JPH04101850A - 熱静電インクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、インクジェット記録ヘッド、特に、熱エネル
ギーと静電エネルギーとの協同作用によりインクを飛翔
させるようにした熱静電インクジェット記録ヘッドに関
するものである。

（従来の技術） 従来、この種のインクジェット記録ヘッドとしては例え
ば特開昭６２−２２５３８８号公報に記載のものがある
。

これは、一対の絶縁性基板でスリット状のインク室を形
成してヘッド本体を構成し、一方の絶縁性基板のインク
吐出部に対応した箇所には画像情報に応じた熱エネルギ
ー印加用の発熱抵抗体を画素密度に応じて配列するとと
もに、各発熱抵抗体には多対の通電用電極を配設し、前
記各発熱抵抗体および各通電用電極を略−橿原の無機絶
縁層で被覆し、さらに、上記無機絶縁層上にはインク室
内のインクに静電界を作用させるべく静電誘導用電極を
配設してなるものである。

このような熱静電インクジェット記録ヘッドは、インク
吐出部内のインク単位領域に画像情報に応じた熱信号を
印加すると、対応するインク単位領域の粘度、表面張力
が低下して、臨界飛翔状態になり、静電誘導用電極に基
づく静電界によって加熱されたインク単位領域を飛翔さ
せ、記録紙に付着させることができるものである。

第８図は、その−例の概略を説明するためのもので、イ
ンクジェット記録ヘッドの一部を破断した斜視図である
。図中、１，２は絶縁性の基板、３はインク室、４は静
電誘導用電極、５はグレーズ層、６は熱エネルギー印加
手段、７は発熱抵抗体、８は通電用電極、９は絶縁層、
１０はスルーホール部、１１は共通導電層である。

一対の絶縁性基板１，２間にスリット状のインク室３が
形成される。インク室３の出口側に位置するインク吐出
部３ａに充満されたインクに対し、画素密度に応じて熱
エネルギーを印加する熱エネルギー印加手段と、インク
吐出部３ａに対向して配置される対向電極（図示せず）
との間に充満されたインク吐出部３ａ内のインクに上記
熱エネルギーの印加タイミングに同期した静電界を作用
させる静電誘導用電極４とで構成されている。上記絶縁
性基板１，２は例えば、アルミナセラミ・ソクスで構成
されており、一方の絶縁性基板１の内面には平面性およ
び蓄熱性を確保するために、例えば、Ｓ　１０２からな
るグレーズ５が積層されている。そして、インク室３は
、例えば、ギャップが５０μｍ程度のインク吐出部３ａ
と、それより幅広のギャップが１ｍｍ程度のインク溜め
部３ｂとで構成されている。

また、熱エネルギー印加手段６は、インク吐出部３ａに
対応した絶縁性基板１の内面部に画素密度（例えば８ビ
ツト／　ｍ　ｍ　）ごとに、例えば、Ｕ字型に形成され
る発熱抵抗体７と、この発熱抵抗体７に画信号に応じた
制御信号を供給すべく絶縁性基板１の内面部に形成され
る通電用電極８とを備えている。

発熱抵抗体７は、Ｔａ−３ｉｎ２を、通電用電極８は、
Ｃｒ　／　Ａ　１を用いている。発熱抵抗体７、通電用
電極８は、順次スパッタリング法により積層され、通電
用電極、発熱抵抗体の順にパターニングされる。

また、上記通電用電極８は、相隣接する発熱抵抗体７を
１単位として、略コ字状に形成されて各発熱抵抗体７の
相隣接する基端側に接続される共通電極８ａと、各発熱
抵抗体７の隣接しない基端側に接続される独立電極８ｂ
とからなるもので、通電用電極としては、例えば、１０
０ＯＡのＣｒの接着層上に例えば１００ＯＯＡのＡｌ導
電層を積層したものが用いられる。

さらに、上記発熱抵抗体７および通電用電極８は、絶縁
層９で被覆されている。より具体的に述べると、上記発
熱抵抗体７および通電用電極８の発熱抵抗体７側には、
ＲＦスパッタリング法により形成された約２μｍ厚のＳ
ｉＯ□の無機絶縁材料からなる第１の絶縁保護層９ａが
配設されている。

一方、通電用電極８の基板側は有機絶縁材料からなる第
２の絶縁保護層９ｂで被覆されている。

この実施例において、上記第２の絶縁保護層９ｂは、例
えば感光性ポリイミド樹脂（東し株式会社製商品名フォ
トニースＵＲ３１００）を、スピンコード法により塗布
し、８０℃、６０分の熱処理（プリベーク）を行なった
後、パターン露光処理を施し、未露光部分を溶剤処理に
より除去して上記共通電極８ａの基端連結部８Ｃに対応
した箇所に、２００Ｘ５００μｍの矩形状スルーホール
部１０を形成し、次いで、窒素雰囲気下１８０°Ｃで３
０分、３００°Ｃで３０分および４００℃で３０分の熱
処理を施し、上記ポリイミド樹脂をイミド化させたもの
である。そして、この第２の絶縁保護層９ｂは、発熱抵
抗体７の付近まで延設されており、その延長部９ｃが上
記第１の保護絶縁層９ａ上に積層されるようになってい
る。また、延長部９ｃを除く第２の絶縁保護層９ｂ上に
はＣｒを約１００ＯＡ、Ａｌを約２μｍの厚みで順次ス
パッタリング法により形成してなる共通導電層１１が設
けられており、この共通導電層１１と上記共通電極８ａ
の基端連結部８ｃとが上記スルーホール部１０を介して
相互に接続されている。

静電誘導用電極４は、第１の絶縁保護層９ａの領域に対
応して配設され、発熱抵抗体７に対応した箇所において
は、第１の絶縁保護層９ａ上に配置されるとともに、発
熱抵抗体７への通電用電極８に対応した箇所においては
、第２の絶縁保護層９ｂの延長部９ｃ上に配置されるよ
うになっている。そして、この例においては、上記静電
誘導用電極４は、発熱抵抗体７の配設パターンに対応し
て設けられる矩形状の主電極部４ａと、各主電極４ａか
らインク室３ｂの深さ方向側に延びる線幅の細い連結用
電極部４ｂと、各連結用電極部４ｂの基端部に接続され
て各連結用電極部４ｂと直交する方向へ延びる共通電極
部４ｃとで構成されている。また、この例で用いられる
静電誘導用電極４は、Ｔａを約５００ＯＡ厚でスパッタ
リング法により成膜した後、ホトリソエツチング法によ
り上述したパターンに形成したものである。

動作について説明する。印字信号が共通電極８ａと独立
電極８ｂを介して発熱抵抗体７に印加されると、発熱抵
抗体７は発熱し、保護絶縁層９ａを介して発熱抵抗体７
の上部に存在するインクを加熱する。発熱抵抗体７によ
って加熱された領域のインクは、粘度および表面張力が
低下して飛翔し易い状態となる。発熱抵抗体７への印字
信号に同期して、静電誘導用電極の主電極部４ａと図示
しない記録紙側に配置された対向電極との間にも印字信
号が与えられ、その電界により臨界飛翔状態になったイ
ンク単位が飛翔して記録紙に付着し、印字が行なわれる
。

このような印字機構においては、加熱と電界によるイン
クの飛翔、飛翔したインク領域へのインクの供給が適切
に行なわれないとドツト抜けが生じるという問題がある
。

その原因に大気解離現象が考えられる。上述した従来の
インクジェット記録ヘッドにおいては、インクを記録体
に吸引するため、静電誘導用電極と記録体を介して設け
られた対向電極間に電圧パルスを印加しなければならな
い。

しかし、上記パルス電圧値が、あまりに高い場合には、
静電誘導用電極と対向電極との間でしばしば大気解離現
象を引き起こし、上記高電圧パルスによるインクを吸引
するための静電場を一時的に弱め、インクの記録体への
到達を阻止するという画質欠陥を引き起こすことになる
。

また、インクが常温で高粘度のため、インク供給不足に
より、ドツト抜は等の画質劣化を生ずることがある。

特に、インク室をスリット構造とした場合には、隣接す
るビットの影響を受は易く、画像パターンによって、ド
ツト径が若干ばらついたり、ドツト抜けを起こしやすい
問題がある。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は、上述した問題点を解決するためになされたも
ので、ドツト抜けのない印字ができ、また、隣接ビット
との熱的なコントラストは十分に取りつつ、しかもイン
ク供給性のよい熱静電インクジェット記録ヘッドを提供
することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明は、２枚の基板により形成されるスリット状のイ
ンク室と、前記基板に配置される熱信号印加用の発熱抵
抗体と前記インク室内のインクに対して静電場を作用さ
せる静電誘導用電極とよりなる熱静電インクジェット記
録ヘッドにおいて、第１発明においては、前記静電誘導
用電極が絶縁層にて被覆されることを特徴とするもので
あり、第２発明においては、前記静電誘導用電極に対向
する基板に補助電極を設けたことを特徴とするものであ
り、第３発明においては、前記発熱抵抗体として、その
中途において、少なくとも２本以上の並列回路を形成す
るようパターニングされた発熱抵抗体を用いることを特
徴とするものである。

（作　用） 本発明は、２枚の基板により形成されるスリット状のイ
ンク室と、前記基板に配置される熱信号印加用の発熱抵
抗体と前記インク室内のインクに対して静電場を作用さ
せる静電誘導用電極とよりなる熱静電インクジェット記
録ヘッドにおいて、第１発明においては、前記静電誘導
用電極が絶縁層にて被覆されることにより、大気の解離
現象が抑制され、高圧パルス印加時の電圧降下がなく、
ドツト抜けのない印字ができるものである。

また、第２発明においては、前記静電誘導用電極に対向
する基板に補助電極を設けたことにより、静電誘導用電
極と対向電極間の電場によりインクに与えられる飛翔力
に対して、静電誘導用電極と補助電極間の電場による飛
翔力が重畳され、確実にインクを飛翔させることができ
るものである。

第３発明においては、前記発熱抵抗体として、その中途
において、少なくとも２本以上の並列回路を形成するよ
うパターニングされた発熱抵抗体を用いることにより、
中途より前方の抵抗体部分が主に隣接ビットの影響を受
けずにインク飛翔のトリガ形成部分となり、中途より後
方の抵抗体部分はインクの供給成向上のため広域にわた
ってインクを加熱する部分となり、熱的コントラストと
十分なインク供給ができるものである。

（実施例） 第１図は、本発明の一実施例を説明するためのインクジ
ェット記録ヘッドの一部を破断した斜視図、第２図は、
断面図である。図中、第８図と同様な部部には同じ符号
を付して説明を省略する。

この実施例においては、第８図における静電誘導用電極
４の上にスパッタリング法により５ｉＮＸを約５００Ｏ
Ａ成膜して、絶縁層１２を形成したものである。

静電誘導用電極を被覆する絶縁材料としては、電気的絶
縁をはかれるものであればどのようなものでもよいが、
発熱領域付近においては、耐熱性に優れた材料が望まし
い。そのようなものとして、無機材料では、ＳｉＯ□、
ＳｉＮｘ、５ｉＯＮ。

５ｉａｌｏｎ、Ａ１２０３　、ＳＩＣ等があげられる。

また、有機材料では、耐熱性の優れたポリイミド等を用
いることができる。

上述した実施例に対して、静電誘導用電極４に絶縁層が
被覆されず、インクジェットに静電誘導用電極４が露出
しているものを比較例として以下に示す同じ条件で印字
実験をした。

発熱抵抗体への印加エネルギー　０．２０Ｗ２．０ｍｓ 対向電極へ印加する電圧パルス　−２，４ｋｖ０．８ｍ
ｓ 対向電極と記録ヘッドとの間隔　０．２ｍｍ印字結果は
、比較例においては、印字すべき位置で印字できない現
象が発生したのにもがかわらず、この実施例においては
常に正確な印字をすることができた。

印字終了後の比較例の印字欠陥位置の表面電位を測定す
ると、約＋１００ＯＶの電位であった。

これは静電誘導用電極と対向電極間に−２，４ｋＶパル
スを印加しているとき、実際には約−１゜４ｋｖに電位
が落ちていることを意味し、このため、インクを吸引す
る力が減少し、印字不能となったものと考えられる。高
圧パルスの電位が落ちた原因としては、記録ヘッドと記
録体を介した対向電極間において、大気の解離現象が発
生したことによるものと理解される。

本発明においては、上記静電誘導用電極が絶縁体で被覆
されているため、上記解離現象が抑制され、高圧パルス
印加時の電圧降下がなく、常に正確に印字されているこ
とが確かめられた。

以上のように、この実施例では、インク室が形成される
ヘッド本体の構成部材である一方の絶縁成基板のインク
吐出部に対応した箇所に熱信号印加用の発熱抵抗体を画
素密度ごとに配列するとともに、各発熱抵抗体を絶縁層
で被覆し、この絶縁層上にインク室内のインクに対して
静電界を作用させるべく、静電誘導用電極を配設してな
るインクジェット記録ヘッドを前提とし、少なくとも発
熱抵抗体に対応した位置にある静電誘導用電極を絶縁層
にて被覆するものである。ヘッド本体としては、一部に
絶縁性基板を含んでスリット状のインクジェット室を形
成するものであれば適宜設計変更をすることができる。

インク吐８部としては、スリット状もしくは各画素密度
ごとに区画してノズルを形成するものであってもよい。

また、発熱抵抗体の素材、形状としては、所望の発熱特
性を有するものであれば適宜選択して差し支えなく、発
熱抵抗体への通電構造についても適宜の構造が採用でき
る。

第３図は、本発明の他の実施例を説明するためのインク
ジェット記録ヘッドの一部を破断した斜視図、第４図は
、その断面図である。図中、第８図と同様な部分には同
じ符号を付して説明を省略する。

この実施例においては、第８図における静電誘導用電極
４に対向して、補助電極１３を絶縁性基板２に設けたも
のである。したがって、発熱抵抗体７に印加される印字
信号に同期して、静電誘導用電極４ａに与えられる信号
は、補助電極１３にも与えられ、スリット３ａ内のイン
クに対して補助電極１３と静電誘導用電極４ａとの間に
も電界が発生される。補助電極１３を有する記録ヘッド
による印字は、次のようにして行なわれる。

印字信号に対応して発熱抵抗体を発熱させ、これと同時
に、または、順次に、静電誘導用電極４ａを基準電位と
して、対向電極に電圧パルスが印加され、補助電極１３
にも電圧パルスが印加される。

一般に、相異なる誘電率を有する誘電体には、その境界
面に平行な電場あるいは垂直な電場が印加されたとき、
どちらの場合にもその境界面には誘電率の高い物体から
低い物体へ向く力が作用する。上記ヘッド構成において
は、静電誘導用電極と対向電極間の電場がほぼインク境
界面に垂直な電場であり、また、静電誘導用電極と補助
電極間の電場がほぼかインク境界面に平行な電場に相当
する。したがって、静電誘導用電極と対向電極間の電場
によりインクに与えられる飛翔力に加えて、静電誘導用
電極と補助電極間の電場によりインクに与えられる飛翔
力が重畳されてインクを記録体へ飛翔せしめることがで
きるものである。

より具体的に一例を説明する。

スリットエツジから抵抗体先端までの距離を５０μｍに
設定し、対向板に形成する電極は静電誘導用電極材料と
同じくＷを用い、エツジから５０μｍの位置に線幅２０
０μｍの帯状にスリット方向へ延びて配置される。また
、スリットギャップは５０μｍに設定した。なお、ヘッ
ドと対向電極の距離は２００μｍである。

使用したインクは油性であり、その体積抵抗率は１０１
１Ωｃｍ、比誘電率は３．０である。また、室温時の表
面張力は、３０　ｄｙｎｅ／　ｃ　ｍ、粘度は１００ｃ
ｐｓである。

この記録ヘッドに対して、以下に示す条件で印字信号を
与えた。印字信号のタイミングは、第５図に示すように
、（Ａ）が発熱抵抗体への印加パルス、（Ｂ）が対向電
極への印加パルス、（Ｃ）が補助電極への印加パルスで
ある。

発熱抵抗体への印加エネルギー　　０．２０Ｗ２．０ｍ
ｓ 対向電極への印加パルス値　　　−１，５ｋＶ１．０ｍ
ｓ 補助電極への印加パルス値　　　−０，５ｋＶ１．０ｍ
ｓ この条件により、インクの飛翔が可能であり、常に安定
した印字を行なうことができた。

比較例として、対向板には電極を設置せず、対向電極ヘ
−２、４ｋ　Ｖ　、　　１　、０　ｍ　ｓを印加して、
上述したと同じ条件で印字を行なったが、比較例におい
ては、印字すべき位置で印字できない現象が発生した。

印字終了後の比較例の印字欠陥位置の表面電位を測定す
ると、約＋１００ＯＶの電位であった。

これは静電誘導用電極と対向電極間に−２，４ｋＶのパ
ルスを印加しているとき、実際には約−１゜４ｋＶに電
位が落ちていることを意味し、このためインクを吸引す
る力が減少し、印字不能となったものと考えられる。　
高圧パルスの電位が落ちた原因としては、記録ヘッドと
記録体を介した対向電極間において、大気の解離現象が
発生したことによるものと理解できる。

上述したように、対向板に補助電極を設け、インク材料
の比誘電率よりも大きいものを用い、対向電極と補助電
極に同極性の電圧パルスを加えることにより良好な印字
結果が得られた。

補助電極を設けることにより、対向電極と静電誘導用電
極間に印加する電位差を小さくすることが可能となり、
そのため、大気の解離現象に起因する画質欠陥を改善で
きるものである。

第６図は、本発明の他の実施例を説明するためのインク
ジェット記録ヘッドの一部を破断した斜視図、第７図は
、第６図の発熱抵抗体の平面図である。図中、第８図と
同様な部分には同じ符号を付して説明を省略する。

この実施例においては、発熱抵抗体が途中で２本並列に
なったものが用いられている。

さらに、この実施例では、発熱抵抗体の並列部の一部を
、スリット端部方向に延長し、隣接する発熱素子方向に
狭い寸法としたものであるが、寸法の配分は適宜でよい
。

具体的にその一例について説明する。

ヘッド本体の端部１４は、切断もしくは研磨されて平面
度を保つようになっており、発熱抵抗体７はヘッド本体
の端部１４から約３０μｍａｌれた位置に設定されてい
る。

この実施例において、上記発熱抵抗体７は、例えば窒化
タンタルＴａ、Ｎを反応性スパッタリング法により０．
２μｍの厚さに成膜し、さらに通電電極１２として、例
えば、Ｃｒを０．１μｍの厚さ、その上にＡ１を１．０
μｍの厚さに連続して成膜する。その後、フォトリソプ
ロセス、エツチングプロセスを繰り返すことにより所定
のパターンを形成するものである。

さらに、上記発熱抵抗体７および通電用電極８は絶縁層
９で被覆されているが、この絶縁層９は、例えば、ＲＦ
スパッタリング法により形成された約２μｍ厚の５ｉ０
２層を用いた。絶縁層９上には静電誘導用電極４が配設
されている。

この実施例においては、上記静電誘導用電極４は、発熱
抵抗体７の配設パターンに対応して設けられる主電極部
４ａと、各主電極部４ａからインク室４の深さ方向へ延
びる線幅の狭い連結用電極部４ｂと、各連結用電極部３
２の基端部に接続されて各連結用電極３２と直交する方
向へ延びる共通電極部３３とで構成されている。そして
、この実施例で用いられる静電誘導用電極４は、発熱抵
抗体と同じ窒化タンタルＴａ２Ｎを用い、厚さ０゜５μ
ｍとしたものである。

発熱抵抗体の形状の詳細を第７図に示す。ヘッド本体端
部１４に向かって１組の通電電極８の折り返し部分に配
設された発熱抵抗体７が途中、ヘッド端部１４方向に延
びた部分７ａとその逆方向の延びた部分７ｂに分かれ、
並列部分をなしている。寸法の一例は、 ヘッド端部１４と抵抗体の距離Ｌ１ ３０μｍ 抵抗体のヘッド端部方向に延びた部分Ｌ２１００μｍ 残りの抵抗体部分Ｌａ　　　　　　１００μｍ並列部分
の抵抗体の幅Ｗ　１　　　　３０μｍ抵抗体全体の幅ｗ
２　　　　　　９０μｍとした。

このときの抵抗値は１ビツト当たり５００Ωである。ま
た、静電誘導用電極４は、第７図において点線で示した
ように抵抗体全体を覆うようにパターン化されている。

この実施例に対して、効果を比較するため、比較例とし
て第７図における７ａの部分のないＭ形の抵抗体で、 Ｌ、＝３０μｍ Ｌ３＝　１９０　ｔｔｍ Ｗ２　＝　　６４μｍ のものを用いた。

印字条件として、 記録ヘッドと対向電極との間の距離 ２００μｍ 発熱抵抗体への印加エネルギー　　　０．２Ｗ２、Ｏｍ
ｓ 対向電極への印加パルス値　　　　２．４ｋＶＯ，８ｍ
ｓ とし、印字実験を行なった。

この実験結果によると、比較例にあっては、孤立ビット
を連続的に印字する場合には、印字ドツトＤの径寸法は
１３０±１０μｍ１隣接ビットを同時に印字する場合に
は印字ドツトＤの径寸法は１２０±１０μｍであり、繰
り返し周波数１５０Ｈｚを超えると、インク供給不足に
よるドツト抜は等の画質劣化が生じ易くなる。一方、こ
の実施例においては、隣接ビットの同時発熱の有無にか
かわらず、ドツト径１２５μｍ±５μｍ、繰り返し周波
数２００Ｈｚにおいても画質劣化が見られないなどの効
果が確認された。

第７図中の抵抗体７ａの部分は主に隣接ビットの影響を
受けずにインク飛翔のトリガ形成部分で、抵抗体７ｂの
部分はインクの供給成句上のため広域にわたってインク
を加熱する部分となる。

第７図中の抵抗体における幅を、Ｗ工くＷ２とすること
で、ヘッド端部７に近い側では隣接するビットとの熱的
コントラストが十分に得られ、逆に深い側ではＷ２が広
いことで十分なインク供給が実現できることがわかった
。

なお、発熱抵抗体の並列部は、２本のものについて説明
したが、それ以上であってもよい。

また、ヘッド本体としては、スリット状のインク室を有
し、しかも、発熱素子や静電誘導用電極を装備し得る構
造のものであれば、一対の平板状の絶縁性基板間にスペ
ーサ部を一体的に形成し、両者を接合させるようにする
等適宜設計変更して差し支えない。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ドツ
ト抜けのない美麗な印字のできる熱静電インクジェット
記録ヘッドを提供できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を説明するためのインクジ
ェット記録ヘッドの一部を破断した斜視図、第２図は、
その断面図、第３図は、本発明の他の実施例を説明する
ためのインクジェット記録ヘッドの一部を破断した斜視
図、第４図は、その断面図、第５図は、印字信号の一例
の説明図、第６図は、本発明の別の実施例を説明するた
めのインクジェット記録ヘッドの一部を破断した斜視図
、第７図は、第６図の発熱抵抗体の平面図、第８図は、
従来のインクジェット記録ヘッドの一部を破断した斜視
図である。 １．２・・・絶縁性の基板、３・・・インク室、４・・
・静電誘導用電極、５・・・グレーズ層、６・・・熱エ
ネルギー印加手段、７・・・発熱抵抗体、８・・・通電
用電極、９・・・絶縁層、１０・・・スルーホール部、
１１・・・共通導電層、１２・・・絶縁層、１３・・・
補助電極。 特許出願人　富士ゼロックス株式会社

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）２枚の基板により形成されるインク室と、前記基
   板に配置される熱信号印加用の発熱抵抗体と前記インク
   室内のインクに対して静電場を作用させる静電誘導用電
   極とよりなる熱静電インクジェット記録ヘッドにおいて
   、前記静電誘導用電極が絶縁層にて被覆されることを特
   徴とする熱静電インクジェット記録ヘッド。
2. （２）２枚の基板により形成されるインク室と、前記基
   板に配置される熱信号印加用の発熱抵抗体と前記インク
   室内のインクに対して静電場を作用させる静電誘導用電
   極とよりなる熱静電インクジェット記録ヘッドにおいて
   、前記静電誘導用電極に対向する基板に補助電極を設け
   たことを特徴とする熱静電インクジェット記録ヘッド。
3. （３）２枚の基板により形成されるインク室と、前記基
   板に配置される熱信号印加用の発熱抵抗体と前記インク
   室内のインクに対して静電場を作用させる静電誘導用電
   極とよりなる熱静電インクジェット記録ヘッドにおいて
   、前記発熱抵抗体として、その中途において、少なくと
   も２本以上の並列回路を形成するようパターニングされ
   た発熱抵抗体を用いることを特徴とする熱静電インクジ
   ェット記録ヘッド。