JPH0385782A

JPH0385782A - パルスレーザ発生装置

Info

Publication number: JPH0385782A
Application number: JP22172789A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Mogi; 茂木　茂
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-08-30
Filing date: 1989-08-30
Publication date: 1991-04-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、高繰返しのパルスレーザ発生装置に関するも
ので、特に、放電ギャップ部の絶縁と、急峻波パルス電
流を発生する手段に改良を施したパルスレーザ発生装置
に係る。

（従来の技術）近年、Ｃ０２レーザ、エキシマレーザ、銅蒸気レーザ等
の各種高繰返しパルスレーザ発生装置の開発に伴い、実
用化及び汎用化の観点から、レーザ発生装置の一層の小
形化、高性能化が要求されている。

第２図にこの様な高繰返しのパルスレーザ発生装置の一
例を示した。即ち、高圧側支持板３に取付けられた高圧
側主電極２と、低圧側支持板６に取付けられた低圧側主
電極５とが、一定の間隔を保って対向して配設されてい
る。また、前記支持板３，６は図示していない容器に固
定されている。

さらに、前記主電極２．５の両側には多数のピーキング
コンデンサ４ａ、４ｂが配設され、その−端は前記支持
板３．６に固定されている。また、他端には予備電離電
極７が取付けられ、その先端部が前記主電極２，５の両
側面に位置するように配設されている。そして、」二記
の様なパルスレーザ発生装置が気密容器（図示せず）内
に収納され、その気密容器内にはＣｏ２．Ｈ２，Ｈｅ等
の混合ガス１０が封入されている。また、前記混合ガス
１０は流路のガイドとなる風洞８，９と主電極２゜５間
を通って、気密容器内に配設された冷却器（図示せず）
に戻るように構成されている。

この様に構成された従来のパルスレーザ発生装置におい
て、図示していない外部電源から高圧線１を介してパル
ス状の高電圧を印加すると、予備電離電極７の放電によ
って、主電極２，５間に予備電離作用が生じると共に、
ピーキングコンデンサ４ａ、４ｂの電圧上昇に伴って主
電極２，５間の電圧も」二昇し、この値が主電極２，５
間のギャップ長及び容器内の混合ガスの圧力に応じて決
まる一定電圧に達すると、ピーキングコンデンサ４ａ、
４ｂに蓄えられた電荷が主電極２．５に注入され、グロ
ー放電が発生する。このグロー放電によりレーザガス（
混合ガス）が励起され、レーザ発振が起り、光共振器（
図示せず）によってレーザ光を取出すことができる。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、第２図に示した様な従来のパルスレーザ
発生装置には、以下に述べる様な解決すべき課題があっ
た。即ち、ピーキングコンデンサ４ａ、４ｂに蓄えられ
た電荷は、予備電離電極７の放電中に、ピーキングコン
デンサ４ａ〜高圧側支持板３〜高圧側主電極２〜低圧側
主電極５〜低圧側支持板６〜ピーキングコンデンサ４ｂ
の回路で放電される。そして、この放電で高周波のパル
ス電流を得るものであるが、高繰返し高周波パルス電流
を得るには、回路中のインダクタンスＬをできるだけ小
さくする必要があり、そのためには、主電極２，５とピ
ーキングコンデンサ４ａ、４ｂ間の距離をできるだけ小
さくすることが必要である。つまり、支持板３，６を回
る回路長をいかに短くし、回路のインダクタンスＬを低
下させることができるかが重要なポイントである。しか
し、主電極２．５とピーキングコンデンサ４ａ、４ｂの
一端の間には、主電極２，５の電位差の約１／２の電位
差があるため、所定の絶縁距離１１を設ける必要があり
、回路長が長くなっていた。そのため、高周波のパルス
電流を得ることができなかった。　本発明は、以上の欠
点を解消するために提案されたもので、その目的は、放
電回路のインダクタンスを低減させ、高周波パルス電流
を発生することのできるパルスレーザ発生装置を提供す
ることにある。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明は、容器内に２つの主電極を対向して配置し、こ
の主電極の側方にピーキングコンデンサ及びガスレーザ
媒質を主電極間に送るための風洞を配設し、このコンデ
ンサに予備電離電極を接続して、コンデンサに蓄えられ
た電荷を予備電離電極を介して主電極間で繰返し放電さ
せることにより、パルスレーザ出力を発生させるパルス
レーザ発生装置において、ピーキングコンデンサの一端
を主電極の側面部に直接横向きに取付け、他端を予備電
離電極に接続したことを特徴とするものである。

（作用）本発明のパルスレーザ発生装置によれば、主電極の側面
部にピーキングコンデンサを直接取付けたことによって
、放電回路長を短くすることができ、その結果、回路中
のインダクタンスを小さ（することができる。

（実施例）以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて具体的に説
明する。なお、第２図に示した従来型と同一の部材には
同一の符号を付して、説明は省略する。

本実施例においては、第１図に示した様に、主電極２，
５の側面部にピーキングコンデンサ４ａ。

４ｂの一端を直接取付け、ピーキングコンデンサ４ａ、
４ｂの他端は予備電離電極７を支持するために配設され
た支持部組２０を介して予備電離電極７に接続されてい
る。

この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ発生装置
においては、ピーキングコンデンサ４ａ。

４ｂに蓄えられた電荷は、予備電離電極７の放電中、ピ
ーキングコンデンサ４ａ〜高圧側主電極２〜低圧側主電
極５〜ピーキングコンデンザ４ｂの回路で放電する。こ
の放電過程で主電極２，５間でグロー放電が発生し、レ
ーザガス（混合ガス）が励起される。即ち、ピーキング
コンデンサ４ａ。

４ｂの一端は、主電極２，５と同電位であり、他端は電
位差があることを利用して、同電位である一端を主電極
と接続し、他端をコンデンサ独自の絶縁距離を利用して
絶縁距離を確保するように構成されている。

この様に、」二記の放電回路は、第２図に示した従来型
における放電回路に比べ、高圧側支持板３及び低圧側支
持板６を繰出しない分だけ短くなる。

その結果、」二記の放電回路には、インダクタンスの小
さくなった分だけ立上がりの早いパルス電流が流れるの
で、高繰返しのパルスレーザ発生装置の出力発生効率を
向上させることができる。また、ピーキングコンデンサ
４ａ、４ｂと主電橋２．５間の絶縁距離１１を不要とす
ることができるので、合理的な絶縁構成となる。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、主電極の側方に配設されるピーキングコンデンサが
いずれか一方だけの構成のものである場合にも適用でき
、また、主電極間のギャップ長、混合ガスの種類、予備
電離方法等は特に限定されない。

［発明の効果］以上述べた様に、本発明によれば、ピーキングコンデン
サの一端を主電極の側面部に直接横向きに取付け、他端
を予備電離電極に接続するという簡単な手段によって、
放電回路のインダクタンスを低減させ、高周波パルス電
流を発生することのできるパルスレーザ発生装置を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のパルスレーザ発生装置の一実施例を示
す断面図、第２図は従来のパルスレーザ発生装置の一例
を示す断面図である。１・・・高圧線、２・・・高圧側主電極、３・・・高圧
側支持板、４ａ、４ｂ・・・ピーキングコンデンサ、５
・・・低圧側主電極、６・・・低圧側支持板、７・・・
予備電離電極、８，９・・・風洞、１０・・・混合ガス
、１１・・・絶縁距離、２０ａ、２０ｂ・・・支持部材
、２１・・・絶縁距離。

Claims

【特許請求の範囲】ガスレーザ媒質を封入した容器内に、２つの主電極を対
向して配置し、この主電極の側方にピーキングコンデン
サ及び前記ガスレーザ媒質を主電極間に送るための風洞
を配設し、このピーキングコンデンサに予備電離電極を
接続して、ピーキングコンデンサに蓄えられた電荷を予
備電離電極を介して主電極間で繰返し放電させることに
より、パルスレーザ出力を発生させるパルスレーザ発生
装置において、前記ピーキングコンデンサの一端を主電極の側面部に直
接横向きに取付け、他端を予備電離電極に接続したこと
を特徴とするパルスレーザ発生装置。