JPH04119849A - Manufacture of process screen for serigraph - Google Patents

Manufacture of process screen for serigraph

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JPH04119849A
JPH04119849A JP24192990A JP24192990A JPH04119849A JP H04119849 A JPH04119849 A JP H04119849A JP 24192990 A JP24192990 A JP 24192990A JP 24192990 A JP24192990 A JP 24192990A JP H04119849 A JPH04119849 A JP H04119849A
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screen
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博士 嶋津
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宏史 中川
Kazuhiko Inoue
和彦 井上
Yoshihiro Kobayashi
良弘 小林
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Kyushu Hitachi Maxell Ltd
Maxell Ltd
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Hitachi Maxell Ltd
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  • Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable a physical screen characteristic to be freely established by a method wherein a screen body is formed by electroformed working via an electroformed mold consisting of a resist film. CONSTITUTION:A resist film 11 is removed by peeling off, and further a plate forming layer 5 is separated from an electroformed matrix 9, An obtained blank 10c is reversed, and a resist film 13 for formation of a printing pattern 6 is formed on a surface of the plate forming layer 5. Then, an etching liquid is applied to a blank 10d on which the resist film 13 is formed, the plate forming layer 5 specified by the resist film 13 and a mediating layer 4 are removed by erosive notching, and a printing pattern reaching to a screen body 3 is formed. Thereafter, processes such as water washing, drying, removal of the resist film 13, etc., are performed to obtain a process screen 1. For the process screen 1 obtained by abovementioned process, printing is performed by using a peeled surface from the electroformed matrix 9 of the plate forming layer 5 as a printing surface 15.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えばICチップ用のリードフレームやハ
イブリット川Cの配線パターンプリント配線基板の製造
に使用される、スクリーン印刷用の製版スクリーンの製
造方法に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is directed to the manufacture of a plate-making screen for screen printing, which is used, for example, in the manufacture of lead frames for IC chips and printed wiring boards with wiring patterns of hybrid river C. Regarding the method.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来の製版スクリーンとして、糸または線材で編成され
たスクリーン本体にフォトレジストを塗布したものが一
般的であるが、より高精度の印刷を実現するために、第
4図に示す形態の製版スクリーンが用いられている(文
献不詳)。これはステンレス細線で編成されたスクリー
ン本体20の片面に、ニッケルやステンレスなどの金属
箔21を電気めっきによって結合固定したものである。
Conventional plate-making screens are generally made of thread or wire and coated with photoresist, but in order to achieve higher precision printing, a plate-making screen of the form shown in Figure 4 has been developed. It is used (document unknown). This has a metal foil 21 made of nickel, stainless steel, etc. bonded and fixed by electroplating to one side of a screen body 20 made of fine stainless steel wire.

刷版形成時には、金属箔21の表面にフォトレジストを
塗布し、これを露光、現像処理してエツチング用のレジ
スト膜を形成する。そして、レジスト膜で規定された金
属箔21の露出部分をエツチングにより蝕刻除去した後
、レジスト膜を剥離して印刷パターン23を形成する。
When forming a printing plate, a photoresist is applied to the surface of the metal foil 21, and is exposed and developed to form a resist film for etching. After removing the exposed portion of the metal foil 21 defined by the resist film by etching, the resist film is peeled off to form a printed pattern 23.

印刷は金属箔21の側を印刷対象に密着させて行う。こ
の製版スクリーンによれば、印刷パターンが金属箔21
で形成されるので、耐薬品性や耐摩耗性か得られるのは
もちろん、パターンエツジのだれや変形がないので1、
長期間シャープな印刷を行うことができる。
Printing is performed by bringing the metal foil 21 side into close contact with the object to be printed. According to this plate-making screen, the printing pattern is printed on the metal foil 21.
Since it is formed with 1, it not only provides chemical resistance and abrasion resistance, but also prevents the pattern edges from sagging or deforming.
Able to print sharply for a long period of time.

C発明が解決しようとする課題〕 しかし、上記の製版スクリーンは、ステンレス細線で編
成され、メソシュサイズやその形状が規定されたスクリ
ーン本体20を刷版要素としている。そのため、開口率
や製版スクリーンの全厚等を自由に選定することができ
ず、印刷インクの付着量や印刷厚みが固定化されるなど
、印刷時の融通性に欠ける。また、ステンレス細線の小
径化に限度があるため、メンシュサイズを一定値以下に
は微細化できず、印刷の高細精度化を図ることが困難で
ある。めっき処理時に、ステンレス細線がめつき層で覆
われ、その分空間率が低下する不利もある。
C. Problems to be Solved by the Invention] However, the above-mentioned plate-making screen uses a screen body 20, which is made of thin stainless steel wire and has a defined mesh size and shape, as a printing plate element. Therefore, it is not possible to freely select the aperture ratio, the total thickness of the plate-making screen, etc., and the amount of adhesion of printing ink and the printing thickness are fixed, resulting in a lack of flexibility during printing. Further, since there is a limit to the reduction in the diameter of the thin stainless steel wire, the mensch size cannot be reduced below a certain value, and it is difficult to achieve high precision printing. During the plating process, the fine stainless steel wire is covered with a plating layer, which has the disadvantage of reducing the porosity.

この発明は、上記の問題点を解消するものであって、そ
の目的は、スクリーン本体および印刷パターンが形成さ
れる板形成層をそれぞれ電鋳て形成して、開口率や全厚
などの物理的なスクリーン特性を自由に設定することが
でき、しかもメツシュサイズを必要に応じて十分に微細
化することができる、印刷時の融通性に優れ、しかも高
細精度の印刷に適したスクリーン印刷用の製版スクリー
ンを得ることにある。
This invention solves the above-mentioned problems, and its purpose is to form the screen body and the plate forming layer on which the printed pattern is formed by electroforming, so that physical properties such as aperture ratio and total thickness can be improved. A screen printing plate making system that allows you to freely set the screen characteristics and to make the mesh size sufficiently fine as required.It has excellent flexibility during printing and is suitable for high-precision printing. It's all about getting the screen.

この発明の他の目的は、高い平面度で板形成層の印刷面
を形成でき、印刷時に高い解像度が得られる製版スクリ
ーンを得ることにある。
Another object of the present invention is to obtain a plate-making screen that can form a printing surface of a plate-forming layer with high flatness and that can provide high resolution during printing.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

この発明の製造方法では、電鋳母型9の表面に板形成層
5を電鋳により形成する工程と、板形成層5の表面にめ
っきを施して仲介層4を形成する工程と、 仲介層4の表面にフォトレジスト11aを塗布した後、
フォトレジスト11a上にパターンフィルム12を介し
てメッシュパターンを焼き付け、現像処理してレジスト
膜11を形成する工程と、レジスト膜11で規定された
仲介層4の表面に、一群のインク通口2を有するスクリ
ーン本体3を電鋳により形成する工程と、 電鋳母型9から剥離した板形成層50表面にフォトレジ
ストを塗布した後、フォトレジスト上にパターンフィル
ム12を介して印刷パターンを焼き付け、現像処理して
レジスト膜13を形成する工程と、 レジスト膜13で規定された板形成層5をエツチング処
理して、スクリーン本体3に達する印刷パターン6を形
成する工程とを経て、製版スクリーンlを形成する。
The manufacturing method of the present invention includes the steps of forming the plate forming layer 5 on the surface of the electroforming mother mold 9 by electroforming, plating the surface of the plate forming layer 5 to form the intermediate layer 4, and the intermediate layer. After coating the photoresist 11a on the surface of 4,
A process of printing a mesh pattern on the photoresist 11a via a pattern film 12 and developing it to form a resist film 11, and forming a group of ink holes 2 on the surface of the intermediate layer 4 defined by the resist film 11. After applying a photoresist to the surface of the plate forming layer 50 peeled off from the electroforming matrix 9, a printed pattern is baked on the photoresist via a pattern film 12, and developed. The plate-making screen l is formed through a process of processing to form a resist film 13 and a process of etching the plate forming layer 5 defined by the resist film 13 to form a printed pattern 6 that reaches the screen body 3. do.

〔作用〕[Effect]

レジスト膜11によって電鋳型を形成し、この型で規定
された仲介層4の表面に電鋳によりスクリーン本体3を
形成するので、メソシュサイズやメッシュパターンおよ
びスクリーン本体3の厚みを自由に設定でき、さらに、
スクリーン本体3に先行して電鋳により形成される板形
成層5の厚みも自由に設定できる。
An electroforming mold is formed using the resist film 11, and the screen body 3 is formed by electroforming on the surface of the intermediate layer 4 defined by this mold, so the mesh size, mesh pattern, and thickness of the screen body 3 can be freely set. ,
The thickness of the plate forming layer 5 formed by electroforming prior to the screen body 3 can also be freely set.

板形成層5を予め形成し、その表面側に仲介層4とスク
リーン本体3を形成した後、板形成層5を電鋳母型9か
ら剥離するので、一連の加工工程において板形成層5に
応力が作用し内部応力が残ることを防止でき、しかも板
形成層5の電鋳母型9との接当面、即ち高い平面度が得
られる面を印刷面15にして製版スクリーン1を形成す
るので、印刷対象への密着度を向上できる。
After forming the plate forming layer 5 in advance and forming the intermediary layer 4 and the screen body 3 on its surface side, the plate forming layer 5 is peeled off from the electroforming mother mold 9. Therefore, in a series of processing steps, the plate forming layer 5 is It is possible to prevent stress from acting and internal stress from remaining, and the plate-making screen 1 is formed by using the printing surface 15 as the surface of the plate-forming layer 5 that comes into contact with the electroforming mold 9, that is, the surface that provides high flatness. , the degree of adhesion to the printing target can be improved.

仲介層4は、板形成層5の表面にスクリーン本体3を形
成するについて、両者5・3の結着強度を向上し剥離を
防ぐため設けられる。
The intermediary layer 4 is provided to improve the bonding strength between the screen body 3 and the screen body 3 on the surface of the plate-forming layer 5 and to prevent peeling.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明では、印刷パターン6を形成するために板形成
層5を電鋳加工によって形成し、その表面倒に仲介層4
とスクリーン本体3を形成することとし、スクリーン本
体3はレジスト膜11からなる電鋳型を介して電鋳加工
により形成するようにしたので、スクリーン本体3のメ
ソシュサイズやメッシュパターンおよび製版スクリーン
1の全厚等の物理的なスクリーン特性を自由に設定する
ことができ、印刷対象に応してインクの付着量や印刷厚
みを的確に制御できることとなった。これにより、印刷
時の融通性が向上されて、例えば印刷配線の設計の自由
度を向上でき、さらに、メソシュサイズを高度に微細化
できるので、高細精度の印刷を行うことができ、例えば
リード線の高密度化が進むICリードフレームを形成す
るについて、その配線パターンを高い印刷精度で形成で
きる。
In this invention, the plate forming layer 5 is formed by electroforming in order to form the printed pattern 6, and the intermediate layer 4 is formed on the surface of the plate forming layer 5.
Since the screen body 3 is formed by electroforming through an electroforming mold made of a resist film 11, the mesh size and mesh pattern of the screen body 3 and the total thickness of the plate-making screen 1 are It is now possible to freely set the physical screen characteristics such as, etc., and it is now possible to accurately control the amount of ink adhesion and printing thickness depending on the printing target. This improves flexibility during printing, increasing the degree of freedom in the design of printed wiring, for example.Furthermore, the mesh size can be highly miniaturized, making it possible to print with high precision, such as lead wires. When forming IC lead frames, which are becoming increasingly dense, wiring patterns can be formed with high printing accuracy.

電鋳母型9に板形成層5を形成し、その表面側に、仲介
層4とスクリーン本体3を形成することとし、スクリー
ン本体3を形成し終わるまでの間板形成層5を電鋳母型
9で保持するので、一連の加工工程において、板形成層
5に応力が作用し内部応力として残ることを防止できる
。また、高い平面度が得られる板形成層5の電鋳母型9
との接当面を印刷面15とするので、印刷時における製
版スクリーン1と印刷対象の密着度を向上して、全体と
して印刷時の解像度を向上できる。
The plate forming layer 5 is formed on the electroforming mother mold 9, and the intermediary layer 4 and the screen body 3 are formed on the surface side thereof. Since it is held by the mold 9, it is possible to prevent stress from acting on the plate forming layer 5 and remaining as internal stress during a series of processing steps. In addition, the electroforming mother mold 9 of the plate forming layer 5 that provides high flatness
Since the contact surface with the printing surface 15 is used as the printing surface 15, the degree of adhesion between the plate making screen 1 and the printing object during printing can be improved, and the resolution during printing can be improved as a whole.

〔第1実施例〕 第1図(alないしくg)および第2図はこの発明に係
る製版スクリーンの製造方法の第1実施例を示す。
[First Embodiment] Figures 1 (al to g) and 2 show a first embodiment of the method for manufacturing a plate-making screen according to the present invention.

第2図に示すように、製版スクリーン1は一群のインク
通口2を有するスクリーン本体3と、スクリーン本体3
の片面に仲介層4を介して一体化された板形成層5とか
らなり、版形成N5に印刷パターン6を形成したもので
ある。
As shown in FIG. 2, the plate making screen 1 includes a screen body 3 having a group of ink ports 2, and a screen body 3 having a group of ink ports 2.
A plate forming layer 5 is integrated on one side of the plate via an intermediary layer 4, and a printing pattern 6 is formed on the plate forming N5.

この製版スクリーン1は、第1図(a)〜(glに示す
工程を経て板形成層5、仲介層4、スクリーン本体3の
順に形成され、最後に印刷パターン6を形成する。
In this plate-making screen 1, a plate forming layer 5, an intermediary layer 4, and a screen body 3 are formed in this order through the steps shown in FIGS.

詳しく説明すると、平坦に仕上げられたステンレス板材
からなる電鋳母型9の表面にニッケルをヘタに電鋳加工
により電着して、厚みが10μmの板形成層5を形成す
る(第1図(a))。
To explain in detail, nickel is electrodeposited on the surface of an electroforming master mold 9 made of a flat stainless steel plate material by electroforming process to form a plate forming layer 5 having a thickness of 10 μm (see FIG. 1). a)).

次に、上記工程で得られたブランク10aをメツキ槽へ
移し、板形成層5の表面にシアン化銅をめっきして厚み
が2〜3μmの仲介層4を形成する(第1図(b))。
Next, the blank 10a obtained in the above step is transferred to a plating bath, and the surface of the plate forming layer 5 is plated with copper cyanide to form an intermediate layer 4 having a thickness of 2 to 3 μm (FIG. 1(b)). ).

この仲介層4は、後の工程で形成されるスクリーン本体
3を、板形成層5に対して強固に結着し一体化するため
に設けられており、これを省いた場合には、板形成層5
とスクリーン本体3とが比較的簡単に剥離する。
This intermediary layer 4 is provided to firmly bind and integrate the screen body 3 formed in a later step with the board forming layer 5, and if it is omitted, layer 5
and the screen body 3 are relatively easily peeled off.

仲介層4を形成した後、ブランク10bの全体を水洗し
て乾燥し、仲介層4の表面にレジスト膜11を形成する
。詳しくは、仲介層4の表面にフォトレジス)11aを
均一厚みで塗布して乾燥する(第1図(C))。次にパ
ターンフィルム12をフォトレジスト11a上に密着し
、メッシュパターンを焼き付け、現像、未露光部の除去
、乾燥等の処理を行って、電鋳型となるレジスト膜11
を形成する(第1図(d))。
After forming the intermediate layer 4, the entire blank 10b is washed with water and dried, and a resist film 11 is formed on the surface of the intermediate layer 4. Specifically, a photoresist (11a) is applied to the surface of the intermediary layer 4 to a uniform thickness and dried (FIG. 1(C)). Next, the pattern film 12 is closely attached to the photoresist 11a, a mesh pattern is baked, development, removal of unexposed areas, drying, etc. are performed, and the resist film 11 becomes an electroforming mold.
(Fig. 1(d)).

上記ブランクを酸浴処理し、レジスト膜11で覆われて
いない仲介層4の表面を活性化した後、水洗、乾燥する
。酸浴液としては、4%硫酸水溶液を用いた。
The blank is treated with an acid bath to activate the surface of the intermediate layer 4 that is not covered with the resist film 11, and then washed with water and dried. A 4% aqueous sulfuric acid solution was used as the acid bath solution.

次に、酸浴後のブランクを電鋳槽へ移し、レジスト膜1
1で規定された仲介層4の表面、つまり活性化された表
面にニッケルを電鋳加工により電着し、レジスト膜11
のメッシュパターンと合致する一群のインク通口2を備
えたスクリーン本体3を、本実施例の場合、例えば25
μmの厚さで形成する(第1図(e))。スクリーン本
体3の厚みは、電鋳時間を加減することで、レジスト膜
11の厚みの範囲内で自由に設定でき、レジスト膜11
の厚み寸法を変更することによっても自由に設定できる
。この後、第1図(flに示すように、レジスト膜11
を剥離除去し、さらに板形成層5を電鋳母型9から分離
する。
Next, the blank after the acid bath is transferred to an electroforming bath, and the resist film 1
Nickel is electrodeposited on the surface of the intermediate layer 4 defined in 1, that is, the activated surface, by electroforming, and the resist film 11 is formed.
In this embodiment, the screen body 3 is equipped with a group of ink ports 2 that match the mesh pattern of, for example, 25
It is formed to a thickness of μm (FIG. 1(e)). The thickness of the screen body 3 can be freely set within the range of the thickness of the resist film 11 by adjusting the electroforming time.
It can also be freely set by changing the thickness dimension. After this, as shown in FIG. 1 (fl), the resist film 11
is peeled off and the plate forming layer 5 is further separated from the electroforming mother mold 9.

上記工程で得られたブランク10cを反転し、板形成層
5の表面に印刷パターン6を形成するためのレジスト膜
13を形成する。このレジスト膜13は、先の工程で形
成したレジスト膜11と同様に形成され、その膜面に焼
き付けられるバターンが印刷パターンである点と、膜厚
が小さい点のみが異なる。
The blank 10c obtained in the above step is inverted, and a resist film 13 for forming a printed pattern 6 on the surface of the plate forming layer 5 is formed. This resist film 13 is formed in the same manner as the resist film 11 formed in the previous step, and differs only in that the pattern printed on the film surface is a printed pattern and that the film thickness is small.

次にレジスト膜13が形成された上記ブランク10dに
エツチング液を塗布し、レジスト膜13で規定された板
形成層5および仲介層4を蝕刻除去して、スクリーン本
体3に達する印刷パターン6を形成する。この後、水洗
、乾燥およびレジスト膜13の除去等の処理を経ること
によって、第2図に示す製版スクリーン1を得ることが
できる。
Next, an etching solution is applied to the blank 10d on which the resist film 13 has been formed, and the plate forming layer 5 and intermediate layer 4 defined by the resist film 13 are etched away to form a printed pattern 6 that reaches the screen body 3. do. Thereafter, by performing processes such as washing with water, drying, and removing the resist film 13, the plate-making screen 1 shown in FIG. 2 can be obtained.

上記により得られた製版スクリーンlは、板形成層5の
電鋳母型9からの剥離面を印刷面15として、印刷を行
う。
The plate-making screen I obtained above is printed with the surface of the plate-forming layer 5 separated from the electroforming mold 9 as the printing surface 15.

〔第2実施例〕 第1実施例では、通常の電気めっき法によって仲介層4
を形成した。この実施例では、ストライクめっき法によ
り銅を板形成層5の表面に形成する点が第1実施例と異
なり、他は第1実施例と同じ過程を経て製版スクリーン
1を形成した。
[Second Embodiment] In the first embodiment, the intermediary layer 4 is formed by a normal electroplating method.
was formed. This example differs from the first example in that copper is formed on the surface of the plate forming layer 5 by a strike plating method, but otherwise the plate-making screen 1 was formed through the same process as in the first example.

〔第3実施例] 第3図はメ・7シユパターンを変更した製版スフリーン
1の別実施例を示し、これは一群のインク通口2を円形
穴で形成したものである。このように、メツシュサイズ
やメツシュパターンは自由に変更でき、製版スクリーン
1に要求される物理的特性に応して選定できる。
[Third Embodiment] FIG. 3 shows another embodiment of the plate-making screen 1 with a modified mesh pattern, in which a group of ink ports 2 are formed by circular holes. In this way, the mesh size and mesh pattern can be freely changed and selected according to the physical characteristics required of the prepress screen 1.

〔別実施態様例〕 スクリーン本体3および板形成層5は、二・ノケルで形
成する以外に、例えばコバルトを一部含むニッケル合金
で形成することもできる。
[Another Embodiment] The screen main body 3 and the plate forming layer 5 may be formed of a nickel alloy containing a portion of cobalt, for example, instead of being formed of Ni-Nokel.

第1実施例における仲介N4は、シアン化銅に代えて銅
で形成されていてもよい。
The intermediary N4 in the first embodiment may be made of copper instead of copper cyanide.

仲介層4の表面を活性化する酸浴液としては、2%塩酸
水溶液を用いることもできる。
As the acid bath solution for activating the surface of the mediating layer 4, a 2% aqueous hydrochloric acid solution can also be used.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(a)ないしくglおよび第2図は、この発明に
係る第1実施例を示し、 第1図(alないしくg)はそれぞれ製版スクリーンの
製造過程を示す工程説明図、 第2図は製版スクリーンの部分拡大斜視図である。 第3図は製版スクリーンの第3実施例を示す部分拡大斜
視図である。 第4図は従来の製版スクリーンを示す断面図である。 1・・・・・製版スクリーン、 2・・・・・インク通口、 3・・・・・スクリーン本体、 4・・・・・仲介層、 5・・・・・板形成層、 6・・・・・印刷パターン、 9・・・・・電鋳母型、 11・・・・レジスト膜、 13・・・・レジスト膜、 15・・・・印刷面。 発    明    者 同 同 同
1A to GL and FIG. 2 show a first embodiment according to the present invention, FIGS. The figure is a partially enlarged perspective view of the plate-making screen. FIG. 3 is a partially enlarged perspective view showing a third embodiment of the plate-making screen. FIG. 4 is a sectional view showing a conventional plate-making screen. 1... Plate making screen, 2... Ink port, 3... Screen body, 4... Intermediate layer, 5... Board forming layer, 6... ...Printing pattern, 9...Electroforming mother mold, 11...Resist film, 13...Resist film, 15...Printing surface. Same inventor

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、電鋳母型(9)の表面に版形成層(5)を電鋳によ
り形成する工程と、 版形成層(5)の表面にめっきを施して仲介層(4)を
形成する工程と、 仲介層(4)の表面にフォトレジスト(11a)を塗布
した後、フォトレジスト(11a)上にパターンフィル
ム(12)を介してメッシュパターンを焼き付け、現像
処理してレジスト膜(11)を形成する工程と、レジス
ト膜(11)で規定された仲介層(4)の表面に、一群
のインク通口(2)を有するスクリーン本体(3)を電
鋳により形成する工程と、 電鋳母型(9)から剥離した版形成層(5)の表面にフ
ォトレジストを塗布した後、フォトレジスト上にパター
ンフィルムを介して印刷パターンを焼き付け、現像処理
してレジスト膜(13)を形成する工程と、 レジスト膜(13)で規定された版形成層(5)をエッ
チング処理して、スクリーン本体(3)に達する印刷パ
ターン(6)を形成する工程とを経て、製版スクリーン
(1)を形成することを特徴とするスクリーン印刷用製
版スクリーンの製造方法。
[Claims] 1. A step of forming a plate forming layer (5) on the surface of the electroforming mother mold (9) by electroforming, and plating the surface of the plate forming layer (5) to form an intermediate layer (4). ), and after applying a photoresist (11a) on the surface of the intermediary layer (4), a mesh pattern is printed on the photoresist (11a) through a pattern film (12), and the resist is processed by development. A step of forming a film (11) and a step of forming a screen body (3) having a group of ink holes (2) on the surface of the intermediary layer (4) defined by the resist film (11) by electroforming. After applying a photoresist to the surface of the plate forming layer (5) peeled off from the electroforming mother mold (9), a printed pattern is baked on the photoresist via a pattern film, and developed to form a resist film (13). ) and a step of etching the plate forming layer (5) defined by the resist film (13) to form a printing pattern (6) that reaches the screen body (3). A method for producing a screen printing plate-making screen, characterized by forming (1).
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