JPH04113936U - セラミツクグリーンシート印刷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】セラミックグリーンシートへの導体パターンの
スクリーン印刷に際して、該セラミックグリーンシート
を破損させることなく、また高い精度で導体パターンを
容易に得ることができる印刷装置を提供すること。 【構成】本考案では、複数の真空引き用孔部２０と印刷
カセット位置決めピン１８が形成された印刷カセット嵌
着用孔部１６を有する印刷台１４と、多孔質金属板２２
上に印刷カセット位置決め用孔２８とセラミックグリー
ンシート位置合わせピン２６が形成され前記印刷カセッ
ト嵌着用孔部１６に嵌脱自在に嵌着される印刷カセット
１２から構成されている。そして、前記多孔質金属板２
２により、ペースト４２の粘着力でセラミックグリーン
シート２４がスクリーンに転移すること、並びに該セラ
ミックグリーンシート２４を破損させることを阻止し
て、容易に高精度の導体パターンを印刷することができ
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、セラミックグリーンシート印刷装置に関し、一層詳細には、半導体 パッケージの製造において、薄板状のセラミックグリーンシートに導体パターン を印刷する際に、平均的に該導体パターンを吸着し、しかもスクリーンを構成す る製版部側に該セラミックグリーンシートが貼着することのないセラミックグリ ーンシート印刷装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、セラミックスパッケージの製造工程において、セラミックグリーンシ ートに導体パターンをスクリーン印刷する際に、先ず、印刷台にセラミックグリ ーンシートを載置して位置決めし、印刷台に設けられ且つ真空ポンプに接続され る真空引き用孔部を介して真空引きを行い、位置ずれを阻止しながら前記セラミ ックグリーンシートにスクリーン印刷を行う。

【０００３】 すなわち、スクリーンをセラミックグリーンシートに押圧させ、同時にスクリ ーンに予め形成された所望の導体パターンにペーストを埋め込むようにして通過 させる。この結果、セラミックグリーンシート上に所望のペーストが該導体パタ ーンに沿って塗着される。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、前記の方法では、スクリーン印刷されるセラミックグリーンシート が薄い場合、換言すれば、実質的に厚さが０．３ｍｍ以下のセラミックグリーン シートを用いる場合には、真空引きのための吸引力がセラミックグリーンシート の材料的強度を上回るために、真空引き用孔部近傍のセラミックグリーンシート に凹部や撓みを生じさせる不都合が存在している。

【０００５】 前記の不都合を克服すべく、印刷台に画成した孔部を閉塞するようにセラミッ クグリーンシートの下層に通気性を有するシート部材を配置して前記凹部や撓み の発生を回避する方法が採用されている。

【０００６】 しかしながら、前記のシート部材を用いた方法では、ペーストの粘着力と、セ ラミックグリーンシートの自重により生じる重力と、真空引きによる吸引力との バランスの調節に多大の労力と時間を要するばかりか、時にはペーストの粘着力 がセラミックグリーンシートの自重により生じる重力と真空引きの吸引力を上回 ると、該セラミックグリーンシートは、印刷台から離脱してスクリーン側への転 移を来すことが儘ある。また、この結果、スクリーンに貼着したセラミックグリ ーンシートを剥離させようとする時、セラミックグリーンシートが破損して実用 に供することができなくなる不都合が顕在化している。

【０００７】 従って、本考案の目的は、セラミックグリーンシートへの導体パターンのスク リーン印刷に際して、該セラミックグリーンシートの印刷台からの剥離が容易で 、破損することがなく、また、高い精度で導体パターンを印刷することが可能な セラミックグリーンシート印刷装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

前記の目的を達成するために、本考案は、複数の真空引き用孔部を有する印刷 台と、 前記印刷台上に位置決め固定され、その上面に導体パターンを印刷するための グリーンシートを載置する板体を含む印刷カセットと、 からなり、前記印刷カセットの板体は少なくとも前記グリーンシートの接触面 の一部に多孔質部を有することを特徴とする。

【０００９】

【作用】

本考案に係るセラミックグリーンシート印刷装置では、印刷台に多孔質部を有 する板体を固着し、この多孔質部の微細な孔部を介して平均的に吸着され、位置 決め固定される。従って、導体パターンを形成したスクリーンにスキージを用い てペーストを塗着したとしても該ペーストの粘着力よりも常時大なる吸着力でグ リーンシートが吸着されるために、離脱の際にスクリーン側へと転移することも ない。

【００１０】

【実施例】

本考案に係るセラミックグリーンシート印刷装置について好適な実施例を挙げ 、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

【００１１】 図１並びに図２において、参照符号１０は、本考案に係るセラミックグリーン シート印刷装置を示し、該印刷装置１０は、基本的には、印刷カセット１２と印 刷台１４とから構成される。

【００１２】 印刷台１４には印刷カセット嵌着用孔部１６が形成され、この孔部１６に前記 印刷カセット１２が嵌着される。前記印刷カセット嵌着用孔部１６に設けられた 板体１７には、印刷カセット１２を位置決めするための複数の位置決めピン１８ が突出形成されるとともに、複数の真空引き用孔部２０が画成されている。前記 印刷台１４の底部には、図示しない真空吸引源に連通する通路２１が画成されて いる。

【００１３】 印刷カセット１２は、真空引きによって空気を流通させ、吸引力を発生させる ための微細な孔部を多量に有する、例えば、焼結金属からなる多孔質金属板２２ により構成され、その端部近傍には前記位置決めピン１８と係合して該印刷カセ ット１２を位置決めするための位置決め用孔２８が穿設されている。また、印刷 カセット１２にはセラミックグリーンシート２４と当接する側の表面に載置され るセラミックグリーンシート２４の位置合わせをするための位置合わせピン２６ が突出形成されている。

【００１４】 なお、前記多孔質金属板２２に代えて、図３に示すように、通常の平坦な金属 板３２の所望の部位に孔部を穿設する。この孔部に焼結体からなる多孔質金属３ ４を充填し、配設してもよい。これによって、真空吸引力の強弱を調整すること が可能となる。

【００１５】 本考案に係るセラミックグリーンシート印刷装置１０は基本的には以上のよう に構成されるものであり、次に、グリーンシート印刷装置１０の作用および効果 を説明する。

【００１６】 当該グリーンシート印刷装置１０を用いたセラミックグリーンシート２４への 導体パターンのスクリーン印刷に際しては、先ず、セラミックグリーンシート２ ４の重量、真空吸引力、ペーストの粘着性等より好適な多孔質金属板２２を選択 する。

【００１７】 次に、前記多孔質金属板２２からなる印刷カセット１２を印刷カセット嵌着用 孔部１６に嵌着する。この時、印刷カセット１２の位置決め用孔２８と、印刷カ セット嵌着用孔部１６の位置決めピン１８とを係合させることにより、迅速且つ 容易に位置決めを行うことができる。

【００１８】 次いで、印刷カセット１２上にセラミックグリーンシート２４を載置する。こ の時、印刷カセット１２上に載設された位置合わせピン２６により、セラミック グリーンシート２４を容易に位置合わせすることができる。

【００１９】 そして、図４に示す製版部３６を用いて導体パターンを塗着する。

【００２０】 前記製版部３６は、４本の製版部材を組み合わせた矩形状の版枠３８を有し、 その内側部位には、例えばステンレス製網材からなるスクリーン４０が張設され ている。該スクリーン４０は、ペースト４２を通過させることにより所望の導体 パターンを塗着するために、その導体パターンに適合する粗目部分を有する。

【００２１】 導体パターンの塗着に際しては、先ず、印刷カセット１２に位置決めされたセ ラミックグリーンシート２４に製版部３６を上載する。この時、セラミックグリ ーンシート２４とスクリーン４０との間に導体パターンを塗着した後、スクリー ン４０の弾発力によりセラミックグリーンシート２４とスクリーン４０とを離間 するための間隙４１が画成されている。一方、図示しない真空吸引源を付勢して 、通路２１および複数の真空引き用孔部２０を介してセラミックグリーンシート ２４に負圧をかけ吸引する。

【００２２】 この場合、予め、スクリーン４０上に所望の粘度のペースト４２を載置してお く。

【００２３】 次いで、硬質ゴム等からなるスキージ４４を用い、所望の圧力および速度でス クリーン４０上を変位させる。これにより前記ペースト４２をスクリーン４０の 粗目部分から通過させ、セラミックグリーンシート２４上に所望の導体パターン として塗着することができる（図５のｂ参照）。

【００２４】 さらにスキージ４４を変位させることにより、導体パターンが塗着された部分 のセラミックグリーンシート２４は、前記吸引力とスクリーン４０の弾発力と間 隙４１によりスクリーン４０に貼着することなく離間する。

【００２５】 図５のｃに示すように、この一連の過程において、多孔質金属板２２により好 適な吸引力が得られ、セラミックグリーンシート２４は負圧吸引され続けるため に、ペースト４２の粘着力によりスクリーン４０に転移されることがなく、また 、あらゆる部位において均一な吸引力のために多孔質金属板２２に当接するセラ ミックグリーンシート２４に凹部や撓み等が発生することも回避される。

【００２６】 最後に、真空吸引源の付勢を停止し、製版部３６から印刷台１４を離脱させて 、導体パターンが印刷されたセラミックグリーンシート２４を取り出す。

【００２７】 なお、多孔質金属板２２を他の板材、例えば、前述の平滑な金属板３２の所望 の部位に多孔質金属３４を装入させたものと代替することもできる。

【００２８】

【考案の効果】

以上のように、本考案に係るセラミックグリーンシート印刷装置によれば、印 刷台に装着される板体として多孔質金属板を用いることにより、スクリーンにセ ラミックグリーンシートが貼着することを阻止でき、しかも導体パターンを印刷 するセラミックグリーンシートに凹部や撓み等の破損を生じさせない効果を奏す る。さらには、セラミックグリーンシートに迅速、且つ容易に高精度の導体パタ ーンを印刷することができる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るセラミックグリーンシート印刷装
置の一部省略縦断面図である。

【図２】本考案に係るセラミックグリーンシート印刷装
置の分解斜視図である。

【図３】本考案に係るセラミックグリーンシート印刷装
置の別異の実施例の斜視図である。

【図４】本考案に係るセラミックグリーンシート印刷装
置の好適な実施例に用いられる製版部の斜視図である。

【図５】本考案に係るセラミックグリーンシート印刷装
置を用いてスクリーン印刷する際の工程説明図である。

【符号の説明】

１０…セラミックグリーンシート印刷装置 １２…印刷カセット １４…印刷台 １６…印刷カセット嵌着用孔部 １８…位置決めピン ２０…真空引き用孔部 ２１…通路 ２２…多孔質金属板 ２４…セラミックグリーンシート ２６…位置合わせピン

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の真空引き用孔部を有する印刷台と、
   前記印刷台上に位置決め固定され、その上面に導体パタ
   ーンを印刷するためのグリーンシートを載置する板体を
   含む印刷カセットと、からなり、前記印刷カセットの板
   体は少なくとも前記グリーンシートの接触面の一部に多
   孔質部を有することを特徴とするセラミックグリーンシ
   ート印刷装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の装置において、板体は焼結
   金属からなる多孔質金属板からなることを特徴とするセ
   ラミックグリーンシート印刷装置。
3. 【請求項３】請求項１記載の装置において、板体は真空
   吸引用の複数の孔部を有し、前記複数の孔部に多孔質体
   を挿入したことを特徴とするセラミックグリーンシート
   印刷装置。