JPH04111989A - Laser beam machine - Google Patents

Laser beam machine

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Publication number
JPH04111989A
JPH04111989A JP2231301A JP23130190A JPH04111989A JP H04111989 A JPH04111989 A JP H04111989A JP 2231301 A JP2231301 A JP 2231301A JP 23130190 A JP23130190 A JP 23130190A JP H04111989 A JPH04111989 A JP H04111989A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
screw shaft
nut
processing head
laser beam
processing
Prior art date
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Pending
Application number
JP2231301A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yukihiro Kimura
行宏 木村
Akinori Yamamoto
山本 昭規
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2231301A priority Critical patent/JPH04111989A/en
Publication of JPH04111989A publication Critical patent/JPH04111989A/en
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Abstract

PURPOSE:To facilitate the adjustment of a processing head part and to allow the maintenance of high processing accuracy by rotating a nut screwed to a screw shaft internally having the optical path of a laser beam to linearly move a processing head, thereby aligning the screw shaft and the optical path of the laser beam. CONSTITUTION:The processing head 5 has a hollow part in which the laser beam 16 passes at the axial center of the ball screw shaft 201 supporting this head. A gear 206 rotates and a gear 204 meshed with the gear 206 rotates when a servo motor 8 runs. The nut 202b of a nut 202 with an outer ring is meshed with the ball screw shaft 201 and the ball screw shaft 201 is meshed with a splined nut 207 fixed to the frame 4 of the processing head part. Then, the ball screw shaft 1 is movable in the axial direction but does not rotate. The ball screw shaft 201 moves in the axial direction when the nut 202b rotates in this state. The processing head 5 is moved in the axial direction by this movement so as to attach to or detach from the work 15.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、加工ヘッドを被加工物に接近、または被加
工物から離隔させる機構を有するレーザ加工装置に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a laser processing apparatus having a mechanism for moving a processing head toward or away from a workpiece.

[従来の技術] 従来のレーザ加工装置について第1図、第4図および第
5図により説明する。第1図は、従来のレーザ加工装置
の外観図であり5図において(1)はレーザ加工装置固
定部、(2)は加工テーブル。
[Prior Art] A conventional laser processing apparatus will be explained with reference to FIGS. 1, 4, and 5. FIG. 1 is an external view of a conventional laser processing device, and in FIG. 5, (1) is a fixing part of the laser processing device, and (2) is a processing table.

(3)は加工テーブル (2)に支持された被加工物。(3) is a workpiece supported on the processing table (2).

(4)は矢印けA)の方向に移動可能にレーザ加工装置
固定部は)に支持されている本体2例えば、加工ヘッド
部フレームである。(5)は矢印(IB)の方向に移動
可能に加工ヘッド部フレーム(4)を介して支持され、
レーザ光を被加工物(3)に放出する加工ヘッド、(6
)は、加工ヘッド(5)、加工ヘッド部フレーム(4)
および加工ヘッド駆動機構より構成される加工ヘッド部
である。なお、上述の加工ヘッド駆動機構は加工ヘッド
(5)を矢印(IB)の方向に移動させる機構であり、
後述するサーボモータ、ポールねじ軸、ナツト等により
構成される。また、加工テーブル (2)は矢印(IC
)の方向に移動可能に加工テーブル台(7)に支持され
ている。
(4) is a main body 2, for example, a processing head frame, which is supported by a fixed part of the laser processing apparatus so as to be movable in the direction of arrow A). (5) is supported via the processing head frame (4) so as to be movable in the direction of the arrow (IB);
a processing head (6) that emits laser light to the workpiece (3);
) are the processing head (5) and the processing head frame (4).
and a processing head section composed of a processing head drive mechanism. Note that the processing head drive mechanism described above is a mechanism that moves the processing head (5) in the direction of the arrow (IB),
It is composed of a servo motor, a pole screw shaft, a nut, etc., which will be described later. Also, the processing table (2) is marked with an arrow (IC
) is supported by a processing table stand (7) so as to be movable in the direction of.

第4図は従来例のレーザ加工装置における加工ヘッド部
(6)を示す部分断面図である。第4図において、(4
)は加工ヘッド部フレーム、(8)は加工ヘッド部フレ
ーム(4)に支持されたサーポモタ、(9)はサーボモ
ータ(8)の回転とともに回転するわじ軸5例えば、ポ
ールねし軸である。(10)はポールねじ軸 (9)に
螺合するナツト、  (11)はナツト (10)に支
持されサーボモータ(8)の回転とともに上下移動する
スライダ、 (lla)はスライダイ(11)に設けら
れたスライド部である。(12)は加工ヘッド部フレー
ム(4)に支持され、スライダ(11)のスライド部(
Ila) と摺動する直線ガイドであり、この直線ガイ
ド(12)はスライド(11)の動きを規制し、スライ
ダ(11)を上下方向にのみ移動可能にしている。 (
13)はスライダ(11)に支持された加工ヘッド先端
部取付板、  (14)は加工ヘッド先端部取付板(1
3)に支持された加工ヘッド先端部、  (15)は被
加工物である。なお、加工ヘッド(5)は、加工ヘッド
先端部(14) 、加工ヘッド先端部取付板(13) 
、およびスライダ(11)から構成されている。(16
)はレーザ光であり、このレーザ光はスライダ(11)
、および加工ヘッド先端部取付板(13)の内部を貫通
し、加工ヘッド先端部(14)に到達する。
FIG. 4 is a partial sectional view showing a processing head (6) in a conventional laser processing device. In Figure 4, (4
) is the machining head frame, (8) is the servo motor supported by the machining head frame (4), and (9) is the spindle 5, for example, a pole screw shaft, which rotates with the rotation of the servo motor (8). . (10) is a nut that is screwed onto the pole screw shaft (9), (11) is a slider that is supported by the nut (10) and moves up and down with the rotation of the servo motor (8), and (lla) is installed on the slide die (11). This is the slide part that has been removed. (12) is supported by the processing head frame (4), and the slide part (12) of the slider (11) is supported by the processing head frame (4).
This linear guide (12) restricts the movement of the slide (11) and allows the slider (11) to move only in the vertical direction. (
13) is a mounting plate for the tip of the processing head supported by the slider (11), and (14) is a mounting plate for the tip of the processing head (1).
3) is the tip of the processing head supported by (15) is the workpiece. The processing head (5) includes a processing head tip (14) and a processing head tip mounting plate (13).
, and a slider (11). (16
) is a laser beam, and this laser beam is applied to the slider (11).
, and the inside of the processing head tip mounting plate (13) to reach the processing head tip (14).

第5図は加工ヘッド先端部(14)の詳細を示す部分断
面図である。図において(1,401)は加工ヘッド先
端部取付板 (13)が有する蟻溝(13a)に挿入さ
れる蟻(1401a)を上部に有する加工ヘッド先端部
本体、  (1402)は加工ヘッド先端部(14)に
到達したレーザ光け6)を被加工物(15)に集光する
加工レンズ、  (1403)は加工ヘッド先端部本体
(1401)に嵌合し加工レンズ(1402)を支持す
るレンズホルダ、  [1,404)は加工レンズ[o
2)により集光されたレーザ光(16)の出口としての
ノズル、  (1405)はノズル(1404)を支持
するノズルホルダであり、このノズルホルダ(1405
)はレーザ光(16)を通過させるため内部が中空にな
っている。(1406)は加工/\ラッド端部本体[1
401)に螺合支持さオ″17 レンズホルダ(1,4
03)およびノズルホルダ(1405)を加工ヘッド先
端部本体(1401)に固着する止めリングである。
FIG. 5 is a partial sectional view showing details of the processing head tip (14). In the figure, (1,401) is the main body of the processing head tip which has a dovetail (1401a) on the top that is inserted into the dovetail groove (13a) of the processing head tip mounting plate (13), and (1402) is the processing head tip part. (14) is a processing lens that focuses the laser beam 6) that has reached the workpiece (15); (1403) is a lens that fits into the processing head tip body (1401) and supports the processing lens (1402). holder, [1,404) is a processed lens [o
(1405) is a nozzle holder that supports the nozzle (1404);
) is hollow inside to allow the laser beam (16) to pass through. (1406) is processing/\rad end body [1
401) is screwed and supported by the lens holder (1, 4).
03) and the nozzle holder (1405) to the processing head tip body (1401).

次に、第4図および第5図により従来のレーザ加工装置
の動作について説明する。第4図において、サーボモー
タ(8)が回転するとポールねじ軸(9)が回転する。
Next, the operation of the conventional laser processing apparatus will be explained with reference to FIGS. 4 and 5. In FIG. 4, when the servo motor (8) rotates, the pole screw shaft (9) rotates.

このとき、ポールねじ軸 (9)に螺合するナツト (
10)に支持された加工ヘッド(5)は、スライダ(1
月のスライド部(lla)を直線ガイド(12)に摺動
させながらポールねじ軸 (9)の軸方向に移動する。
At this time, tighten the nut (
The processing head (5) supported by the slider (10)
While sliding the moon slide portion (lla) on the linear guide (12), move in the axial direction of the pole screw shaft (9).

この移動により加工ヘッド(5)は被加工物 (15)
に接近、または被加工物(Y5)から離隔する。
This movement moves the processing head (5) to the workpiece (15).
approach or move away from the workpiece (Y5).

方、レーザ発振器(図示せず)により励起されたレーザ
光(16)はスライダ(IIL加工ヘッド取付板 (1
3)を通過し、加工ヘッド先端部(14)に到達する。
On the other hand, the laser beam (16) excited by a laser oscillator (not shown) is transmitted to the slider (IIL processing head mounting plate (1)
3) and reaches the processing head tip (14).

加工ヘッド先端部(14)に到達したレザ光(16)は
、第5図に示す加工レンズ(1402)により集光され
、ノズルホルダ(14051を通過した後ノズル(14
04)から被加工物(15)に向は放出される。
The laser light (16) that has reached the tip of the processing head (14) is focused by the processing lens (1402) shown in FIG.
04) to the workpiece (15).

このとき、被加工物 (15)の厚みに変化があれば、
サーボモータ(8)を回転させ、加工ヘッド(5)を移
動し、レーザ光(16)の焦点を適切な位置に変換して
加工を進める。
At this time, if there is a change in the thickness of the workpiece (15),
The servo motor (8) is rotated, the processing head (5) is moved, and the focus of the laser beam (16) is changed to an appropriate position to proceed with processing.

第4図に示される加工ヘッド部(6)においては、加工
ヘッド(5)の重心(40)がポールねじ軸(9)の軸
線上にないので、加工ヘッド(5)の重力によりナツト
 (10)は第4図において直線ガイド(12)の方向
に向う矢印(40A)方向の力を受ける。
In the machining head section (6) shown in FIG. 4, since the center of gravity (40) of the machining head (5) is not on the axis of the pole screw shaft (9), the gravity of the machining head (5) causes the nut (10 ) is subjected to a force in the direction of the arrow (40A) directed toward the linear guide (12) in FIG.

この力により、ナツト (10)は矢印(40A)の方
向に移動しようとするが、直線ガイ1112+とスライ
ド部(lla)の間に働く矢印(40t3)の方向の反
発力により平衡される。従って、直線ガイド(12)と
ポルねじ軸 (9)との平行度および間隔が正確に設定
されていないとナツト (10)は矢印(40A)また
は矢印(40B)の力を受け、矢印(40Al または
(4(IB)の方向に移動する。この移動により加工ヘ
ッド先端部(14)も移動し、ノズル[1404)の被
加工物 (15)に対する相対位置の誤差を太き(シ。
Due to this force, the nut (10) tries to move in the direction of the arrow (40A), but this is balanced by the repulsive force in the direction of the arrow (40t3) acting between the straight guy 1112+ and the slide portion (lla). Therefore, if the parallelism and spacing between the linear guide (12) and the Pol screw shaft (9) are not set accurately, the nut (10) will receive the force of the arrow (40A) or arrow (40B), and the nut (10) will receive the force of the arrow (40A) or Or move in the direction of (4 (IB)). Due to this movement, the processing head tip (14) also moves, and the error in the relative position of the nozzle [1404] with respect to the workpiece (15) is increased.

加工精度を低下させる。Reduces machining accuracy.

さらに、ナツト (10)が矢印(40Al または矢
印(40B)の方向の力を受けると、このナツト (l
O)に螺合するポールねじ軸(9)は回転時に振動を起
し、調整のずれを大きくさせたり、スライド部(lla
)等を摩耗させたりしやすい。
Furthermore, when the nut (10) receives a force in the direction of the arrow (40Al or arrow (40B)), this nut (l
The pole screw shaft (9), which is screwed into
) etc. are easily worn out.

従って7組立時において直線ガイド(12)とポルねじ
軸 (9)の平行度を厳密に設定する必要があり、調整
に時間を要する上、−旦調整ずれが生じると、調整ずれ
をさらに太き(する傾向がある。
Therefore, when assembling 7, it is necessary to strictly set the parallelism between the linear guide (12) and the pole screw shaft (9), which takes time to adjust. (There is a tendency to

また、上述の矢印(40A)または矢印(40B)の方
向の力をナツト (10)が受けない場合にも、ザポモ
ータ(8)によりポールねじ軸(9)を回転すると、一
般にねじり振動を起こし、同様の振動による問題を生じ
させる。
Furthermore, even if the nut (10) does not receive the force in the direction of the arrow (40A) or arrow (40B) mentioned above, when the pole screw shaft (9) is rotated by the Zapo motor (8), it generally causes torsional vibration. Creates similar vibration problems.

なお、このねじり振動は回転駆動源により回転駆動され
る回転軸上において、上述の回転駆動源より離隔した位
置に回転負荷があり、この回転負荷を上述の回転駆動源
によりサーボ駆動する場合に生じるものであり、上述の
加工ヘッド部(6)においては回転駆動源がサーボモー
タ(8)に5回転軸がポールねじ軸 (9)に1回転負
荷がポールねじ軸 (9)、ナツト (10)および加
工ヘッド(5)にそれぞれ相当している。
Note that this torsional vibration occurs when there is a rotational load at a position remote from the above-mentioned rotational drive source on the rotating shaft that is rotationally driven by the rotational drive source, and this rotational load is servo-driven by the above-mentioned rotational drive source. In the processing head section (6) mentioned above, the rotational drive source is the servo motor (8), the 5 rotation axis is the pole screw shaft (9), and the 1 rotation load is the pole screw shaft (9), the nut (10). and a processing head (5), respectively.

[発明が解決しようとする課題] 従来のレーザ加工装置は以上のように構成されているの
で、直線ガイド(12)とポールねじ軸 (9)との平
行度および間隔の厳密な調整を必要とするため、加工ヘ
ッド部(6)の調整に時間を要し、また、振動による摩
耗、調整ずれを発生しやすく。
[Problem to be solved by the invention] Since the conventional laser processing device is configured as described above, it is necessary to strictly adjust the parallelism and spacing between the linear guide (12) and the pole screw shaft (9). Therefore, it takes time to adjust the processing head (6), and wear and adjustment errors are likely to occur due to vibration.

高加工精度を維持することが困難であるなどの課題があ
った。
There were issues such as difficulty in maintaining high machining accuracy.

この発明は上記のような課題を解決するためになされた
もので、加工ヘッド部の調整が容易に出来るとともに、
高加工精度を容易に維持できるレーザ加工装置を得るこ
とを目的とする。
This invention was made to solve the above-mentioned problems, and the processing head part can be easily adjusted, and
The object is to obtain a laser processing device that can easily maintain high processing accuracy.

[課題を解決するための手段] この発明に係るレーザ加工装置は本体に回転可能に支持
されたナツトと、このナツトに螺合し。
[Means for Solving the Problems] A laser processing device according to the present invention includes a nut rotatably supported by a main body, and a nut screwed into the nut.

内部にレーザ光の光路を揺するねじ軸と、このねじ軸に
支持され、ナツトの回転によりねじ軸とともに直線移動
し、ねじ軸を介して供給されたレザ光を被加工物に放出
する加工ヘッドとを備えるようにしたものである。
There is a screw shaft that swings the optical path of the laser beam inside, and a processing head that is supported by this screw shaft and moves linearly with the screw shaft as the nut rotates, emitting the laser light supplied through the screw shaft to the workpiece. It is designed to have the following.

また1本体に固定され、内部にレーザ光の光路を有する
ねじ軸と、このねじ軸に螺合するナツトを有し、このナ
ツトの回転により、このナツトとともに直線移動し、ね
じ軸を介して供給されたレーザ光を被加工物に放出する
加工ヘッドと、を備にレーザの光路を有するねじ軸に螺
合するナツトを回転することにより、加工ヘッドを直線
運動させ、ねじ軸内部の上述のレーザの光路を通過した
レーザ光を被加工物に放出する。
It also has a screw shaft that is fixed to one main body and has an optical path for the laser beam inside, and a nut that is screwed onto this screw shaft, and when this nut rotates, it moves linearly with this nut, and supplies the laser beam through the screw shaft. The processing head is equipped with a processing head that emits the laser beam to the workpiece, and the processing head is moved linearly by rotating a nut screwed onto the screw shaft, which has a laser optical path. The laser beam that has passed through the optical path is emitted to the workpiece.

[発明の実施例] 以下、この発明の一実施例について第1図および第2図
を用いて説明する。
[Embodiment of the Invention] An embodiment of the invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.

第1図は、この発明の一実施例を示すレーザ加工装置の
外観図である。なお、この第1図は従来例の説明におい
ても使用している。
FIG. 1 is an external view of a laser processing apparatus showing an embodiment of the present invention. Incidentally, this FIG. 1 is also used in the explanation of the conventional example.

第2図は第1図における加工ヘッド部(6)を拡大して
示した部分断面図であり、この発明の一実施例の詳細を
示す図である。第2図において。
FIG. 2 is an enlarged partial sectional view of the processing head section (6) in FIG. 1, and is a diagram showing details of an embodiment of the present invention. In fig.

(5)は加工ヘッドであり、この加工ヘッド(5)は加
工ヘッド先端部取付板(13) 、加工ヘッド先端部(
14)より構成される。
(5) is a processing head, and this processing head (5) includes a processing head tip mounting plate (13), a processing head tip (
14).

(201)は加工ヘッド(5)を支持するポールねじ軸
でありレーザ光(16)が通過する中空部を有している
。(202)はポールねじ軸[201)に螺合するナツ
ト(202b)の外周にポール(202c)を介して外
輪(202a)を有する外輪付ナツトであり、外輪(2
02alとナツト(202blとは互いに回転可能であ
るが、軸方向には互いに移動しない構造になっている。
(201) is a pole screw shaft that supports the processing head (5) and has a hollow portion through which the laser beam (16) passes. (202) is a nut with an outer ring, which has an outer ring (202a) via a pole (202c) on the outer periphery of the nut (202b) which is screwed onto the pole screw shaft [201].
02al and the nut (202bl) are mutually rotatable, but have a structure that they do not move relative to each other in the axial direction.

なお、この外輪付ナツト(202)は外輪(202a)
を介して加工ヘッド部フレーム(4)に固定される。
Note that this nut with outer ring (202) has an outer ring (202a).
It is fixed to the processing head frame (4) via.

(203)は外輪(202a)を加工ヘッド部フレーム
(4)に固定する固定ねじ、  (2041はナツト(
202blとともに回転する歯車、  (2051は歯
車(204)をナツト(202b)に固定する固定ねじ
、  (2061は加工ヘッド部フレーム(4)に支持
されたサーボモータ(8)の回転軸(8a)とともに回
転し、サーボモータ(8)の回転を歯車(204)に伝
える歯車、 (2071はポールねじ軸(201)の表
面に軸方向に複数設けられた溝(201a)に歯合する
とともに加工ヘッド部フレーム(4)に支持されたスプ
ラインナツト、 (2081はスプラインナツト(20
7)を加工ヘッド部フレーム(4)に固定する固定ねじ
である。
(203) is a fixing screw that fixes the outer ring (202a) to the processing head frame (4), (2041 is a nut (
(2051 is a fixing screw that fixes the gear (204) to the nut (202b); (2061 is the rotating shaft (8a) of the servo motor (8) supported by the processing head frame (4)) The gear (2071) rotates and transmits the rotation of the servo motor (8) to the gear (204). A spline nut (2081 is a spline nut (2081) supported by the frame (4)
7) to the processing head frame (4).

次に、この発明の一実施例の動作について第2図により
説明する。サーボモータ(8)が回転すると歯車(20
6)が回転するとともに歯車(206)に歯合する歯車
(204)が回転する。歯車(204)が回転すると外
輪付ナツト[202)のナツト(202blが回転する
。ナツト(202b)はポールねじ軸(201)に歯合
しており、ポールねじ軸(201)は加工ヘッド部フレ
ーム(4)に固定されたスプラインナツト(207)と
歯合している。従ってポールねじ軸(201)は軸方向
には移動可能であるが回転はスプラインナツト(207
+により阻止されている。この状態でナラ1− (20
2b)が回転するとポールねじ軸(201)は軸方向に
移動することになる。この移動によりポールねじ軸(2
01)に支持された加工ヘッド(5)は軸方向に移動し
、被加工物 (15)に接近、または被加工物 (15
)から離隔する。
Next, the operation of one embodiment of the present invention will be explained with reference to FIG. When the servo motor (8) rotates, the gear (20
6) rotates, and the gear (204) meshing with the gear (206) also rotates. When the gear (204) rotates, the nut (202bl) of the nut with outer ring [202] rotates. The nut (202b) meshes with the pole screw shaft (201), and the pole screw shaft (201) is attached to the machining head frame. (4) is in mesh with the spline nut (207) fixed to the spline nut (207).Thus, the pole screw shaft (201) is movable in the axial direction, but rotation is limited to the spline nut (207).
It is blocked by +. In this state, oak 1- (20
2b) rotates, the pole screw shaft (201) moves in the axial direction. This movement causes the pole screw shaft (2
The processing head (5) supported by the workpiece (15) moves in the axial direction and approaches the workpiece (15) or
).

なお、加工ヘッド先端部(14)は、従来例の説明で用
いた第5図と同様の構造を有している。
Note that the processing head tip (14) has a structure similar to that shown in FIG. 5 used in explaining the conventional example.

次に、この発明の他の実施例について第3図により説明
する。第3図はこの発明の他の実施例における加工ヘッ
ド部(6)を拡大して示した部分断面図である。図にお
いて、  (4a)はフランジ部と円筒部とからなるフ
ランジ付円筒であり、このフランジ付円筒(4a)は円
筒部が加工ヘッド部フレーム(4)に設けられた穴(4
c)に嵌太し、上述のフランジ部により加工ヘッド部フ
レーム(4)に固定されている。ポールねじ軸(201
)をこのフランジ付円筒(4a)に止めねしく4b)で
固定することにより、ポルねじ軸(201)は加工ヘッ
ド部フレーム(4)に固定される。
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is an enlarged partial sectional view of a processing head (6) in another embodiment of the present invention. In the figure, (4a) is a flanged cylinder consisting of a flange part and a cylindrical part, and the cylindrical part of this flanged cylinder (4a) has a hole (4) formed in the processing head frame (4).
c), and is fixed to the processing head frame (4) by the above-mentioned flange portion. Pole screw shaft (201
) to this flanged cylinder (4a) with screws 4b), the pol screw shaft (201) is fixed to the processing head frame (4).

外輪付ナツト(202)のナツト(202b)は第2図
と同様にポールねじ軸(201)に螺合している。
The nut (202b) of the outer ring nut (202) is screwed onto the pole screw shaft (201) as in FIG. 2.

(301)は外輪付ナツト(202)の外輪(202a
)に止めねじ(3031を介して固定支持される補助フ
レームである。スプラインナツト(207)は、この補
助フレーム(3011に止めねじ(308)を介して固
定支持されている。また、加工ヘッド先端部(14)は
加工ヘッド先端部取付板 (13)を介して補助フレー
ム(3011に支持されている。さらに、サーボモータ
(8)は、この補助フレーム(3011に支持されてい
る。
(301) is the outer ring (202a) of the outer ring nut (202).
) is fixedly supported via a set screw (3031).The spline nut (207) is fixedly supported by this auxiliary frame (3011) via a set screw (308). The part (14) is supported by an auxiliary frame (3011) via a processing head tip attachment plate (13).Furthermore, the servo motor (8) is supported by this auxiliary frame (3011).

加工ヘッド(5)は加工ヘッド先端部 (14)加工ヘ
ッド先端部取付板 (13) 、補助フレーム(301
) 、スプラインナツト(207) 、止めねじ(30
8) 、外輪付ナツト(202) 、止めねじ(303
1歯車(204] 、止めねじ(205) 、歯車(2
06) 、およびサーボモータ(8)より構成される。
The processing head (5) includes the processing head tip (14) the processing head tip mounting plate (13), and the auxiliary frame (301).
), spline nut (207), set screw (30
8), Nut with outer ring (202), Set screw (303)
1 gear (204), set screw (205), gear (2
06) and a servo motor (8).

なお、外輪付ナツト(2021、スプラインナツト(2
07) 、ポールねじ軸(201) 、および加工ヘッ
ド先端部(14)の構造は第2図に示されるこの発明の
一実施例で説明したものと同様なので説明を省略する。
In addition, outer ring nut (2021), spline nut (2021)
07), the pole screw shaft (201), and the tip end of the processing head (14) are the same as those described in the embodiment of the present invention shown in FIG. 2, so their explanation will be omitted.

次に、この発明の他の実施例として、第3図に示された
加工ヘッド部(6)の動作について説明する。
Next, as another embodiment of the present invention, the operation of the processing head section (6) shown in FIG. 3 will be described.

サーボモータ(8)が回転すると歯車(206)か回転
し、この歯車(206)に歯合する歯車(2041が回
転する。歯車(204] は止めねじ(205)を介し
て外輪付ナツト(202)のナツト(202b)に固定
されているので歯車(2041の回転とともにナツト(
202blも回転する。外輪付ナツト(202)の外輪
(202a)は補助フレーム(301)を介してスプラ
インナツト(207)に固定されているので、外輪(2
02a)および補助フレーム(301)は回転が阻止さ
れた状態になり、ナツト(202b)が回転すると、加
工ヘッド(5)全体はポールねじ軸(201)の軸方向
に移動する。
When the servo motor (8) rotates, the gear (206) rotates, and the gear (2041) that meshes with this gear (206) rotates.The gear (204) is connected to the outer ring nut (202) via the set screw (205). ), the nut (202b) rotates as the gear (2041) rotates.
202bl also rotates. The outer ring (202a) of the outer ring nut (202) is fixed to the spline nut (207) via the auxiliary frame (301), so the outer ring (202a)
02a) and the auxiliary frame (301) are prevented from rotating, and when the nut (202b) rotates, the entire processing head (5) moves in the axial direction of the pole screw shaft (201).

この移動により加工ヘッド(5)を被加工物 (15)
に接近、または被加工物から離隔させることができる。
This movement moves the processing head (5) to the workpiece (15).
It can be moved close to or separated from the workpiece.

し発明の効果コ この発明は以上説明したように構成されており、内部に
レーザ光の光路を有するねじ軸に螺合するナツトを回転
することにより加工ヘッドを直線運動させるので、ねじ
軸とレーザ光の光路とが致し、加工ヘッド部の調整が容
易にできるとともに、高加工精度の維持が計れる効果が
ある。
Effects of the Invention This invention is constructed as described above, and since the processing head is linearly moved by rotating the nut that is screwed onto the screw shaft that has an optical path for the laser beam inside, the screw shaft and the laser beam are connected to each other. The optical path of the light matches, making it easier to adjust the processing head and maintaining high processing accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例によるレーザ加工装置の外
観図、第2図はこの発明の一実施例によるレーザ加工装
置における加工ヘッド部の部分断面図、第3図はこの発
明の他の実施例によるレザ加工装置における加工ヘッド
部の部分断面図。 第4図は従来のレーザ加工装置における加工ヘッド部の
部分断面図、第5図は従来のレーザ加工装置における加
工ヘッド先端部の部分断面図である。 図中、(5)は加工ヘッド、 (201)はポールねじ
軸、  (202b)はナツトである。 なお5図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
FIG. 1 is an external view of a laser processing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partial sectional view of a processing head portion of a laser processing device according to an embodiment of the invention, and FIG. 3 is a diagram of another embodiment of the invention. FIG. 2 is a partial cross-sectional view of a processing head in a laser processing apparatus according to an embodiment. FIG. 4 is a partial sectional view of a processing head portion in a conventional laser processing device, and FIG. 5 is a partial sectional view of a processing head tip portion in a conventional laser processing device. In the figure, (5) is the processing head, (201) is the pole screw shaft, and (202b) is the nut. In addition, in FIG. 5, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)本体に回転可能に支持されたナットと、このナッ
トに螺合し、内部にレーザ光の光路を有するねじ軸と、
このねじ軸に支持され、上記ナットの回転により上記ね
じ軸とともに直線移動し、上記ねじ軸を介して供給され
たレーザ光を被加工物に放出する加工ヘッドとを備えた
レーザ加工装置。
(1) A nut rotatably supported by the main body, a screw shaft that is screwed into the nut and has an optical path for laser light inside;
A processing head supported by the screw shaft, moved linearly together with the screw shaft by rotation of the nut, and emits laser light supplied via the screw shaft to a workpiece.
(2)本体に固定され、内部にレーザ光の光路を有する
ねじ軸と、このねじ軸に螺合するナットを有し、このナ
ットの回転により、このナットとともに直線移動し、上
記ねじ軸を介して供給されたレーザ光を被加工物に放出
する加工ヘッドと、を備えたレーザ加工装置。
(2) It has a screw shaft that is fixed to the main body and has an optical path for the laser beam inside, and a nut that is screwed onto this screw shaft, and when this nut rotates, it moves linearly with this nut, and the laser beam passes through the screw shaft. A processing head that emits laser light supplied to a workpiece to a workpiece.
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