JP2883924B2 - サーマルインクジェットヘッド - Google Patents
サーマルインクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JP2883924B2 JP2883924B2 JP23840690A JP23840690A JP2883924B2 JP 2883924 B2 JP2883924 B2 JP 2883924B2 JP 23840690 A JP23840690 A JP 23840690A JP 23840690 A JP23840690 A JP 23840690A JP 2883924 B2 JP2883924 B2 JP 2883924B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pit
- ink
- substrate
- flow path
- channel
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、インクジェットプリンタ、特に、サーマル
インクジェットプリンタにおけるプリントヘッドに関す
るものである。
インクジェットプリンタにおけるプリントヘッドに関す
るものである。
（従来の技術） 従来、サーマル方式のインクジェットプリンタに用い
られるヘッドは、ノズルに連通したインク流路を一体的
に形成したチャンネルプレートと、ヒーターを設けたヒ
ーター基板とを接着して構成されたものである。
られるヘッドは、ノズルに連通したインク流路を一体的
に形成したチャンネルプレートと、ヒーターを設けたヒ
ーター基板とを接着して構成されたものである。
特開昭62−33648号公報に記載されたサーマルインク
ジェットヘッドは、チャンネルプレートとヒーター基板
との間にピット層を設けて、ヒーターに上部にピット
（凹部）を形成したものである。
ジェットヘッドは、チャンネルプレートとヒーター基板
との間にピット層を設けて、ヒーターに上部にピット
（凹部）を形成したものである。
第２図は、ピットを設けた従来のサーマルインクジェ
ットヘッドの一例を説明するためのものであり、（Ａ）
図はノズルの主要部の軸方向の断面図、（Ｂ）図は主要
部を分解した斜視図、（Ｃ）図は一部の正面図である。
図中、20はヒータープレート、21はヒーター、22はピッ
ト層、23はピット、24はチャンネルプレート、25はイン
ク流路、26はインク吐出口、27はインク連通路、28はイ
ンク供給口である。ピット層22は、感光性ポリイミド等
を用いてヒーター基板20上に形成された後、フォトリソ
等により、ピット23が設けられる。チャンネルプレート
24が、ピットを形成したヒーター基板上に接着されてヘ
ッド部が構成される。ピットは、バブルの発生時におけ
る成長過程において、成長領域を制限して、バブルが横
に拡がることなく、上方に集中させ易くするために設け
られたものである。それによりインクを効果的に飛ばす
ことができる。
ットヘッドの一例を説明するためのものであり、（Ａ）
図はノズルの主要部の軸方向の断面図、（Ｂ）図は主要
部を分解した斜視図、（Ｃ）図は一部の正面図である。
図中、20はヒータープレート、21はヒーター、22はピッ
ト層、23はピット、24はチャンネルプレート、25はイン
ク流路、26はインク吐出口、27はインク連通路、28はイ
ンク供給口である。ピット層22は、感光性ポリイミド等
を用いてヒーター基板20上に形成された後、フォトリソ
等により、ピット23が設けられる。チャンネルプレート
24が、ピットを形成したヒーター基板上に接着されてヘ
ッド部が構成される。ピットは、バブルの発生時におけ
る成長過程において、成長領域を制限して、バブルが横
に拡がることなく、上方に集中させ易くするために設け
られたものである。それによりインクを効果的に飛ばす
ことができる。
このように、ヒーター基板上に接着されるチャンネル
プレートは、Siのプレートに断面が三角形のインク流路
が形成されたものである。このチャンネルプレートの製
造工程は、Siウエハ上に異方性エッチングを行なって、
インク流路となる溝を形成した後に、ダイシングにより
各ヘッド用いられる大きさに分離している。ダイシング
の際には、溝の断面が三角形であるため、ダイシングし
た面に欠けが生じやすい。特に第２図（Ｂ）において、
矢印ａで指示した部分に欠けの発生が多くみられ、これ
を修正しなければならないという問題があった。
プレートは、Siのプレートに断面が三角形のインク流路
が形成されたものである。このチャンネルプレートの製
造工程は、Siウエハ上に異方性エッチングを行なって、
インク流路となる溝を形成した後に、ダイシングにより
各ヘッド用いられる大きさに分離している。ダイシング
の際には、溝の断面が三角形であるため、ダイシングし
た面に欠けが生じやすい。特に第２図（Ｂ）において、
矢印ａで指示した部分に欠けの発生が多くみられ、これ
を修正しなければならないという問題があった。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、上述した問題点を解決するためになされた
もので、ピット層を利用することにより、正確なインク
吐出口を形成することができるサーマルインクジェット
ヘッドを提供することを目的とするものである。
もので、ピット層を利用することにより、正確なインク
吐出口を形成することができるサーマルインクジェット
ヘッドを提供することを目的とするものである。
（課題を解決するための手段） 本発明は、ヒーター基板と、該ヒーター基板上に形成
されたピット層と、チャンネルプレートとを有し、チャ
ンネル基板にインク流路を形成したサーマルインクジェ
ットヘッドにおいて、前記ピット層には、バブルの成長
領域を制限するピットと、該ピットの前方に該ピットと
間隔をおいて基板前面に延びるように形成された溝が形
成され、前記チャンネル基板に形成されたインク流路
は、前記溝の後端部より前方であって、かつ、チャネル
基板の前面より内部の位置を先端として後方に延びるよ
うに形成され、インクは、前記インク流路から前記溝を
通って吐出されることを特徴とするものである。
されたピット層と、チャンネルプレートとを有し、チャ
ンネル基板にインク流路を形成したサーマルインクジェ
ットヘッドにおいて、前記ピット層には、バブルの成長
領域を制限するピットと、該ピットの前方に該ピットと
間隔をおいて基板前面に延びるように形成された溝が形
成され、前記チャンネル基板に形成されたインク流路
は、前記溝の後端部より前方であって、かつ、チャネル
基板の前面より内部の位置を先端として後方に延びるよ
うに形成され、インクは、前記インク流路から前記溝を
通って吐出されることを特徴とするものである。
（作 用） 本発明は、ヒーター基板と、該ヒーター基板上に形成
されたピット層と、チャンネルプレートとを有し、チャ
ンネル基板にインク流路を形成したサーマルインクジェ
ットヘッドにおいて、前記チャンネル基板に形成された
インク流路は、ピット層に形成された溝の後端部より前
方であって、かつ、チャネル基板の前面より内部の位置
を先端として後方に延びるように形成するとともに、前
記インク流路に連通したインク吐出口を前記ピット層に
おけるピットの前方に該ピットと間隔をおいて基板前面
に延びるように形成された溝によって形成したことによ
り、ダイシングに際して欠けを生じることがなく、精度
のよいインク吐出口を形成することができるものであ
る。
されたピット層と、チャンネルプレートとを有し、チャ
ンネル基板にインク流路を形成したサーマルインクジェ
ットヘッドにおいて、前記チャンネル基板に形成された
インク流路は、ピット層に形成された溝の後端部より前
方であって、かつ、チャネル基板の前面より内部の位置
を先端として後方に延びるように形成するとともに、前
記インク流路に連通したインク吐出口を前記ピット層に
おけるピットの前方に該ピットと間隔をおいて基板前面
に延びるように形成された溝によって形成したことによ
り、ダイシングに際して欠けを生じることがなく、精度
のよいインク吐出口を形成することができるものであ
る。
（実施例） 第１図は、本発明のサーマルインクジェットヘッドの
一実施例を説明するためのものであり、（Ａ）図はノズ
ルの主要部の軸方向の断面図、（Ｂ）図はピット層の一
部を斜め上方からみた斜視図、（Ｃ）図は一部の正面図
である。図中、10はヒータープレート、11はヒーター、
12はピット層、13はピット、14はチャンネルプレート、
15はインク流路、16はインク吐出口、17はインク連通
路、18はインク供給口である。
一実施例を説明するためのものであり、（Ａ）図はノズ
ルの主要部の軸方向の断面図、（Ｂ）図はピット層の一
部を斜め上方からみた斜視図、（Ｃ）図は一部の正面図
である。図中、10はヒータープレート、11はヒーター、
12はピット層、13はピット、14はチャンネルプレート、
15はインク流路、16はインク吐出口、17はインク連通
路、18はインク供給口である。
チャンネルプレート14におけるインク流路15は、
（Ａ）図から明らかなように、前部14aには形成され
ず、前面よりも後退した位置から形成されており、チャ
ンネルプレートの前面にはインク吐出口は形成されな
い。
（Ａ）図から明らかなように、前部14aには形成され
ず、前面よりも後退した位置から形成されており、チャ
ンネルプレートの前面にはインク吐出口は形成されな
い。
ピット層12には、従来からのピット部13以外にチャン
ネルプレートのダイシング位置である前面にかかるチャ
ンネルパターン13aを形成することによりインク吐出口1
6が形成される。チャンネルパターンの後部は、チャン
ネルプレートのインク流路に連通する位置まで設けられ
る。
ネルプレートのダイシング位置である前面にかかるチャ
ンネルパターン13aを形成することによりインク吐出口1
6が形成される。チャンネルパターンの後部は、チャン
ネルプレートのインク流路に連通する位置まで設けられ
る。
前面よりみた形状は、（Ｃ）図のように、ヒーター基
板10と、チャンネルプレート14を構成するSiのプレート
は共に平板状であるから、ダイシングの際に欠けが発生
しにくいものである。また、インクの吐出口の隔壁は、
ピット層により形成され、従来のようにポリイミドを用
い、フォトリソ工程で形成できるから、欠けが生じるこ
とはなく、また、精度のよい断面を得ることができる。
板10と、チャンネルプレート14を構成するSiのプレート
は共に平板状であるから、ダイシングの際に欠けが発生
しにくいものである。また、インクの吐出口の隔壁は、
ピット層により形成され、従来のようにポリイミドを用
い、フォトリソ工程で形成できるから、欠けが生じるこ
とはなく、また、精度のよい断面を得ることができる。
（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、チ
ャンネル基板に形成されたインク流路は、ピット層に形
成された溝の後端部より前方であって、かつ、チャネル
基板の前面より内部の位置を先端として後方に延びるよ
うに形成するとともに、前記インク流路に連通したイン
ク吐出口を前記ピット層におけるピットの前方に該ピッ
トと間隔をおいて基板前面に延びるように形成された溝
によって形成したことにより、正確なインク吐出口を形
成することができるサーマルインクジェットヘッドを提
供できる効果がある。
ャンネル基板に形成されたインク流路は、ピット層に形
成された溝の後端部より前方であって、かつ、チャネル
基板の前面より内部の位置を先端として後方に延びるよ
うに形成するとともに、前記インク流路に連通したイン
ク吐出口を前記ピット層におけるピットの前方に該ピッ
トと間隔をおいて基板前面に延びるように形成された溝
によって形成したことにより、正確なインク吐出口を形
成することができるサーマルインクジェットヘッドを提
供できる効果がある。
第１図は、本発明のサーマルインクジェットヘッドの一
実施例を説明するためのものであり、同図（Ａ）は、主
要部の軸方向の断面図、同図（Ｂ）は、ピット層の一部
を斜め上方からみた斜視図、同図（Ｃ）は、一部の正面
図、第２図は、ピットを設けた従来のサーマルインクジ
ェットヘッドの一例を説明するためのものであり、同図
（Ａ）は、主要部の軸方向の断面図、同図（Ｂ）は、主
要部を分解した斜視図、同図（Ｃ）は、一部の正面図で
ある。 10……ヒータープレート、11……ヒーター、12……ピッ
ト層、13……ピット、14……チャンネルプレート、15…
…インク流路、16……インク吐出口、17……インク連通
路、18……インク供給口。
実施例を説明するためのものであり、同図（Ａ）は、主
要部の軸方向の断面図、同図（Ｂ）は、ピット層の一部
を斜め上方からみた斜視図、同図（Ｃ）は、一部の正面
図、第２図は、ピットを設けた従来のサーマルインクジ
ェットヘッドの一例を説明するためのものであり、同図
（Ａ）は、主要部の軸方向の断面図、同図（Ｂ）は、主
要部を分解した斜視図、同図（Ｃ）は、一部の正面図で
ある。 10……ヒータープレート、11……ヒーター、12……ピッ
ト層、13……ピット、14……チャンネルプレート、15…
…インク流路、16……インク吐出口、17……インク連通
路、18……インク供給口。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−148560（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−33648（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/05 B41J 2/16
Claims (1)
- 【請求項１】ヒーター基板と、該ヒーター基板上に形成
されたピット層と、チャンネルプレートとを有し、チャ
ンネル基板にインク流路を形成したサーマルインクジェ
ットヘッドにおいて、 前記ピット層には、バブルの成長領域を制限するピット
と、該ピットの前方に該ピットと間隔をおいて基板前面
に延びるように形成された溝が形成され、 前記チャンネル基板に形成されたインク流路は、前記溝
の後端部より前方であって、かつ、チャネル基板の前面
より内部の位置を先端として後方に延びるように形成さ
れ、 インクは、前記インク流路から前記溝を通って吐出され
ることを特徴とするサーマルインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23840690A JP2883924B2 (ja) | 1990-09-08 | 1990-09-08 | サーマルインクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23840690A JP2883924B2 (ja) | 1990-09-08 | 1990-09-08 | サーマルインクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04118246A JPH04118246A (ja) | 1992-04-20 |
| JP2883924B2 true JP2883924B2 (ja) | 1999-04-19 |
Family
ID=17029733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23840690A Expired - Fee Related JP2883924B2 (ja) | 1990-09-08 | 1990-09-08 | サーマルインクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2883924B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6412922B1 (en) * | 2000-11-29 | 2002-07-02 | Xerox Corporation | Support structure for large channel plates of an ink jet printhead |
| EP2276633B1 (en) | 2008-05-06 | 2013-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Print head feed slot ribs |
-
1990
- 1990-09-08 JP JP23840690A patent/JP2883924B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04118246A (ja) | 1992-04-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |