JPH0410584B2 - - Google Patents
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- JPH0410584B2 JPH0410584B2 JP2892283A JP2892283A JPH0410584B2 JP H0410584 B2 JPH0410584 B2 JP H0410584B2 JP 2892283 A JP2892283 A JP 2892283A JP 2892283 A JP2892283 A JP 2892283A JP H0410584 B2 JPH0410584 B2 JP H0410584B2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
-
- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は熱間連続鋳造設備によつて製造される
熱間連続鋳造スラブの表面疵を非接触式で検出す
る装置に用いる照明装置に関するものである。
熱間連続鋳造スラブの表面疵を非接触式で検出す
る装置に用いる照明装置に関するものである。
従来の構成とその問題点
近年、熱間連続鋳造スラブ(以下、スラブと称
する)の連続鋳造方式は、従来のインゴツトによ
る分塊鋳造法のもつ諸欠点、すなわちエネルギ
ー・ロス、工程所要時間の増加などを根本的に解
決するものとして急速に普及しつつある。
する)の連続鋳造方式は、従来のインゴツトによ
る分塊鋳造法のもつ諸欠点、すなわちエネルギ
ー・ロス、工程所要時間の増加などを根本的に解
決するものとして急速に普及しつつある。
第1図はスラブの連続鋳造方式の概略構成図を
示すもので、転炉から送られた溶鋼は容器1に移
送され、鋳型2を経て徐々に冷却されてスラブ3
を形成し、連続して配設されたロール群4の間を
下方に向かつて引き抜かれる。さらに、スラブは
アンベンデイングロール5以降は水平にX方向に
移動し、ガス切断機6により所定のスラブ3′の
長さに切断され、次工程へ移送される。
示すもので、転炉から送られた溶鋼は容器1に移
送され、鋳型2を経て徐々に冷却されてスラブ3
を形成し、連続して配設されたロール群4の間を
下方に向かつて引き抜かれる。さらに、スラブは
アンベンデイングロール5以降は水平にX方向に
移動し、ガス切断機6により所定のスラブ3′の
長さに切断され、次工程へ移送される。
この連続鋳造工程で発生するスラブ3の表面の
疵は、通常、ガス切断機6以降のたとえば地点B
で検査されていたが、近年はスラブ3が水平に移
動しはじめるアンベンデイングロール5付近の地
点A(詳しくはアンベンデイングロール5より後
の地点)で表面疵を検出する方法を用いている。
この理由として、 地点Aでは表面温度が低く、またスケールの
発生も少ない。
疵は、通常、ガス切断機6以降のたとえば地点B
で検査されていたが、近年はスラブ3が水平に移
動しはじめるアンベンデイングロール5付近の地
点A(詳しくはアンベンデイングロール5より後
の地点)で表面疵を検出する方法を用いている。
この理由として、 地点Aでは表面温度が低く、またスケールの
発生も少ない。
地点Aでのスラブ移動速度は1〜2m/min
とガス切断6以降の地点Bにおける移動速度に
比べて格段に低い。
とガス切断6以降の地点Bにおける移動速度に
比べて格段に低い。
というように、表面疵を検出する検出装置にとつ
て有利な条件になつている。
て有利な条件になつている。
以下に従来のスラブの表面疵検出装置について
説明する。
説明する。
第2図は、第1図の地点Aにおける熱間連続鋳
造スラブの表面疵検出装置の断面図を示すもの
で、スラブ3は、これを連続して案内する案内手
段である上部ロール8および下部ロール10によ
つて挾まれ、上部ロール8は、フレーム7に固定
されたロール受け軸9により回動自在に支持され
ている。下部ロール10は図示しないが、上部ロ
ール8と同様にロール受け軸により回動自在に支
持されている。従来の表面疵検出装置は、例えば
特開昭54−109031号公報に示されているように、
スラブ3の上部には点光源からなる照明装置11
を設け、この照明装置11によりスラブ3の表面
を照射し、フレーム7の上方に設置した撮像素子
(たとえばリニアイメージセンサ)12により、
スラブ3の表面の反射光を検出している。
造スラブの表面疵検出装置の断面図を示すもの
で、スラブ3は、これを連続して案内する案内手
段である上部ロール8および下部ロール10によ
つて挾まれ、上部ロール8は、フレーム7に固定
されたロール受け軸9により回動自在に支持され
ている。下部ロール10は図示しないが、上部ロ
ール8と同様にロール受け軸により回動自在に支
持されている。従来の表面疵検出装置は、例えば
特開昭54−109031号公報に示されているように、
スラブ3の上部には点光源からなる照明装置11
を設け、この照明装置11によりスラブ3の表面
を照射し、フレーム7の上方に設置した撮像素子
(たとえばリニアイメージセンサ)12により、
スラブ3の表面の反射光を検出している。
第3図は第2図のC−C′断面図であり、相隣り
合う上部ロール8,8およびフレーム7,7間の
間隔は30〜100mm以内に設置されている。そのた
め、照明装置11の照射方向は大幅な制限をうけ
る。すなわち、第2図に示すように照明装置11
はフレーム7の端部から中央の撮像素子12が位
置する地点まで移動可能となつているが、第3図
で明らかなように、スラブ3の移動方向Xには照
射角の選択はほとんどない状態である。
合う上部ロール8,8およびフレーム7,7間の
間隔は30〜100mm以内に設置されている。そのた
め、照明装置11の照射方向は大幅な制限をうけ
る。すなわち、第2図に示すように照明装置11
はフレーム7の端部から中央の撮像素子12が位
置する地点まで移動可能となつているが、第3図
で明らかなように、スラブ3の移動方向Xには照
射角の選択はほとんどない状態である。
したがつて、表面疵のうちとくにスラブ3の移
動方向Xに対して直角方向に生じる割れ疵は、照
明装置11の照射方向が固定されているために、
十分な陰影像としてとらえ難い欠点を有してい
た。
動方向Xに対して直角方向に生じる割れ疵は、照
明装置11の照射方向が固定されているために、
十分な陰影像としてとらえ難い欠点を有してい
た。
発明の目的
本発明は上記従来の問題点に留意し、スラブ表
面に形成された割れ疵を十分な陰影像として得る
ことができる熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用
照明装置を提供することを目的とする。
面に形成された割れ疵を十分な陰影像として得る
ことができる熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用
照明装置を提供することを目的とする。
発明の構成
前記目的を達成するため、本発明は、スラブを
形成する鋳型からスラブを切断する切断機までの
間のスラブを案内するロール間に、前記スラブの
移動方向と直角方向に管の長手方向を配した熱間
連続鋳造スラブの表面疵検出用照明装置であつ
て、冷却空気孔とこれをはさんで配置した1対の
冷却水孔を有する楕円断面の樋形反射鏡と、樋形
反射鏡の楕円断面図の一次焦点に固定されたハロ
ゲンランプと、樋形反射鏡を覆い、ハロゲンラン
プの照射方向に開口部をもつ、熱伝導率が低く融
点の高いパイプと、このパイプの外面に設置した
複数の冷却水管で構成され、前記冷却空気孔がハ
ロゲンランプの発光部をはさんで照射方向と反対
側に位置する熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用
照明装置としたものであり、樋形反射鏡内の空気
孔と冷却水孔と反射鏡を覆うパイプとパイプに付
設した冷却水管とにより、照明装置を高温の雰囲
気中から保護するとともに、スラブの表面に形成
された割れ疵を十分な陰影像としてとらえること
ができるものである。
形成する鋳型からスラブを切断する切断機までの
間のスラブを案内するロール間に、前記スラブの
移動方向と直角方向に管の長手方向を配した熱間
連続鋳造スラブの表面疵検出用照明装置であつ
て、冷却空気孔とこれをはさんで配置した1対の
冷却水孔を有する楕円断面の樋形反射鏡と、樋形
反射鏡の楕円断面図の一次焦点に固定されたハロ
ゲンランプと、樋形反射鏡を覆い、ハロゲンラン
プの照射方向に開口部をもつ、熱伝導率が低く融
点の高いパイプと、このパイプの外面に設置した
複数の冷却水管で構成され、前記冷却空気孔がハ
ロゲンランプの発光部をはさんで照射方向と反対
側に位置する熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用
照明装置としたものであり、樋形反射鏡内の空気
孔と冷却水孔と反射鏡を覆うパイプとパイプに付
設した冷却水管とにより、照明装置を高温の雰囲
気中から保護するとともに、スラブの表面に形成
された割れ疵を十分な陰影像としてとらえること
ができるものである。
実施例の説明
第4図は本発明の一実施例における熱間連続鋳
造スラブの表面疵検出用照明装置の断面図を、第
5図は同装置の平面図を示すものである。第4
図、第5図において、21は楕円面AB⌒を有した
樋形の反射鏡で、内部に冷却水の流れる孔21
A,21Bと、冷却空気の流れる孔21Cを有し
ている。22はハロゲンランプで、楕円面AB⌒の
一次焦点に固定されている。23はたとえばステ
ンレスのように熱伝導率が低く融点の高い材料か
らなるパイプである。24A,24Bはパイプ2
3の冷却および補強の役目をもつパイプである。
以上の構成要素から照明装置28は構成されてい
る。
造スラブの表面疵検出用照明装置の断面図を、第
5図は同装置の平面図を示すものである。第4
図、第5図において、21は楕円面AB⌒を有した
樋形の反射鏡で、内部に冷却水の流れる孔21
A,21Bと、冷却空気の流れる孔21Cを有し
ている。22はハロゲンランプで、楕円面AB⌒の
一次焦点に固定されている。23はたとえばステ
ンレスのように熱伝導率が低く融点の高い材料か
らなるパイプである。24A,24Bはパイプ2
3の冷却および補強の役目をもつパイプである。
以上の構成要素から照明装置28は構成されてい
る。
第6図は熱間連続鋳造機のロール8a,8b間
に照明装置を取付けた状態を示す。第6図から明
らかなように、照明装置の取付けスペースは寸法
的に大幅に制限される。またスラブ3の表面温度
は1000℃前後になるため、照明装置を取付ける雰
囲気の温度は600〜800℃の高温になる。第4図、
第5図に示した実施例は、制限されたスペース内
に設置できる大きさで、かつ600〜800℃の雰囲気
の温度に耐えうる構造になつている。
に照明装置を取付けた状態を示す。第6図から明
らかなように、照明装置の取付けスペースは寸法
的に大幅に制限される。またスラブ3の表面温度
は1000℃前後になるため、照明装置を取付ける雰
囲気の温度は600〜800℃の高温になる。第4図、
第5図に示した実施例は、制限されたスペース内
に設置できる大きさで、かつ600〜800℃の雰囲気
の温度に耐えうる構造になつている。
以上のように構成された本実施例の照明装置に
ついて、以下その動作を説明する。
ついて、以下その動作を説明する。
反射鏡21の反射面は楕円面AB⌒であり、その
一次焦点26にハロゲンランプ22が固定されて
いる。ハロゲンランプ22は取りはずしが可能な
ようにバネ性の取付金具25で固定されている。
楕円面AB⌒は、その二次焦点27が第6図に示す
ように、スラブ3の表面より遠い位置になるよう
に設計している。これは、撮像素子12および照
明装置28の取付位置が多少ずれても、撮像素子
12でねらうスラブ3の表面で所定の明るさ(30
万〜50万lx)が得られるように、スラブ3の表面
でのスラブ移動方向の照度分布にやや広がりをも
たせるためである。
一次焦点26にハロゲンランプ22が固定されて
いる。ハロゲンランプ22は取りはずしが可能な
ようにバネ性の取付金具25で固定されている。
楕円面AB⌒は、その二次焦点27が第6図に示す
ように、スラブ3の表面より遠い位置になるよう
に設計している。これは、撮像素子12および照
明装置28の取付位置が多少ずれても、撮像素子
12でねらうスラブ3の表面で所定の明るさ(30
万〜50万lx)が得られるように、スラブ3の表面
でのスラブ移動方向の照度分布にやや広がりをも
たせるためである。
反射鏡21の材料は加工が容易で、高い光輝性
をもたせるために、アルミニウムを用いている。
アルミニウムは融点が約660℃であるため、照明
装置28を高温の雰囲気中で使用すると冷却が必
要になる。21A,21Bは反射鏡21を冷却す
るための冷却水孔で、第5図に示すように、21
Aと21Bの孔には、左右交互に接続管30A,
30Bによつて冷却水を送入することにより、反
射鏡21全体がほぼ均等に冷却できるように考慮
している。また、冷却水孔21A,21Bはそれ
ぞれ独立して設けているので、照明装置28の取
付姿勢によつてスラブ3に近接する側の反射鏡2
1の温度上昇を防止するために、一方の例の水量
を増すようにしてもよい。
をもたせるために、アルミニウムを用いている。
アルミニウムは融点が約660℃であるため、照明
装置28を高温の雰囲気中で使用すると冷却が必
要になる。21A,21Bは反射鏡21を冷却す
るための冷却水孔で、第5図に示すように、21
Aと21Bの孔には、左右交互に接続管30A,
30Bによつて冷却水を送入することにより、反
射鏡21全体がほぼ均等に冷却できるように考慮
している。また、冷却水孔21A,21Bはそれ
ぞれ独立して設けているので、照明装置28の取
付姿勢によつてスラブ3に近接する側の反射鏡2
1の温度上昇を防止するために、一方の例の水量
を増すようにしてもよい。
パイプ23は反射鏡21を高温の雰囲気中から
保護するためのもので、この材料は、たとえばス
テンレスのように熱伝導率が低く融点の高いもの
がよい。また冷却水管24Aおよび24Bはパイ
プ23を冷却すると同時に、照明装置全体の強度
を補強する役割をもつている。この場合も冷却水
孔21A,21Bの場合と同様に、照明装置28
の取付姿勢によつてスラブ3に近接する側のパイ
プ23の温度上昇を防止するために、冷却水管2
4Aあるいは冷却水管24Bのいずれか一方の側
の水量を増すようにすればよい。
保護するためのもので、この材料は、たとえばス
テンレスのように熱伝導率が低く融点の高いもの
がよい。また冷却水管24Aおよび24Bはパイ
プ23を冷却すると同時に、照明装置全体の強度
を補強する役割をもつている。この場合も冷却水
孔21A,21Bの場合と同様に、照明装置28
の取付姿勢によつてスラブ3に近接する側のパイ
プ23の温度上昇を防止するために、冷却水管2
4Aあるいは冷却水管24Bのいずれか一方の側
の水量を増すようにすればよい。
冷却空気孔21Cは冷却空気管30Cに接続さ
れ、ハロゲンランプ22を冷却すると同時に、ハ
ロゲンランプ22と反射鏡21の楕円面AB⌒に汚
れが付着するのを防止するためのものであり、照
明装置の光利用効率を低下させたいように、ハロ
ゲンランプの発光部をはさんで光の照射方向と反
対側の位置に設けている。空気の吹出し孔21
C1〜oは、第7図に示すようにハロゲンランプ22
のセグメント(発光部)に対応して一個づつ設け
ており、ハロゲンランプ22全体を効果的に冷却
すると同時に、ハロゲンランプ22の全発光部に
よごれが付着するのを防止している。吹出し孔2
1C1〜oの断面積は、すべての吹出し孔からほぼ均
等に冷却用空気が送風されるように、吹出し孔2
1C1〜oの各地点における冷却的空気孔21C内の
圧力に応じた吹出し孔面積を定める必要がある。
冷却空気孔21C内の空気圧は、始端から末端に
いくにしたがい吹出し孔21C1〜oの分岐による流
速低下に伴なつて動圧が低下し、さらに管内摩擦
損失によつても低下する。このため、冷却空気孔
21Cの始端では吹出し孔面積を絞り、末端にい
くにしたがい吹出し孔面積を大きくし、すべての
吹出し孔21C1〜oから等量の空気が放出されるよ
う考慮している。
れ、ハロゲンランプ22を冷却すると同時に、ハ
ロゲンランプ22と反射鏡21の楕円面AB⌒に汚
れが付着するのを防止するためのものであり、照
明装置の光利用効率を低下させたいように、ハロ
ゲンランプの発光部をはさんで光の照射方向と反
対側の位置に設けている。空気の吹出し孔21
C1〜oは、第7図に示すようにハロゲンランプ22
のセグメント(発光部)に対応して一個づつ設け
ており、ハロゲンランプ22全体を効果的に冷却
すると同時に、ハロゲンランプ22の全発光部に
よごれが付着するのを防止している。吹出し孔2
1C1〜oの断面積は、すべての吹出し孔からほぼ均
等に冷却用空気が送風されるように、吹出し孔2
1C1〜oの各地点における冷却的空気孔21C内の
圧力に応じた吹出し孔面積を定める必要がある。
冷却空気孔21C内の空気圧は、始端から末端に
いくにしたがい吹出し孔21C1〜oの分岐による流
速低下に伴なつて動圧が低下し、さらに管内摩擦
損失によつても低下する。このため、冷却空気孔
21Cの始端では吹出し孔面積を絞り、末端にい
くにしたがい吹出し孔面積を大きくし、すべての
吹出し孔21C1〜oから等量の空気が放出されるよ
う考慮している。
以上のように本実施例によれば、反射鏡に二対
の冷却水孔を設け、さらに反射鏡を熱伝導率が低
く融点の高いパイプで覆うことによつて反射鏡を
均等に冷却することができる。また、反射鏡に、
ハロゲンランプに対して光の照射方向と反対側に
冷却空気孔を設け、空気の吹出し孔をハロゲンラ
ンプの発光部に対応して一個づつ設けることによ
つて、ハロゲンランプを効果的に冷却し、同時に
ハロゲンランプの全発光部によごれが付着するの
を防止することができる。
の冷却水孔を設け、さらに反射鏡を熱伝導率が低
く融点の高いパイプで覆うことによつて反射鏡を
均等に冷却することができる。また、反射鏡に、
ハロゲンランプに対して光の照射方向と反対側に
冷却空気孔を設け、空気の吹出し孔をハロゲンラ
ンプの発光部に対応して一個づつ設けることによ
つて、ハロゲンランプを効果的に冷却し、同時に
ハロゲンランプの全発光部によごれが付着するの
を防止することができる。
なお、本実施例において、照明装置はロールの
片側だけに設置したが、ロールの両側に一対設置
してもよい。また、空気吹出し孔はハロゲンラン
プの発光部に対応して一個づつとしたが、二個以
上でもよいことは言くまでもない。
片側だけに設置したが、ロールの両側に一対設置
してもよい。また、空気吹出し孔はハロゲンラン
プの発光部に対応して一個づつとしたが、二個以
上でもよいことは言くまでもない。
発明の効果
本発明の熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用照
明装置は次のような効果を有する。
明装置は次のような効果を有する。
(1) 反射鏡に2本の独立した冷却水孔を設け、こ
の反射鏡を熱伝導率が低く融点の高いパイプで
覆い、さらに反射鏡を覆つたパイプに冷却水管
を取付けることによつて、反射鏡を均等に冷却
して反射鏡を高温の雰囲気中から保護すること
ができる。さらに、照明装置は二重冷却効果を
もつとともに、照明装置の強度を強めることが
できる。
の反射鏡を熱伝導率が低く融点の高いパイプで
覆い、さらに反射鏡を覆つたパイプに冷却水管
を取付けることによつて、反射鏡を均等に冷却
して反射鏡を高温の雰囲気中から保護すること
ができる。さらに、照明装置は二重冷却効果を
もつとともに、照明装置の強度を強めることが
できる。
(2) 反射鏡にハロゲンランプに対して光の照射方
向と反対側に空気孔を設けることにより、照明
装置の光の利用効率を低下させることなくハロ
ゲンランプを冷却することができる。
向と反対側に空気孔を設けることにより、照明
装置の光の利用効率を低下させることなくハロ
ゲンランプを冷却することができる。
(3) 空気吹出し孔をハロゲンランプの発光部に対
応して一個以上設け、さらに、空気送入側から
奥にいくにしたがい、徐々に吹出し孔の断面積
を大きくしていることによつて、ハロゲンラン
プの全発光部を均等に冷却すると同時に、ハロ
ゲンランプの全発光部にほこりが付着するのを
防止することができる。
応して一個以上設け、さらに、空気送入側から
奥にいくにしたがい、徐々に吹出し孔の断面積
を大きくしていることによつて、ハロゲンラン
プの全発光部を均等に冷却すると同時に、ハロ
ゲンランプの全発光部にほこりが付着するのを
防止することができる。
第1図は熱間連続鋳造スラブの連続鋳造設備の
概略構成図、第2図は従来の熱間連続鋳造スラブ
の表面疵検出装置の断面図、第3図は第2図にお
けるC−C′断面図、第4図は本発明の一実施例に
おける熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用照明装
置の断面図、第5図は同装置の平面図、第6図は
熱間連続鋳造機のロールと熱間連続鋳造スラブと
本発明の一実施例における熱間連続鋳造スラブの
表面疵検出用照明装置の位置関係を示した模式
図、第7図は第4図におけるD−D′断面図であ
る。 21……反射鏡、21A,21B……冷却水
孔、21C……冷却空気孔、21C1〜o……空気吹
出孔、22……ハロゲンランプ、23……パイ
プ、26……一次焦点、28……照明装置。
概略構成図、第2図は従来の熱間連続鋳造スラブ
の表面疵検出装置の断面図、第3図は第2図にお
けるC−C′断面図、第4図は本発明の一実施例に
おける熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用照明装
置の断面図、第5図は同装置の平面図、第6図は
熱間連続鋳造機のロールと熱間連続鋳造スラブと
本発明の一実施例における熱間連続鋳造スラブの
表面疵検出用照明装置の位置関係を示した模式
図、第7図は第4図におけるD−D′断面図であ
る。 21……反射鏡、21A,21B……冷却水
孔、21C……冷却空気孔、21C1〜o……空気吹
出孔、22……ハロゲンランプ、23……パイ
プ、26……一次焦点、28……照明装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 熱間連続鋳造スラブを形成する鋳型から熱間
連続鋳造スラブを切断する切断機までの間の熱間
連続鋳造スラブを案内するロール間に、熱間連続
鋳造スラブの移動方向と直角方向の管の長手方向
に配した熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用照明
装置であつて、冷却空気孔および前記冷却空気孔
をはさんだ1対の冷却水孔を有する、楕円断面の
樋形反射鏡と、前記樋形反射鏡の楕円断面の一次
焦点に固定されているハロゲンランプと、前記樋
形反射鏡を覆い、かつ前記ハロゲンランプの照射
方向に開口部をもつ、熱伝導率が低く融点の高い
パイプと、前記パイプの外面に設置されている複
数の冷却水管とを備え、前記冷却空気孔がハロゲ
ンランプの発光部をはさんで照射方向と反対側に
位置することを特徴とする熱間連続鋳造スラブの
表面疵検出用照明装置。 2 空気吹出孔をハロゲンランプの発光部分に対
して一個以上設け、前記空気吹出孔の断面積を前
記ハロゲンランプの長手方向に対して変化させ、
前記ハロゲンランプ全域に対して均等に送風する
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の熱
間連続鋳造スラブの表面疵検出用照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58028922A JPS59154312A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58028922A JPS59154312A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用照明装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59154312A JPS59154312A (ja) | 1984-09-03 |
JPH0410584B2 true JPH0410584B2 (ja) | 1992-02-25 |
Family
ID=12261891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58028922A Granted JPS59154312A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 熱間連続鋳造スラブの表面疵検出用照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59154312A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2687011B2 (ja) * | 1989-04-13 | 1997-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体測定装置 |
JPH095056A (ja) * | 1995-06-19 | 1997-01-10 | Nireco Corp | 表面変形検査装置 |
KR20070117287A (ko) * | 2006-06-08 | 2007-12-12 | 삼성전자주식회사 | 기판 검사 유닛, 이를 갖는 기판 검사 장치 및 이를 이용한기판 검사 방법 |
CN106568386B (zh) * | 2016-10-25 | 2019-03-01 | 南京航空航天大学 | 一种基于持续烟线的空间流场自动化测量装置及测量方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51109886A (en) * | 1975-03-24 | 1976-09-29 | Kawasaki Steel Co | Netsukohen netsukohantono hyomenkizuno tanshohoho |
JPS54109031A (en) * | 1978-02-16 | 1979-08-27 | Hiyuutetsuku Kk | Detection of surface scratches for continuously cast steel strips |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP58028922A patent/JPS59154312A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51109886A (en) * | 1975-03-24 | 1976-09-29 | Kawasaki Steel Co | Netsukohen netsukohantono hyomenkizuno tanshohoho |
JPS54109031A (en) * | 1978-02-16 | 1979-08-27 | Hiyuutetsuku Kk | Detection of surface scratches for continuously cast steel strips |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59154312A (ja) | 1984-09-03 |
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