JPH0384482A - 半導体装置の試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 半導体装置の試験装置に関し、 ポゴピンの端子部を傷めないようにし、かつ被試験物を
位置決めするガイドの磨耗を防ぐことを目的とし、 固定台と、被試験物が吸引保持される吸着手段を有する
上蓋と、前記固定台に面一に内設され、かつ上蓋に弾接
する可動台と、前記可動台と固定台との夫々の表面に連
設されたガイドと、前記固定台の一方のガイドに滑動可
能に挟持された押出部材と、前記固定台の他方のガイド
に着脱自在に挟持されたスティックと、前記可動台の表
面の、被試験物の複数個のパッドの夫々に対応した位置
に設けられた孔と、前記固定台の底部に植立され、かつ
孔に挿通自在なポゴピンとを有し、前記可動部が上蓋に
押下されて、孔から突出したポゴピンが、被試験物のパ
ッドと接触するように構威し、また、上蓋に設けられた
吸着手段が、上蓋の開いた状態では、被試験物を常に吸
引保持し、上蓋が閉じると同時に保持していた該被試験
物を開放するように構成し、さらに、上蓋が固定台に開
閉自在に枢支され、前記上蓋の開閉に連動して回動する
伝達手段と、その伝達手段に追動して円弧状に移動する
レバーとによって、押出部材が直線移動し、前記上蓋が
開く方向に動いたとき、押出部材が被試験物をスティッ
ク内に搬送させるように構成する。

〔産業上の利用分野］ 本発明は、半導体装置の試験装置に係わり、特にＬＣＣ
の自動試験装置に関する。

近年、モノリシック型、あるいはハイブリッド型の集積
回路（ＩＣ）を大規模集積化した、いわゆるＬＳＩの進
展は目ざましく、１チツプ内に集積される素子数は、メ
モリ素子の容量で見て数年単位で４倍に拡大しており、
しかも、あらゆる分野に浸透している。

一般に、ＩＣなどの電子デバイスは、設計が適切で、製
造工程の管理が行き届いても、若干の欠陥品が混入する
ことがあり、特に集積度の大きなＬＳＩにおいては避け
られない。

従って、ＬＳＩの信頼性は益々重要性を増しており、半
導体装置の幾つかに分けられる製造工程の中の最後の検
査工程は、生産性向上のためばかりでなく、欠陥品が製
品の中に混入して障害が起ることを回避する製造者の義
務としても非常に重要な工程となっている。

一方、高集積化に伴ってパッケージも多種多様となり、
検査工程においてはこの多種多様なパッケージに対して
、どのように効率よく対応できるかが課題となっている
。

特に、Ｌ　ＣＣ（Ｌｅｅｄｌｅｓｓ　Ｃｈｉｐ　Ｃａｒ
ｒｉｅｒ）形態のパッケージに対して、効率的に対応で
きる試験装置の開発が要請されている。

〔従来の技術〕

第６図は従来のＬＣＣ用の試験装置の一例である。

図において、従来の試験装置は、支持盤２０と、支持盤
２０の凹部１５に設けられ、先端の端子が弾発的に引っ
込む構成になる複数本の、いわゆるポゴピン１１と、被
試験物２を支持盤２０の上の所定の位置に位置決めする
ガイド６と、その被試験物２を押下する押さえ部材２１
とからなっている。

試験が高温試験の際には、押さえ部材２１に加熱手段が
仕組んである。

この従来の試験装置においては、ポゴピン１１の、例え
ば数百μｍφのＡｕ製の先端が剥き出しになっている。

そして、この細いポゴピン１１の先端に手作業によって
被試験物２のパッド９を乗せ、押下して導通を取って測
定を実施している。

従って、被試験物２の位置がほんの少々ずれても、ポゴ
ピン１１の先端を傷めてしまう。

また、ガイド６に嵌めるとき位置ずれがあると、ガイド
６と被試験物２の側壁とが擦れ、被試験物２が膨大な数
になるので、繰り返し繰り返し擦れるとガイド６がだん
だん磨耗し、位置決め精度が悪くなってくる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上で述べたように、従来の試験装置においては、ポゴピ
ンが剥き出しに配置されているので、被試験物の位置を
ガイドに合わせて押下した際に、少々位置ずれがあって
も被試験物のパッドがポゴピンの先端を傷めてしまう。

また、被試験物をガイドに嵌めるときにも、被試験物の
パッケージの側面とガイドとが擦れるとガイドが磨耗し
てしまう。

そして遂には、ポゴピンの損傷とか、ガイドの磨耗とか
によって、被試験物のパッドとポゴピンとの接触不良が
間々起こる。

そのために、調整に工数を要したり、何回も試験をやり
直したりといった検査工程の効率を著しく損なう問題が
あった。

本発明は、ポゴピンが剥き出しになることを防ぐ一方、
できるだけ手作業を自動化し、安定に再現性よく検査が
できる試験装置を提供することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上で述べた課題は、 固定台と、 被試験物が吸引保持される吸着手段を有する上蓋と、 前記固定台に面一に内設され、かつ上蓋に弾接する可動
台と、 前記可動台と固定台との夫々の表面に連設されたガイド
と、 前記固定台の一方のガイドに滑動可能に挟持された押出
部材と、 前記固定台の他方のガイドに着脱自在に挟持されたステ
ィックと、 前記可動台の表面の、被試験物の複数個のパッドの夫々
に対応した位置に設けられた孔と、前記固定台の底部に
植立され、かつ孔に挿通自在なポゴピンとを有し、 前記可動部が上蓋に押下されて、孔から突出したポゴピ
ンが、被試験物のパッドと接触するように構成された半
導体装置の試験装置、 また、 上蓋に設けられた吸着手段が、上蓋の開いた状態では、
被試験物を常に吸引保持し、上蓋が閉じると同時に保持
していた該被試験物を開放するように構成された半導体
装置の試験装置、さらに、 上蓋が固定台に開閉自在に枢支され、該上蓋の開閉に連
動して回動する伝達手段と、その伝達手段に追動して円
弧状に移動するレバーとによって、押出部材が直線移動
し、 該上蓋が開く方向に動いたとき、 押出部材が被試験物をスティック内に搬送させるように
構成された半導体装置の試験装置によって遠戚される。

（作　用〕 上で述べたように、ポゴピンが、常時剥き出しになって
おり、そのポゴピンの細い端子の上に、ガイドを頼って
ＩＣのような被試験物を乗せ、ポゴピンとパッドとの導
通を取って試験を行う従来の試験装置に替わって、本発
明においては、ポゴピンの先端の端子が常時外に剥き出
しにならないようにしている。

すなわち、押下すれば弾発的に降下する可動台を設け、
植立したポゴピンに対応して可動台に孔が明けてあり、
ポゴピンはその孔の中に常時引っ込んでいるようにして
いる。

一方、開いているときには、被試験物を所定の位置に真
空吸着して保持した上蓋が、可動台に当接すると吸着保
持が解けるとともに、被試験物が上蓋によって可動台の
所定の位置に載置されるようにしている。

そして、可動台が上蓋によって上から押下されて降下す
ると、ポゴピンの先端の端子が孔から突出して被試験物
のパッドと導通が取れ、そこで試験が行えるようにして
いる。

さらに、上蓋が、開閉する動作に連動して回動する伝達
手段とレバーとによって、押出部材を直線運動させ、試
験が終了した被試験物をスティックの中に搬送するよう
にしている。

このようにして、本発明によれば、被試験物の位置合わ
せのためのガイドが擦り減るのを防いだり、ポゴピンの
先端の端子を保護したりすることができる。

〔実施例〕

第１図は本発明の詳細な説明する斜視図、第２図は第１
図の動作前のＡ矢視断面図、第３図は第１図の動作中の
Ａ矢視断面図、第４図は押出部材の動作を説明する斜視
図、第５図は第４図の一部拡大斜視図である。

第１図において、固定台１には凹部１５が設けられ、そ
の凹部１５の中に可動台５を面一に組み込まれている。

また、固定台１と可動台５とを跨いでガイド６を設け、
固定台１の一方のガイド６には、押出部材７が滑動可能
に、他方のガイド６には、スティック８が着脱可能に取
り付けられている。

一方、固定台１の一辺には、上蓋４を開閉自在に枢支し
、その上蓋４には保持部材４１が着脱可能に取り付けら
れている。

この保持部材４１には、被試験物２の位置決めを行うた
めの保持部４２を設け、その保持部４２の中央付近には
、被試験物２を真空吸着するための吸引口３１を開口し
、この吸引口３１と、上蓋４に設けた吸引調整ボタン３
２とによって吸着手段３が構成され、真空吸引装置３３
に連結されている。

さらに、保持部材４１には、上蓋４が閉じたとき固定台
１に突設したガイド６を逃げるガイド溝４３を設け、保
持部材４１に当接した可動台５が下方に押し込まれるよ
うにしている。

第２図において、上蓋４に吸着された被試験物２のバッ
ド９の位置に対応して、可動台５には、ポゴピン１１が
緩く挿通できる大きさの孔１０を設けている。

また、可動台５の下面には、円柱状の脚５１と突起５２
とを設けている。

一方、固定台１の凹部１５の底部には、孔１０に対応し
た位置にポゴピン１１を植立させ、可動台５が所定の上
の位置にあるときは、孔１０からポゴピン１１の先端が
顔を出さないようになっている。

そして、可動台５が保持部材４１によって押し込まれた
とき、突起５２が凹部１５の底に突き当たって止まると
、丁度ポゴピン１１の先端の端子が孔ＩＯから顔を出す
ようになっている。

また、凹部１５の底には、可動台５の脚５１が嵌め込ま
れるシリンダ１６を設け、そのシリンダ１６の底にばね
１７を入れて、可動台５を上方向に押し上げるように弾
付勢となしている。そして、固定台１と可動台５とが面
一になったところで停止するようになっている。

さらに、上Ｍ４が開いていて吸引調整ボタン３２が飛び
出ているときには、真空吸引装置３３によって吸引口３
１から吸引が行われて被試験物２が吸着保持され、上蓋
４が閉じていて吸引調整ボタン３２が押し込まれている
ときには、吸引が止まって被試験物２が保持を解かれ、
可動台５の上に残るようになっている。

第３図において、上Ｍ４が可動台５に当接すると、吸引
調整ボタン３２が押し込まれて被試験物２の吸着は停止
するが、被試験物２は上蓋４と可動台５との間に挟持さ
れて保持され、バッド９が丁度孔１０の出口を蓋したよ
うに位置する。

こ＼で、上蓋４をどんどん押し下げていくと、可動台５
が降下するとともに、ポゴピン１１が孔１０から顔を出
すように相対的に上に突き出て、孔１０の出口を塞いで
いる被試験物２のバッド９に接続する。このポゴピン１
１は、例えばＩＣテスタに接続されて、被試験物２の各
種試験が行われる。

試験が終了したあとは、上蓋４を持ち上げると、吸引調
整ボタン３２が飛び出して吸引動作が始まるが、被試験
物２を放してしまうまで動作しないように吸引調整ボタ
ン３２の高さを調整しであるので、被試験物２は可動台
５の上のガイド６の間に残される。

第４〜５図において、固定台１に上蓋４を枢支している
軸１４が上蓋４の開閉に連動して回動するようになって
いる。

この軸１４の回動に追動して２つのかさ歯車からなる伝
達手段１２が駆動され、レバー１３を水平方向で円弧状
に振らせる。

このレバー１３の先端が、押出部材７に設けた溝１５に
滑動自在に嵌合しており、レバー１３の円弧状の動きを
押出部材７のガイド６に沿って直線運動に変換させてい
る。この運動は、上蓋４が閉まるときには、押出部材７
が外側の方向に逃げるように移動し、上蓋４が開くとき
には、押出部材７が内側の方向に、つまり、被試験物２
をスティック８の中に押し込むように動く。

従って、試験が終わって上蓋４が開くと、自動的に試験
の終わった被試験物２が押し出されてスティック８の中
へ格納される。

こうして、本発明になる試験装置によって、上蓋４の保
持部４２に被試験１１Ｊ２であるＬＣＣのＩＣの試験を
、従来の手作業を自動化して、円滑に実施できることが
確認できた。

こ＼では、固定台１に対して上蓋４を枢支したが、固定
台１の上から平行に降下する構成でもよく、押出部材７
の駆動機構に対しても、種々の変形が可能である。

また、上蓋４に取り付ける保持部材４１と可動台５とを
種々入れ換えれば、特にパッド９の数や配列の異なる種
々のパッケージに対応でき、上Ｍ４に加熱手段を組み込
むこともできることはいうまでもない。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明になる試験装置によ２ば、予
め上蓋の所定の位置に被試験物を保持してから可動台に
当接させ、そのあと可動台を押し込んでポゴピンの先端
の端子を突出させる構成となっている。

それで、従来の試験装置において、被試験物を位置決め
するガイドが磨耗してしまったり、ポゴピンの端子部分
を傷めてしまったりすることが皆無となる。

さらに、被試験物の搬送に対しても自動化が容易に実現
できる。

従って、本発明は、ＬＣＣタイプのＩＣの試験工程の効
率化に大きく寄与できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細な説明する斜視図、第２図は第１
図の動作前の断面図、 第３図は第１図の動作中の断面図、 第４図は押出部材の動作を説明する斜視図、第５図は第
４図の一部拡大斜視図、 第６図は従来のＬＣＣ用の試験装置の一例、である。 図において、 １は固定台、　　　　　２は被試験物、３は吸着手段、
　　　　　４は上蓋、 ５は可動台、　　　　　　６はガイド、７は押出部材、
　　　　　８はスティック、９はパッド、　　　　　　
１０は孔、 １１はポゴピン、　　　　１２は伝達手段、である。 一部 、１） １ 本祭明ｆ）與橙例友説明↑３軒視図 慕１面 第１図の動作前の断面図 第２図 第１図の動炉中の断面図 押出部材の動ず答友説明すう斜視図 箒４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）固定台（１）と、 被試験物（２）が吸引保持される吸着手段（３）を有す
   る上蓋（４）と、 前記固定台（１）に面一に内設され、かつ前記上蓋（４
   ）に弾接する可動台（５）と、 前記可動台（５）と前記固定台（１）との夫々の表面に
   連設されたガイド（６）と、 前記固定台（１）の一方の前記ガイド（６）に滑動可能
   に挟持された押出部材（７）と、 前記固定台（１）の他方の前記ガイド（６）に着脱自在
   に挟持されたスティック（８）と、 前記可動台（５）の表面の、前記被試験物（２）の複数
   個のパッド（９）の夫々に対応した位置に設けられた孔
   （１０）と、 前記固定台（１）の底部に植立され、かつ前記孔（１０
   ）に挿通自在なポゴピン（１１）とを有し、前記可動部
   （５）が前記上蓋（４）に押下されて、前記孔（１０）
   から突出した前記ポゴピン（１１）が、前記被試験物（
   ２）のパッド（９）と接触することを特徴とする半導体
   装置の試験装置。 ２）上蓋（４）に設けられた吸着手段（３）が、該上蓋
   （４）の開いた状態では、被試験物（２）を常に吸引保
   持し、該上蓋（４）が閉じると同時に保持していた該被
   試験物（２）を開放することを特徴とする請求項１記載
   の半導体装置の試験装置。 ３）上蓋（４）が固定台（１）に開閉自在に枢支され、 前記上蓋（４）の開閉に連動して回動する伝達手段（１
   ２）と、該伝達手段（１２）に追動して円弧状に移動す
   るレバー（１３）とによって、押出部材（７）が直線移
   動し、 前記上蓋（４）が開く方向に動いたとき、前記押出部材
   （７）が被試験物（２）をスティック（８）内に搬送さ
   せるように移動することを特徴とする請求項１記載の半
   導体装置の試験装置。