JPH04118246A - サーマルインクジェットヘッド - Google Patents
サーマルインクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH04118246A JPH04118246A JP23840690A JP23840690A JPH04118246A JP H04118246 A JPH04118246 A JP H04118246A JP 23840690 A JP23840690 A JP 23840690A JP 23840690 A JP23840690 A JP 23840690A JP H04118246 A JPH04118246 A JP H04118246A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- channel plate
- flow path
- channel
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、インクジェットプリンタ、特に、サーマルイ
ンクジェットプリンタにおけるプリントヘッドに関する
ものである。
ンクジェットプリンタにおけるプリントヘッドに関する
ものである。
（従来の技術）
従来、サーマル方式のインクジェットプリンタに用いら
れるヘッドは、ノズルに連通したインク流路を一体的に
形成したチャンネルプレートと、ヒーターを設けたヒー
ター基板とを接着して構成されたものである。
れるヘッドは、ノズルに連通したインク流路を一体的に
形成したチャンネルプレートと、ヒーターを設けたヒー
ター基板とを接着して構成されたものである。
特開昭６２−３３６４８号公報に記載されたサーマルイ
ンクジェットヘッドは、チャンネルプレートとヒーター
基板との間にピット層を設けて、ヒーターに上部にピッ
ト（凹部）を形成したものである。
ンクジェットヘッドは、チャンネルプレートとヒーター
基板との間にピット層を設けて、ヒーターに上部にピッ
ト（凹部）を形成したものである。
第２図は、ピットを設けた従来のサーマルインクジェッ
トヘッドの一例を説明するためのものであり、（Ａ）図
はノズルの主要部の軸方向の断面図、（Ｂ）図は主要部
を分解した斜視図、（Ｃ）図は一部の正面図である。図
中、２０はヒータープレート、２１はヒーター、２２は
ピット層、２３はピット、２４はチャンネルプレート、
２５はインク流路、２６はインク吐出口、２７はインク
連通路、２８はインク供給口である。ピット層２２は、
感光性ポリイミド等を用いてヒーター基板２０上に形成
された後、フォトリソ等により、ピット２３が設けられ
る。チャンネルプレート２４が、ピットを形成したヒー
ター基板上に接着されてヘッド部が構成される。ピット
は、バブルの発生時における成長過程において、成長領
域を制限して、バブルが横に拡がることなく、上方に集
中させ易くするために設けられたものである。それによ
りインクを効果的に飛ばすことができる。
トヘッドの一例を説明するためのものであり、（Ａ）図
はノズルの主要部の軸方向の断面図、（Ｂ）図は主要部
を分解した斜視図、（Ｃ）図は一部の正面図である。図
中、２０はヒータープレート、２１はヒーター、２２は
ピット層、２３はピット、２４はチャンネルプレート、
２５はインク流路、２６はインク吐出口、２７はインク
連通路、２８はインク供給口である。ピット層２２は、
感光性ポリイミド等を用いてヒーター基板２０上に形成
された後、フォトリソ等により、ピット２３が設けられ
る。チャンネルプレート２４が、ピットを形成したヒー
ター基板上に接着されてヘッド部が構成される。ピット
は、バブルの発生時における成長過程において、成長領
域を制限して、バブルが横に拡がることなく、上方に集
中させ易くするために設けられたものである。それによ
りインクを効果的に飛ばすことができる。
このように、ヒーター基板上に接着されるチャンネルプ
レートは、Ｓｉのプレートに断面が三角形のインク流路
が形成されたものである。このチャンネルプレートの製
造工程は、Ｓｉウェハ上に異方性エツチングを行なって
、インク流路となる溝を形成した後に、ダイシングによ
り各ヘッド用いられる大きさに分離している。ダイシン
グの際には、溝の断面が三角形であるため、ダイシング
した面に欠けが生じやすい。特に第２図（Ｂ）において
、矢印ａで指示した部分に欠けの発生が多くみられ、こ
れを修正しなければならないという問題があった。
レートは、Ｓｉのプレートに断面が三角形のインク流路
が形成されたものである。このチャンネルプレートの製
造工程は、Ｓｉウェハ上に異方性エツチングを行なって
、インク流路となる溝を形成した後に、ダイシングによ
り各ヘッド用いられる大きさに分離している。ダイシン
グの際には、溝の断面が三角形であるため、ダイシング
した面に欠けが生じやすい。特に第２図（Ｂ）において
、矢印ａで指示した部分に欠けの発生が多くみられ、こ
れを修正しなければならないという問題があった。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたも
ので、ピット層を利用することにより、正確なインク吐
出口を形成することができるサーマルインクジェットヘ
ッドを提供することを目的とするものである。
ので、ピット層を利用することにより、正確なインク吐
出口を形成することができるサーマルインクジェットヘ
ッドを提供することを目的とするものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は、ヒーター基板と、該ヒーター基板上に形成さ
れたピット層と、チャンネルプレートとを有し、チャン
ネル基板にインク流路を形成したサーマルインクジェッ
トヘッドにおいて、前記インク流路をチャンネルプレー
トの前面より内部に形成するとともに、前記インク流路
に連通したインク吐出口を前記ピット層に形成したこと
を特徴とするものである。
れたピット層と、チャンネルプレートとを有し、チャン
ネル基板にインク流路を形成したサーマルインクジェッ
トヘッドにおいて、前記インク流路をチャンネルプレー
トの前面より内部に形成するとともに、前記インク流路
に連通したインク吐出口を前記ピット層に形成したこと
を特徴とするものである。
（作 用）
本発明は、ヒーター基板と、該ヒーター基板上に形成さ
れたピット層と、チャンネルプレートとを有し、チャン
ネル基板にインク流路を形成したサーマルインクジェッ
トヘッドにおいて、前記インク流路をチャンネルプレー
トの前面より内部に形成することによりダイシングに際
して欠けを生しることがなく、前記インク流路に連通し
たインク吐出口を前記ピット層に形成したことにより精
度のよいインク吐出口を形成することができるものであ
る。
れたピット層と、チャンネルプレートとを有し、チャン
ネル基板にインク流路を形成したサーマルインクジェッ
トヘッドにおいて、前記インク流路をチャンネルプレー
トの前面より内部に形成することによりダイシングに際
して欠けを生しることがなく、前記インク流路に連通し
たインク吐出口を前記ピット層に形成したことにより精
度のよいインク吐出口を形成することができるものであ
る。
（実施例）
第１図は、本発明のサーマルインクジェットヘッドの一
実施例を説明するためのものであり、（Ａ）図はノズル
の主要部の軸方向の断面図、（Ｂ）図はピット層の一部
を斜め上方からみた斜視図、（Ｃ）図は一部の正面図で
ある。図中、１０はヒータープレート、１１はヒーター
１２はピット層、１３はピット、１４はチャンネルプ
レート、１５はインク流路、１６はインク吐出口、１７
はインク連通路、１８はインク供給口である。
実施例を説明するためのものであり、（Ａ）図はノズル
の主要部の軸方向の断面図、（Ｂ）図はピット層の一部
を斜め上方からみた斜視図、（Ｃ）図は一部の正面図で
ある。図中、１０はヒータープレート、１１はヒーター
１２はピット層、１３はピット、１４はチャンネルプ
レート、１５はインク流路、１６はインク吐出口、１７
はインク連通路、１８はインク供給口である。
チャンネルプレート１４におけるインク流路１５は、（
Ａ）図から明らかなように、前部１４ａには形成されず
、前面よりも後退した位置から形成されており、チャン
ネルプレートの前面にはインク吐出口は形成されない。
Ａ）図から明らかなように、前部１４ａには形成されず
、前面よりも後退した位置から形成されており、チャン
ネルプレートの前面にはインク吐出口は形成されない。
ピット層１２には、従来からのピット部１３以外にチャ
ンネルプレートのダイシング位置である前面にかかるチ
ャンネルパターン１３ａを形成することによりインク吐
出口１６が形成される。チャンネルパターンの後部は、
チャンネルプレートのインク流路に連通ずる位置まで設
けられる。
ンネルプレートのダイシング位置である前面にかかるチ
ャンネルパターン１３ａを形成することによりインク吐
出口１６が形成される。チャンネルパターンの後部は、
チャンネルプレートのインク流路に連通ずる位置まで設
けられる。
前面よりみた形状は、（Ｃ）図のように、ヒーター基板
１０と、チャンネルプレート１４を構成するＳｉのプレ
ートは共に平板状であるから、ダイシングの際に欠けが
発生しにくいものである。
１０と、チャンネルプレート１４を構成するＳｉのプレ
ートは共に平板状であるから、ダイシングの際に欠けが
発生しにくいものである。
また、インク吐出口の隔壁は、ピット層により形成され
、従来のようにポリイミドを用い、フォトリソ工程で形
成できるから、欠けが生じることはなく、また、精度の
よい断面を得ることができる。
、従来のようにポリイミドを用い、フォトリソ工程で形
成できるから、欠けが生じることはなく、また、精度の
よい断面を得ることができる。
（発明の効果）
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ピッ
ト層にインク吐出口を形成することにより、正確なイン
ク吐出口を形成することができるサーマルインクジェッ
トヘッドを提供できる効果がある。
ト層にインク吐出口を形成することにより、正確なイン
ク吐出口を形成することができるサーマルインクジェッ
トヘッドを提供できる効果がある。
第１図は、本発明のサーマルインクジェットヘッドの一
実施例を説明するためのものであり、同図（Ａ）は、主
要部の軸方向の断面図、同図（Ｂ）は、ピット層の一部
を斜め上方からみた斜視図、同図（Ｃ）は、一部の正面
図、第２図は、ピットを設けた従来のサーマルインクジ
ェットヘッドの一例を説明するためのものであり、同図
（Ａ）は、主要部の軸方向の断面図、同図（Ｂ）は、主
要部を分解した斜視図、同図（Ｃ）は、一部の正面図で
ある。 １０・・・ヒータープレート、１１・・・ヒーター １
２・・・ピット層、１３・・・ピット、１４・・・チャ
ンネルプレート、１５・・・インク流路、１６・・・イ
ンク吐出口、１７・・・インク連通路、１８・・・イン
ク供給口。
実施例を説明するためのものであり、同図（Ａ）は、主
要部の軸方向の断面図、同図（Ｂ）は、ピット層の一部
を斜め上方からみた斜視図、同図（Ｃ）は、一部の正面
図、第２図は、ピットを設けた従来のサーマルインクジ
ェットヘッドの一例を説明するためのものであり、同図
（Ａ）は、主要部の軸方向の断面図、同図（Ｂ）は、主
要部を分解した斜視図、同図（Ｃ）は、一部の正面図で
ある。 １０・・・ヒータープレート、１１・・・ヒーター １
２・・・ピット層、１３・・・ピット、１４・・・チャ
ンネルプレート、１５・・・インク流路、１６・・・イ
ンク吐出口、１７・・・インク連通路、１８・・・イン
ク供給口。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ヒーター基板と、該ヒーター基板上に形成されたピット
層と、チャンネルプレートとを有し、チャンネル基板に
インク流路を形成したサーマルインクジェットヘッドに
おいて、 前記インク流路をチャンネルプレートの前面より内部に
形成するとともに、前記インク流路に連通したインク吐
出口を前記ピット層に形成したことを特徴とするサーマ
ルインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23840690A JP2883924B2 (ja) | 1990-09-08 | 1990-09-08 | サーマルインクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23840690A JP2883924B2 (ja) | 1990-09-08 | 1990-09-08 | サーマルインクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04118246A true JPH04118246A (ja) | 1992-04-20 |
| JP2883924B2 JP2883924B2 (ja) | 1999-04-19 |
Family
ID=17029733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23840690A Expired - Fee Related JP2883924B2 (ja) | 1990-09-08 | 1990-09-08 | サーマルインクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2883924B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6412922B1 (en) * | 2000-11-29 | 2002-07-02 | Xerox Corporation | Support structure for large channel plates of an ink jet printhead |
| US8733902B2 (en) | 2008-05-06 | 2014-05-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead feed slot ribs |
-
1990
- 1990-09-08 JP JP23840690A patent/JP2883924B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6412922B1 (en) * | 2000-11-29 | 2002-07-02 | Xerox Corporation | Support structure for large channel plates of an ink jet printhead |
| US8733902B2 (en) | 2008-05-06 | 2014-05-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead feed slot ribs |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2883924B2 (ja) | 1999-04-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4749546B2 (ja) | インクジェット印刷ヘッド | |
| JP3173358B2 (ja) | インクジェットプリンタおよびインクジェットプリントヘッド | |
| JPH05193142A (ja) | 印字ヘッド用ノズル板の製作方法 | |
| JPH08295033A (ja) | インクジェットプリントヘッドおよび画像記録装置 | |
| US20030179266A1 (en) | Bubble-jet type ink-jet printhead | |
| JP2005212486A (ja) | インクジェットプリントヘッドを作製する方法 | |
| US20040035823A1 (en) | Monolithic ink-jet printhead and method of manufacturing the same | |
| JP3659303B2 (ja) | 液体噴射記録装置の製造方法 | |
| JPH04118246A (ja) | サーマルインクジェットヘッド | |
| US6209993B1 (en) | Structure and fabricating method for ink-jet printhead chip | |
| JP3235260B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH1110894A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JPH071733A (ja) | 製作中に成長した局在的な形成物に対する補償を有するインクジェット・プリントヘッド | |
| JP2003080711A (ja) | プリンタヘッドチップ及びプリンタヘッド | |
| JP3275601B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JPH0596730A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
| JP3537071B2 (ja) | インクジェットプリントヘッドの製造方法 | |
| JP3423551B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド | |
| JPH038948B2 (ja) | ||
| JP3022785B2 (ja) | インクジェット式プリンタヘッドの製造方法 | |
| JPH07137266A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH081927A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH06278279A (ja) | インクジェットヘッドとその製造方法 | |
| JPH05338177A (ja) | インクジェットヘッド及びその作製方法 | |
| JPH06171092A (ja) | サーマルインクジェットヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |