JPH0379655B2 - - Google Patents

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JPH0379655B2
JPH0379655B2 JP58027907A JP2790783A JPH0379655B2 JP H0379655 B2 JPH0379655 B2 JP H0379655B2 JP 58027907 A JP58027907 A JP 58027907A JP 2790783 A JP2790783 A JP 2790783A JP H0379655 B2 JPH0379655 B2 JP H0379655B2
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JP
Japan
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pressure
chamber
bead
flexible
flexible membrane
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Application number
JP58027907A
Other languages
English (en)
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JPS59153140A (ja
Inventor
Takeshi Natsumeda
Yoshio Yamamoto
Hideo Uematsu
Yoshuki Yokoajiro
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2790783A priority Critical patent/JPS59153140A/ja
Publication of JPS59153140A publication Critical patent/JPS59153140A/ja
Publication of JPH0379655B2 publication Critical patent/JPH0379655B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/007Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は可撓膜を用いて2つの圧力の差を検出
するものにおいて、特に温度変化による出力の変
動を防ぐとともに、作用する圧力差の方向に関係
なく検出可能な圧力検出装置の構造に関するもの
である。
従来例の構成とその問題点 第1図は従来の可撓膜を用いた圧力検出器の構
成図であり、第2図は第1図の要部を示すもので
その動作説明図である。第1図により構造を説明
する。1は可撓膜としてのゴムダイアフラムであ
り、その中心部を上支持板2と下支持板3により
支持されている。4は差動トランスでコアロツド
5、コア6、コイル7より構成されている。前記
コアロツド5は前記支持板2,3に固定されてい
る。8はゴムダイアフラム1の上部に設けられた
圧力導入口9を有する上部密閉室である。10は
ゴムダイアフラム1の下部に設けられた圧力導入
口11を有する下部密閉室、12,13はそれぞ
れ上、下ダイアフラム支持ばねである。
圧力導入口9と圧力導入口11からの流体差圧
に応じてゴムダイアフラム1が上ダイアフラム支
持ばね12あるいは下ダイアフラム支持ばね13
を圧縮しながら上下に移動する。その動きによつ
てコアロツド5に連結されたコア6が移動し、差
圧に応じた出力をとりだすものである。ところが
この従来の構造の圧力検出器は差圧が一定の場合
においても周囲温度の変化により出力が変化する
という問題があつた。
つぎに、第2図によつて説明する。第2図は第
1図中、ダイアフラム1の部分を示したものであ
る。基準温度状態でのダイアフラム1の位置をS
−Sとしたとき、周囲温度が変化した場合の動作
を説明する。線膨張係数の大なるゴムダイアフラ
ム1の膨張によりビード部Cの曲率が小さくなる
ように変形するがその部分の応力を緩和すべくゴ
ムダイアフラム1の中央部分はA−Aに示すよう
に下方に変位し、それと連結されたコア6も下方
に変位し、出力が変化する。周囲温度が低下した
場合には線膨張係数の大なるゴムダイアフラム1
の収縮作用により、ビード部Cが引つ張られて全
体として平板上になろうとして中央の平坦部S−
Sはその結果B−Bまで上方に移動し、出力が変
化する。このため出力信号を電気的に補正する機
能が必要となり、コスト的にも高いものになつた
り特に零点付近で高精度を要求する場合には使用
不可能となつていた。
また、上部密閉室8と下部密閉室10とに作用
する2つの圧力の大小関係を反転し、下部密閉室
10に上部圧力室8の圧力より高い圧力を作用さ
せるとゴムダイアフラムのビード部Cに膨出方向
と逆の圧力が作用しビード部Cの反転が起こつて
圧力差の検出が不可能になるという課題があつ
た。
発明の目的 本発明は可撓膜で差圧を受け、差圧に応じて可
撓膜に変位を発生させて差圧信号をとりだす圧力
検出器の温度特性改善、すなわち圧力検出器の出
力が温度依存性を持たないようにするとともに、
差圧の方向が変わつても安定に差圧を検出できる
ようにすることを目的とする。
発明の構成 上記の目的を達成するために、外周部に一方向
へ膨出したビード部を有する同一形状の2個の可
撓膜を互いにビード部が近接するように向き合わ
せて、その中心部は一定間隔を保つたまま軸方向
に変位可能とし、かつそれら2個の可撓膜のビー
ド部の外周部を固定して、両可撓膜の間に基準圧
力室を両可撓膜の外面側にそれぞれの可撓膜を1
つの壁面とする密閉室をそれぞれ設けている。そ
れぞれの密閉室に流体圧力を作用させるとともに
基準圧力室には2つの密閉室に作用する流体圧力
のいずれよりも低い圧力を作用させ、可撓膜に発
生する変位量を電気信号に変換する手段を設ける
よう構成している。
そして、2個の可撓膜は周囲温度の変化にとも
なつて膨張、収縮し、その結果、可撓膜が変形
し、その変形に基いて応力が発生するが、その応
力の軸方向成分は、同一形状の可撓膜が互いにビ
ード部が近接するように向き合わせて設けられて
いるため互いに打ち消し合つて軸方向の変位に現
れることがない。すなわち周囲温度の変化に伴つ
て可撓膜が変位することがなく、温度変化によつ
て出力が変化することがない。
また基準圧力室に2つの密閉室のいずれの圧力
よりも低い圧力を作用させているので、2つの密
閉室に作用する2つの圧力の大小関係が変わつて
もそれぞれの可撓膜のビード部には常に同じ方向
の圧力が作用しているのでビード部の反転は起こ
らない。
実施例の説明 本発明の一実施例を第3図に示す。本実施例は
ガス燃焼装置の燃焼空気圧力と燃料ガス圧力の差
圧を検出してこれを一定値に保つて空気過剰率を
一定に保つものである。制御部は省略している。
先ず構成を説明する。20は本発明に基く圧力
検出器、21はガス燃焼装置のバーナ部である。
次に詳細構造を説明する。22および23は可
撓膜としての第1のゴムダイアフラム、第2のゴ
ムダイアフラムでありそれぞれ外周部にビード2
2B,23Bを有している。両者の間に中心部に
孔を有するスペーサ24が設けられ上支持板2
5、下支持板26、コアロツド27とともに2枚
のゴムダイアフラムを互いにビード部が近接する
ように背中合せに中心部が一定間隔に保つように
なつている。変位量−電気信号変換部としての差
動トランスは前記コアロツド27、コア28およ
びコイル29より構成されている。30は可撓膜
としての第1のゴムダイアフラム22の上部に設
けられた、圧力導入口31を有する上部密閉室、
32は第2のゴムダイアフラム23の下部に設け
られた圧力導入口33を有する下部密聞室、34
は基準圧力導入口35を有する基準圧力室であ
る。36,37はそれぞれ上、下ダイアフラム支
持ばねである。
次にバーナ部21の構造を説明する。38は燃
料ガス圧力検出口39を有するガスノズル、40
は燃焼空気圧力検出口41を有する燃焼空気チヤ
ンバである。42は混合圧力検出口43を有する
混合部である。なお44は燃料ガス圧力導管、4
5は燃焼空気圧力導管、46は基準圧力導管であ
る。47は燃焼室である。
次に動作を説明する。先ず全体動作の説明を行
うと、ガスノズル38より供給される燃料ガスの
圧力PGが燃焼ガス圧力導管44によつて下部密
閉室32に導かれて第2のゴムダイアフラム23
を上方に持ち上げようとし、燃焼圧力PAが燃焼
空気圧力導管45によつて上部密閉室30に導か
れて第1のゴムダイアフラム22を下方に押し下
げようとする。その差圧に応じて圧力検出器20
に出力が現われる。基準圧力室34には基準圧力
として混合部の圧力PMが導かれており、上部密
閉室30と下部密閉室32の共通の背圧PMを与
えるようになつており、混合部42の圧力PM
が、ガスノズル38の圧力PGあるいは燃焼空気
チヤンバ40の圧力PAよりも常に低圧になつて
いるため第1のゴムダイアフラム22、第2のゴ
ムダイアフラム23が反転して動作不能におちい
ることはない。以上のように燃焼空気圧力PA、
燃料ガス圧力PGの差圧を圧力検出器で検出し、
常にその差圧を一定に保つて空気過剰率を一定に
保つものである。
以上が実施例の概略動作であるが、次に本発明
の骨子である圧力検出器20の動作、特に周囲温
度が変化したときの出力変動抑制機構について説
明する。ある温度tOのとき燃焼空気圧力PA、燃
料ガス圧力PGが等しく差動トランスのコア28
がコイル29に対して中心に位置している状態に
於て、△t℃温度が上昇してtO+△t℃になつ
たとすると、第1および第2のゴムダイアフラム
22および23を互いにビード部22Bおよび2
3Bが近接するように向き合わせて配置し、両ゴ
ムダイアフラムの中心部をスペーサ24で連結す
るよう構成したので、第1のゴムダイアフラム2
2と第2のゴムダイアフラム23は第2図で説明
したようにその中心部が第3図においてそれぞれ
下方及び上方に移動しようとするが互いに打ち消
し合つて軸方向の変位には現れず、従つてコア2
8はその軸方向に変位することがなく出力変化は
現われない。次に温度が△t℃降下してtO−△
t℃になつたとすると第1のゴムダイアフラム2
2と第2のゴムダイアフラム23は、第2図で説
明したようにその中心部が第3図においてそれぞ
れ上方及び下方に移動しようとするが互いに打ち
消し合つて外部には現れず、従つてコア28はそ
の軸方向に変位することがなく、出力変化は現れ
ない。
以上の説明は、第3図中22で示されるよう
に、ゴムダイアフラムの中心部が外縁部より下つ
ている場合の説明であるがその逆の場合でも熱膨
張、収縮にともなつて発生する力は同様に打ち消
し合つて軸方向の変位には現れずコア28が軸方
向に変位することがなく、出力変化は生じない。
以上の説明は変位−電気信号変換部に差動トラ
ンスを用いた例であるがこれに限定されるもので
はない。
発明の効果 本発明は、外周部に一方向へ膨出したビード部
を有する同一形状の2個の可撓膜を互いにビード
部が近接するように向き合わせて、その中心部は
一定間隔を保つたまま軸方向に変位可能とし、か
つビード部の外周を固定して可撓膜の間に基準圧
力室を、各可撓膜の外側に密閉室をそれぞれ形成
し、この2つの密閉室にそれぞれ流体圧力を作用
させ、可撓膜に発生する変位量を電気量に変換す
るように構成されているので、 (1) 周囲温度の変化に際して2個の可撓膜が熱膨
張収縮することによつてひき起こされる軸方向
の力が、大きさ等しく向きが反対のため、内部
で打ち消されて軸方向の変位に現れず、出力の
変化は生じない。すなわち圧力−出力特性に温
度依存性がないという効果を有する。
また、2個の可撓膜を互いにビード部が近接
するように向き合わせて、この2つの可撓膜の
間に基準圧力室を、各可撓膜の外側に密閉室を
それぞれ形成し、この2つの密閉室にそれぞれ
流体圧力を作用させるとともに、この2つの密
閉室に作用する流体圧力のいずれよりも低い圧
力を基準圧力室に作用させるよう構成したの
で、 (2) 2つの密閉室に作用する圧力の大小関係すな
わち差圧の方向が変わつても、それぞれの可撓
膜のビード部には常に同じ方向の圧力がかかる
よう作用するのでビード部の反転は起こらず、
検出不能に陥ることがないという効果を有す
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来例の断面図、第2図は第1図要部
の動作説明図、第3図は本発明一実施例の断面図
である。 22,23……ゴムダイアフラム(可撓膜)、
22B,23B……ビード部、28……コア、2
9……コイル、28,29……変位量−電気信号
変換部、30……上部密閉室、32……下部密閉
室、34……基準圧力室。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 外周部に一方向へ膨出したビード部を有する
    同一形状の2個の可撓膜を有し、この2個の可撓
    膜を互いにビード部が近接するように向き合わせ
    て、その中心部は一定間隔を保つたまま軸方向に
    変位可能とし、かつビード部の外周を固定して可
    撓膜の間に基準圧力室を、各可撓膜の外側に密閉
    室をそれぞれ形成し、この2つの密閉室にそれぞ
    れ流体圧力を作用させるとともに、この2つの密
    閉室に作用する流体圧力のいずれよりも低い圧力
    を基準圧力室に作用させ、可撓膜に発生する変位
    量を電気信号に変換する手段を設けてなる圧力検
    出装置。
JP2790783A 1983-02-22 1983-02-22 圧力検出装置 Granted JPS59153140A (ja)

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JP2790783A JPS59153140A (ja) 1983-02-22 1983-02-22 圧力検出装置

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JP2790783A JPS59153140A (ja) 1983-02-22 1983-02-22 圧力検出装置

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JPS59153140A JPS59153140A (ja) 1984-09-01
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ID=12233951

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5652391A (en) * 1995-05-12 1997-07-29 Furon Company Double-diaphragm gauge protector

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4331779Y1 (ja) * 1965-10-11 1968-12-24
JPS5018541U (ja) * 1973-06-14 1975-03-01
JPS5459186A (en) * 1977-10-14 1979-05-12 Bunker Ramo Duplex pressure meter
JPS5514851A (en) * 1978-07-17 1980-02-01 Fuji Electric Co Ltd Method and apparatus for gas nitriding of stainles steel

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