JPH0412248A - クリーン・ルーム内清浄度測定システム - Google Patents
クリーン・ルーム内清浄度測定システムInfo
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- JPH0412248A JPH0412248A JP2111797A JP11179790A JPH0412248A JP H0412248 A JPH0412248 A JP H0412248A JP 2111797 A JP2111797 A JP 2111797A JP 11179790 A JP11179790 A JP 11179790A JP H0412248 A JPH0412248 A JP H0412248A
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- Japan
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- room
- measuring
- cleanliness
- measurement
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- Pending
Links
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 52
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、クリーム・ルーム内の清浄度を効率的に測定
できるクリーン・ルーム内清浄度測定システムに関する
。
できるクリーン・ルーム内清浄度測定システムに関する
。
従来、半導体工場や実験室等におけるクリーン・ルーム
内の清浄度測定は、室内に人が測定器を持ち込んで入り
、この測定器を直接操作して測定を行っている。或いは
、測定用ロボットが室内を移動して各測定箇所で測定を
行っている。
内の清浄度測定は、室内に人が測定器を持ち込んで入り
、この測定器を直接操作して測定を行っている。或いは
、測定用ロボットが室内を移動して各測定箇所で測定を
行っている。
しかしながら、測定者が測定機器を室内に持ち込んで測
定する場合、着衣等に付着した塵埃の影響及び空気の流
れを乱すことによって発塵状態を招いた。このため、測
定のために必要な定常状態に達するまでに回復時間を要
し、清浄度測定が長時間化された。 一方、測定用ロボットによる測定では、ロボット移動の
ためのスペースを必要とし、クリーン・ルーム内の実作
業に制約が与えられたため、測定結果が必ずしも通常の
稼働状態下の清浄度を正確に示しているとの保障がなか
った。 本発明は、上記欠点を解消するためになされたもので、
室内に空気の乱流を起こすことなく、しかも通常の稼働
状態を測定できるクリーン・ルーム内清浄度測定システ
ムを提供することを目的とする。
定する場合、着衣等に付着した塵埃の影響及び空気の流
れを乱すことによって発塵状態を招いた。このため、測
定のために必要な定常状態に達するまでに回復時間を要
し、清浄度測定が長時間化された。 一方、測定用ロボットによる測定では、ロボット移動の
ためのスペースを必要とし、クリーン・ルーム内の実作
業に制約が与えられたため、測定結果が必ずしも通常の
稼働状態下の清浄度を正確に示しているとの保障がなか
った。 本発明は、上記欠点を解消するためになされたもので、
室内に空気の乱流を起こすことなく、しかも通常の稼働
状態を測定できるクリーン・ルーム内清浄度測定システ
ムを提供することを目的とする。
本発明の上記目的は、クリーン・ルーム内に測定器を配
置し、室外にパーソナルコンピュータを設置して両者間
の信号授受を無＋ｌｉＪ！通信機を介して行い、測定器
から得られた測定データが前記パーソナルコンピュータ
により加工処理されて出力されるクリーン・ルーム内清
浄度測定システムにより達成される。
置し、室外にパーソナルコンピュータを設置して両者間
の信号授受を無＋ｌｉＪ！通信機を介して行い、測定器
から得られた測定データが前記パーソナルコンピュータ
により加工処理されて出力されるクリーン・ルーム内清
浄度測定システムにより達成される。
室内に測定器を配置し、この測定器が計測した測定デー
タを無線機により室外に送信してデータ収集を行うので
、測定者が入室して測定する必要がなくなり、空気の乱
流の発生を阻止して測定時間を短縮できる。 又、室内における測定者を無人にしたことにより、室内
での実作業に影響を与えず、実際の稼働状態下の清浄度
を測定できる。
タを無線機により室外に送信してデータ収集を行うので
、測定者が入室して測定する必要がなくなり、空気の乱
流の発生を阻止して測定時間を短縮できる。 又、室内における測定者を無人にしたことにより、室内
での実作業に影響を与えず、実際の稼働状態下の清浄度
を測定できる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
第１図は、本発明の一実施例に基づく全体構成図を示し
ている。 図に於いて、本発明のクリーン・ルーム内清浄度測定シ
ステムは、クリーン・ルーム１内に配置されて該室内の
清浄度を測定できる計測手段としての清浄度測定器２と
、同様に室内に配置されて前記測定器２と電気的に接続
された第１のＦＭ無線機３と、室外に設置されて前記無
線器３と通信を行う第２のＦＭ無線器４と、該第２のＦ
Ｍ無線器４と電気的に接続されたパーソナルコンピュー
タ５とから構成されており、本実施例では、更に前記パ
ーソナルコンピュータ５に接続されて該コンピュータか
ら出力される測定データを磁気記録する磁気記録装置６
を備えている。 前記パーソナルコンピュータ５は、前記測定器２に対し
て測定指令及び入力設定される測定仕様（測定時間や測
定回数）を発し、且つ前記測定器２で測定された測定デ
ータを収集して加工整理し、その測定結果を前記磁気記
録装置６に出力する。 前記第１及び第２のＦＭ無線機３．４は、前記測定器２
及びパーソナルコンピュータ５間の上記データ授受を行
うための無線通信手段で、それぞれ送信手段及び受信手
段とから構成されている。 第２図は、システムの測定フローを回示しており、測定
情報としてクリーン・ルーム１内の塵埃数が前記測定器
２により感知されて該測定器から検出信号として出力さ
れる。なお、この検出信号は緩電流のため、後段の通信
の安定性とノイズ対策としての有効性の面から、ＡＤ変
換されて前記第１のＦＭ無線機３の送信部に供給される
。送信部は検出信号をＦＭ変調して送信しており、この
送信されたＦＭ信号は前記第２のＦＭ無線器４の受信部
により受信される。受信されたＦＭ信号は復調された後
に前記パーソナルコンピュータ５へ供給される。パーソ
ナルコンピュータは信号処理によりこの受信された信号
をＤＡ変換し、且つ塵埃数と塵埃径の関係から累積塵埃
数を算出する。 更に、パーソナルコンピュータは検出信号の有意性、も
しくは妥当性を分析判断する。即ち、測定中に起きるク
リーン・ルームの環境変化、例えば人の入退室による人
員数の変化に応して、予め与えられた設定値或いはシス
テム自体が過去に測定して記憶部に蓄積したデータヘー
スを基準値として、例えば測定時間を変更して清浄度を
測定する。 パーソナルコンピュータはマンマシン・インターフェイ
スを介して入力される測定指令及び測定時間や測定回数
等の測定仕様を自己制御機能が受は付け、これに基づく
制御信号を前記第２のＦＭ無線器４の送信部に供給する
。前記第１の無線機３の受信部はこの制御信号を受信し
て前記測定器２に供給する。前記測定器２は供給された
制御信号により制御されて測定を実施する。又、前記パ
ーソナルコンピュータ５は前述した自己制御機能が分析
判断の結果の一部を測定器に帰還して該測定器の動作を
制御する。例えば所定時間に達する以前に測定情報が得
られた場合、測定時間や測定回数を変更するように制御
する。なお、上記各プロセスの推移及び測定データはパ
ーソナル・コンピュータのデイスプレィに表示されると
共に、出力されて磁気記録装置に記録される。 第３図は、本実施例の測定器として適用される光散乱式
ダスト・カウンタの光学系構成を例示したもので、この
ダスト・カウンタは、校正信号７として付与されるサン
プル・エアに直角の方向からレーザ光８を照射し、エア
中の微粒子からの散乱光を光学系９のスリット１０を通
して光電子倍増管１１で検出し、増幅器１２を介して散
乱信号１３として取り出すように構成したものである。 上記実施例では、一つの測定器に一台のパーソナル・コ
ンピュータが対応するように記載したが、室内の任意箇
所に複数台の測定器を設置し、且つこれら測定器が接続
された一台の多点切換装置を室内に配置し、パーソナル
・コンピッ、−りからの指令に基づいて前記多点切換装
置を切り換えて前記測定器を任意に選択することにより
、室内の所定箇所を測定器の移動を伴わないで測定でき
る構成とすることもできる。 又、上記実施例では、塵埃数だけの測定を行うように記
載したが、測定項目の異なる測定器を配置し、これら測
定器からの諸項目を一台のパーソナル・コンピュータが
並列処理するように構成して、更に高精度化された測定
情報が得られるようにもできる。
ている。 図に於いて、本発明のクリーン・ルーム内清浄度測定シ
ステムは、クリーン・ルーム１内に配置されて該室内の
清浄度を測定できる計測手段としての清浄度測定器２と
、同様に室内に配置されて前記測定器２と電気的に接続
された第１のＦＭ無線機３と、室外に設置されて前記無
線器３と通信を行う第２のＦＭ無線器４と、該第２のＦ
Ｍ無線器４と電気的に接続されたパーソナルコンピュー
タ５とから構成されており、本実施例では、更に前記パ
ーソナルコンピュータ５に接続されて該コンピュータか
ら出力される測定データを磁気記録する磁気記録装置６
を備えている。 前記パーソナルコンピュータ５は、前記測定器２に対し
て測定指令及び入力設定される測定仕様（測定時間や測
定回数）を発し、且つ前記測定器２で測定された測定デ
ータを収集して加工整理し、その測定結果を前記磁気記
録装置６に出力する。 前記第１及び第２のＦＭ無線機３．４は、前記測定器２
及びパーソナルコンピュータ５間の上記データ授受を行
うための無線通信手段で、それぞれ送信手段及び受信手
段とから構成されている。 第２図は、システムの測定フローを回示しており、測定
情報としてクリーン・ルーム１内の塵埃数が前記測定器
２により感知されて該測定器から検出信号として出力さ
れる。なお、この検出信号は緩電流のため、後段の通信
の安定性とノイズ対策としての有効性の面から、ＡＤ変
換されて前記第１のＦＭ無線機３の送信部に供給される
。送信部は検出信号をＦＭ変調して送信しており、この
送信されたＦＭ信号は前記第２のＦＭ無線器４の受信部
により受信される。受信されたＦＭ信号は復調された後
に前記パーソナルコンピュータ５へ供給される。パーソ
ナルコンピュータは信号処理によりこの受信された信号
をＤＡ変換し、且つ塵埃数と塵埃径の関係から累積塵埃
数を算出する。 更に、パーソナルコンピュータは検出信号の有意性、も
しくは妥当性を分析判断する。即ち、測定中に起きるク
リーン・ルームの環境変化、例えば人の入退室による人
員数の変化に応して、予め与えられた設定値或いはシス
テム自体が過去に測定して記憶部に蓄積したデータヘー
スを基準値として、例えば測定時間を変更して清浄度を
測定する。 パーソナルコンピュータはマンマシン・インターフェイ
スを介して入力される測定指令及び測定時間や測定回数
等の測定仕様を自己制御機能が受は付け、これに基づく
制御信号を前記第２のＦＭ無線器４の送信部に供給する
。前記第１の無線機３の受信部はこの制御信号を受信し
て前記測定器２に供給する。前記測定器２は供給された
制御信号により制御されて測定を実施する。又、前記パ
ーソナルコンピュータ５は前述した自己制御機能が分析
判断の結果の一部を測定器に帰還して該測定器の動作を
制御する。例えば所定時間に達する以前に測定情報が得
られた場合、測定時間や測定回数を変更するように制御
する。なお、上記各プロセスの推移及び測定データはパ
ーソナル・コンピュータのデイスプレィに表示されると
共に、出力されて磁気記録装置に記録される。 第３図は、本実施例の測定器として適用される光散乱式
ダスト・カウンタの光学系構成を例示したもので、この
ダスト・カウンタは、校正信号７として付与されるサン
プル・エアに直角の方向からレーザ光８を照射し、エア
中の微粒子からの散乱光を光学系９のスリット１０を通
して光電子倍増管１１で検出し、増幅器１２を介して散
乱信号１３として取り出すように構成したものである。 上記実施例では、一つの測定器に一台のパーソナル・コ
ンピュータが対応するように記載したが、室内の任意箇
所に複数台の測定器を設置し、且つこれら測定器が接続
された一台の多点切換装置を室内に配置し、パーソナル
・コンピッ、−りからの指令に基づいて前記多点切換装
置を切り換えて前記測定器を任意に選択することにより
、室内の所定箇所を測定器の移動を伴わないで測定でき
る構成とすることもできる。 又、上記実施例では、塵埃数だけの測定を行うように記
載したが、測定項目の異なる測定器を配置し、これら測
定器からの諸項目を一台のパーソナル・コンピュータが
並列処理するように構成して、更に高精度化された測定
情報が得られるようにもできる。
以」二記載したとおり、本発明のクリーン・ルーム内清
浄度測定システムによれば、測定者がクリーン・ルーム
に入室することなく、無線器を使用して室外からの指令
制御により、測定仕様の指定から測定開始及び終了時期
の指定まで行って測定できるため、室内の定常状態を保
って短時間で且つ正確な測定結果が得られる。又、測定
器の移動を伴わないで多点計測が行えるため、短時間内
に実稼働状態を測定できる。又、測定仕様の変更に対し
てもその都度、室内への入室を必要としないので効率的
な測定を行うことができる。
浄度測定システムによれば、測定者がクリーン・ルーム
に入室することなく、無線器を使用して室外からの指令
制御により、測定仕様の指定から測定開始及び終了時期
の指定まで行って測定できるため、室内の定常状態を保
って短時間で且つ正確な測定結果が得られる。又、測定
器の移動を伴わないで多点計測が行えるため、短時間内
に実稼働状態を測定できる。又、測定仕様の変更に対し
てもその都度、室内への入室を必要としないので効率的
な測定を行うことができる。
第１図は本発明の一実施例によるシステム全体構成図、
第２図は一実施例の測定フロー図、第３図は測定装置と
して使用される光散乱式ダスト・カウンタの概略を示す
構成図である。 図中符号 １・・・クリーン・ルーム、 ２・・・清浄度測定器、 ３・・・第１のＦＭ無線機、 ４・・・第２のＦＭ無線機、 ５・・・パーソナルコンピュータ、 ６・・・磁気記録装置、
第２図は一実施例の測定フロー図、第３図は測定装置と
して使用される光散乱式ダスト・カウンタの概略を示す
構成図である。 図中符号 １・・・クリーン・ルーム、 ２・・・清浄度測定器、 ３・・・第１のＦＭ無線機、 ４・・・第２のＦＭ無線機、 ５・・・パーソナルコンピュータ、 ６・・・磁気記録装置、
Claims (1)
- 室内に配置されて該室内の清浄度を測定する計測手段と
、室外に設けられて前記計測手段に計測指令を発し且つ
該計測手段からの測定データを加工処理するパーソナル
コンピュータと、前記計測手段及びパーソナルコンピュ
ータ間の信号授受を行う無線通信手段とを備えたクリー
ン・ルーム内清浄度測定システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2111797A JPH0412248A (ja) | 1990-05-01 | 1990-05-01 | クリーン・ルーム内清浄度測定システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2111797A JPH0412248A (ja) | 1990-05-01 | 1990-05-01 | クリーン・ルーム内清浄度測定システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0412248A true JPH0412248A (ja) | 1992-01-16 |
Family
ID=14570399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2111797A Pending JPH0412248A (ja) | 1990-05-01 | 1990-05-01 | クリーン・ルーム内清浄度測定システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0412248A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08101990A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Nishigi Kogyo Kk | 膜厚等の遠隔測定表示装置及びその使用方法 |
| KR20020080130A (ko) * | 2001-04-11 | 2002-10-23 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 클린 룸 모니터링용 무선 센서 시스템 |
| US7439855B1 (en) | 2005-05-13 | 2008-10-21 | Yufa Aleksandr L | Method and wireless communicating apparatus for analysis of environment |
| CN109632592A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-16 | 河南鑫安利职业健康科技有限公司 | 大气粉尘监测信号数据转换装置 |
-
1990
- 1990-05-01 JP JP2111797A patent/JPH0412248A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08101990A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Nishigi Kogyo Kk | 膜厚等の遠隔測定表示装置及びその使用方法 |
| KR20020080130A (ko) * | 2001-04-11 | 2002-10-23 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 클린 룸 모니터링용 무선 센서 시스템 |
| US7439855B1 (en) | 2005-05-13 | 2008-10-21 | Yufa Aleksandr L | Method and wireless communicating apparatus for analysis of environment |
| CN109632592A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-16 | 河南鑫安利职业健康科技有限公司 | 大气粉尘监测信号数据转换装置 |
| CN109632592B (zh) * | 2018-12-29 | 2021-04-13 | 河南鑫安利职业健康科技有限公司 | 大气粉尘监测信号数据转换装置 |
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