影響を及はす第二高
調波の発生か無いため、第二高調波を従来に比べて効率
良く発生させることか出来る。
また光学系を簡単な構成とし得る。
請求項2の発明によれば、基本波発生手段を光共振器内
に設けた構成であるため、第二高調波を更に効率良く発
生させることか出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の第二高調波発生装置を示す
図、 第2図は第1図に示す装置の特性を示す図、第3図は本
発明の別の実施例の第二高調波発生装置を示す図、 第4図は第3図の装置の特性を示す図、第5図は従来例
を示す図である。 図において、 よレーザダイオード(LD) よ第1のミラー ま第2のミラー まL iN b O! 才光学軸、 まレーザ、 の結晶、 20.40は第二高調波発生装置、 21.41はファブリ・ペロー共振器、22.45は第
1の1/4波長板、 23.43は第2の1/4波長板、 24.25,27,46.47は光学軸、26は第3の
1/4波長板、 28は往路、 29は復路、 30.60は第二高調波、 48は磁気円二色性素子、 50.51はレーザ を示す。 特許出願人 富 士 通 株式会社 同

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基本波(8)を発生させる基本波発生手段(1)
    と、 該基本波発生手段より発生した基本波を往路(28)と
    復路(29)とを繰り返し往復させてその内部に閉じ込
    める機能を有する光共振器(21)と、 該光共振器(21)内に配設してあり、上記基本波(8
    )を入射されて第二高調波を発生させる非線形光学結晶
    (6)とよりなる第二高調波発生装置において、 上記光共振器(21)の内部の往路(28)上、上記非
    線形光学結晶(6)に対して上流側の部位に、上記基本
    波発生手段(1)より出射して上記光共振器(21)の
    内部に入り込んだ基本波(8)の偏光を上記非線形光学
    結晶(21)と位相整合する直線偏光とすると共に、復
    路(29)を通り反射して再び往路(28)内に入り込
    んだ基本波の偏光を上記非線形光学結晶(21)と位相
    整合する直線偏光とする第1の1/4波長板(22)を
    設け、 且つ上記の往路(28)上、上記非線形光学結晶に対し
    て下流側の部位に、上記往路(28)より復路(29)
    内に入り込んで上記非線形光学結晶(6)に向かう基本
    波の偏光を前記往路における偏光と直交する方向の直線
    偏光とする第2の1/4波長板(23)を設けてなる構
    成としたことを特徴とする第二光調波発生装置。
  2. (2)請求項1の装置において、上記基本波発生手段(
    1A)を、上記光共振器の内部のうち、上記第1の1/
    4波長板(45)と上記非線形光学結晶(6)との間に
    設けてなる構成としたことを特徴とする第二光調波発生
    装置。
JP25107290A 1990-09-20 1990-09-20 第二高調波発生装置 Expired - Fee Related JP2828760B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25107290A JP2828760B2 (ja) 1990-09-20 1990-09-20 第二高調波発生装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25107290A JP2828760B2 (ja) 1990-09-20 1990-09-20 第二高調波発生装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04128825A true JPH04128825A (ja) 1992-04-30
JP2828760B2 JP2828760B2 (ja) 1998-11-25

Family

ID=17217214

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25107290A Expired - Fee Related JP2828760B2 (ja) 1990-09-20 1990-09-20 第二高調波発生装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2828760B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001056491A (ja) * 1999-08-18 2001-02-27 Japan Atom Energy Res Inst レーザー光の波長変換法
JP2011066300A (ja) * 2009-09-18 2011-03-31 Shimadzu Corp レーザ共振器
WO2014091540A1 (ja) * 2012-12-10 2014-06-19 三菱電機株式会社 平面導波路型レーザ装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001056491A (ja) * 1999-08-18 2001-02-27 Japan Atom Energy Res Inst レーザー光の波長変換法
JP4719918B2 (ja) * 1999-08-18 2011-07-06 独立行政法人 日本原子力研究開発機構 レーザー光の波長変換法
JP2011066300A (ja) * 2009-09-18 2011-03-31 Shimadzu Corp レーザ共振器
WO2014091540A1 (ja) * 2012-12-10 2014-06-19 三菱電機株式会社 平面導波路型レーザ装置
CN104838549A (zh) * 2012-12-10 2015-08-12 三菱电机株式会社 平面波导型激光装置
JP5933754B2 (ja) * 2012-12-10 2016-06-15 三菱電機株式会社 平面導波路型レーザ装置
EP2930798A4 (en) * 2012-12-10 2016-08-17 Mitsubishi Electric Corp LASER DEVICE WITH LEVELS WAVEGUIDERS
US9450370B2 (en) 2012-12-10 2016-09-20 Mitsubishi Electric Corporation Planar waveguide laser device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2828760B2 (ja) 1998-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4309419B2 (ja) 異方性音響光学変調器を利用した光ビーム発生システム及び方法
CN110716365B (zh) 一种基于反向相位匹配的频率解关联偏振纠缠源制备装置
CN109164663A (zh) 一种小型化纠缠源及其制备方法、以及设备无关量子随机数发生器
JP2007128080A (ja) 異方性音響光学変調器を利用した光ビーム発生システム及び方法
US8553734B2 (en) Frequency conversion of laser radiation
JPH05275785A (ja) レーザ光発生光学装置
US5410560A (en) Wavelength conversion apparatus
JPH04191703A (ja) 偏光無依存性光学部品
JPH04128825A (ja) 第二高調波発生装置
KR20080033284A (ko) 반사형 홀로그래픽 데이터 저장매체
US10228607B2 (en) Second harmonic generation
JP3545008B2 (ja) 光ピックアップ装置
JP5388224B2 (ja) コヒーレント光源
JPH01152781A (ja) レーザ光源
JPH01152782A (ja) レーザ光源
JPH05323404A (ja) 光波長変換素子
JPS62104092A (ja) 周波数2倍レ−ザ
JP2761141B2 (ja) 偏波回転ミラー
JP2754991B2 (ja) 波長変換装置
JP3398980B2 (ja) レーザ光発生装置
US4016427A (en) Apparatus for producing efficient second harmonic generation and frequency mixing
JPH0395982A (ja) 第二高調波発生レーザ
JPS61112123A (ja) 偏波解消器
Kotov Multiplication of the frequency shift of optical radiation by means of cascade acousto-optic interaction
JPS63139318A (ja) Ldモジユ−ル光学系

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080918

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees