JPH0383936U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0383936U JPH0383936U JP14438489U JP14438489U JPH0383936U JP H0383936 U JPH0383936 U JP H0383936U JP 14438489 U JP14438489 U JP 14438489U JP 14438489 U JP14438489 U JP 14438489U JP H0383936 U JPH0383936 U JP H0383936U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- transparent electrodes
- crystal shutter
- layer
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
第１図は一実施例を示す概略構成図、第２図は
一実施例で用いられる液晶マトリツクスシヤツタ
を示す斜視図、第３図Ａは一実施例の液晶マトリ
ツクスシヤツタの液晶セル部分の電極を示す平面
図、ＢはＡの−線位置での液晶セル部分を示
す断面図、第４図は他の実施例における液晶セル
部分の断面図である。第５図は従来の露光装置を
示す概略構成図、第６図Ａは従来の液晶マトリツ
クスシヤツタにおける電極を示す平面図、ＢはＡ
のＹ−Ｙ線位置での液晶セル部分を示す断面図で
ある。 ２…光源、６…投影レンズ、８…ウエハ、３０
…液晶マトリツクスシヤツタ、３２…液晶セル部
分、３４…ドライブ回路、３８，４０…透明ガラ
ス板、４２…液晶層、４４ａ，４４ｂ，４８ａ，
４８ｂ…上部電極、４６ａ，４６ｂ，５０ａ，５
０ｂ…下部電極。
一実施例で用いられる液晶マトリツクスシヤツタ
を示す斜視図、第３図Ａは一実施例の液晶マトリ
ツクスシヤツタの液晶セル部分の電極を示す平面
図、ＢはＡの−線位置での液晶セル部分を示
す断面図、第４図は他の実施例における液晶セル
部分の断面図である。第５図は従来の露光装置を
示す概略構成図、第６図Ａは従来の液晶マトリツ
クスシヤツタにおける電極を示す平面図、ＢはＡ
のＹ−Ｙ線位置での液晶セル部分を示す断面図で
ある。 ２…光源、６…投影レンズ、８…ウエハ、３０
…液晶マトリツクスシヤツタ、３２…液晶セル部
分、３４…ドライブ回路、３８，４０…透明ガラ
ス板、４２…液晶層、４４ａ，４４ｂ，４８ａ，
４８ｂ…上部電極、４６ａ，４６ｂ，５０ａ，５
０ｂ…下部電極。
Claims (1)
- 光源からの光を被露光体に照射する光学系の光
路に液晶シヤツタを備え、前記液晶シヤツタでは
帯状に平行に形成された透明電極が液晶層を挾ん
で互いに直交する方向に配置され、かつ、これら
の透明電極は二層構造をなし、一層目電極と二層
目電極は平面形状において境界部分が重なり合つ
ている露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14438489U JPH0383936U (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14438489U JPH0383936U (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0383936U true JPH0383936U (ja) | 1991-08-26 |
Family
ID=31691085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14438489U Pending JPH0383936U (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0383936U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007293270A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-11-08 | Sharp Corp | 空間光変調器および表示装置 |
-
1989
- 1989-12-13 JP JP14438489U patent/JPH0383936U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007293270A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-11-08 | Sharp Corp | 空間光変調器および表示装置 |
| JP4629058B2 (ja) * | 2006-02-07 | 2011-02-09 | シャープ株式会社 | マルチビュー指向性ディスプレイ |