JPH0393899A - 洗浄剤および洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は洗浄剤および洗浄方法に関し、さらに詳細には
、半導体製造工程で使用される基板等の洗浄に有効な洗
浄剤および洗浄方法に関する。

〔従来の技術〕

ＩＣやＬＳＩ等の半導体の製造に用いられるウエハー等
の基板、フォトリソグラフィー工程で使用されるマスク
やレチクルおよびその前關体とし？の石英基板等の基板
、ペリクルを製造する際に使用されるガラス基板等の基
板、ならびに光ディスクの製造に用いるスタンパーの製
造に使用される基板などは、その性質上極めてきれいに
洗浄されている必要がある。

上記のような基板の洗浄方法としては、従来、洗剤水溶
液や超純水中に基板を浸して超音波振動で基板に付着し
ている異物を除去する方法、洗剤水溶液や超純水を用い
てＰＶＡ発泡体等のブラシでこすり洗いする方法、ある
いはＨ２Ｓｏ４−Ｈ２０■、ＮＨ，ＯＨ−Ｈ，０■等の
溶液中に基板を浸して酸化反応で有機物を除去する方法
などにより大部分の汚れを除去した後、イソプロパノー
ルまたはフロン等の洗浄溶媒蒸気中に基板を置き、基板
表面で蒸気を凝縮させて基板表面を洗い流し、基板の温
度が蒸気の温度と等しくなった時点で乾燥状態となる蒸
気洗浄乾燥法が広く用いられている。

しかし、上記の蒸気洗浄乾燥法でイソプロパノールを用
いた場合、インプロパノールが可燃性であるため、洗浄
工程中に火災、爆発等の事故が発生しやすいという問題
点がある。また、フロンは、近年代替物の使用が望まれ
ている。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明の目的は、フロンを使用せず、安全でかつイソプ
ロパノールやフロンを使用した時と同等あるいはそれ以
上の洗浄乾燥性が得られる洗浄剤および洗浄方法を提案
することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明者らは不燃性で、かつ自然界で分解可能な洗浄溶
媒を探索した結果、五フッ化プロパノールがその条件を
満たすことを発見し、本発明を完成した。

すなわち、本発明は次の洗浄剤および洗浄方法である。

（１）五フッ化プロパノールおよび五フッ化プロパノー
ルと混和可能な他の溶媒の混合溶媒からなる洗浄剤。

（２）被洗浄物を，五フッ化プロパノールおよび五フッ
化プロパノールと混和可能な他の溶媒の混合溶媒の蒸気
中に入れて洗浄することを特徴とする洗浄方法。

本発明において洗浄方法の対象となる被洗浄物としては
，五フッ化プロパノールに対して安定なものからなるも
のであれば特に限定されないが、特に基板の洗浄に適し
ている。基板としては、例えばガラス，石英またはこれ
らの表面にクロム等を蒸着させて被膜を形成したもの、
樹脂、あるいはこれらの上に回路パターン等を有してい
るものなどをあげることができる。このような被洗浄物
として具体的には，半導体の製造に用いられるウエハー
等の基板、フォトリソグラフィー工程で使用されるマス
クやレチクルおよびその前廓体としての石英基板等の基
板、ペリクルを製造する際に使用されるガラス基板等の
基板，ならびに光ディスクの製造に用いるスタンパーの
製造に使用される基板などをあげることができる。

本発明において洗浄剤として使用する五フツ化プロパノ
ールは第１表に示す分子式を有し、不燃性であり、洗浄
乾燥工程での火災、爆発等の危険がなく、無毒であり、
かつ自然界において分解するため大気中に拡散しても環
境問題を誘発する心配はない。五フッ化プロパノールの
諸物性を第１表に示す。

第　　ｌ　　表 本発明の洗浄剤を構成する他の溶媒としては、五フッ化
プロパノールと混和可能な溶媒（ハロゲン化炭素水素を
除く）であればよいが，水，アルコール類、エーテル類
、エステル類、ケトン類、炭化水素類などを使用するこ
とができる。

アルコール類としては、メタノール、エタノール、プロ
パノール、イソプロパノール、ブタノール，インブタノ
ール、ｓｅｃ−ブタノール、ｔｅｒｔ−ブタノール、エ
チレングリコール、プロピレングリコール、トリメチレ
ングリコール、１，２−ブタンジオール、１．３−ブタ
ンジオール、１，４−ブタンジオール、２，３−ブタン
ジオール、インブチレングリコール、ベンジルアルコー
ル、シンナミルアルコール，シクロペンタノール、シク
ロヘキサノール等が例示できる。

エーテル類としては、プロビルエーテル、ブチルエーテ
ル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテル，エチレングリコールジ
エチルエーテル、ジオキサン等が例示できる。

エステル類としては、酢酸メチル、酢酸エチル，酢酸ｎ
−プロビル、酢酸イソプロビル、酢酸ｎ−ブチル，酢酸
イソブチル、酢酸第二ブチル等が例示できる。

ケトン類としては、ジメチルケトン、エチルメチルケト
ン、ジエチルケトン、メチルプロピルケトン、イソプロ
ビルメチルケトン、プチルメチルケトン、エチルプロピ
ルケトン、イソブチルメチルケトン、メチルーｎ−へキ
シルケトン、メチルーｎ−アミルケトン、エチル一〇一
プチルケトン、ジーｎ−プロビルケトン、ジイソブチル
ケトン、ジメチルオキシド、ホロン、イソホロン、シク
ロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、アセトフェノ
ン等が例示できる。

炭化水素類としてはヘキサン、ヘプタン、オクタン、ベ
ンゼン，トルエン、エチルベンゼン、プロビルベンゼン
、イソプロビルベンゼン、ｎ−ブチルベンゼン、イソブ
チルベンゼン．　ｓｅｅ−ブチルベンゼン、ｔａｒｔ−
ブチルベンゼン、キシレン、エチルメチルベンゼン，ジ
エチルベンゼン、シクロヘキサン等が例示できる． 特に後述する蒸気で洗浄する場合には、五フッ？プロパ
ノールの沸点より高い沸点を有する溶媒を混合するのが
望ましい。

五フッ化プロパノールと他の溶媒との混合割合は、洗浄
対象、洗浄方法等により異なるが，一般的には重量比で
５０％以上が五フッ化プロパノールであることが望まし
い。可燃性の溶媒は火災等の危険性のない範囲とするの
が好ましい。

本発明の洗浄剤による洗浄方法は、洗浄剤中に被洗浄物
を浸漬したり、被洗浄物に洗浄剤をスプレーしたりする
方法など、一般の洗浄方法が採用できるが，特に洗浄剤
の蒸気中に被洗浄物を入れて被洗浄物表面を洗浄した後
乾燥させる方法が好ましい。

その具体的な洗浄方法としては、従来法と同様に、洗剤
水溶液や超純水中に被洗浄物を浸して超音波振動で被洗
浄物に付着している異物を除去する方法、洗剤水溶液や
超純水を用いてＰＶＡ発泡体等のブラシでこすり洗いす
る方法、あるいはＨ２Ｓ０４−８２０，、ＮＨ４０１｛
−Ｈ，Ｏ■等の溶液中に被洗浄物を浸して酸化反応で有
機物を除去する方法などの前処理法により大部分の汚れ
を除去した後、本発明の洗浄剤の蒸気中に被洗浄物を置
き、被洗浄物表面で蒸気を凝縮させて被洗浄物表面を洗
い流し、被洗浄物の温度が蒸気の温度と等しくなった時
点で乾燥状態となり，洗浄乾燥を終る。

以下、本発明の洗浄方法の好ましい例を図を用いて説明
する。

第１図は蒸気洗浄乾燥装置ｌの概念図であり、２は洗浄
槽、３はヒーター、４は洗浄剤、５は被洗浄物としての
基板、６は熱媒、７は冷却水、８は支持体である。洗浄
槽２はヒーター３により熱媒６が加温されることにより
洗浄剤４が蒸発して、その蒸気により満たされる。この
ような洗浄槽２に前処理を行った基板５が置かれると、
基板５の温度は洗浄剤４の蒸気の温度より低いため、基
板５の表面上に洗浄剤４が凝縮して液化する。この液化
した洗浄剤４により基板５表面が洗い流されて洗浄され
る。

その後、基板５の温度が上昇するとともに凝縮する洗浄
剤４の量が減少し、基板５の温度と洗浄剤４の蒸気の温
度が等しくなった時点で凝縮は起らなくなり，基板５は
乾燥状態となる。洗浄剤４の蒸気は冷却水７により、洗
浄槽２からの散逸が防止される。

このようにして洗浄乾燥された基板５表面には洗浄剤は
残留しない。また、洗浄後の乾燥にかがる時間も短く、
短時間で乾燥することができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば，洗浄剤として五フッ化プロパノールお
よび他の溶媒からなる混合溶媒を使用するようにしたの
で、五フッ化プロパノール単独の場合より優れた洗浄力
が得られる。またフロンを全く使用せず、従来の方法に
おいてイソプロパノールを洗浄溶媒として用いた場合に
問題となる火災や爆発の危険を回避でき、さらに従来の
方法と同等あるいはそれ以上の洗浄乾燥性で被洗浄物の
洗浄乾燥を行うことができる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例について説明する。

実施例１ 洗浄剤として五フッ化プロパノール９０重量％およびイ
ソプロパノールｌＯ重量％の混合溶媒を用いてレチクル
用のガラス基板の洗浄＠燥を行い、基板の洗浄乾燥状態
および水切れ状態を目視して観察した。なお、上記混合
溶媒を用いた洗浄乾燥に先立ち、基板の予備洗浄として
硫酸洗浄（１２０℃×５分）→水洗（５分）→水超音波
洗浄（３分）を行った。結果を第２表に示す。

比較例１および２ 洗浄剤としてイソプロパノール（比較例１）またはフロ
ン（比較例２）を用いて実施例１と同様にして行った。

結果を第２表に示す。

第２表 の混合溶媒が、従来のインプロパノールまたはフロンと
比較して、同等またはそれ以上の乾燥性および非残留性
を有していることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図は蒸気洗浄乾燥装置の概念図であり、１は蒸気洗
浄乾燥装置、２は洗浄槽、３はヒーター４は洗浄剤、５
は基板、６は熱媒、７は冷却水、８は支持体を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）五フッ化プロパノールおよび五フッ化プロパノー
   ルと混和可能な他の溶媒の混合溶媒からなる洗浄剤。
2. （２）被洗浄物を、五フッ化プロパノールおよび五フッ
   化プロパノールと混和可能な他の溶媒の混合溶媒の蒸気
   中に入れて洗浄することを特徴とする洗浄方法。