JPH04116673U - 磁気軸受制御装置 - Google Patents

磁気軸受制御装置

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JPH04116673U
JPH04116673U JP1991020079U JP2007991U JPH04116673U JP H04116673 U JPH04116673 U JP H04116673U JP 1991020079 U JP1991020079 U JP 1991020079U JP 2007991 U JP2007991 U JP 2007991U JP H04116673 U JPH04116673 U JP H04116673U
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rotor
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rotation
circuit
signal
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敏明 川島
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セイコー精機株式会社
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • F16C2360/45Turbo-molecular pumps
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/20Hydro energy

Abstract

(57)【要約】 【目的】回転数検出センサを設けずにロータの回転数を
検出し、部品点数の増加によるコスト高や、故障率の増
加を防止すると共にロータの外形寸法を小さくしてロー
タを高速回転させる。 【構成】ホールセンサ6がロータ1´の磁極を検出す
る。回転同期パルス発生回路12はホールセンサ6から
の磁極信号の内、一つの磁極信号のみを入力させ、ロー
タ1´の極数に基づいて、つまり磁極信号が(極数/
2)周期入力する毎にパルス信号を出力する。このパル
ス信号はロータ1´の回転に同期したパルス信号とな
り、磁気軸受回路15を制御するためのシーケンス回路
13およびトラッキングフィルタ回路14に入力する。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は磁気軸受制御装置に関し、特にターボ分子ポンプのように高速回転す るブラシレスDCモータが用いられた磁気軸受の磁気軸受制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気軸受式のターボ分子ポンプには、例えば図3に示すようにモータとしてブ ラシレスDCモータを用いたものがある。
【0003】 このようなターボ分子ポンプの磁気軸受制御装置では、ロータ1が高速回転中 電源遮断により磁気浮上不能となった場合に、ロータ1が保護ベアリングに接触 し損傷を受ける虞れがあるので、これを防止するために、電源が切れても保護用 電源に切り替える等の処理が通常シーケンス回路によってロータ1の回転数を基 に行われている。また、磁気軸受の振れ回り振動を除去する処理がトラッキング フィルタ回路によってロータ1の回転数に同期して行われている。
【0004】 このため、従来の磁気軸受装置では同図に示すようにロータ1の回転数を検出 する回転数検出センサ2をステータ3に設けている。
【0005】 尚、図3はターボ分子ポンプの断面構造の一例、図4は図3のIII −III 線断 面を示しており、4はステータ3側のモータのコイル、5はロータ1側の永久磁 石、6はロータ1の磁極を検出するホールセンサ、7はエアギャップ、8はコア 、9は回転翼である。
【0006】
【考案が解決しようとする課題】
しかし、上記の如く構成された磁気軸受制御装置では、ロータの回転数を検出 する回転数検出センサを設けていたため、その分だけコストの増加や、部品点数 の増加による故障率の増加という問題がある。
【0007】 また、回転数センサを設けることによりロータの外形寸法が大きくなるので、 ロータのイナーシャが大きくなり、ロータの曲げ共振点が低下すると共に、高速 回転が困難になるという問題も生じる。
【0008】 そこで、本考案は上記問題に鑑みなされたもので、ロータの回転数を検出する 回転数検出センサを設けることなく、ロータの回転数を検出することができる磁 気軸受制御装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本考案は、ロータの磁極を検出しその磁極を示す磁極 信号を出力する磁極信号出力手段と、この磁極信号に基づいて駆動電流を供給す るモータドライブ手段とを有する磁気軸受制御装置において、上記磁極信号出力 手段から出力される磁極信号に基づいて上記ロータの回転に同期したパルス信号 を出力する回転同期パルス発生手段を設けたことを特徴とする。
【0010】
【作用】
上記構成では、回転同期パルス発生手段が磁極信号出力手段から出力される磁 極信号に基づいてロータの回転に同期したパルス信号を出力するため、ロータの 回転数を検出する回転数検出センサを設ける必要がなくなる。
【0011】
【実施例】
以下、ターボ分子ポンプに用いられた本考案に係る磁気軸受制御装置の実施例 を図面に基づいて説明する。なお、ここではモータとしてブラシレスDCモータ を用いると共に、このモータの極数を4極とする。
【0012】 図1は磁気軸受制御装置の一実施例を示すブロック図で、この磁気軸受装置は ロータ1´の磁極に基づいてモータコイル4´への電流供給を制御する駆動制御 部10と、ポンプ構造体16を磁気軸受する磁気軸受回路15に制御信号を送出 するシーケンス回路13およびトラッキングフィルタ回路14とを有する。
【0013】 駆動制御部10は、図1に示すように、ロータ1´の磁極を検出して磁極信号 として出力する磁極信号出力手段としてのホールセンサ6と、このホールセンサ 6により検出された各磁極信号に同期してそれぞれ対応するモータコイル4´に 電流を供給するモータドライブ手段としてのモータドライブ回路11と、回転同 期パルス発生手段としての回転同期パルス発生回路12とを有する。
【0014】 この回転同期パルス発生回路12はモータドライブ回路11に入力する3台の ホールセンサ6からの磁極信号の内一つの磁極信号のみを入力させ、ロータ1´ の極数に応じてロータ1´の回転に同期したパルス信号を出力するものである。 すなわち、ロータ1´の極数が本実施例の場合4極であるから、磁極信号が(極 数/2)周期、つまり2周期分入力するとロータ1´が一回転することになるの で、この回路12は図2に示すように磁極信号の2周期と同期してパルス信号を 出力する。
【0015】 シーケンス回路13は回転同期パルス信号発生回路12から出力されたパルス 信号によりロータ1´の回転数を算出し、高速回転中にはこのモータの電源オフ を禁止するように磁気軸受回路15に信号を送出する回路である。
【0016】 トラッキングフィルタ回路14は回転同期パルス信号発生回路12からのパル ス信号によりロータ1´の回転数を算出し、この回転数に応じてロータの振動を 除去するための信号を磁気軸受回路15に送出する回路である。
【0017】 次に、このように構成された駆動制御装置の作用を説明すると、まずロータ1 ´が回転して、各ホールセンサ6がロータ1´の磁極に応じてそれぞれ磁極信号 を出力する。
【0018】 モータドライブ回路11はその磁極信号に応じてモータコイル4´に駆動電流 を供給する一方、回転同期パルス発生回路12は各磁極信号の内一つの磁極信号 のみを入力させ、ロータ1´の極数4に応じて図2に示すようにその磁極信号が 2周期分入力した時にパルス信号を出力する。このパルス信号はシーケンス回路 13およびトラッキングフィルタ回路14に入力し、シーケンス回路13はこの パルス信号に基づいて高速回転中にはこのモータの電源オフを禁止するように磁 気軸受回路15に信号を送出する一方、トラッキングフィルタ回路14はロータ の振動を除去するための信号を磁気軸受回路15に送出する。
【0019】 従って、本実施例では、ホールセンサ6から出力される磁極信号に基づいて回 転同期パルス発生回路12がロータ1´の回転に同期したパルス信号を出力する ので、新たにロータの回転数を検出する回転数センサを設ける必要がなくなり、 部品点数が減少し、コストおよび故障率が低減する。
【0020】 また、回転数センサを設けるスペースも設ける必要がなくなるので、ロータの 外形寸法が小さくなりイナーシャが小さくなると共にロータの曲げ共振点が向上 して、高速回転が可能となる。
【0021】 尚、本実施例ではブラシレスDCモータの極数を4極として説明したが、本考 案では4極にかぎらず、何極でもかまわない。
【0022】 また、本実施例では磁極信号出力手段としてホールセンサを用いたブラシレス DCモータにより説明したが、本考案ではホールセンサを用いずモータコイルへ の逆起電圧によりロータの磁極を検出するセンサレスのブラシレスDCモータで あってもよい。この場合には、逆起電圧の電圧信号を回転同期パルス信号発生回 路に入力させるようにすれば、本実施例のホールセンサを用いたブラシレスDC モータと同様にこのモータの回転数を検出することができる。
【0023】
【考案の効果】
以上説明したように、本考案では、磁極信号出力手段から出力される磁極信号 に基づいてロータの回転数を算出するようにしたので、ロータの回転数を検出す る回転数検出センサを設ける必要がなくなり、コストおよび故障率が低減すると 共に、ロータの外形寸法が小さくなってイナーシャが小さくなるので、モータの 高速回転が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案に係る磁気軸受制御装置の一実施例を
示すブロック図。
【図2】回転同期パルス発生回路から出力されるパルス
信号のタイミングを示すタイムチャート。
【図3】ターボ分子ポンプにブラシレスDCモータを用
いた場合の一例を示す断面図。
【図4】図3におけるブラシレスDCモータのIII −II
I 線断面を示す断面図。
【符号の説明】
1´ ロータ 6 ホールセンサ(磁極信号出力手段) 11 モータドライブ回路(モータドライブ手段) 12 回転同期パルス発生回路(回転同期パルス発
生手段)

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】ロータの磁極を検出しその磁極を示す磁極
    信号を出力する磁極信号出力手段と、この磁極信号に基
    づいて駆動電流を供給するモータドライブ手段とを有す
    る磁気軸受制御装置において、上記磁極信号出力手段か
    ら出力される磁極信号に基づいて上記ロータの回転に同
    期したパルス信号を出力する回転同期パルス発生手段を
    設けたことを特徴とする磁気軸受制御装置。
JP1991020079U 1991-03-29 1991-03-29 磁気軸受制御装置 Expired - Lifetime JP2602531Y2 (ja)

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JPH04116673U true JPH04116673U (ja) 1992-10-19
JP2602531Y2 JP2602531Y2 (ja) 2000-01-17

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ID=31906219

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61247288A (ja) * 1985-04-23 1986-11-04 Tokyo Electric Co Ltd ブラシレスモ−タ
JPS6313918A (ja) * 1986-07-07 1988-01-21 Seiko Seiki Co Ltd 磁気軸受式タ−ボ分子ポンプの回転軸姿勢制御装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61247288A (ja) * 1985-04-23 1986-11-04 Tokyo Electric Co Ltd ブラシレスモ−タ
JPS6313918A (ja) * 1986-07-07 1988-01-21 Seiko Seiki Co Ltd 磁気軸受式タ−ボ分子ポンプの回転軸姿勢制御装置

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